JPH0422850A

JPH0422850A - 薄板保持装置

Info

Publication number: JPH0422850A
Application number: JP12667790A
Authority: JP
Inventors: Mineo Nomoto; 峰生野本
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1990-05-18
Filing date: 1990-05-18
Publication date: 1992-01-27
Anticipated expiration: 2015-06-19
Also published as: JP3053104B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は薄板部材の保持装置にかかわり、特にハイブリ
ットＩＣやセラミック基板の焼結前のグリーンシート等
の軟質の薄板部材が硬質の薄板部材に貼り付けられた薄
板の保持に好適な保持装置並びに外観検査方法並びに印
刷方法に関する。

〔従来の技術〕

従来、グリーンシート等の薄板部材を保持する方法とし
て、特開平１−１２１７３８号公報、特開平１−２６０
３５０公報で開示された方法がある。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術においては、上記金枠に貼り付けられたグ
リーンシートを吸着保持する点について配慮がされてお
らず、吸着時にグリーンシートの一部に無理な応力が作
用する課題があった。

本発明の目的は、金枠に保持されたグリーンシート等の
軟質薄板部材を局部変形を生じることなく、表面、ある
いは裏面を高精度に平坦に保持することができるように
した薄板保持装置を提供することにある。

又本発明の目的は、表面保持の時と、裏面保持の時では
、金枠に設けられている位置決め用■溝あるいは穴等の
位置が１８０’異った位置に配される場合においてもこ
れに対応して、自動的に位置決めを可能にして、金枠に
保持されたグリーンシート等の軟質部材を平坦に保持す
ることができるようにした薄板保持装置を提供すること
にある。

ス＊ｈ）ｑ目的は、保持装置で表・裏画面を吸着保持す
る薄板保持装置を用いて外観検査または印刷ができるよ
うにした外観検査方法又は印刷方法を提供することにあ
る６〔課題を解決するための手段〕上記目的を達成するために１本発明は、軟質部材で形成
された第１の薄板を保持する第１の保持手段と、硬質部
材で形成された第２の薄板を保持する第２の保持手段と
、該第２の薄板を水平方向に位置決めする位置決め手段
と、上記第１の保持手段と第２の保持手段とを相対的に
上下方向に移動させる移動手段と、上記移動手段に連動
して上記位置決め手段を作動させて上記第１の保持手段
の保持面と第２の保持手段の保持面とに段差を生じさせ
るべく上記第１及び第２の薄板を保持するように構成し
たことを特徴とする薄板保持装置である。

即ち本発明は、グリーンシート吸着保持部の周囲に枠保
持部を設け、枠保持部あるいは、グリーンシート保持部
のいずれか一方を移動できる構成とし、グリーンシート
保持部と金枠保持部に段差を生じさせる。

又上記いずれか一方の移動と連動して、位置決めピンが
前後あるいは左右あるいは上下に移動できる構成にした
。

また本発明は、上記金枠保持部あるいはグリーンシート
保持部のいずれか一方を移動させる手段と、いずれか一
方の移動に連動して位置決めピンを移動させる手段が、
板カムを直線上に移動し。

該板カムのリフト量を回転可能なローラを介して直線移
動可能な傾斜台に上下動作用させるようにした。

また本発明は、上記グリーンシート保持部は。

金枠の内側より小さい形状とし、多孔体アルミナセラミ
ックスの吸着面以外の周囲を緻密体アルミナセラミック
スで囲い、同時焼結して保持面を研磨して高い平坦性を
有する吸着面したものである。

また本発明は、前記薄板保持装置を用いて薄板の表裏に
ついて外観検査または印刷することを特徴とするもので
ある。

〔作用〕

例えば多層セラミック基板は、上下層との電気的導通を
とる必要のため、クリーンシートにスルーホールを形成
して導体を充填する。またこのグリーンシートの表・裏
面に導体回路パターンを形成して、高密度化を図ってい
る。このため、回路パターン印刷や、検査機等において
は、グリーンシートの両面に印刷、あるいは検査できる
ことが必須であり、これらに用いるグリーンシート保持
装置も表面および裏面が保持できる必要がある。

第３図（Ａ）、（Ｂ）は、金枠に貼り付けられたグリー
ンシートの裏面と表面の状態を示したものである。説明
を容易にするため、図（Ａ）の状態で吸着する場合を裏
面吸着、（Ｂ）の状態で吸着する場合を表面吸着とする
。第３図かられかるように、裏面吸着の場合はグリーン
シートは金枠の上にあり、表面吸着の場合は金枠の下に
配される。このような状態のグリーンシートを従来の吸
着テーブルで吸着した場合の状態を第４図に示す。

第４図（Ａ）は裏面吸着、（Ｂ）は表面吸着の例である
。（Ａ）の裏面吸着の場合は、金枠の厚さ分グリーンシ
ートが変形して吸着される。このため、グリーンシート
が金枠に貼り付けられている付近の変形が大きくなり、
グリーンシートに無理な応力が作用し、グリーンシート
にゝしわ　“ができたり、破れたりする恐れがある。（
Ｂ）の表面吸着の場合は、グリーンシートに金枠の荷重
が作用するため、吸着前の位置決めを行なうときに、グ
リーンシート表面が吸着部にこすりつけられながら位置
決めされる。このため、グリーンシート表面に形成され
ているパターン等に傷が付いたり、グリーンシート表面
が汚れる問題もある。

また、金枠を位置決めするための位置決めピンも表面吸
着と裏面吸着では、金枠の■溝の位置が異なってくるた
め、■溝に合せて位置決めピンを移動する必要がある。

また、上記グリーンシートの印刷機や検査機においては
、生産効率の向上とコスト低減のため、１台の装置でグ
リーンシートの表面と裏面に印刷あるいは検査できるこ
とが望ましい。すなわち、表面専用あるいは裏面専用の
装置になると、高価な装置が２倍必要になり、生産量が
少ない時など装置が遊ぶことになる。さらに自動化が進
むと、複数枚のグリーンシートをカートリッジに収納し
て、１枚づつ自動ハンドリングして生産する。１０ット
分の印刷や、検査を終了後、ロット毎次工程へ搬送する
がこのとき、１台の装置で表・裏の印刷や検査ができな
い場合、片面の印刷や検査終了後、再度カートリッジに
収納し、もう一方の面を検査する必要があり、工数の増
加とともに、ハンドリング装置等も２倍必要になる。こ
のためこの種の装置に用いられるグリーンシートの保持
装置に要求される性能として、保持装置ｉ１台で表・裏
、両面吸着が保持できることが必要である。特に自動印
刷機や自動検査機に用いる保持装置では、表・裏画面を
吸着保持できることが必須の要件となる。

次に本発明の作用を第５図（Ａ）、（Ｂ）を用いて説明
する。即ち第５図（Ａ）は裏面吸着を示したもので（Ｂ
）は表面吸着の状態を示したものである。本図は金枠ホ
ルダ４が上下に移動する場合を示している。裏面吸着時
は、金枠２の厚み分だけ金枠ホルダ４が下がり、グリー
ンシート１の裏面が吸着保持面と同一高さになるため、
吸着時にグリーンシート１を変形することはない。第５
図（Ｂ）の表面吸着時は、金枠ホルダ４が（Ａ）の場合
に比ベグリーンシート１と金枠２の厚み量だけ上昇する
。それによって金枠２の荷重は金枠ホルダ４に作用し、
グリーンシート１には全く荷重をかけずに吸着保持する
ことができる。また、吸着前に行なう金枠Ｖ溝２ａへの
位置決めの際にも、金枠２の荷重がグリーンシート１に
作用しないため、グリーンシート１表面のパターンに傷
をつけたり、グリーンシート１を汚したりする恐れはな
くなる。また、金枠ホルダ４が下降した場合（Ａ）の状
態では、位置決めピン１ｏは図中下へ、位置決めピン１
１は図中上へ移動し、金枠ホルダ４が上昇した場合（Ｂ
）の状態では、位置決めピン１０は図中上方へ、位置決
めピン１１は図中下方へ移動し、表面吸着あるいは裏面
吸着に連動して位置決めピンが自動的に移動可能である
。

以上説明したように本発明によれば１例えばグリーンシ
ートと枠の保持部を各々独立にし、どちらか一方の保持
部を移動させて、グリーンシートを吸着して金枠を保持
するため、グリーンシートに無理な応力を作用させずに
高精度な平坦性を保って保持できる。またグリーンシー
ト吸着部あるいは枠保持部の移動と連動して、金枠の位
置決め用ピンが移動するため、グリーンシートの表面、
裏面のいずれの面も容易に、且つ自動的に吸引保持する
ことができる。また本発明によれば、］−台の保持装置
で、表・裏の両面を保持できるため、印刷機や検査機に
用いた場合、生産性を向上し、コスト低減を図ることが
できる。

〔実施例〕

以下本発明の実施例について説明する。

近年セラミック基板は高密度実装を実現するため、２０
０ｍ＋口以上の大きなものまで製作されている。この大
形多層セラミック基板に用いる焼結前の生のシートであ
るグリーンシートは、０．５画以下と薄く、しかも２０
０Ｗｎ以上と大きいため、極めて剛性が小さい。このた
め、この種の大形グリーンシートは、グリーンシート周
囲を第２図（ａ）、（ｂ）、（Ｃ）で示したような金枠
に貼り付けて剛性を高め、搬送、製造、検査を行なって
いる。

多層セラミック基板は、上下層との電気的導通のため、
グリーンシートにスルーホールを形成して導体を充填す
る。また、このグリーンシートの表・裏面にパターンを
形成して、高密度化を図っている。このため、パターン
印刷や検査機等においては、グリーンシートの両面に印
刷あるいは検査できることが必須であり、これらに用い
るグリーンシート保持装置も表面および裏面が保持でき
る必要がある。

次に、本発明に係る薄板保持装置の一実施例を第１図（
Ａ）、（Ｂ）を用いて説明する。第１図（Ｂ）は第１図
（Ａ）の断面図である。グリーンシート１は金枠２に貼
りつけられており、金枠２にはＶ溝２ａが設けられてい
る。グリーンシート１は多孔質のセラミックスと緻密セ
ラミックスで構成された吸着台３上に保持されている。

金枠２の下部には金枠ホルダ４が、吸着台３の周囲に配
されている。金枠ホルダ４の下部には、傾斜台を有する
上テーパブロック５と下テーパブロック６がローラ７を
介して、４ケ所に配されている。」下テーパブロック５
は金枠ホルダ４に固定されており、下テーパブロック６
はリニアガイド８，９に上記４ケのうち２ケづつ固定さ
れている。又リニアガイド８，９上には位置決めピン１
０．１１−が固定されており、ピン１０．１１には板カ
ム１２゜１３が接するように配されている。尚ピン１０
゜１１にはバネ等により（図示せず）板カム１２゜１３
に耐えず挿し付けられる力が作用するようにしである。

板カム１２．１３は、連結棒１４で連給され、リニアガ
イド１５に固定されている。このリニアガイド１５はリ
ニアガイドレール１５′に治って移動自在にガイドされ
る。連結棒の一端にはエアシリンダ１６が取付けられて
いる。位置決めピン１０．１１は金枠のＶ溝２ａと金枠
外周に接する位置に配されている。上記位置決めピン１
０．１１と接する金枠２の反対側にはローラ１７．１８
を取付けたプレート１９がエアシリンダ２０に固定され
、エアシリンダ２０はアングル２１に取付けられている
。上記のうち吸着台３゜リニアガイドレール８’　、９
’　、リニアガイド１５、エアシリンダ１６、アングル
２１はベース２２に固定されている。リニアガイド８，
９はリニアガイトレール８’　、９’に沿って移動自在
にガイドされる。

上記構成において、本発明の詳細な説明する。

第１図は第５図に示した裏面吸着の状態である。

金枠２に貼り付いているグリーンシート１を吸着台３に
載せる時には、エアシリンダ２０は矢印Ｙ３方向に動作
させ、ローラ１７，１８と金枠２の間にすき間を設ける
。次にエアシリンダ１６を矢印Ｘ工方向に動作させると
、連結棒１４に支持されている板カム１２．１３も矢印
Ｘ工方向に移動する。板カム１２．１３の位置決めピン
１０゜１１と接触する部分の形状は、金枠２のＶ溝のへ
こみ量とエアシリンダの移動量から決まり、板カム１２
．１３の凹凸量だけ位置決めピン１ｏは矢印Ｙ□力方向
、位置決めピン１１は矢印Ｙ２方向へ移動する。上記位
置決めピン１０．１１は、リニアガイド８，９に連結さ
れているため、リニアガイド８は矢印Ｙ１方向へ、リニ
アガイド９は矢印Ｙ２方向へ移動する。リニアガイド８
上には下テーパブロック６とローラ７、上テーバブロッ
ク５が、リニアガイド８が矢印Ｙ１方向へ移動すると、
上テーパブロック５が下がるように構成しである。一方
リニアガイド９上の下テーパブロック６とローラ７、上
テーパブロック５は、リニアガイド９が矢印Ｙ２方向へ
移動すると、上テーパブロック５が下がるように構成し
である。このため板カム１２．１３によって位置決めピ
ン１０が矢印Ｙ１方向に、位置決めピン１１が矢印Ｙ２
方向に移動すると、上テーパブロック５上の金枠ホルダ
４は　２工方向へ移動する。このときの移動量は、板カ
ム１２．１３のストロークと上・下テーパブロック５，
６のテーパ角で決定さお、金枠２の厚さと、グリーンシ
ート１の厚み量がわかればこの量だけ下方に移動出来る
ことは明らかである。上記説明したように、エアシリン
ダ１６を矢印Ｘ１方向へ移動すると、位置決めピン１０
が矢印Ｙよ方向に１位置決めピン１１が矢印Ｙ２方向に
移動し、金枠ホルダ４が矢印Ｚ１方向へ移動して、グリ
ーンシート１の裏面を吸着台３の表面と一致した高さに
することができる。この状態で金枠２に保持されたグリ
ーンシート１を吸着台３上に載せ、シリンダ２０を矢印
Ｙ、力方向動作させて、金枠２の端面にローラ１７，１
８を挿し付けて、■溝２ａが位置決めピン１０に、他方
の金枠端面を位置決めピン１１に位置決めする。この後
吸引穴２３を介して真空吸引するとグリーンシート１の
裏面を無理な応力を作用させずに平坦に吸着することが
できる。本説明では、裏面吸着の場合について説明した
が、表面吸着の場合は、上記の説明と全く逆の動作とな
る。エアシリンダ１６を矢印Ｘ２方向へ移動すると１位
置決めピン１０が矢印Ｙ２方向に移動し、位置決めピン
１１が矢印Ｙ□力方向移動し、金枠ホルダ４が矢印Ｚ２
方向へ。

金枠２と、グリーンシート１の厚さの量だけ移動する。

このため第５図（Ｂ）で示したように１表面吸着時にお
いても、金枠ホルダ４で金枠２の荷重を支え、グリーン
シート１に無理な力が作用しない。エアシリンダ２０に
よりローラ１７，１８で位置決めピン１０．１１に金枠
を位置決めする時にもグリーンシート１と吸着台との接
触摩擦力が小さいため、グリーンシート１のパターン部
に傷を付けたりシートを汚したりする恐れはなくなる。

第１図の実施例では駆動源としてエアシリンダ］６を用
いて説明したが、直線運動する駆動源であれば同様な動
作が得られる。また本実施例は、位置決めピン１０．１
１の移動および金枠ホルダ４の移動が機械的に連結され
て動作するため、位置の再現性、信頼性も極めて高い特
徴がある。さらに位置決めピン１０．１１移動には板カ
ム１２゜１３を介し、金枠ホルダ４の移動にはテーパを
利用しているため、薄板保持装置全体が薄く、コンパク
トとなる利点もある。次に他の実施例について第６図、
第７図、第８図を用いて説明する。第１図では金枠ホル
ダ４が上下する場合について説明したが、第６図は吸着
台３が上下する場合を示したものである。第１図と異な
る点について説明する。吸着ホルダ３の下部に傾斜台を
有する上テーパブロック５と下テーパブロック６がロー
ラ７を介して４ケ所に配されている。上テーパブロック
５は吸着ホルダ３の下部に取付られているプレート３０
に固定され、下テーパブロック６はリニアガイド８，９
に上記４ケのうち２ケづつ固定されている。位置決めピ
ン１０．１１は、アーム３１．３２を介して、リニアガ
イド８，９に固定されており、金枠ホルダ４０１はベー
ス２２に固定されている。上記以外は、第１図の実施例
と同じ構成である。次に本実施例の動作について、第１
の実施例と異なる点について説明する。エアシリンダ１
Ｇを矢印Ｘ１方向に動作させると、位置決めピン１０が
矢印　Ｙ□力方向、位置決めピン１１が矢印Ｙ２方向に
移動する。このときリニアガイド８は矢印Ｙ１方向へリ
ニアガイド９は矢印Ｙ２方向へ移動する。第１図の説明
と同様の原理で４つのテーパブロック５がそれぞれ上方
に移動するように組立てておくと、吸着台３は板カム１
２．１３のストロークと上下テーパブロック５゜６のテ
ーパ角で決定される量、すなわちグリーンシート１と金
枠の厚み量だけ上方、Ｚ２方向へ移動する。一方、金枠
ホルダ４０１は、ベース２２に固定されており高さは変
らない。本実施例においても、第１図の実施例と同様に
、グリーンシート１の裏面を吸着台３の表面と一致した
高さにすることができ、グリーンシート１に無理な力を
作用させずに平坦に吸着することができる。上記説明で
は裏面吸着の場合について説明したが、表面吸着時も第
１図の説明と同様に、逆動作を行なうことにより、吸着
台が、グリーンシート１と金枠２の厚さの量だけ下降し
、金枠２を金枠ホルダ４０１表面に一致させることがで
き、第１図の実施例と同様の効果が得られる。第７図は
他の実施例を示したもので、第２図（ｂ）に示すような
金枠の一部に位置決め用の穴がおいている金枠２０１を
保持する場合の例である。

第７図は第１図の実施例と以下の点が異なる。

エアシリンダ１６を矢印Ｘ１方向に動作させると、板カ
ム４１２，４１３もＸ工方向に移動し、位置決めピン４
１０はＹ２方向に移動、位置決めピン４１１はＹ１方向
に移動する。又リニアガイド８，９上には、上テーパブ
ロック４０５、下テーパブロック４０６、ローラ４０７
が取付けられている。テーパブロック４０５は、金枠ホ
ルダ４４６に固定されているリニアガイド８が矢印Ｙ２
方向に移動したとき、リニアガイド８上の２ケの上テー
パブロック４０６は　Ｚ□力方向移動するように組立て
られている。一方リニアガイド９が矢印Ｙ□力方向移動
したとき、リニアガイド９上の２ケの上テーパブロック
４０６も　ｚ１方向に移動するよう組立てられている。

また、リニアガイド８，９上には上テーパブロック４４
１、下テーパブロック４４２、ローラ４４３が取付けら
れており、上テーパブロック４４１上には、ピン４４４
．４４５が固定されている。これらのピン４４４は、リ
ニアガイド８が矢印Ｙ、力方向移動した時、　Ｚ２方向
へ移動し、ピン４４５はリニアガイド９がＹ１方向に移
動したとき　Ｚ□方向番こ移動するよう取付けられてい
る。又これらのピン４４４．４４５は、金枠ホルダ４４
６に設けられた穴４４７をガイドにしてＺ　＞　、ｌ　
２方向へ移動する。

上記構成において、エアシリンダ１６を矢印Ｘ□力方向
移動すると、リニアガイド８は板カム４１２により　ｚ
２方向に移動する。一方リニアガイド９は板カム４１３
により　Ｙ工方向に移動する。

このリニアガイド８，９のＹ２．Ｙ１方向の移動により
上テーパブロック４０５上の金枠ホルダ４４６は、グリ
ーンシート１と金枠２０１の厚さの量だけ　７１方向へ
移動する。このときピン４４４はｚ２方向へ上昇し、ピ
ン４４５は２．方向へ連動して移動する。上記のように
エアシリンダ］−６を矢印Ｘ□力方向移動したとき、第
５図（Ａ）のような裏面吸着が可能な状態となり、エア
シリンダを矢印Ｘ２方向へ移動したときには、表面吸着
が可能な状態となる。第７図の実施例では、第２図（ｂ
）で示した、金枠の一部に位置ピン用の穴がおいている
金枠２０１に貼り付けられているグリーンシート１も、
第１図の説明と同様の効果が得られる。

第８図は別な実施例を示した図で、第２図（ｃ）のよう
な金枠の周囲で位置決めをする金枠２０２に貼り付けら
れたグリーンシートを保持する場合の例である。第１図
、第６図、第７図との相違点は、金枠２０２の位置決め
用のピンが固定されていることと、プッシャー用ローラ
５１８，５１９が金枠２０２の角部を挿して位置決めす
ることである。

吸着台５０３はガイドベース５２３に固定され、ガイド
ベース５２３は、ベース５２２に固定されている、エア
シリンダ５２６により２．．２１方向へ上下動する。ベ
ース５２２にはロックベース５２５が固定され、ガイド
ベース５２３はロックベース５２５によってガイドされ
る。金枠ホルダ５０４はロックベース５２５に固定され
、位置決めピン５１０，５１１，５１２を保持している
。

又ブツシャー用ローラ５１８，５１９を保持したＬプレ
ート５」−９がエアシリンダ５２０に固定され、エアシ
リンダ５２０はベース５２２に保持されている、アング
ル５２１に保持されている。

上記構成において、第５図（Ａ）で示したような裏面吸
着のときは、エアシリンダがＺ、方向へ、グリーンシー
ト１と金枠２０２の厚さの量だけ上昇し、グリーンシー
ト１の裏面と吸着台３の表面の高さを一致させる。次に
エアシリンダ５２０をＹＧ力方向移動させてプッシャー
用ローラ５１７゜５１８を金枠２０２の外周に挿し付け
て金枠２０２の位置決め登行なう。位置決め完了後吸引
穴５３３から吸引し、グリーンシート１を吸着する。

又表面吸着の場合はエアシリンダ５２６を　２０方向へ
グリーンシート１と金枠２０２の厚さの量だけ下降し、
グリーンシート１の表面と吸着台３の表面、金枠２の表
面と金枠ホルダ５０４の表面を一致させる。

上述したように、第８図の実施例においても、第１図と
同様の効果が得られる。

尚本実施例では吸着台が上昇あるいは下降する例につい
て述べたが、第１図の実施例のように。

金枠ホルダが上昇あるいは下降するようにしても。

同様の効果が得られる。

第９図は第１図、第６図、第７図、第８図に用いている
吸着台３の一実施例登示す図である。吸着台３の構成は
多孔質セラミックス６０１の周囲を緻密セラミックス６
０２で囲い、同時焼結して、吸着面を研磨して仕上げる
。吸着面６０１ａの反対側の面で多孔質セラミックス６
０１と緻密セラミックス６０２が接触する吸引面６０１
ｂの、緻密セラミックス側に溝６０４加工を施し、吸引
力６０３より吸引する。本実施例の吸着台はすべてセラ
ミックスで構成されているため、吸着面の平面度、平行
度も高精度仕上ができ高しＳ平坦性が保てる特徴がある
。

第１０図は吸着台の他の１実施例である。第９図と異な
る点は、多孔質セラミックスの吸着部を分割しているこ
とである。構成は多孔質セラミックスを６１１と６１２
に分割し、これを緻密セラミックス６１３で囲っている
。本実施例の利点は、吸着する場所の吸引力を変えるこ
とができる点にある。第１０図（Ｂ）に示すようにグリ
ーンシート６１４の中心部の吸引力を弱め、外周部の吸
引力を強くすること等が可能となる。例えばグリーンシ
ート６１４の吸着される面にパターン等の突起がある場
合、周辺を　Ｐ工の力で強力に吸引し、中心部を　Ｐ工
とは異なる力　Ｐ、で吸引あるいは、Ｐ、の力で流体を
供給する。このようにすると、吸着時にグリーンシート
表面に生じる、パターンの突起による局部的な凹凸を低
減できる効果がある。この種の凹凸はパターン検査、異
物検査等を自動検査するときに、欠陥として誤検出する
恐れがあり、この欠点を防止できる効果がある。

上記の実施例では吸引部を２ケ所に分割した場合を説明
したが、２ヶ以上に分割しても同様の効果が得られる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、グリーンシートと金枠の保持部を各々
独立にし、どちらか一方の保持部を移動させて、グリー
ンシートを吸着して金枠を保持するため、グリーンシー
トに無理な応力を作用させずに高精度な平坦性を保って
保持できる効果があまた、グリーンシート吸着部あるい
は金枠保持部の移動と連動して、金枠の位置決め用ピン
が移動する為、グリーンシートの表面、裏面いずれの面
も容易に自動的に吸引保持できる効果もある。

また上記グリーンシートの吸着台は、多孔質セラミック
を緻密セラミックで囲い、同時焼結、研磨しているため
、高い平坦性の吸着面ができるので、グリーンシートを
高精度に保持できる効果もある。

さらに５本発明では１台の保持装置で表・裏の両面を保
持できるため、印刷機や検査機に用いた場合、生産性が
向上しコスト低減が図れる効果もある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による薄板保持装置の実施例を示す図、
第２図は薄板の種類を示す図、第３図は薄板が保持され
るときの薄板の状態を示す図、第４図は従来の薄板保持
装置による保持状態を示す図、第５図は本発明による薄
板保持装置による保持状態を示す図、第６回は本発明に
よる第２の実施例を示す図、第７図は本発明による第３
の実施例を示す図、第８図は本発明による第４の実施例
を示す図、第９図は本発明による吸着台の実施例を示す
図、第１０図は本発明による第２の吸着台の実施例を示
す図である。１・・・グリーンシート、２・金枠、３・・・吸着台、
４・・・金枠ホルダ、５・・・上テーパブロック、６・
・下テーパブロック、７・ローラ、８，９・・・ガイト
レール、１０．１１・・・位置決めピン、１２．１３・
・板カム、１５・・・リニアガイド、］６・・・エアシ
リンダ。躬５−１子−ハ゛フ０゛ン７ Δ・　下テーノぐフ′口・ンフ７゛　ローフ／６−・エアシ゛ノンク羊？囚（α）（ハ）（Ｃ）（Ａ）（Ｂ）第吊（Ａン（Ｆ３）第 δ 口（Ａ）（Ｂ）イ躬「（Ａ）〜ど二■ギ盃 ↓ ）９　虐（Ｂ）にノ４

Claims

【特許請求の範囲】

１．軟質部材で形成された第１の薄板を保持する第１の
保持手段と、硬質部材で形成された第２の薄板を保持す
る第２の保持手段と、該第２の薄板を水平方向に位置決
めする位置決め手段と、上記第１の保持手段と第２の保
持手段とを相対的に上下方向に移動させる移動手段と、
上記移動手段に連動して上記位置決め手段を作動させて
上記第１の保持手段の保持面と第２の保持手段の保持面
とに段差を生じさせるべく上記第１及び第２の薄板を保
持するように構成したことを特徴とする薄板保持装置。
２．上記第１の薄板がグリーンシートで形成され、上記
第２の薄板が枠で形成され、該枠にグリーンシートが接
着されていることを特徴とする薄板保持装置。
３．上記第１の保持手段には、第１の薄板を真空吸着す
る真空吸着手段を有することを特徴とする請求項１記載
の薄板保持装置。
４．請求項１記載の保持装置を用いて、第１の薄板の表
裏について外観検査することを特徴とする外観検査方法
。
５．請求項１記載の保持装置を用いて、第１の薄板の表
裏について印刷することを特徴とする印刷方法。