CN112903699B - 一种巴条自动镜检设备 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种巴条自动镜检设备，其包括工作载台，工作载台上设置有上料Tray盘、第一上下料组件、第二上下料组件和相机检测组件，工作载台上还设置有Tray盘移载组件和第二上下料组件移动装置，上料Tray盘用于存放待测巴条；第一上下料组件用于拿取待测巴条，并将检测后的巴条放回上料Tray盘；第二上下料组件用于拿取第一上下料组件上的待测巴条，将其转移至相机检测组件的检测区域；及将检测后的巴条转移至第一上下料组件；相机检测组件用于对待测巴条进行检测；Tray盘移载组件用于驱使上料Tray盘移动，以使上料Tray盘上的待测巴条到达第一上下料组件的拿取区域。其具有提高巴条检测效率，适于大规模生产巴条的效果。

Description

一种巴条自动镜检设备

技术领域

本申请涉及激光巴条外观检测的技术领域，具体涉及一种巴条自动镜检设备。

背景技术

在激光半导体行业中，将晶圆被解离为巴条后，需要对巴条进行严格的外观检查，主要对P面、AR面和HR面(其中P面为巴条的侧面，AR面与HR面为巴条的端面)的破损以及污染情况进行检查。

目前的生产过程中，一般采用人工来完成外观检测工作，但检测工作的劳动强度大，容易引起视觉疲劳，导致检测效率低下，不易实现大规模生产。

发明内容

因此，本申请的目的是提供一种巴条自动镜检设备，其具有提高巴条检查效率的效果，本申请的技术方案如下：

一种巴条自动镜检设备，包括工作载台，所述工作载台上设置有上料Tray盘、第一上下料组件、第二上下料组件和相机检测组件，工作载台上还设置有用于带动上料Tray盘移动的Tray盘移载组件和用于带动第二上下料组件移动的第二上下料组件移动装置，其中：

上料Tray盘，用于存放若干个待测巴条；

第一上下料组件，用于拿取上料Tray盘中的待测巴条，并将检测后的巴条放回至上料Tray盘；

第二上下料组件，用于拿取第一上下料组件上的待测巴条，并在第二上下料组件移动装置的作用下，将其转移至相机检测组件的检测区域；及

在第二上下料组件移动装置的作用下，将相机检测组件检测后的巴条转移至第一上下料组件；

相机检测组件，用于对第二上下料组件转移来的待测巴条的P面、AR面和HR面进行检测；

Tray盘移载组件，用于驱使上料Tray盘沿水平方向移动，以使上料Tray盘上的待测巴条到达第一上下料组件的拿取区域。

进一步的，所述相机检测组件包括设置在工作载台上的两个XYZ三轴滑台，每个所述XYZ三轴滑台上均设置有端面检测相机组件，两个所述端面检测相机组件均沿水平方向设置，且两个端面检测相机组件的轴线重合，两个端面检测相机组件分别用于检测巴条的HR面和AR面，所述工作载台上沿竖直方向设有第一连接轴，所述第一连接轴的侧面安装有P面检测相机组件，所述P面检测相机组件的轴线沿竖直方向设置，P面检测相机组件的轴线与两个端面检测相机组件的连线交汇于一点，P面检测相机组件用于检测巴条的P面。

进一步的，所述第一上下料组件包括设置在工作载台上的气缸，所述气缸沿竖直方向设置，且气缸的活塞杆上设置有吸盘固定座，所述吸盘固定座的底面上设置有第一吸盘。

进一步的，所述工作载台上设置有第二连接轴，所述第二连接轴的侧面设置有字符识别相机组件，所述字符识别相机组件的镜头朝下设置，字符识别相机组件用于识别巴条的wafer号。

进一步的，所述第二上下料组件移动装置包括Y轴运动组件、X轴运动组件以及Z轴和R轴运动组件，所述Y轴运动组件用于带动X轴运动组件沿Y轴方向滑移，所述X轴运动组件用于带动Z轴和R轴运动组件沿X轴方向滑移，所述Z轴和R轴运动组件用于带动第二上下料组件沿Z轴方向滑移或绕Z轴转动。

进一步的，所述Y轴运动组件包括设置在工作载台上的两个第一固定座，两个所述第一固定座的长度方向均平行于工作载台的宽度方向，所述第一固定座的顶面上沿自身长度方向设置有第一滑轨，所述第一滑轨上均滑动架设有支撑连接板，所述支撑连接板用于安装X轴运动组件，所述第一固定座上还设有用于驱使支撑连接板移动的第一直线电机和第一拖链组件。

进一步的，所述X轴运动组件包括第二固定座，所述第二固定座与两个支撑连接板连接，第二固定座上设置有第二滑轨，所述第二滑轨的长度方向垂直于第一滑轨的长度方向，所述第二滑轨上滑动架设有Z轴连接板，所述Z轴连接板用于安装Z轴和R轴运动组件，所述第二固定座上还设有用于驱使Z轴连接板移动的第二直线电机和第二拖链组件。

进一步的，所述第一固定座上设置有光栅尺，所述光栅尺用于测量Z轴连接板的移动距离。

进一步的，所述Z轴和R轴运动组件包括沿竖直方向设置的丝杆模组，所述丝杆模组设置在Z轴连接板上，丝杆模组上连接有DD马达，丝杆模组用于带动DD马达沿竖直方向滑移，所述DD马达的转动轴线沿竖直方向设置，所述第二上下料组件设置在DD马达上。

进一步的，所述第二上下料组件包括设置在DD马达上的吸盘固定杆，所述吸盘固定杆的顶面上设置有吸附座。

进一步的，所述工作载台上设置有第一Tray盘和第二Tray盘，所述第一Tray盘和第二Tray盘分别用于摆放检测结果NG和检测结果OK的巴条，所述吸盘固定杆的底面上还设置有第二吸盘，所述第二吸盘用于拿取上料Tray盘中检测完成的巴条，并将其分类放入第一Tray盘或第二Tray盘中。

进一步的，所述Tray盘移载组件包括第三滑轨和滑动架设在第三滑轨上的X轴滑座，所述第三滑轨上设置有用于推动X轴滑座滑动的第一电缸和第三拖链组件，所述X轴滑座上设置有第四滑轨，所述第四滑轨的长度方向垂直于第三滑轨的长度方向，所述第四滑轨上滑动设置有用于承载上料Tray盘的Y轴滑座，所述第四滑轨上设置有用于推动Y轴滑座滑动的第二电缸和第四拖链组件。

本申请的技术方案，具有如下优点：

1.本申请提供的一种巴条自动镜检设备，Tray盘移载组件带动上料Tray盘移动，将待检测的巴条转移至第一上下料组件正下方，方便第一上下料组件将上料Tray盘中的巴条取出。第二上下料组件移动装置带动第二上下料组件在第一上下料组件与相机检测组件之间往返移动。第二上下料组件首先将第一上下料组件取出的巴条转移至相机检测组件处，由相机检测组件对巴条的P面、AR面和HR面进行破损以及污染检测；检测完成后，第二上下料组件再带动检测完成的巴条转移至第一上下料组件处，由第一上下料组件将检测完成的巴条分类放回上料Tray盘。此方案中，利用第一上下料组件和第二上下料组件抓取巴条移动，并由相机检测组件对巴条进行破损及污损检测，不需要操作人员对巴条逐一识别检测，提高了对巴条的检测效率，从而适于大规模生产巴条。

2.本申请提供的一种巴条自动镜检设备，在两个XYZ滑台上设置端面检测相机组件，当巴条被送至两个端面检测相机组件之间时，端面检测相机组件可以对巴条的两个端面进行破损及污损检测。在第一连接轴上安装有一个P面检测相机组件，P面检测相机组件的镜头朝下设置，当巴条被送至两个端面检测相机组件之间时，P面检测相机组件可以同时对巴条的P面进行检测。

3.本申请提供的一种巴条自动镜检设备，气缸运行时，带动吸盘固定座沿竖直方向滑移，当吸盘固定座向下滑移至上料Tray盘时，第一吸盘可以将上料Tray盘中的待检测巴条吸起。随后气缸运行，即可将待检测巴条提起。当检测完成后，气缸还可以带动吸盘固定座向下滑动，此时关闭第一吸盘，即可将检测完成后的巴条放回上料Tray盘中。

4.本申请提供的一种巴条自动镜检设备，字符识别相机组件可以用于识别巴条上的wafer号，记录各个巴条属于哪个wafer，从而方便工作人员判断各个wafer中的不合格巴条数量。

5.本申请提供的一种巴条自动镜检设备，当第一直线电机运行时，可以带动支撑连接板沿第一滑轨的长度方向滑移，从而带动X轴运动组件沿第一滑轨的长度方向滑移。

6.本申请提供的一种巴条自动镜检设备，当第二直线电机运行时，可以带动Z轴连接板沿第二滑轨的长度方向滑移，从而带动Z轴和R轴运动组件沿第二滑轨的长度方向滑移。

7.本申请提供的一种巴条自动镜检设备，在第一固定座上设置光栅尺，可以对Z轴连接板的滑移距离进行测量，利用光栅尺测得的数据控制X轴运动组件、Y轴运动组件运行，可以提高Z轴连接板在水平方向移动的精度。

8.本申请提供的一种巴条自动镜检设备，当丝杆模组运行时，可以带动DD马达沿竖直方向滑移。DD马达上安装有第二上下料组件，DD马达沿竖直方向滑移时，还可以带动第二上下料组件沿竖直方向滑移。同时，DD马达旋转时，可以带动第二上下料组件在水平面上转动，从而将第二上下料组件拿取的巴条准确放入相机检测组件处进行检测，消除巴条与相机检测组件的检测角度偏差。

9.本申请提供的一种巴条自动镜检设备，在DD马达上设置吸盘固定杆，当X轴运动组件、Y轴运动组件以及Z轴和R轴运动组件运动时，可以带动吸盘固定杆运动。吸盘固定杆上设置有吸附座，当第二上下料组件拿取第一上下料组件处的待检测巴条时，吸盘固定杆带动吸附座移动至第一吸盘的正下方。此时关闭第一吸盘，由吸附座吸附待检测巴条，即可将待检测巴条吸附在吸附固定杆的上表面。随后，吸盘固定杆可以带动待检测巴条移动至字符识别相机组件处识别巴条的wafer号，再带动巴条移动至相机检测组件处进行破损污损检测。检测完成后，吸盘固定杆带动巴条移动至第一吸盘的正下方，关闭吸附座，并打开第一吸盘，由第一吸盘吸附检测完成后的巴条，即可将检测完成后的巴条重新转移至第一上下料组件上。

10.本申请提供的一种巴条自动镜检设备，设置第一Tray盘和第二Tray盘，第一Tray盘用于摆放检测结果NG的巴条，第二Tray用于摆放检测结果OK的巴条。当检测完成后，第一上下料组件将检测完成的巴条放回上料Tray盘中，随后第二上下料组件移动，并由吸盘固定杆带动第二吸盘靠近检测完成后的巴条，开启第二吸盘后，可以将检测完成后的巴条吸附在吸盘固定杆的下表面。随后，第二上下料组件根据巴条的检测结果，将检测完成的巴条分别放入第一Tray盘和第二Tray盘中。对检测完成的巴条分类摆放，可以便于工作人员分类收集检测完成的巴条。

11.本申请提供的一种巴条自动镜检设备，Tray盘移载组件可以带动上料Tray盘在水平方向移动，从而在检测完成一个巴条后，将下一个待检测巴条送至第一吸盘的正下方，并使下一个待检测巴条与第一吸盘对准。当第一上下料组件运行时，只需要带动第一吸盘沿竖直方向移动，并带动第一吸盘开启，即可将待检测巴条吸起，从而方便第一上下料组件取出上料Tray盘中的待检测巴条。

附图说明

为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请的具体实施例中提供的巴条自动镜检设备的结构示意图；

图2为本申请的具体实施例中用于体现巴条自动镜检设备的工作载台顶面上结构的示意图；

图3为图2所示的相机检测组件的结构示意图；

图4为图2所示的第一上下料组件的结构示意图；

图5为图4中A处的放大图；

图6为图2所示的第二上下料组件的结构示意图；

图7为图2所示的Tray盘移载组件的结构示意图。

附图标记说明：

1、下机架；11、工作载台；111、第一Tray盘载座；112、第一Tray盘；113、第二Tray盘载座；114、第二Tray盘；12、上机架；13、PC机；2、Tray盘移载组件；21、第三滑轨；211、X轴滑座；212、第一电缸；213、第三拖链组件；22、第四滑轨；221、Y轴滑座；222、第二电缸；223、第四拖链组件；23、上料Tray盘；3、第一上下料组件；31、固定底板；32、气缸固定板；321、气缸；322、第一负压表组件；323、连接板；324、第一连接杆；325、第二连接杆；33、吸盘固定座；331、第一吸盘；332、第一接头；34、加强筋；4、字符识别相机组件；41、第二轴固定座；42、第二连接轴；43、第三相机固定组件；5、Y轴运动组件；51、第一固定座；511、光栅尺；52、第一滑轨；521、第一防撞组件；53、支撑连接板；54、第一直线电机；55、第一拖链组件；6、X轴运动组件；61、第二固定座；62、第二滑轨；621、第二防撞组件；63、Z轴连接板；64、第二直线电机；65、第二拖链组件；7、Z轴和R轴运动组件；71、丝杆模组；72、DD马达；73、DD马达连接板组件；74、第二负压表组件；8、第二上下料组件；81、吸盘固定杆；82、吸附座；83、第二吸盘；84、第二接头；9、相机检测组件；91、第一定位件；92、第二定位件；93、相机底座固定板；94、XYZ三轴滑台；941、固定板；942、第一相机固定组件；95、端面检测相机组件；96、第一轴固定座；97、第一连接轴；98、第二相机固定组件；99、P面检测相机组件。

具体实施方式

下面将结合附图对本申请的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

此外，下面所描述的本申请不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例

参照图1和图2，本申请提供了一种巴条自动镜检设备，其包括下机架1和上机架12，下机架1与上机架12之间安装有工作载台11。工作载台11为大理石平台，工作载台11上设置有上料Tray盘23、第一上下料组件3、第二上下料组件8和相机检测组件9，工作载台11上还设置有用于带动上料Tray盘23移动的Tray盘移载组件2和用于带动第二上下料组件8移动的第二上下料组件移动装置，其中：

上料Tray盘23，用于存放若干个待测巴条；

第一上下料组件3，用于拿取上料Tray盘23中的待测巴条，并将检测后的巴条放回至上料Tray盘23；

第二上下料组件8，用于拿取第一上下料组件3上的待测巴条，并在第二上下料组件移动装置的作用下，将其转移至相机检测组件9的检测区域；及

在第二上下料组件移动装置的作用下，将相机检测组件9检测后的巴条转移至第一上下料组件3；

相机检测组件9，用于对第二上下料组件转移来的待测巴条的P面、AR面和HR面进行检测；

Tray盘移载组件2，用于驱使上料Tray盘23沿水平方向移动，以使上料Tray盘23上的待测巴条到达第一上下料组件3的拿取区域。

Tray盘移载组件2带动上料Tray盘23移动，将待检测的巴条转移至第一上下料组件3正下方，方便第一上下料组件3将上料Tray盘23中的巴条取出。第二上下料组件移动装置带动第二上下料组件8在第一上下料组件3与相机检测组件9之间往返移动。第二上下料组件8首先将第一上下料组件3取出的巴条转移至相机检测组件9处，由相机检测组件9对巴条的P面、AR面和HR面进行破损以及污染检测；检测完成后，第二上下料组件8再带动检测完成的巴条转移至第一上下料组件3处，由第一上下料组件3将检测完成的巴条分类放回上料Tray盘23。此方案中，利用第一上下料组件3和第二上下料组件8抓取巴条移动，并由相机检测组件9对巴条进行破损及污损检测，不需要操作人员对巴条逐一识别检测，提高了对巴条的检测效率，从而适于大规模生产巴条。

此外，上机架12的一侧安装有PC机13，PC机13用于收集相机检测组件9的检测数据，并控制第一上下料组件3、Y轴运动组件5、X轴运动组件6、Z轴和R轴运动组件7和第二上下料组件8运行。

参见图2和图3，相机检测组件9包括安装在工作载台11顶面上的第一定位件91，第一定位件91的两侧分别连接有第二定位件92，两个第二定位件92背向第一定位件91的一端均连接有一个相机底座固定板93。每个相机底座固定板93上均安装有一个XYZ三轴滑台94，XYZ三轴滑台94上均安装有固定板941和第一相机固定组件942，第一相机固定组件942用于安装端面检测相机组件95，两个端面检测相机组件95均沿水平方向设置，且两个端面检测相机组件95的轴线重合，两个端面检测相机组件95分别用于检测巴条的HR面和AR面。工作载台11上安装有第一轴固定座96，第一轴固定座96上沿竖直方向安装有第一连接轴97，第一连接轴97的侧面顶端安装有第二相机固定组件98，第二相机固定组件98用于安装P面检相机组件，通过调整第一固定组件可以改变P面检测相机组件99的高度，P面检测相机组件99用于检测巴条的P面。P面检测相机组件99的轴线沿竖直方向设置，P面检测相机组件99的轴线与两个端面检测相机组件95的连线交汇于一点，即为相机检测组件9的检测区域。

当巴条被送至相机检测组件9的检测区域时，端面检测相机组件95可以对巴条的两个端面进行破损及污损检测；P面检测相机组件99可以同时对巴条的P面进行检测。

参见图2、图4和图5，第一上下料组件3包括安装在工作载台11上的固定底板31，固定底板31上安装有气缸固定板32和加强筋34，加强筋34用于连接气缸固定板32和固定底板31。气缸固定板32的侧面沿竖直方向安装有气缸321，气缸321连接有第一负压表组件322，气缸321的活塞杆上设置有连接板323。连接板323上安装有第一连接杆324，第一连接杆324背向连接板323的一端安装有第二连接杆325，第二连接杆325上安装有吸盘固定座33，吸盘固定座33的底面设置有第一吸盘331，吸盘固定座33上还连接有第一接头332，第一接头332与吸盘连通。

气缸321运行时，带动吸盘固定座33沿竖直方向滑移，当吸盘固定座33向下滑移至上料Tray盘23时，第一吸盘331可以将上料Tray盘23中的待检测巴条吸起。随后气缸321运行，即可将待检测巴条提起。当检测完成后，气缸321还可以带动吸盘固定座33向下滑动，此时关闭第一吸盘331，即可将检测完成后的巴条放回上料Tray盘23中。

参见图4，固定底板31上安装有第二轴固定座41，第二轴固定座41上沿竖直方向安装有第二连接轴42，第二连接轴42的侧面设置有第三相机固定组件43，第三相机组件上安装有字符识别相机组件4，字符识别相机组件4的镜头朝下设置。字符识别相机组件4用于识别巴条的wafer号，记录各个巴条属于哪个wafer，从而方便工作人员判断各个wafer中的不合格巴条数量。

参见图2，第二上下料组件移动装置包括Y轴运动组件5、X轴运动组件6以及Z轴和R轴运动组件7，Y轴运动组件5用于带动X轴运动组件6沿Y轴方向滑移，X轴运动组件6用于带动Z轴和R轴运动组件7沿X轴方向滑移，Z轴和R轴运动组件7用于带动第二上下料组件8沿Z轴方向滑移或绕Z轴转动。

参见图2，Y轴运动组件5包括安装在工作载台11上的两个第一固定座51，两个第一固定座51的长度方向均平行于工作载台11的宽度方向，第一固定座51的顶面上沿自身长度方向设置有第一滑轨52，第一滑轨52上均滑动架设有支撑连接板53，支撑连接板53用于安装X轴运动组件6，第一固定座51上还设有用于驱使支撑连接板53移动的第一直线电机54和第一拖链组件55。此外第一滑轨52的两端均设有第一防撞组件521，两个第一防撞组件521均与第一固定座51连接。当第一直线电机54运行时，可以带动支撑连接板53沿第一滑轨52的长度方向滑移，从而带动X轴运动组件6沿第一滑轨52的长度方向滑移。

参见图2，X轴运动组件6包括第二固定座61，第二固定座61与两个支撑连接板53连接，第二固定座61的顶面设置有第二滑轨62，第二滑轨62的长度方向垂直于第一滑轨52的长度方向，第二滑轨62上滑动架设有Z轴连接板63，Z轴连接板63用于安装Z轴和R轴运动组件7，第二固定座61上还设有用于驱使Z轴连接板63移动的第二直线电机64和第二拖链组件65。此外，第二滑轨62的两端均设有第二防撞组件621，两个第二防撞组件621均与第二固定座61连接。当第二直线电机64运行时，可以带动Z轴连接板63沿第二滑轨62的长度方向滑移，从而带动Z轴和R轴运动组件7沿第二滑轨62的长度方向滑移。

参见图2，第一固定座51的侧面安装有光栅尺511，光栅尺511用于测量Z轴连接板63的移动距离。在第一固定座51上设置光栅尺511，可以对Z轴连接板63的滑移距离进行测量，利用光栅尺511测得的数据控制X轴运动组件6、Y轴运动组件5运行，可以提高Z轴连接板63在水平方向移动的精度。

参见图2，Z轴和R轴运动组件7包括沿竖直方向安装在Z轴连接板63上的丝杆模组71，丝杆模组71上连接有DD马达连接板组件73，DD马达连接板组件73用于安装DD马达72，此外，DD马达连接板组件73上还连接有第二负压表组件74。当丝杆模组71运行时，可以通过DD马达连接板组件73带动DD马达72沿竖直方向滑移。DD马达72的转动轴线沿竖直方向设置，第二上下料组件8设置在DD马达72上。

丝杆模组71运行时，可以带动DD马达72沿竖直方向滑移。DD马达72上安装有第二上下料组件8，DD马达72沿竖直方向滑移时，还可以带动第二上下料组件8沿竖直方向滑移。同时，DD马达72旋转时，可以带动第二上下料组件8在水平面上转动，从而将第二上下料组件8拿取的巴条准确放入相机检测组件9处进行检测，消除巴条与相机检测组件9的检测角度偏差。

参见图2和图6，第二上下料组件8包括安装在DD马达72上的吸盘固定杆81，吸盘固定杆81的顶面上设置有吸附座82，吸盘固定杆81上还设有第二接头84，第二接头84与吸附座82连通。当X轴运动组件6、Y轴运动组件5以及Z轴和R轴运动组件7运动时，可以带动吸盘固定杆81运动。

当第二上下料组件8拿取第一上下料组件3处的待检测巴条时，吸盘固定杆81带动吸附座82移动至第一吸盘331的正下方。此时关闭第一吸盘331，由吸附座82吸附待检测巴条，即可将待检测巴条吸附在吸附固定杆的上表面。随后，吸盘固定杆81可以带动待检测巴条移动至字符识别相机组件4处识别巴条的wafer号，再带动巴条移动至相机检测组件9处进行破损污损检测。检测完成后，吸盘固定杆81带动巴条移动至第一吸盘331的正下方，关闭吸附座82，并打开第一吸盘331，由第一吸盘331吸附检测完成后的巴条，即可将检测完成后的巴条重新转移至第一上下料组件3上。

参见图2和图6，工作载台11上安装有第一Tray盘载座111和第二Tray盘载座113，第一Tray盘载座111上摆放有第一Tray盘112，第二Tray盘载座113上摆放有第二Tray盘114。第一Tray盘112用于摆放检测结果NG的巴条，第二Tray用于摆放检测结果OK的巴条。吸盘固定杆81的底面上还设置有第二吸盘83，第二吸盘83也与第二接头84连通。当检测完成后，第一上下料组件3将检测完成的巴条放回上料Tray盘23中，随后第二上下料组件8移动，并由吸盘固定杆81带动第二吸盘83靠近检测完成后的巴条，开启第二吸盘83后，可以将检测完成后的巴条吸附在第二吸盘83上。随后，第二上下料组件8根据巴条的检测结果，将检测完成的巴条分别放入第一Tray盘112和第二Tray盘114中。对检测完成的巴条分类摆放，可以便于工作人员分类收集检测完成的巴条。

参见图4、图5及图7，Tray盘移载组件2包括第三滑轨21和滑动架设在第三滑轨21上的X轴滑座211，第三滑轨21上设置有用于推动X轴滑座211滑动的第一电缸212和第三拖链组件213，X轴滑座211上设置有第四滑轨22，第四滑轨22的长度方向垂直于第三滑轨21的长度方向，第四滑轨22上滑动设置有用于承载上料Tray盘23的Y轴滑座221，第四滑轨22上设置有用于推动Y轴滑座221滑动的第二电缸222和第四拖链组件223。

Tray盘移载组件2可以带动上料Tray盘23在水平方向移动，从而在检测完成一个巴条后，将下一个待检测巴条送至第一吸盘331的正下方，并使下一个待检测巴条与第一吸盘331对准。当第一上下料组件3运行时，只需要带动第一吸盘331沿竖直方向移动，并带动第一吸盘331开启，即可将待检测巴条吸起，从而方便第一上下料组件3取出上料Tray盘23中的待检测巴条。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本申请创造的保护范围之中。

Claims (11)

1.一种巴条自动镜检设备，其特征在于，包括工作载台(11)，所述工作载台(11)上设置有上料Tray盘(23)、第一上下料组件(3)、第二上下料组件(8)和相机检测组件(9)，工作载台(11)上还设置有用于带动上料Tray盘(23)移动的Tray盘移载组件(2)和用于带动第二上下料组件(8)移动的第二上下料组件移动装置，其中：

上料Tray盘(23)，用于存放若干个待测巴条；

第一上下料组件(3)，用于拿取上料Tray盘(23)中的待测巴条，并将检测后的巴条放回至上料Tray盘(23)；

第二上下料组件(8)，用于拿取第一上下料组件(3)上的待测巴条，并在第二上下料组件移动装置的作用下，将其转移至相机检测组件(9)的检测区域；及

在第二上下料组件移动装置的作用下，将相机检测组件(9)检测后的巴条转移至第一上下料组件(3)；

相机检测组件(9)，用于对第二上下料组件转移来的待测巴条的P面、AR面和HR面进行检测；

Tray盘移载组件(2)，用于驱使上料Tray盘(23)沿水平方向移动，以使上料Tray盘(23)上的待测巴条到达第一上下料组件(3)的拿取区域；

其中：

相机检测组件9包括安装在工作载台11顶面上的第一定位件91，第一定位件91的两侧分别连接有第二定位件92，两个第二定位件92背向第一定位件91的一端均连接有一个相机底座固定板93；

每个相机底座固定板93上均安装有一个XYZ三轴滑台94，XYZ三轴滑台94上均安装有固定板941和第一相机固定组件942，第一相机固定组件942用于安装端面检测相机组件95，两个端面检测相机组件95均沿水平方向设置，且两个端面检测相机组件95的轴线重合，两个端面检测相机组件95分别用于检测巴条的HR面和AR面；

工作载台11上安装有第一轴固定座96，第一轴固定座96上沿竖直方向安装有第一连接轴97，第一连接轴97的侧面顶端安装有第二相机固定组件98，第二相机固定组件98用于安装P面检相机组件，通过调整第一固定组件改变P面检测相机组件99的高度，P面检测相机组件99用于检测巴条的P面；

P面检测相机组件99的轴线沿竖直方向设置，P面检测相机组件99的轴线与两个端面检测相机组件95的连线交汇于一点，即为相机检测组件9的检测区域；

当巴条被送至相机检测组件9的检测区域时，端面检测相机组件95对巴条的两个端面进行破损及污损检测，P面检测相机组件99同时对巴条的P面进行检测。

2.根据权利要求1所述的一种巴条自动镜检设备，其特征在于，所述第一上下料组件(3)包括设置在工作载台(11)上的气缸(321)，所述气缸(321)沿竖直方向设置，且气缸(321)的活塞杆上设置有吸盘固定座(33)，所述吸盘固定座(33)的底面上设置有第一吸盘(331)。

3.根据权利要求1所述的一种巴条自动镜检设备，其特征在于，所述工作载台(11)上设置有第二连接轴(42)，所述第二连接轴(42)的侧面设置有字符识别相机组件(4)，所述字符识别相机组件(4)的镜头朝下设置，字符识别相机组件(4)用于识别巴条的wafer号。

4.根据权利要求1所述的一种巴条自动镜检设备，其特征在于，所述第二上下料组件移动装置包括Y轴运动组件(5)、X轴运动组件(6)以及Z轴和R轴运动组件(7)，所述Y轴运动组件(5)用于带动X轴运动组件(6)沿Y轴方向滑移，所述X轴运动组件(6)用于带动Z轴和R轴运动组件(7)沿X轴方向滑移，所述Z轴和R轴运动组件(7)用于带动第二上下料组件(8)沿Z轴方向滑移或绕Z轴转动。

5.根据权利要求4所述的一种巴条自动镜检设备，其特征在于，所述Y轴运动组件(5)包括设置在工作载台(11)上的两个第一固定座(51)，两个所述第一固定座(51)的长度方向均平行于工作载台(11)的宽度方向，所述第一固定座(51)的顶面上沿自身长度方向设置有第一滑轨(52)，所述第一滑轨(52)上均滑动架设有支撑连接板(53)，所述支撑连接板(53)用于安装X轴运动组件(6)，所述第一固定座(51)上还设有用于驱使支撑连接板(53)移动的第一直线电机(54)和第一拖链组件(55)。

6.根据权利要求5所述的一种巴条自动镜检设备，其特征在于，所述X轴运动组件(6)包括第二固定座(61)，所述第二固定座(61)与两个支撑连接板(53)连接，第二固定座(61)上设置有第二滑轨(62)，所述第二滑轨(62)的长度方向垂直于第一滑轨(52)的长度方向，所述第二滑轨(62)上滑动架设有Z轴连接板(63)，所述Z轴连接板(63)用于安装Z轴和R轴运动组件(7)，所述第二固定座(61)上还设有用于驱使Z轴连接板(63)移动的第二直线电机(64)和第二拖链组件(65)。

7.根据权利要求6所述的一种巴条自动镜检设备，其特征在于，所述第一固定座(51)上设置有光栅尺(511)，所述光栅尺(511)用于测量Z轴连接板(63)的移动距离。

8.根据权利要求6所述的一种巴条自动镜检设备，其特征在于，所述Z轴和R轴运动组件(7)包括沿竖直方向设置的丝杆模组(71)，所述丝杆模组(71)设置在Z轴连接板(63)上，丝杆模组(71)上连接有DD马达(72)，丝杆模组(71)用于带动DD马达(72)沿竖直方向滑移，所述DD马达(72)的转动轴线沿竖直方向设置，所述第二上下料组件(8)设置在DD马达(72)上。

9.根据权利要求7所述的一种巴条自动镜检设备，其特征在于，所述第二上下料组件(8)包括设置在DD马达(72)上的吸盘固定杆(81)，所述吸盘固定杆(81)的顶面上设置有吸附座(82)。

10.根据权利要求9所述的一种巴条自动镜检设备，其特征在于，所述工作载台(11)上设置有第一Tray盘(112)和第二Tray盘(114)，所述第一Tray盘(112)和第二Tray盘(114)分别用于摆放检测结果NG和检测结果OK的巴条，所述吸盘固定杆(81)的底面上还设置有第二吸盘(83)，所述第二吸盘(83)用于拿取上料Tray盘(23)中检测完成的巴条，并将其分类放入第一Tray盘(112)或第二Tray盘(114)中。

11.根据权利要求1所述的一种巴条自动镜检设备，其特征在于，所述Tray盘移载组件(2)包括第三滑轨(21)和滑动架设在第三滑轨(21)上的X轴滑座(211)，所述第三滑轨(21)上设置有用于推动X轴滑座(211)滑动的第一电缸(212)和第三拖链组件(213)，所述X轴滑座(211)上设置有第四滑轨(22)，所述第四滑轨(22)的长度方向垂直于第三滑轨(21)的长度方向，所述第四滑轨(22)上滑动设置有用于承载上料Tray盘(23)的Y轴滑座(221)，所述第四滑轨(22)上设置有用于推动Y轴滑座(221)滑动的第二电缸(222)和第四拖链组件(223)。

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