CN116913796A - 一种芯片转台检测机构 - Google Patents

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Abstract

本发明旨在提供一种针对微小型储存芯片吸附定位精准度，同时满足芯片多角度外形检测的芯片转台检测机构。本发明包括底板、若干组载台模组以及设置在所述底板上的若干组端面检测模组、转台模组、若干吸附头以及检测相机模组，所述转台模组固定连接于所述底板上，若干组所述载台模组均设置于所述转台模组上，若干所述吸附头对应与若干组所述载台模组相连接，所述转台模组带动若干组所述载台模组转动，所述端面检测模组对应与一组所述载台模组，所述载台模组根据所述检测相机模组检测结果旋转所述吸附头调整芯片位置。本发明应用于转台检测机构的技术领域。

Description

一种芯片转台检测机构
技术领域
本发明涉及转台检测机构的技术领域,特别涉及一种芯片转台检测机构。
背景技术
微小型储存芯片1mm以下的外形尺寸、外观检测，是芯片生产流程中重要的一环。由于微小型芯片外形较小，现有微小芯片自动化测试设备，通过单工位检测作业方式效率低下，无法满足客户的大批量生产需求。并且设备需要在恒温恒湿的洁净室内作业，当前设备占地尺寸大，芯片生产厂家需花费巨额费用搭建生产场地。对于尺寸较小的芯片，无法做到取料时对吸嘴下压高度精确控制，且多次重复吸起调整位置容易对芯片造成压伤或损害，对于部分有压力要求的芯片无法使用此类结构。
公开号为CN214767030U的中国专利，一种半导体芯片主动上料双工位检测装置公开包括平台板，平台板的顶部外壁焊接有支架，支架的顶端焊接有横梁，横梁的顶部外壁通过螺栓固定安装有步进电机，步进电机的输出轴通过转杆传动连接有转盘，转盘的侧壁侧环形等距离焊接有若干个转臂，转臂远离转盘的一端顶部外壁通过螺栓固定安装有伸缩杆，伸缩杆的底端通过螺栓固定安装有吸盘爪，平台板的顶部外壁设置有分类盒，分类盒的内壁之间通过转杆转动连接有导向板，平台板的一侧内壁转动连接有液压缸，通过步进电机带动转杆转盘旋转，吸盘爪将芯片吸附移载到芯片检测盒中，移动方式外形较大方便吸附的芯片能提升检测效率，该技术方案难以满足体型较小的微小型储存芯片对吸附力度和定位精准度较高的要求。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种针对微小型储存芯片吸附定位精准度，同时满足芯片多角度外形检测的芯片转台检测机构。
本发明所采用的技术方案是：本发明包括底板、若干组带有旋转机构的载台模组以及设置在所述底板上的若干组端面检测模组、转台模组、若干吸附头以及检测相机模组，所述转台模组固定连接于所述底板上，若干组所述载台模组均设置于所述转台模组上，若干所述吸附头对应与若干组所述载台模组相连接，所述转台模组带动若干组所述载台模组转动，所述端面检测模组对应与一组所述载台模组，所述检测相机模组对应与一组所述载台模组配合检测定位，所述载台模组根据所述检测相机模组检测结果旋转所述吸附头调整芯片位置。
进一步，所述转台模组的周边还设有废料拾取模组以及两组仰拍模组，所述废料拾取模组以及两组所述仰拍模组均设置于所述转台模组的周边，两组所述仰拍模组设于所述检测相机模组的两侧，所述废料拾取模组设于所述检测相机模组的一侧并吸附缺陷产品。
进一步，所述端面检测模组包括XYZ三轴调节座、端面固定件以及端面检测相机，所述XYZ三轴调节座与所述底板固定连接，所述端面固定件与所述XYZ三轴调节座的活动端相连接，所述端面检测相机通过所述端面固定件与所述XYZ三轴调节座相连接并位于所述转台模组的上方。
进一步，所述XYZ三轴调节座包括固定块、第一X轴调节件、第一Z轴调节件、连接座以及第一Y轴调节件，所述固定块与所述底板固定连接，所述第一X轴调节件与所述固定块相连接，所述第一Z轴调节件与所述第一X轴调节件相连接，所述连接座与所述第一Z轴调节件的活动端相连接，所述第一Y轴调节件与所述连接座的上端相连接，所述第一Y轴调节件与所述端面固定件固定连接。
进一步，所述载台模组包括载台X轴调节装置、载台Y轴调节装置、载台旋转调节装置以及吸附头，所述载台X轴调节装置与所述转台模组相连接，所述载台Y轴调节装置与所述载台X轴调节装置的活动端相连接，所述载台旋转调节装置设置于所述载台X轴调节装置的活动端，所述吸附头设于所述载台旋转调节装置的活动端并与外部真空发生装置相连通。
进一步，所述吸附头呈锥形状，所述吸附头内设有通孔，所述通孔与外部负压发生装置相连通。
进一步，所述废料拾取模组包括拾取架、拾取驱动装置、摆臂以及吸头，所述拾取架与所述底板固定连接，所述拾取驱动装置与所述拾取架的上部相连接，所述摆臂与所述拾取驱动装置的活动端相连接，所述吸头设置于所述摆臂的一端并与外部负压发生装置相连接。
进一步，所述摆臂设有凸块和伸出件，所述伸出件与所述拾取驱动装置的活动端相连接，所述伸出件通过螺丝与所述凸块固定连接，所述拾取驱动装置的两侧分别设有缓冲件，两组所述缓冲件对应与所述凸块限位配合。
进一步，所述检测相机模组包括固定座、检测调节座、定位块以及到位检测相机，所述固定座与所述底板固定连接，所述定位块与所述检测调节座的活动端相连接，所述到位检测相机与所述定位块夹紧配合。
进一步，所述仰拍模组包括仰拍定位座、连接块、仰拍相机以及吸料管，所述仰拍定位座与所述底板固定连接，所述连接块设置于所述仰拍定位座的活动端，所述仰拍相机与所述连接块夹紧配合，所述吸料管通过夹紧块与所述仰拍相机的一端相连接，所述吸料管的一端与外部负压发生装置相连接。
本发明的有益效果是：由于本发明在端面检测模组、载台模组、检测相机模组和两组仰拍模组中均设有手动微调装置，可根据不同的产品型号进行适应性调节，以满足多样化的产线需求，有效减少更换相应模组检测相应产品的情况，整体机构紧凑有效，需要的安装空间小，且通过多组检测相机分别对产品各个方位端面检测，提高外观检测实验有效性，在仰拍模组和废料拾取模组与外部废料存留部相连通，对于残次产品能第一时间排出筛选，减少人工干预提高，进一步降低人工成本，多组载台模组均匀设于转台模组中，当一组芯片完成上料检测并调节检测角度后，转台模组使其移载进入上料工位，下一组载台模组搭在吸附头继续配合外部芯片移载机构上料检测，多工位同步完成检测和上料流程，提升芯片检测效率。
附图说明
图1是本发明的结构示意图；
图2是本发明结构示意图的另一视角；
图3是本发明端面检测模组的结构示意图；
图4是本发明端面检测模组结构示意图的另一视角；
图5是本发明转台模组和载台模组的结构示意图；
图6是本发明废料拾取模组的结构示意图；
图7是本发明检测相机模组的结构示意图；
图8是本发明仰拍模组的结构示意图。
实施方式
如图1至图8所示，在本实施例中，本发明包括底板1、若干组载台模组2以及设置在所述底板1上的若干组端面检测模组3、转台模组4、若干吸附头8以及检测相机模组5，所述转台模组4固定连接于所述底板1上，若干组所述载台模组2均设置于所述转台模组4上，若干所述吸附头8对应与若干组所述载台模组2相连接，所述转台模组4带动若干组所述载台模组2转动，所述端面检测模组3对应与一组所述载台模组2，所述检测相机模组5对应与一组所述载台模组2配合检测定位，所述载台模组2根据所述检测相机模组5检测结果旋转所述吸附头8调整芯片位置，转台模组4包括旋转电机以及放置板，旋转电机固定在底板1上，放置板设置于旋转电机的输出端，两组载台模组2对称设置放置板上，旋转电机的旋转角度为0-180度，两组端面检测模组3的端面检测相机33位于放置板上方并且位于放置板中轴线处，位于检测相机模组5两侧的仰拍模组7分别用于上料检测和下料检测，载台模组2对产品吸附定位，检测相机模组5对产品外观和到位情况拍照记录并传输至外部控制机构，位于载台模组2正上方的外部工业相机对产品细节拍照检测，此时若发现产品外观部分有缺陷，废料拾取模组6将位于载台模组2中的产品吸走至外部废料存留部，外观无缺陷的物料在旋转电机旋转180度使上料工位处的载台模组2移动至两组端面检测模组3之间，两组端面检测相机33分别对产品前后两个端面对焦拍照，完成拍照后旋转电机旋转180度复位，将产品移回上下料工位，外部移载装置重新吸起产品并经过下料位一侧的仰拍模组7，仰拍模组7对产品背面的尺寸和外观进行检测，判定产品位置或有缺陷，外部移载装置将产品移入吸料管74中排出至废料存留部，在端面检测模组3、载台模组2、检测相机模组5和两组仰拍模组7中均设有手动微调装置，可根据不同的产品型号进行适应性调节，以满足多样化的产线需求，有效减少更换相应模组检测相应产品的情况，整体机构紧凑有效，需要的安装空间小，且通过多组检测相机分别对产品各个方位端面检测，提高外观检测实验有效性，在仰拍模组7和废料拾取模组6与外部废料存留部相连通，对于残次产品能第一时间排出筛选，减少人工干预提高，进一步降低人工成本。
在本实施例中，所述转台模组4的周边还设有废料拾取模组6以及两组仰拍模组7，所述废料拾取模组6以及两组所述仰拍模组7均设置于所述转台模组4的周边，两组所述仰拍模组7设于所述检测相机模组5的两侧，所述废料拾取模组6设于所述检测相机模组5的一侧并吸附缺陷产品，在仰拍模组7处设有吸料管74，外部移载装置吸附移载产品经过上料区域的仰拍模组7上方，仰拍模组7对产品下端面拍照检测，若检测合格则将产品放入载台模组2，若产品为残次件外部移载装置将产品放入吸料管74中，吸料管74吸走产品统一放置到外部废料存留部。
在本实施例中，所述端面检测模组3包括XYZ三轴调节座31、端面固定件32以及端面检测相机33，所述XYZ三轴调节座31与所述底板1固定连接，所述端面固定件32与所述XYZ三轴调节座31的活动端相连接，所述端面检测相机33通过所述端面固定件32与所述XYZ三轴调节座31相连接并位于所述转台模组4的上方，端面固定件32设有第一固定位和第二固定位，第一固定位与端面检测相机33的上部控制部份通过螺丝锁紧，第二固定位与端面检测相机33的下部镜头位通过螺丝锁紧，两点定位稳定有效，减少测试过程中端面检测相机33受外部震动影响导致位置偏移，影响检测效果。
在本实施例中，所述XYZ三轴调节座31包括固定块311、第一X轴调节件312、第一Z轴调节件313、连接座314以及第一Y轴调节件315，所述固定块311与所述底板1固定连接，所述第一X轴调节件312与所述固定块311相连接，所述第一Z轴调节件313与所述第一X轴调节件312相连接，所述连接座314与所述第一Z轴调节件313的活动端相连接，所述第一Y轴调节件315与所述连接座314的上端相连接，所述第一Y轴调节件315与所述端面固定件32固定连接，第一X轴调节件312、第一Z轴调节和第一Y轴调节件315均为手动微调平台，通过旋钮调节螺纹分别对XYZ三轴的位置进行调节，使用时调节方便，同时调节后不易移动稳定性高。
在本实施例中，所述载台模组2包括载台X轴调节装置21、载台Y轴调节装置22以及载台旋转调节装置23，所述载台X轴调节装置21与所述转台模组4相连接，所述载台Y轴调节装置22与所述载台X轴调节装置21的活动端相连接，所述载台旋转调节装置23设置于所述载台X轴调节装置21的活动端，所述吸附头8设于所述载台旋转调节装置23的活动端并与外部真空发生装置相连通，载台X轴调节装置21和载台Y轴调节装置22分别为手动调节装置，可通过旋钮在X轴和Y轴方向微调，便于使用多种不同型号产品放置位置，载台旋转调节装置23为旋转电机，根据相机拍照结构，产品端面若未对准检测相机载台旋转调节装置23旋转一定角度校正产品位置。
在本实施例中，所述吸附头8呈锥形状，所述吸附头8内设有通孔，所述通孔与外部负压发生装置相连通，吸附头8的上端设有支撑面，产品放置在支撑面上，通孔负压吸附产品定位与支撑面上端。
在本实施例中，所述废料拾取模组6包括拾取架61、拾取驱动装置62、摆臂63以及吸头64，所述拾取架61与所述底板1固定连接，所述拾取驱动装置62与所述拾取架61的上部相连接，所述摆臂63与所述拾取驱动装置62的活动端相连接，所述吸头64设置于所述摆臂63的一端并与外部负压发生装置相连接，拾取驱动装置52为旋转电机，吸附残次产品时，拾取驱动装置52旋转180度使吸头54靠近位于载台模组2上的产品，吸头54处产生负压将产品吸走。
在本实施例中，所述摆臂63设有凸块65和伸出件66，所述伸出件66与所述拾取驱动装置62的活动端相连接，所述伸出件66通过螺丝与所述凸块65固定连接，所述拾取驱动装置62的两侧分别设有缓冲件，两组所述缓冲件对应与所述凸块65限位配合，两组缓冲件为弹性缓冲柱，内部设有弹簧，摆动使缓冲件与凸块65接触并通过弹性减缓，避免发生刚性碰撞延长使用寿命。
在本实施例中，所述检测相机模组5包括固定座51、检测调节座52、定位块53以及到位检测相机54，所述固定座51与所述底板1固定连接，所述定位块53与所述检测调节座52的活动端相连接，所述到位检测相机54与所述定位块53夹紧配合，检测调节座52可实现手动Z轴方向微调，通过旋钮调节到位检测相机53Z轴位置，确保产品到位后到位检测相机53能准确无误拍摄到整个产品。
在本实施例中，所述仰拍模组7包括仰拍定位座71、连接块72、仰拍相机73以及吸料管74，所述仰拍定位座71与所述底板1固定连接，所述连接块72设置于所述仰拍定位座71的活动端，所述仰拍相机73与所述连接块72夹紧配合，所述吸料管74通过夹紧块75与所述仰拍相机73的一端相连接，所述吸料管74的一端与外部负压发生装置相连接，仰拍定位座71设有Z轴手动调节座，工作人员可根据旋钮调节仰拍相机73高度位置，方便检测对焦，吸料管74的上端呈漏斗状，方便外部移载装置将残次产品放入吸料管74中。
本发明的工作原理：
外部移载装置吸附移载产品经过上料区域的仰拍模组7上方，仰拍模组7对产品下端面拍照检测，若检测合格则将产品放入载台模组2，若产品为残次件外部移载装置将产品放入吸料管74中，吸料管74吸走产品统一放置到外部废料存留部，载台模组2对产品吸附定位，检测相机模组5对产品外观和到位情况拍照记录并传输至外部控制机构，检测相机模组5同时会检测芯片落位情况，载台模组调整芯片角度坐标，位于载台模组2正上方的外部工业相机节对产品细拍照检测，此时若发现产品外观部分有缺陷，废料拾取模组6将位于载台模组2中的产品吸走至外部废料存留部，外观无缺陷的物料在旋转电机旋转180度使上料工位处的载台模组2移动至两组端面检测模组3之间，于此同时，另一组没有吸附产品的吸附台8位于吸附工位，实施检测上料操作，两组端面检测相机33分别对产品前后两个端面对焦拍照，完成拍照后旋转电机旋转180度复位，将产品移回上下料工位，外部移载装置重新吸起产品并经过下料位一侧的仰拍模组7，仰拍模组7对产品背面的尺寸和外观进行检测，判定产品位置或有缺陷，外部移载装置将产品移入吸料管74中排出至废料存留部。
虽然本发明的实施例是以实际方案来描述的，但是并不构成对本发明含义的限制，对于本领域的技术人员，根据本说明书对其实施方案的修改及与其他方案的组合都是显而易见的。

Claims (10)

1.一种芯片转台检测机构，它包括底板（1），其特征在于：所述芯片转台检测机构还包括若干组带有旋转机构的载台模组（2）以及设置在所述底板（1）上的若干组端面检测模组（3）、转台模组（4）、若干吸附头（8）以及检测相机模组（5），所述转台模组（4）固定连接于所述底板（1）上，若干组所述载台模组（2）均设置于所述转台模组（4）上，若干所述吸附头（8）对应与若干组所述载台模组（2）相连接，所述转台模组（4）带动若干组所述载台模组（2）转动，所述端面检测模组（3）对应与一组所述载台模组（2）对芯片检测，所述检测相机模组（5）对应与一组所述载台模组（2）配合检测定位，所述载台模组（2）根据所述检测相机模组（5）检测结果旋转所述吸附头（8）调整芯片位置。
2.根据权利要求1所述的一种芯片转台检测机构，其特征在于：所述转台模组（4）的周边还设有废料拾取模组（6）以及两组仰拍模组（7），所述废料拾取模组（6）以及两组所述仰拍模组（7）均设置于所述转台模组（4）的周边，两组所述仰拍模组（7）设于所述检测相机模组（5）的两侧，所述废料拾取模组（6）设于所述检测相机模组（5）的一侧并吸附缺陷产品。
3.根据权利要求1所述的一种芯片转台检测机构，其特征在于：所述端面检测模组（3）包括XYZ三轴调节座（31）、端面固定件（32）以及端面检测相机（33），所述XYZ三轴调节座（31）与所述底板（1）固定连接，所述端面固定件（32）与所述XYZ三轴调节座（31）的活动端相连接，所述端面检测相机（33）通过所述端面固定件（32）与所述XYZ三轴调节座（31）相连接并位于所述转台模组（4）的上方。
4.根据权利要求3所述的一种芯片转台检测机构，其特征在于：所述XYZ三轴调节座（31）包括固定块（311）、第一X轴调节件（312）、第一Z轴调节件（313）、连接座（314）以及第一Y轴调节件（315），所述固定块（311）与所述底板（1）固定连接，所述第一X轴调节件（312）与所述固定块（311）相连接，所述第一Z轴调节件（313）与所述第一X轴调节件（312）相连接，所述连接座（314）与所述第一Z轴调节件（313）的活动端相连接，所述第一Y轴调节件（315）与所述连接座（314）的上端相连接，所述第一Y轴调节件（315）与所述端面固定件（32）固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种芯片转台检测机构，其特征在于：所述载台模组（2）包括载台X轴调节装置（21）、载台Y轴调节装置（22）以及载台旋转调节装置（23），所述载台X轴调节装置（21）与所述转台模组（4）相连接，所述载台Y轴调节装置（22）与所述载台X轴调节装置（21）的活动端相连接，所述载台旋转调节装置（23）设置于所述载台X轴调节装置（21）的活动端，所述吸附头（8）设于所述载台旋转调节装置（23）的活动端并与外部真空发生装置相连通。
6.根据权利要求1所述的一种芯片转台检测机构，其特征在于：所述吸附头（8）呈锥形状，所述吸附头（8）内设有通孔，所述通孔与外部负压发生装置相连通。
7.根据权利要求2所述的一种芯片转台检测机构，其特征在于：所述废料拾取模组（6）包括拾取架（61）、拾取驱动装置（62）、摆臂（63）以及吸头（64），所述拾取架（61）与所述底板（1）固定连接，所述拾取驱动装置（62）与所述拾取架（61）的上部相连接，所述摆臂（63）与所述拾取驱动装置（62）的活动端相连接，所述吸头（64）设置于所述摆臂（63）的一端并与外部负压发生装置相连接。
8.权利要求7所述的一种芯片转台检测机构，其特征在于：所述摆臂（63）设有凸块（65）和伸出件（66），所述伸出件（66）与所述拾取驱动装置（62）的活动端相连接，所述伸出件（66）通过螺丝与所述凸块（65）固定连接，所述拾取驱动装置（62）的两侧分别设有缓冲件，两组所述缓冲件对应与所述凸块（65）限位配合。
9.权利要求1所述的一种芯片转台检测机构，其特征在于：所述检测相机模组（5）包括固定座（51）、检测调节座（52）、定位块（53）以及到位检测相机（54），所述固定座（51）与所述底板（1）固定连接，所述定位块（53）与所述检测调节座（52）的活动端相连接，所述到位检测相机（54）与所述定位块（53）夹紧配合。
10.利要求2所述的一种芯片转台检测机构，其特征在于：所述仰拍模组（7）包括仰拍定位座（71）、连接块（72）、仰拍相机（73）以及吸料管（74），所述仰拍定位座（71）与所述底板（1）固定连接，所述连接块（72）设置于所述仰拍定位座（71）的活动端，所述仰拍相机（73）与所述连接块（72）夹紧配合，所述吸料管（74）通过夹紧块（75）与所述仰拍相机（73）的一端相连接，所述吸料管（74）的一端与外部负压发生装置相连接。
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