CN115452058A - 微型元件自动检测机构 - Google Patents
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Abstract
本发明旨在提供一种结构紧凑自动化程度高,对位精度准确有效提高整体产线效率的微型元件自动检测机构。本发明包括底座以及依次设置在底座上的上料模组、移载模组、端面检测模组、背面检测模组以及出料模组,所述上料模组带动产品载具靠近所述移载模组,所述移载模组将元件吸附并移动至所述端面检测模组,所述端面检测模组检测元件平整度,所述移载模组再次吸附元件移动并停留至所述背面检测模组的上方,所述背面检测模组对元件背面平整度检测,检测完成后将所述移载模组调整元件位置并放在所述出料模组上。本发明应用于自动检测机构的技术领域。
Description
技术领域
本发明涉及自动检测机构的技术领域,特别涉及微型元件自动检测机构。
背景技术
随着现代技术飞速发展,半导体行业开始不断取得重大技术突破,越来越多的半导体芯片、集成电路板进入了标准化、自动化、智能化的生产时代,越来越多的自动化设备代替了原有的生产模式。微小型尺寸(1mm以下)半导体元件的外形尺寸检测,由于产品尺寸较小,需要使用高倍率相机进行检测,然而高倍率相机较短的景深,难以满足物料放置时的位置偏差,兼容性不强,极易使拍照效果达不到检测要求。同时,现有设备上大部分检测分选使用简单的吸附移载结构,配合传感器检测吸头是否进行有效的吸附操作,放置过程容易造成偏移,下一步工序中需要对产品位置重新对位,增加了工作量,影响产线效率。
如公开号为CN113426701A的一种芯片检测分选设备中,其公开一种包括运动平台、设置在运动平台上的检测模块和吸附件;芯片料盘放置包括用于放置芯片的芯片料盘;滚轮流道组件用于承接芯片载具,并使芯片夹具与所述芯片载具相分离,待芯片被吸取后芯片夹具复位;相机模组用于检测吸附件的位置和角度信息;所述检测模块用于对芯片进行检测,在检测符合要求后进行等级识别,并确定芯片和芯片料盘的位置信息;根据所述位置和角度信息,驱动所述吸附件平移吸取芯片,并将芯片放置在对应级别的所述芯片料盘上,该发明通过移载机构和吸取检测组件配合对芯片进行识别夹取,并移载至对应的载盘中,吸附移载过程中芯片造成偏移,放置时容易造成偏差,在下一步工序需要额外的工作时间进行整理,影响效率,同时无法对芯片结构优良率进行识别,需要设置额外的工序。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是克服现有技术的不足,提供一种结构紧凑自动化程度高,对位精度准确有效提高整体产线效率的微型元件自动检测机构。
本发明所采用的技术方案是:本发明包括底座以及依次设置在底座上的上料模组、移载模组、端面检测模组、背面检测模组以及出料模组,所述上料模组带动产品载具靠近所述移载模组,所述移载模组将元件吸附并移动至所述端面检测模组,所述端面检测模组检测外观缺陷和局部结构尺寸,所述移载模组再次吸附元件移动并停留至所述背面检测模组的上方,所述背面检测模组对元件背面检测外观缺陷,检测完成后将所述移载模组调整元件位置并放在所述出料模组上。
进一步,所述移载模组上还设置有上料检测模组、俯拍模组和出料检测模组,所述上料检测模组设置在所述移载模组靠近所述上料模组的一端上,所述上料检测模组对元件的位置预检测并检测元件外观缺陷,所述出料检测模组设置在所述移载模组靠近出料模组的一端,所述出料检测模组与元件的偏移量,所述俯拍模组设置在所述移载模组的中部并与所述端面检测模组定位配合。
进一步,所述上料模组包括上料Y轴驱动装置、上料X轴驱动装置、上料旋转驱动装置、夹持座以及顶针组件,所述上料Y轴驱动装置设置在所述底座上,所述上料X轴驱动装置与所述上料Y轴驱动装置的活动端固定连接,所述上料旋转驱动装置固定连接于所述上料X轴驱动装置的活动端,所述夹持座与所述上料旋转驱动装置的输出端,所述夹持座上设有第一卡扣,所述卡扣与元件载板卡合连接,所述顶针组件包括顶针Z轴驱动装置、顶针固定架、顶针调整件、顶针驱动装置以及顶针座,所述顶针Z轴驱动装置与底座固定连接,所述顶针调节件与所述顶针Z轴驱动装置的活动端相连接,所述顶针固定架设置在所述顶针调节件的活动端处,所述顶针驱动装置与所述顶针固定架相连接,所述顶针座与所述顶针固定架固定连接,所述顶针座的一端与所述顶针驱动装置滑动配合,所述顶针座设有顶针件,所述顶针件将元件顶推出元件载板。
进一步,所述移载模组包括龙门架、移载Y轴驱动装置、上料吸附部以及下料吸附部,所述龙门架设置在所述底座上,所述移载Y轴驱动装置固定连接于龙门架上,所述上料吸附部和所述下料吸附部均与所述移载Y轴驱动装置相连接,所述上料吸附部和所述下料吸附部均与所述龙门架滑动配合。
进一步,所述上料吸附部包括第一活动板、第一缓冲件、上料驱动装置、上料板以及上料吸头,所述第一活动板与所述移载Y轴驱动装置相连接并与所述龙门架滑动配合,所述第一缓冲件设置在所述第一活动板的一端,所述上料驱动装置设置在所述第一活动板的另一端,所述上料驱动装置的输出端设有第一凸轮,所述上料板与所述第一活动板滑动配合,所述第一凸轮带动所述上料板做上下往复运动,所述上料吸头与所述上料板滑动配合,所述下料吸附部包括第二活动板、第二缓冲件、下料驱动装置、下料板、下料调整装置以及下料吸头,所述第二活动板与所述移载Y轴驱动装置相连接并与所述龙门架滑动配合,所述第二缓冲件设置在所述第二活动板的一端,所述下料驱动装置设置在所述第二活动板的另一端,所述下料驱动装置的输出端设有第二凸轮,所述下料板与所述第二活动板滑动配合,所述第二凸轮带动所述下料板做上下往复运动,所述下料调整装置设置在所述下料板上,所述下料吸头与所述下料板转动配合并与所述下料调整装置的输出端相连接。
进一步,所述端面检测模组包括两组精度调整组件、吸附固定件以及两组第一工业相机,两组所述精度调整组件对称设置在所述底座的中部,所述吸附固定件设置在两组所述精度调整组件的中间,两组所述第一工业相机分别设置在两组所述精度调整组件上。
进一步,所述精度调整组件包括Y轴滑动座、X轴调整装置以及Y轴精度调节件,所述Y轴滑动座设置在所述底座上,所述X轴调整装置与所述Y轴滑动座的活动端相连接,所述Y轴精度调节件设置在所述X轴调整装置的输出端相连接,所述Y轴精度调节件的活动端与所述第一工业相机相连接。
进一步,所述背面检测模组包括第一Z轴调节件、第一Y轴调节件以及第二工业相机,所述第一Y轴调节件与所述底座固定连接,所述第一Z轴调节件与所述第一Y轴调节件的活动端相连接,所述第二工业相机固定连接在所述第一Z轴调节件的活动端。
进一步,所述出料模组包括下料Y轴驱动装置、下料X轴驱动装置以及下料固定座,所述下料Y轴驱动装置设置在所述底座上,所述下料X轴驱动装置设置在所述下料Y轴驱动装置的输出端,所述下料固定座设置在所述下料X轴驱动装置的活动端,所述下料固定座上设有若干顶压块,若干所述顶压块与产品载板卡扣配合。
进一步,还包括机架、磁吸门、空气净化器、信号灯以及控制台,所述底座设置在所述机架内,所述磁吸门设置在所述机架上,所述空气净化器和所述信号灯设置在所述机架的上端,所述控制台设置在所述机架的一侧。
本发明的有益效果是:由于本发明采用自动化结构将元件进行上料、移载和检测,整体紧凑高效,配合多个检测识别模组提高微小元件定位精准度,自动化程度高定位精准,极大缩短上下料时间,提高检测效率,节省人力成本;端面检测模组和背面检测模组对元件进行多角度检测,及使用高精度流量计对元件吸附效果进行判断,多种数据综合判定,极大提高元件检测准确度,有效降低元件检测误判率提高生产质量,进而对下一步工序工作效率有很大的提升;各模组具有良好的可调节性,运行位置可根据产品型号调整,不同检测标准可快速切换,满足对不同产品测试的兼容性,极大降低物料取放成本;采用上料检测模组、俯拍模组和出料检测模组,对元件的摆放和吸附过程中位置识别判断,通过视觉反馈实现相机自动对焦,元件位置和角度自动调整,使结构运行流程更加精简,使元件吸附移载过程具有良好的可控性,定位精准度高同时缩短设备调试周期。
附图说明
图1是本发明的结构示意图;
图2是本发明结构示意图的另一视角;
图3是本发明上料模组的结构示意图;
图4是本发明顶针组件的结构示意图;
图5是本发明移载模组的结构示意图;
图6是本发明移载模组结构示意图的另一视角;
图7是图5中A部分的局部放大图;
图8是图5中B部分的局部放大图;
图9是本发明出料模组的结构示意图;
图10是本发明吸附固定件的结构示意图;
图11是本发明精度调整组件的结构示意图;
图12是本发明背面检测模组的结构示意图;
图13是本发明整体的结构示意图。
具体实施方式
如图1至图13所示,在本实施例中,本发明包括底座1以及依次设置在底座1上的上料模组2、移载模组3、端面检测模组4、背面检测模组5以及出料模组6,所述上料模组2带动产品载具靠近所述移载模组3,所述移载模组3将元件吸附并移动至所述端面检测模组4,所述端面检测模组4检测元件外观缺陷和局部结构尺寸,所述移载模组3再次吸附元件移动并停留至所述背面检测模组5的上方,所述背面检测模组5对元件背面检测外观缺陷,检测完成后将所述移载模组3调整元件位置并放在所述出料模组6上,所述底座1上还设置有离子风机15,离子风机15吹出离子风用于除静电,防止静电污染及破坏细微电子元件,所述底座1上设置有对应与所述上料模组2、所述移载模组3、所述端面检测模组4、所述背面检测模组5以及所述出料模组6相配合的让位槽,所述出料模组6上设有两组与元件载板相配合的凹槽,两个元件载板分别为问题载板和完备载板,问题载板用于放置瑕疵元件,完备载板用于放置检测无异常的元件,所述上料模组2通过三轴运动对放置在上料模组2上的元件载板进行位置、角度调整,移动至靠近移载模组3的一侧,移载模组3将单个元件吸附并移动至端面检测模组4上方,端面检测模组4具有XY双轴调整机构对元件吸附固定后检测元件表面外观缺陷和局部结构尺寸,端面检测完后,移载模组3再次将元件进行吸附取走移动至背面检测模组5上方,背面检测模组5对元件背面进行拍照检测元件背面是否存在外观缺陷,检查元件吸附情况,若元件吸附偏移较大或真空泄漏导致吸附不稳,则反馈信号将元件放置到问题载板上,避免放置到出料模组6上偏移较大影响整个元件载板的放置精准度,提高下一步工序工作效率。采用自动化结构将元件进行上料、移载和检测,整体紧凑高效,配合多个检测识别模组提高微小元件定位精准度,自动化程度高定位精准,极大缩短上下料时间,提高检测效率,节省人力成本;并采用端面检测模组4和背面检测模组5对元件进行多角度检测,及使用高精度流量计对元件吸附效果进行判断,多种数据综合判定,极大提高元件检测准确度,有效降低元件检测误判率提高生产质量,进而对下一步工序工作效率有很大的提升。
在本实施例中,进一步,所述移载模组3上还设置有上料检测模组7、俯拍模组8和出料检测模组9,所述上料检测模组7设置在所述移载模组3靠近所述上料模组2的一端上,所述上料检测模组7对元件的位置预检测并检测元件外观缺陷,所述出料检测模组9设置在所述移载模组3靠近出料模组6的一端,所述出料检测模组9与元件的偏移量,所述俯拍模组8设置在所述移载模组3的中部并与所述端面检测模组4定位配合,所述上料检测模组7包括上料检测滑台电机、第一连接架、正面检测相机以及预扫相机,所述上料检测滑台电机固定在所述移载模组3上,所述第一连接架与所述上料检测滑台电机的活动端相连接,所述正面检测相机和所述预扫相机均与所述第一连接架固定连接,所述正面检测相机为高倍率工业相机用于检测元件正面,所述正面检测相机景深较小需要配合预扫相机和上料检测滑台电机进行视觉反馈和补偿,实现正面检测相机自动对焦,所述俯拍模组8和所述出料检测模组9结构相同均包括俯拍双轴手动调节平台、俯拍Y轴手动调节平台以及工业相机,所述双轴手动调节平台设置在所述移载模组3上,所述俯拍Y轴手动调节平台设置在所述双轴手动调节平台的活动端,所述工业相机设置在所述俯拍Y轴手动调节平台的活动端上,所述俯拍双轴手动调节平台和所述均使用千分尺旋钮进行调节,所述俯拍模组8对元件吸附位置角度拍照识别并对元件表面缺陷进行检测,进而对元件进行调整,所述出料检测模组9对元件放置位置进行检测并记录,根据物料偏移位置调整出料模组6位置。采用上料检测模组7、俯拍模组8和出料检测模组9,对元件的摆放和吸附过程中位置识别判断,通过视觉反馈实现相机自动对焦,元件位置和角度自动调整,使结构运行流程更加精简,使元件吸附移载过程具有良好的可控性,定位精准度高同时缩短设备调试周期。
在本实施例中,所述上料模组2包括上料Y轴驱动装置201、上料X轴驱动装置202、上料旋转驱动装置203、夹持座204以及顶针组件205,所述上料Y轴驱动装置201设置在所述底座1上,所述上料X轴驱动装置202与所述上料Y轴驱动装置201的活动端固定连接,所述上料旋转驱动装置203固定连接于所述上料X轴驱动装置202的活动端,所述夹持座204与所述上料旋转驱动装置203的输出端,所述夹持座204上设有第一卡扣206,所述卡扣与元件载板卡合连接,所述上料Y轴驱动装置201和所述上料X轴驱动装置202均为滑台电机,所述上料旋转驱动装置203为旋转电机,所述上料旋转驱动装置203的输出端连接有皮带,所述皮带带动所述夹持座204旋转,所述夹持座204的四角处均放置有四组光纤传感器,检测产品载板放置平整度,所述第一卡扣206通过螺丝固定在所述夹持座204上,所述第一卡扣206包括卡扣框、卡扣弹性件以及顶压件,所述卡扣框固定在所述夹持座204上,所述卡扣件通过导柱在所述卡扣框内往复运动,所述卡扣弹性件设置在所述顶压件和所述卡扣框之间,所述顶压件与元件载板顶压固定,所述顶压件上还设有便于操作人员拨动的凹槽,所述夹持座204上还设有至少两组与元件载板相配合的限位件,所述顶针组件205包括顶针Z轴驱动装置2051、顶针固定架2052、顶针调整件2053、顶针驱动装置2054以及顶针座2055,所述顶针Z轴驱动装置2051与底座1固定连接,所述顶针调整件2053与所述顶针Z轴驱动装置2051的活动端相连接,所述顶针固定架2052设置在所述顶针调整件2053的活动端处,所述顶针驱动装置2054与所述顶针固定架2052相连接,所述顶针座2055与所述顶针固定架2052固定连接,所述顶针座2055的一端与所述顶针驱动装置2054滑动配合,所述顶针座2055设有顶针件,所述顶针件将元件顶推出元件载板,所述顶针Z轴驱动装置2051为滑台电机,所述顶针调整件2053为高精度双轴手动调节平台,通过千分尺旋钮进给,作用为调整顶针与取料吸嘴的重合,所述顶针驱动装置2054为旋转电机,所述顶针驱动装置2054的输出端设有第一凸轮,所述第一凸轮与所述顶针座2055配合旋转顶升,所述顶针座2055设有与外部真空发生机构相连通的接头,所述顶针座2055对元件载板吸附后,通过顶针将元件单独推出,使元件剥离并由移载模组3吸附移载。
在本实施例中,所述移载模组3包括龙门架301、移载Y轴驱动装置302、上料吸附部303以及下料吸附部304,所述龙门架301设置在所述底座1上,所述移载Y轴驱动装置302固定连接于龙门架301上,所述上料吸附部303和所述下料吸附部304均与所述移载Y轴驱动装置302相连接,所述上料吸附部303和所述下料吸附部304均与所述龙门架301滑动配合,所述龙门架301为大理石结构,所述移载Y轴驱动装置302为无铁芯直线电机,所述龙门架301中部设有挡停件,所述挡停件使上料吸附部303和下料吸附部304分别在龙门架301的两端做往复运动,移载模组3采用上料吸附部303和下料吸附部304双工位对元件实现快速移载,上料吸附部303和下料吸附部304行进过程短进而减少移载所需要的时间,结构紧凑工作效率高。
在本实施例中,所述上料吸附部303包括第一活动板3031、第一缓冲件3032、上料驱动装置3033、上料板3034以及上料吸头3035,所述第一活动板3031与所述移载Y轴驱动装置302相连接并与所述龙门架301滑动配合,所述第一缓冲件3032设置在所述第一活动板3031的一端,所述上料驱动装置3033设置在所述第一活动板3031的另一端,所述上料驱动装置3033的输出端设有第一凸轮,所述上料板3034与所述第一活动板3031滑动配合,所述第一凸轮带动所述上料板3034做上下往复运动,所述上料吸头3035与所述上料板3034滑动配合,是,所述上料驱动装置3033为旋转电机,所述下料吸附部304包括第二活动板3041、第二缓冲件3042、下料驱动装置3043、下料板3044、下料调整装置3045以及下料吸头3046,所述第二活动板3041与所述移载Y轴驱动装置302相连接并与所述龙门架301滑动配合,所述第二缓冲件3042设置在所述第二活动板3041的一端,所述下料驱动装置3043设置在所述第二活动板3041的另一端,所述下料驱动装置3043的输出端设有第二凸轮,所述下料板3044与所述第二活动板3041滑动配合,所述第二凸轮带动所述下料板3044做上下往复运动,所述下料调整装置3045设置在所述下料板3044上,所述下料吸头3046与所述下料板3044转动配合并与所述下料调整装置3045的输出端相连接,所述第一活动板3031和所述第二活动板3041均设有测距光栅305,所述龙门架301上设有与所述测距光栅305相配合的定位块,所述上料吸头3035和所述下料吸头3046处均设有高精度流量计,通过高精度流量计准确判断元件吸附情况,同时也具有识别吸附道是否畅通的效果。采用上料吸附部303和下料吸附部304通过凸轮实现Z轴上下运动,结构简单紧凑,控制Z轴上下运动方便,实现高精度稳定取放料,且采用高精度流量计和测距光栅305,实时监测吸嘴吸附情况和X轴位置,使移载吸附过程具有良好的可控性准确性,吸附移载精准高效;上料吸附部303和下料吸附部304均采用旋转凸轮结构带动吸头上下运动,结构紧凑上下位移精准高效,有效避免吸嘴过度下压造成元件损伤。
在本实施例中,所述端面检测模组4包括两组精度调整组件401、吸附固定件402以及两组第一工业相机403,两组所述精度调整组件401对称设置在所述底座1的中部,所述吸附固定件402设置在两组所述精度调整组件401的中间,两组所述第一工业相机403分别设置在两组所述精度调整组件401上,所述吸附固定件402包括第一Y轴伸缩电机4021、第一X轴伸缩电机4022、第一旋转马达4023以及固定吸附座4024,所述第一Y轴伸缩电机4021与底座1固定连接,所述第一X轴伸缩电机4022设置在所述第一Y轴伸缩电机4021的活动端,所述第一旋转马达4023与所述第一X轴伸缩电机4022的活动端相连接,所述固定吸附座4024与所述第一旋转马达4023的活动端相连接,所述固定吸附座4024与外部真空发生机构相连通并对元件进行吸附固定。
在本实施例中,所述精度调整组件401包括Y轴滑动座4011、X轴调整装置4012以及Y轴精度调节件4013,所述Y轴滑动座4011设置在所述底座1上,所述X轴调整装置4012与所述Y轴滑动座4011的活动端相连接,所述Y轴精度调节件4013设置在所述X轴调整装置4012的输出端相连接,所述Y轴精度调节件4013的活动端与所述第一工业相机403相连接,所述Y轴滑动座4011为滑轨滑板结构用于Y轴距离的粗定位,所述X轴调整装置4012为伸缩电机用于X轴距离的粗定位,所述Y轴精度调节件4013通过千分尺旋钮调节调整相机对焦位置,对位精确度高识别精准。
在本实施例中,所述背面检测模组5包括第一Z轴调节件501、第一Y轴调节件502以及第二工业相机503,所述第一Y轴调节件502与所述底座1固定连接,所述第一Z轴调节件501与所述第一Y轴调节件502的活动端相连接,所述第二工业相机503固定连接在所述第一Z轴调节件501的活动端,所述第一Z轴调节件501和所述第一Y轴调节件502均为手动调节台。
在本实施例中,所述出料模组6包括下料Y轴驱动装置601、下料X轴驱动装置602以及下料固定座603,所述下料Y轴驱动装置601设置在所述底座1上,所述下料X轴驱动装置602设置在所述下料Y轴驱动装置601的输出端,所述下料固定座603设置在所述下料X轴驱动装置602的活动端,所述下料固定座603上设有若干顶压块,若干所述顶压块与产品载板卡扣配合,所述下料Y轴驱动装置601和所述下料X轴驱动装置602均为滑条电机,所述下料固定座603设有若干与元件载板相配合的定位,所述顶压块包括顶压架、顶压凸块、顶压弹性件,所述顶压架固定在所述下料固定座603上,所述顶压凸块通过导柱在所述顶压架中滑动配合,所述顶压弹性件设置在所述顶压凸块和所述顶压架之间,所述顶压凸块与元件载板顶压配合,元件载板通过多个定位销进行粗定位并由顶压凸块对其顶压限位固定,所述下料固定座603设有两个与元件载板相匹合的吸附槽,两个元件载板分别为问题载板和完备载板,问题载板用于放置瑕疵元件,完备载板用于放置检测无异常的元件。
在本实施例中,还包括机架10、磁吸门11、空气净化器12、信号灯13以及控制台14,所述底座1设置在所述机架10内,所述磁吸门11设置在所述机架10上,所述空气净化器12和所述信号灯13设置在所述机架10的上端,所述控制台14设置在所述机架10的一侧,磁吸门11结构便于工作人员开关,空气净化器12确保内部环境流通,降低灰尘飘落对微小元件的影响。
本发明的工作原理:
操作人员将第一卡扣206拉开元件载板放入上料模组2中,光纤传感器检测元件载板表面是否放置平整,元件载板移动至上料检测模组7检测位,上料检测模组7对元件载板上元件位置进行与扫描,计算出角度偏差进而反馈使上料模组2进行调整,每一个元件在扫描时上料检测模组7对其坐标进行定位校准,拍照定位后,移动至顶针组件205上方,顶针组件205上升吸附元件载板并使用顶针将单个元件顶出,上料吸嘴下降靠近元件并将元件吸走,随后移载模组3将元件放置到端面检测模组4中,吸附固定件402将元件吸附定位,俯拍模组8对元件的位置和角度进行就散,检测平台X、Y、R与元件位置角度进行校准,校准完后,两组第一工业相机403对元件分别对元件,对焦、拍照然后退回,端面检测完毕后下料吸嘴将元件取走并移载至背面检测模组5上方,第二工业相机503对元件背面拍照检测,获取元件信息后,旋转袖子对角度进行补偿放置在位于出料模组6的完备载板中,若检测都物料吸附偏移较大,若检测到元件吸附偏移较大,或真空泄露导致吸附不稳,则反馈信号让移载模组3将元件放置于问题载板收集。
虽然本发明的实施例是以实际方案来描述的,但是并不构成对本发明含义的限制,对于本领域的技术人员,根据本说明书对其实施方案的修改及与其他方案的组合都是显而易见的。
Claims (10)
1.微型元件自动检测机构,它包括底座(1),其特征在于:还包括依次设置在底座(1)上的上料模组(2)、移载模组(3)、端面检测模组(4)、背面检测模组(5)以及出料模组(6),所述上料模组(2)带动产品载具靠近所述移载模组(3),所述移载模组(3)将元件吸附并移动至所述端面检测模组(4),所述端面检测模组(4)检测外观缺陷和局部结构尺寸,所述移载模组(3)再次吸附元件移动并停留至所述背面检测模组(5)的上方,所述背面检测模组(5)对元件背景面外观缺陷,检测完成后将所述移载模组(3)调整元件位置并放在所述出料模组(6)上。
2.根据权利要求1所述的微型元件自动检测机构,其特征在于:所述移载模组(3)上还设置有上料检测模组(7)、俯拍模组(8)和出料检测模组(9),所述上料检测模组(7)设置在所述移载模组(3)靠近所述上料模组(2)的一端上,所述上料检测模组(7)对元件的位置预检测并检测元件外观缺陷,所述出料检测模组(9)设置在所述移载模组(3)靠近出料模组(6)的一端,所述出料检测模组(9)与元件的偏移量,所述俯拍模组(8)设置在所述移载模组(3)的中部并与所述端面检测模组(4)定位配合。
3.根据权利要求1所述的微型元件自动检测机构,其特征在于:所述上料模组(2)包括上料Y轴驱动装置(201)、上料X轴驱动装置(202)、上料旋转驱动装置(203)、夹持座(204)以及顶针组件(205),所述上料Y轴驱动装置(201)设置在所述底座(1)上,所述上料X轴驱动装置(202)与所述上料Y轴驱动装置(201)的活动端固定连接,所述上料旋转驱动装置(203)固定连接于所述上料X轴驱动装置(202)的活动端,所述夹持座(204)与所述上料旋转驱动装置(203)的输出端,所述夹持座(204)上设有第一卡扣(206),所述第一卡扣(206)与元件载板卡合连接,所述顶针组件(205)包括顶针Z轴驱动装置(2051)、顶针固定架(2052)、顶针调整件(2053)、顶针驱动装置(2054)以及顶针座(2055),所述顶针Z轴驱动装置(2051)与底座(1)固定连接,所述顶针调整件(2053)与所述顶针Z轴驱动装置(2051)的活动端相连接,所述顶针固定架(2052)设置在所述顶针调整件(2053)的活动端处,所述顶针驱动装置(2054)与所述顶针固定架(2052)相连接,所述顶针座(2055)与所述顶针固定架(2052)固定连接,所述顶针座(2055)的一端与所述顶针驱动装置(2054)滑动配合,所述顶针座(2055)设有顶针件,所述顶针件将元件顶推出元件载板。
4.根据权利要求1所述的微型元件自动检测机构,其特征在于:所述移载模组(3)包括龙门架(301)、移载Y轴驱动装置(302)、上料吸附部(303)以及下料吸附部(304),所述龙门架(301)设置在所述底座(1)上,所述移载Y轴驱动装置(302)固定连接于龙门架(301)上,所述上料吸附部(303)和所述下料吸附部(304)均与所述移载Y轴驱动装置(302)相连接,所述上料吸附部(303)和所述下料吸附部(304)均与所述龙门架(301)滑动配合。
5.根据权利要求4所述的微型元件自动检测机构,其特征在于:所述上料吸附部(303)包括第一活动板(3031)、第一缓冲件(3032)、上料驱动装置(3033)、上料板(3034)以及上料吸头(3035),所述第一活动板(3031)与所述移载Y轴驱动装置(302)相连接并与所述龙门架(301)滑动配合,所述第一缓冲件(3032)设置在所述第一活动板(3031)的一端,所述上料驱动装置(3033)设置在所述第一活动板(3031)的另一端,所述上料驱动装置(3033)的输出端设有第一凸轮,所述上料板(3034)与所述第一活动板(3031)滑动配合,所述第一凸轮带动所述上料板(3034)做上下往复运动,所述上料吸头(3035)与所述上料板(3034)滑动配合,所述下料吸附部(304)包括第二活动板(3041)、第二缓冲件(3042)、下料驱动装置(3043)、下料板(3044)、下料调整装置(3045)以及下料吸头(3046),所述第二活动板(3041)与所述移载Y轴驱动装置(302)相连接并与所述龙门架(301)滑动配合,所述第二缓冲件(3042)设置在所述第二活动板(3041)的一端,所述下料驱动装置(3043)设置在所述第二活动板(3041)的另一端,所述下料驱动装置(3043)的输出端设有第二凸轮,所述下料板(3044)与所述第二活动板(3041)滑动配合,所述第二凸轮带动所述下料板(3044)做上下往复运动,所述下料调整装置(3045)设置在所述下料板(3044)上,所述下料吸头(3046)与所述下料板(3044)转动配合并与所述下料调整装置(3045)的输出端相连接。
6.根据权利要求1所述的微型元件自动检测机构,其特征在于:所述端面检测模组(4)包括两组精度调整组件(401)、吸附固定件(402)以及两组第一工业相机(403),两组所述精度调整组件(401)对称设置在所述底座(1)的中部,所述吸附固定件(402)设置在两组所述精度调整组件(401)的中间,两组所述第一工业相机(403)分别设置在两组所述精度调整组件(401)上。
7.根据权利要求6所述的微型元件自动检测机构,其特征在于:所述精度调整组件(401)包括Y轴滑动座(4011)、X轴调整装置(4012)以及Y轴精度调节件(4013),所述Y轴滑动座(4011)设置在所述底座(1)上,所述X轴调整装置(4012)与所述Y轴滑动座(4011)的活动端相连接,所述Y轴精度调节件(4013)设置在所述X轴调整装置(4012)的输出端相连接,所述Y轴精度调节件(4013)的活动端与所述第一工业相机(403)相连接。
8.根据权利要求1所述的微型元件自动检测机构,其特征在于:所述背面检测模组(5)包括第一Z轴调节件(501)、第一Y轴调节件(502)以及第二工业相机(503),所述第一Y轴调节件(502)与所述底座(1)固定连接,所述第一Z轴调节件(501)与所述第一Y轴调节件(502)的活动端相连接,所述第二工业相机(503)固定连接在所述第一Z轴调节件(501)的活动端。
9.根据权利要求1所述的微型元件自动检测机构,其特征在于:所述出料模组(6)包括下料Y轴驱动装置(601)、下料X轴驱动装置(602)以及下料固定座(603),所述下料Y轴驱动装置(601)设置在所述底座(1)上,所述下料X轴驱动装置(602)设置在所述下料Y轴驱动装置(601)的输出端,所述下料固定座(603)设置在所述下料X轴驱动装置(602)的活动端,所述下料固定座(603)上设有若干顶压块(604),若干所述顶压块(604)与产品载板卡扣配合。
10.根据权利要求1所述的微型元件自动检测机构,其特征在于:它还包括机架(10)、磁吸门(11)、空气净化器(12)、信号灯(13)以及控制台(14),所述底座(1)设置在所述机架(10)内,所述磁吸门(11)设置在所述机架(10)上,所述空气净化器(12)和所述信号灯(13)设置在所述机架(10)的上端,所述控制台(14)设置在所述机架(10)的一侧。
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