CN117074420A - 用于陶瓷基板外观检测的工作台 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种用于陶瓷基板外观检测的工作台，包括平台板，在所述平台板的中间设置有支撑台，所述支撑台的外周设置有第一吸附台，在所述第一吸附台的外周设置有第二吸附台，所述第一吸附台和所述第二吸附台用于吸附工件，其中，沿竖直方向，支撑台和第二吸附台的顶面高于第一吸附台的顶面。本发明通过将陶瓷基板放置在支撑台上，使得陶瓷基板与支撑台的顶面贴合，第二吸附台先将陶瓷基板的外周吸附拉紧，然后第一吸附台对陶瓷基板的内部进行抽真空，使得陶瓷基板能够紧贴在支撑台上。通过设置第一吸附台与支撑台以及第二吸附台之间存在高度差并对工件采用二次吸附的方式，使得陶瓷基板能够紧贴在支撑台上，避免褶皱和空泡的产生。
Description
技术领域
本发明涉及陶瓷基板检测技术领域，尤其涉及一种用于陶瓷基板外观检测的工作台。
背景技术
目前，陶瓷基板、薄膜电路等产品在生产印刷过程中，其表面可能会出现缺陷，为了保证陶瓷基板的出厂质量，需要对产品的表面进行检测，现有技术中的检测装置利用图像获取来对物料进行检测，并对物料进行分类。通常是将陶瓷基板吸附到平台上，然后由平台送去进行检测，但是在对陶瓷基板的吸附过程中可能产生褶皱或者气泡，进而会影响到检测结果，导致产品不过关。
发明内容
本发明提供一种用于陶瓷基板外观检测的工作台，用以解决现有技术中陶瓷基板的吸附过程中可能产生褶皱或者气泡，进而会影响到检测结果，导致产品不过关缺陷。
为实现上述目的，本发明的技术方案是：一种用于陶瓷基板外观检测的工作台，包括：
平台板，在所述平台板的中间设置有支撑台，所述支撑台的外周设置有第一吸附台，在所述第一吸附台的外周设置有第二吸附台，所述第一吸附台和所述第二吸附台用于吸附工件，其中，沿竖直方向，支撑台和第二吸附台的顶面高于第一吸附台的顶面。
优选的，沿所述支撑台外周，在所述第一吸附台上设置有第一吸附孔；沿所述第一吸附台外周，在所述第二吸附台上设置有第二吸附孔，多个所述第一吸附孔等距间隔设置多个，多个所述第二吸附孔等距间隔设置多个。
优选的，所述支撑台的外周设置有凹槽，所述凹槽连接所述支撑台以及所述第一吸附台。
优选的，所述支撑台呈矩形设置，在所述支撑台的四个角落处设置有第三吸附孔，所述第三吸附孔连通所述凹槽。
优选的，所述支撑台与所述第三吸附孔的连接处设置有导向平面。
优选的，所述导向平面与处于所述导向平面两侧的所述凹槽之间的夹角均为45度。
优选的，还包括：
安装台，用于提供安装基础，所述平台板转动设置在所述安装台上；
驱动件，与所述平台板传动连接并能够驱动所述平台板相对所述安装台转动。
优选的，还包括：
连接盘，其一端固定在所述平台板上，其另一端与所述驱动件卡接，所述驱动件能够做往复直线运动以带动所述平台板转动。
优选的，所述驱动件包括伺服电机、设置在所述伺服电机输出端的丝杆以及设置在所述丝杆上的滑块，所述连接盘卡接在所述滑块上。
优选的，所述连接盘底部设置有连接柱，所述滑块上开设有卡槽，所述连接柱能够穿设在所述卡槽内。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：通过将陶瓷基板放置在支撑台上，使得陶瓷基板与支撑台的顶面贴合，第二吸附台先将陶瓷基板的外周吸附拉紧，然后第一吸附台对陶瓷基板的内部进行抽真空，使得陶瓷基板能够紧贴在支撑台上。通过设置第一吸附台与支撑台以及第二吸附台之间存在高度差并对工件采用二次吸附的方式，使得陶瓷基板能够紧贴在支撑台上，避免褶皱和空泡的产生。
附图说明
为了更清楚地说明本发明或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明提供的用于陶瓷基板外观检测的工作台的结构示意图；
图2是图1中a的局部放大示意图；
图3是本发明提供的用于陶瓷基板外观检测的工作台的俯视图；
图4是图3中A-A的剖面视图。
附图标记：
10、平台板；11、支撑台；111、导向平面；12、第一吸附台；121、第一吸附孔；13、第二吸附台；131、第二吸附孔；14、凹槽；15、第三吸附孔；20、安装台；30、驱动件；31、伺服电机；32、丝杆；33、滑块；331、卡槽；34、安装座；40、连接盘；41、连接柱。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明中的附图，对本发明中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1至4所示，本申请实施例提供了一种用于陶瓷基板外观检测的工作台，包括平台板10，在平台板10的中间设置有支撑台11，支撑台11的外周设置有第一吸附台12，在第一吸附台12的外周设置有第二吸附台13，其中，沿竖直方向，支撑台11和第二吸附台13的顶面高于第一吸附台12的顶面。需要理解的是，这里的竖直方向指的是与平台板10垂直的方向，支撑台11用于对陶瓷基板进行支撑以方便对陶瓷基板进行检测，通过将陶瓷基板放置在支撑台11上，使得陶瓷基板与支撑台11的顶面贴合，第二吸附台13先将陶瓷基板的外周吸附拉紧，由于第一吸附台12与第二吸附台13之间存在高度差，即形成了能够导真空的空间，然后第一吸附台12对陶瓷基板的内部进行真空吸附，使得陶瓷基板能够紧贴在支撑台11上。通过设置第一吸附台12与支撑台11以及第二吸附台13之间存在高度差并采用对工件二次吸附的方式，使得陶瓷基板能够紧贴在支撑台11上，避免褶皱和空泡的产生。
需要理解的是，这里的工件可以是陶瓷基板或者薄膜电路等产品。
进一步地的，沿支撑台11外周，在第一吸附台12上设置有第一吸附孔121，沿第一吸附台12外周，在第二吸附台13上设置有第二吸附孔131。可通过真空泵对第一吸附孔121和第二吸附孔131进行抽真空来对陶瓷基板进行吸附，具体的，第二吸附孔131先产生负压将陶瓷基板吸附，然后第一吸附孔121再抽真空，使得陶瓷基板能够紧贴在支撑台11上。
为了使得陶瓷基板能够在均匀的负压下被吸附到支撑台11上，第一吸附台12上等距设置多个第一吸附孔121，第二吸附孔131等距设置多个。
本申请中，支撑台11的外周设置有凹槽14，凹槽14连接支撑台11以及第一吸附台12，凹槽14为支撑台11与第一吸附台12之间内凹形成的结构，当对陶瓷基板抽真空的时候，由于凹槽14分布在支撑台11的外周且更靠近支撑台11的中心，可以使得陶瓷基板靠近中心的位置能够更好地被吸附，需要理解的是，陶瓷基板靠近中心的位置为需要检测的部分。
本申请中，支撑台11呈矩形设置，第一吸附台12呈矩形环状结构，第二吸附台13也呈矩形环状结构，在支撑台11的四个角落处设置有第三吸附孔15，第三吸附孔15连通凹槽14。第三吸附孔15也用于与陶瓷基板之间产生负压使得陶瓷基板能够被吸附。
为了使得陶瓷基板的能够均匀贴合在支撑台11上，在支撑台11与第三吸附孔15的连接处设置有导向平面111。导向平面111用于连通两侧的凹槽14，具体的，导向平面111与处于导向平面111两侧的凹槽14之间的夹角均为45度。
本申请中，第一吸附台12和第二吸附台13均由平台板10内凹形成。这样，使得第一吸附台12和第二吸附台13结构稳定。
本申请中，支撑台11采用玻璃结构，玻璃支撑台11的顶面平整，易于对陶瓷基板进行检测。
在一实施例中，用于陶瓷基板外观检测的工作台还包括安装台20和驱动件30，安装台20用于提供安装基础，平台板10的底部嵌入安装台20的内部并能够相对安装台20转动，平台板10的转动由驱动件30提供动力。通过设置平台板10能够转动，使得放置在平台板10上的待检测工件能够转动到合适的位置，由于对工件的检测精度要求比较高，即需要对工件表面出现的各种缺陷进行检测，将工件的位置放置到检测位置进行检测，在检测时需要获取到精确的外观信息，通过对平台板10上的工件的位置进行转动微调，使得工件能够处于适合的检测位置。
进一步地，驱动件30与平台板10之间通过连接盘40来传动，连接盘40的一端固定在平台板10上，连接盘40的另一端与驱动件30卡接，通过驱动件30做往复直线运动来使得连接盘40带动平台板10进行转动以实现对工件位置的微调。
由于对工件位置的调整一般比较小，因此，设置驱动件30包括伺服电机31、设置在伺服电机31的输出端的丝杆32以及设置在丝杆32上的滑块33，连接盘40卡接在滑块33上，滑块33在丝杆32的带动下能够往复滑动，进而能够带动连接盘40运动使得平台板10在安装台20上转动。伺服电机31通过安装座34固定设置在安装台20的侧端，连接盘40处于滑块33的上方。
进一步地，连接盘40底部设置有连接柱41，连接柱41相对连接盘40的底部向下凸起设置，滑块33上开设有卡槽331，连接柱41能够穿设在卡槽331内并受到卡槽331的内壁的限制，使得滑块33运动能够带动连接柱41运动进而带动连接盘40运动。
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (10)
1.一种用于陶瓷基板外观检测的工作台，其特征在于，包括：
平台板，在所述平台板的中间设置有支撑台，所述支撑台的外周设置有第一吸附台，在所述第一吸附台的外周设置有第二吸附台，所述第一吸附台和所述第二吸附台用于吸附工件，其中，沿竖直方向，支撑台和第二吸附台的顶面高于第一吸附台的顶面。
2.根据权利要求1所述的用于陶瓷基板外观检测的工作台，其特征在于，
沿所述支撑台外周，在所述第一吸附台上设置有第一吸附孔；沿所述第一吸附台外周，在所述第二吸附台上设置有第二吸附孔，多个所述第一吸附孔等距间隔设置多个，多个所述第二吸附孔等距间隔设置多个。
3.根据权利要求2所述的用于陶瓷基板外观检测的工作台，其特征在于，
所述支撑台的外周设置有凹槽，所述凹槽连接所述支撑台以及所述第一吸附台。
4.根据权利要求3所述的用于陶瓷基板外观检测的工作台，其特征在于，
所述支撑台呈矩形设置，在所述支撑台的四个角落处设置有第三吸附孔，所述第三吸附孔连通所述凹槽。
5.根据权利要求4所述的用于陶瓷基板外观检测的工作台，其特征在于，
所述支撑台与所述第三吸附孔的连接处设置有导向平面。
6.根据权利要求5所述的用于陶瓷基板外观检测的工作台，其特征在于，
所述导向平面与处于所述导向平面两侧的所述凹槽之间的夹角均为45度。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的用于陶瓷基板外观检测的工作台，其特征在于，还包括：
安装台，用于提供安装基础，所述平台板转动设置在所述安装台上；
驱动件，与所述平台板传动连接并能够驱动所述平台板相对所述安装台转动。
8.根据权利要求7所述的用于陶瓷基板外观检测的工作台，其特征在于，还包括：
连接盘，其一端固定在所述平台板上，其另一端与所述驱动件卡接，所述驱动件能够做往复直线运动以带动所述平台板转动。
9.根据权利要求8所述的用于陶瓷基板外观检测的工作台，其特征在于，
所述驱动件包括伺服电机、设置在所述伺服电机输出端的丝杆以及设置在所述丝杆上的滑块，所述连接盘卡接在所述滑块上。
10.根据权利要求9所述的用于陶瓷基板外观检测的工作台，其特征在于，
所述连接盘底部设置有连接柱，所述滑块上开设有卡槽，所述连接柱能够穿设在所述卡槽内。
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Citations (4)
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|---|---|---|---|---|
| JPH0422850A (ja) * | 1990-05-18 | 1992-01-27 | Hitachi Ltd | 薄板保持装置 |
| KR20130002105A (ko) * | 2011-06-28 | 2013-01-07 | 노바테크인더스트리 주식회사 | 대면적 필름의 무 기포 합지 방법 및 장치 |
| CN209979523U (zh) * | 2019-04-04 | 2020-01-21 | 杭州载力科技有限公司 | 一种自动光学检测设备 |
| CN219164832U (zh) * | 2022-12-31 | 2023-06-09 | 苏州裕融电子材料有限公司 | 一种真空气囊安装结构 |
-
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Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0422850A (ja) * | 1990-05-18 | 1992-01-27 | Hitachi Ltd | 薄板保持装置 |
| KR20130002105A (ko) * | 2011-06-28 | 2013-01-07 | 노바테크인더스트리 주식회사 | 대면적 필름의 무 기포 합지 방법 및 장치 |
| CN209979523U (zh) * | 2019-04-04 | 2020-01-21 | 杭州载力科技有限公司 | 一种自动光学检测设备 |
| CN219164832U (zh) * | 2022-12-31 | 2023-06-09 | 苏州裕融电子材料有限公司 | 一种真空气囊安装结构 |
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