TWI508829B - 用於處理及對準玻璃基材的方法及設備 - Google Patents

Description

用於處理及對準玻璃基材的方法及設備

本發明大體上係有關於玻璃處理與定位系統。更特別地，本發明係有關於用以支撐基材於一空氣墊上之方法與設備，其中該空氣墊是由一陣列玻璃條所提供。

在平面面板顯示器(flat panel display,FPD)工業中，用來製造FPD之玻璃板之尺寸已經因為市場需要更大顯示器(例如電視螢幕)而增加為40吋或更大。根據市場需求，FPD製造業者已經增加用於製程中之玻璃板(或面板玻璃)之尺寸。例如，第七代玻璃板之尺寸約為1870 mm×2200 mm，而第九代玻璃板之尺寸預期約為2400 mm×2700 mm。雖然玻璃板隨著每一世代增加面積，玻璃板大約維持住相同厚度，約0.5 mm至1 mm。

傳統的陣列修復機器(也被稱為陣列補救機器)在玻璃板裝載與卸載製程期間係使用一舉升梢機構。典型地，在檢視與修復製程期間，面板玻璃被置放在一平坦的夾盤(chuck)表面上。有許多傳統的方法來裝載、與卸載玻璃板。這樣的一方法係使用單件式夾盤，其尺寸約與玻璃板相同。通常有許多舉升孔穿過夾盤之頂表面，且在玻璃板被工廠控制裝置(robot)出示時，舉升梢機構會接受玻璃板。一空氣墊需要以將玻璃板漂浮，以將玻璃板對準。當夾盤尺寸增加時，對於在單一本體之實心夾盤中之這樣空氣墊，要鑽這些分佈孔洞與系統變得更困難。例如，一長槍鑽孔機(long gun－drill)可以被用來形成導管，其中該些導管係連接夾盤中之分佈孔洞。此外，單一本體之實心夾盤具有接觸於玻璃板之大表面積。這樣提供了微粒被捕陷在玻璃板與夾盤之間，或從夾盤至玻璃板交換不希望的靜電放電(electrostatic discharge,ESD)的機會。再者，進行缺陷檢視時，利用來自板之照明(即背光)來檢視缺陷是有利的。除非實心夾盤是由可穿透材料所製成，實心夾盤不允許背光。由可穿透材料(例如玻璃)製成之實心夾盤無法輕易地被加工成具有一空氣分佈系統，且感興趣之板尺寸非常昂貴。因此，在此技術領域中存在有一需求，即改善支撐與定位玻璃基材之方法與系統以進行測試、檢視與/或修復。

根據本發明之一實施例，一用以支撐基材之夾盤係包含一陣列之玻璃條，該些玻璃條係隔開且每一玻璃條在其支撐表面中具有多個孔洞。支撐表面中之該些孔洞連接至一共用導管，該共用導管被供應有空氣以在裝載與定位操作期間於基材與夾盤之間提供一空氣墊，使得基材能被支撐在夾盤上。沒有使用舉升梢，並且裝載期間基材背側與玻璃條之間的接觸也不接觸而能夠減少微粒產生的風險，其中該微粒產生係來自於基材背側與舉升梢之間或與玻璃條之支撐表面的接觸。是以，可以達到以潛在性更快速之交換速率來直接裝載基材，且具有較低的靜電放電風險。

當基材被支撐在空氣墊上時，接觸於基材之一或多個邊緣的刷件係用以將基材相對於一機械參考物予以精確地定位。在基材被定位在希望的位置之後，共用導管係分別地被供應有真空以提供抽吸力量，而將基材固持至夾盤。因此，導管在裝載/檢視/卸載製程之不同階段係流體溝通於加壓氣體或真空。

此陣列之玻璃條係被設計以與一用在測試製程、檢視製程等等之多光背光系統操作。使用背光系統，均勻的照明係導源自基材之背側(且在一些情況中會通過基材)。對於被支撐在玻璃條上方之基材區域與被空氣墊支撐在玻璃條之間的位置，照明係相同。因此，無論在目標缺陷區域下方具有或不具有玻璃條，都可以達到缺陷照明。

一適用以支撐基材之夾盤係包括一陣列之玻璃條，該些玻璃條係隔開且每一者在其支撐表面中具有多個孔洞。支撐表面中之該些孔洞連接一共用導管，共用導管被供應有空氣以提供一空氣墊來在裝載與定位操作期間支撐基材。接觸於基材之一或多個邊緣的刷件(scrubber)係用以將基材相對於一機械參考物精確地設置。在基材被定位在希望的位置之後，共用導管即分別地被供應有真空，以提供一吸力來固持住基材至夾盤。玻璃條陣列係被設計以操作關聯於一多光背光系統，其中該多光背光系統對於被支撐 在玻璃條上方的基材區域及位在玻璃條之間的基材區域提供均勻的照明。

第1A圖係為根據本發明一實施例的一檢視與修復系統的立體圖。如第1A圖所示，一支撐結構105(通常包括一花崗石基座)係適用以對檢視與修復系統之一些部件提供機械支撐。位在支撐結構105之相對邊緣的兩個軌道112係延伸支撐結構之長度。一起重架120裝設在軌道上，且在電腦控制下被操作以沿著軌道移動至預定位置，藉此將一或多個檢視與/或修復頭130沿著系統長度(y)予以定位。此外，檢視/修復頭130在電腦控制下沿著起重架移動於x方向。是以，藉由將頭130同時轉移於x與y方向，頭可以被定位在面板玻璃之選定部分上方，其中該面板玻璃係停置在支撐夾盤210之頂部上。

除了檢視與/或修復頭130之外，本發明實施例提供一盪臂110，其被裝設置在起重架之下側。如第1A與1B圖所示，盪臂包括一橫條830，橫條830沿著系統寬度延伸於x方向且位在支撐夾盤210下方。額外的檢視設備(例如第1B圖中之背光模組810)係接附至盪臂，且可以在平板玻璃下方被定位在選定位置，其中該平板玻璃係停置在支撐夾盤210上。背光包括多個光源820，且被設計以沿著盪臂橫條830移動於x方向。是以，背光模組可以在起重架120與背光模組810之間的x-y平面中被定位在一板之選定部分下方。來自光源820之光傳播於一方向，其中該光具有沿著z方向之分量，穿過板且投射至該一或多個被 裝設在起重架120上之檢視與/或修復頭130上。

第2圖係為根據本發明一實施例之一支撐夾盤的立體圖，其中該支撐夾盤係用於檢視與修復系統。如圖所示，玻璃處理平台210包括一夾盤框架212，夾盤框架212經由使用多個夾盤支撐件214穩固地被裝設在支撐結構(第1圖標號105)上。該些夾盤支撐件係被固定至多個裝設板，其中該些裝設板係接附至一提供系統穩定性與穩固性之花崗石階臺。夾盤框架212之尺寸對於額外的板構件可以提供支撐，其係符合於停置之面板玻璃、所使用之檢視與/或修復系統、與用來喘宜與定位檢視與/或修復系統之致動器之擊衝(stroke)與範圍的尺寸。再者，夾盤框架係被設計以對於裝設板支撐構件時(如下所述)提供穩固的支撐結構，包括有對於支撐構件提供可調整的定位，以及在支撐構件尺寸上維持希望的平坦性容忍度。

多個板支撐構件220被排列成平行，且被接附至夾盤框架212。板支撐構件220係精確地被對準且被裝設至夾盤框架以支撐一平坦、大、薄的玻璃片(繪示於第3圖中)，例如用以製造FPD之玻璃板。支撐構件包括一散佈系統，散佈系統可以藉由面對面板之頂表面來輸送空氣或吸引真空。散佈系統包括多個穿過支撐構件頂表面之孔洞，其連接至一共用導管或橫通道，在該共用導管或橫通道之一端或兩端連接至一正壓力氣體源與一負壓力氣體源，而具有一適當的開關機構而允許正壓力氣體形成空氣墊或負壓力氣體(真空)固持住玻璃板。測試操作也被包含在本發明實 施例之範圍內，並且使用一單一玻璃條與一固定的背光模組。

如所示，板支撐構件陣列形成了一架體以支撐欲被測試/修復之面板玻璃。板支撐構件220之數目係根據面板玻璃尺寸被選擇，以對於面板玻璃提供足夠的支撐，而能夠減少支撐構件與面板玻璃之間的接觸面積。在第2、3圖繪示之實施例中，該些圖顯示有支撐構件。對於更大的玻璃板尺寸，支撐構件之數目可以更多；並且，對於更小的玻璃板尺寸，數目可以更少。該些支撐構件之間的間隔係根據下述被決定，即面板玻璃尺寸、控制裝置尺寸、與z方向上能被檢使與修復光學元件所允許的構件之間的下陷或變化。支撐構件之間間隔對支撐構件頂部表面積之典型適當面積比值約大於2：1。

在每一板支撐構件之末端具有一支撐與整平托座230，其係用以對準與維持該些支撐構件彼此間於固定位置且至夾盤框架。支撐構件頂表面係被對準於一平面中，而具有約0.01mm容忍度。所測試之板平坦性較佳地係被維持在小於檢視與修復系統之聚焦深度或等效z位置參數的容忍度之內。對於一些由Photon Dynamics公司所製造之檢視與修復系統，容忍度視窗約為0.15mm。因此，支撐構件之定位與下陷被控制在一些實施例中，以將所測試之板定位在此容忍度視窗內。

如以下所詳述者，多個板定位與調整構件係被繪示在第2與3圖中。在兩角落處提供有角落定位構件602與606。在本發明之實施例中，角落定位構件602與606不相同，且提供特定優點。此外，沿著夾盤框架之兩側提供有邊緣定位構件608。如所示，這些定位構件被裝設在夾盤框架上。任何此領域中具有一般技藝之人士可以知悉許多變化、變更與替代物。

第3圖係為根據本發明一實施例之一支撐夾盤在面板玻璃裝載操作期間的示意圖。控制裝置(robot)305(其為客戶製造線之部件)係包括一預定數目之臂306，該些臂306係支撐住面板玻璃307。在第3圖繪示之特定實施例中，四個臂被提供在控制裝置上，雖然本發明不需要如此。控制裝置係運輸面板玻璃至且自客戶工廠之其他部件至工具。控制裝置臂之寬度小於相鄰支撐構件之間隔。是以，支撐夾盤之支撐構件之間的間隔具有用於使控制裝置臂將板定位在該些支撐構件上方、降低板、將板置放在該些支撐構件上、且之後縮回之空間。利用夾盤框架中支撐構件與選擇性刻槽之間的空間，控制裝置可以在垂直方向上轉移預定距離，使得控制裝置臂在置放板於支撐構件上之後被縮回。

大體上，控制裝置臂係在第一位置(未示出)抓取一板，傳送該板至支撐構件上方之一位置，以期降低該板至停置於由支撐構件提供之空氣墊上之一位置。如第3圖所示，控制裝置臂被插入約夾盤框架長度之一半，且高於支撐構件頂部之一高度。在控制裝置臂完全地延伸進入夾盤框架之後，控制裝置臂會降低板至由支撐構件頂部中穿孔222所提供之空氣墊上，使得控制裝置臂不接觸於板。接著，控制裝置在低於支撐構件上平面的高度縮回。在完成板之置放與對準之後，透過經由支撐構件中的導管施加真空至板之背側，板接觸於支撐構件。

在卸載操作期間，這些事件之順序係顛倒。真空被關閉，且空氣被施加以將板漂浮，而控制裝置臂被插入。控制裝置臂將板抬舉離開支撐構件，且接著縮回且將板從檢視/修復系統移除。是以，在一些實施例中，本發明係使用正與負氣壓於玻璃板背後、對準機構、與/或控制裝置之z運動以將板裝載、定位且卸載。

使用直接玻璃裝載概念具有許多優點。在傳統的設計中，由一機械連接件致動之舉升梢常常被用來在其接觸於夾盤框架之部件之前支撐住面板玻璃。在自動控制縮回之後，機械連接件將玻璃板降低。此外，舉升梢用來舉升面板玻璃，將板在檢視與/或修復操作之後分離開夾盤表面。本發明之一些實施例不需要使用舉升梢。並且，藉由去除舉升梢，直接玻璃裝載動作可以減除任何相關於舉升梢移動之時間，因而減少整體裝載與卸載時間，並增加產能。去除舉升梢具有減少ESD之進一步優點，其中ESD係在板被傳統配置中的舉升梢從夾盤表面分離期間被產生。再者，支撐構件與玻璃板之間的整個表面接觸面積係明顯地小於整個玻璃板表面，這可以減少污染傳送或被支撐構件摩擦玻璃板之機會，並且減少玻璃板與夾盤構件之間ESD之機會。又，若支撐構件是從玻璃或可穿透材料所製成時，本文描述之直接玻璃裝載概念可以允許一背照明系統之實施，其中該背照明系統係在夾盤下方移動。

如前所述，根據本發明之實施例，氣體散佈路徑被設置在支撐構件之內。因此，多個孔洞被設置穿過每一個鄰近於玻璃板之玻璃條之表面，且該些孔洞由一沿著支撐構件長度之共用導管來連接，其中來自正壓力與負壓力源之輸送線係連接至該共用導管，第4A－4C圖係繪示根據本發明一實施例之一支撐構件與其相關聯孔洞及導管。第4A圖為一支撐構件220之立體圖，第4B圖為此支撐構件之後視圖，第4C圖為此支撐構件之側視圖。支撐構件220包含一頂部區塊410與一底部區塊412。一溝槽414被形成在頂部區塊410之第一側中，以沿著玻璃條長度形成一空氣供應通道。再者，預定數目之空氣孔洞或穿孔222沿著支撐構件(玻璃條)長度被形成在支撐構件之頂部區塊410中數個位置處。玻璃條之頂部必須實質上平坦，以確保被玻璃條支撐之面板玻璃也實質上平坦。

大體上，相鄰孔洞之間的間距是一致的，這是因為進行檢視/修復之板的重量大致上是一致，而為橫向位置之函數。因此，在一實施例中，這些空氣孔洞被鑽孔成一致的間隔，雖然本發明不需要如此。此外，這些孔洞大致上相對於第4B圖玻璃條之寬度被置中，雖然本發明不需要如此。空氣孔洞之尺寸與數目(與密度有關)係根據下述來決定，即系統所選擇的空氣壓力、被支撐構件所提供之空氣墊所支撐住的板的重量。

如第4B與4C圖所示，將底部塊體412定位成相對於塊體410中之溝槽414係會形成沿著玻璃條長度之氣體供應導管或通道。大致上，頂部與底部區塊係使用清晰光學膠(clear optical glue)接合在一起。熟習此技藝之人士將可以瞭解的是各種可以用來接合玻璃構件之技術，其包括有陽極接合、共晶接合、電漿誘發共價晶圓接合等等。在一些接合製程中，支撐構件之部分係被清潔、潤濕與乾燥。欲被接合之部件可以接著被暴露於氧、氬、或其他電漿物種以電漿誘發玻璃表面。支撐構件之各種區塊之間的接合應該較佳地提供細微接合，其能夠忍受關聯於機械應力之熱應力，其中該機械應力係在轉移期間溫度改變以及重力、供應通道中空氣與真空壓力、及裝載/卸載面板玻璃所造成。

第5A－5B圖係繪示另一種經由支撐構件之頂表面來形成縱長導管之可行方式，其中該縱長導管係連接多個孔洞。第5A圖為支撐構件220之後視圖，且第5B圖為支撐構件220之側視圖。在此實施例中，支撐構件包括四個區塊。頂部區塊510包括預定數目之空氣孔洞或穿孔222，其係沿著條長度來形成。供應通道514是藉由將一中央區塊520夾在兩外部區塊522與524之間以形成一底部區塊512來形成。底部區塊512與頂部區塊510係被接合，藉此形成供應通道514。如第5A圖所示，外部區塊係高於中央區塊，因而使供應通道514沿著玻璃條長度行進。利用中央區塊520所形成之供應通道係較佳地在中央區塊之頂部530或底部532的至少一者上被研磨，這能改善這些表面相對於由加工操作造成之表面的光學性質。此外，外部區塊之頂表面534與536及/或區塊510毗鄰外部區塊與供應通道之部分也較佳地被研磨。如同以下所詳述，在背光測試操作中，這些經研磨表面席提供了將背光傳送最大化的高品質光學表面。在又其他實施例中，支撐構件之各種表面可以包括經研磨的去角邊緣或可以被光學地塗覆(例如被塗覆以一抗反射塗層)以減少因為在界面反射造成的光學損失。

第4A-4C圖或第5A-5B圖實施例之特定範例可以包括具有約2300mm長度與約19.5mm寬度之支撐構件。高度可以約115mm。穿過頂表面之孔洞可以具有約1mm直徑，且隔開約3cm。導管可以具有約6mm寬度與約1cm深度。接觸於玻璃板之支撐構件表面可以具有約0.01mm平坦性。可以使用其他之支撐構件寬度、長度、高度、表面平坦性。再者，可以使用其他之通道尺寸與洞尺寸及間隔。

對於希望使用背照明之應用中，支撐構件可以由可穿透材料所製成，例如硼矽酸鹽玻璃(borosilicate glass,BSG)。可以使用由美國肯德基州路易維耳市之Schott North America公司獲得之BOROFLOAT^® 33。並且，如前所討論，BSG條之表面係被研磨與/或被塗覆，以提供可以將夾盤框架上光學差異(即支撐構件與相鄰支撐構件間的空氣間隙之間)最小化的光學品質表面。

關於第4A-4C圖與第5A-5B圖所繪示之兩種型式支撐構件，支撐構件之每一區塊可以被分割成更多區塊，若這樣的次分割可以造成更佳的加工品質與/或可製造性。此技術領域中一般技藝之人士可以知悉許多變化、變更與替代物。

雖然第2圖未示出，支撐構件之一末端或兩末端處，可以提供有流體溝通於一清潔乾燥空氣(clean dry air,CDA)供應與/或一真空源之氣壓配件。

根據本發明之一些實施例，氣壓刷件(有時候被稱為對準器或推擠器)係被用來將被支撐在支撐構件上方空氣墊上之面板玻璃對準。在第2圖中，角落定位構件602(如，彈性位置刷件)、角落定位構件606(如，固定位置刷件)與邊緣定位構件608(如，固定位置刷件)被裝設在夾盤框架212上。第6A-6D圖為根據本發明一實施例之定位構件的立體圖。

在第6A圖中，一彈性的角落定位構件602具有兩延伸臂610，而彈性耦接件612被裝設在角落支撐件614與616上。角落支撐件為單一“L”形托座之兩部分。是以，彈性耦接件612係彼此地以固定關係被結合在一起，使得單一驅動機構能同時地轉移兩蓋體618。包括有角落支撐件之該單一“L”形托座被裝設在一水平氣缸620上，該水平氣缸620連接至一垂直氣缸622。垂直氣缸適用以將蓋體618設置在一對準於面板玻璃之垂直位置，其中該面板玻璃被支撐在支撐構件220上方。水平氣缸適用以將蓋體618設置在一預定之水平位置，其中蓋體將會接觸於面板玻璃之兩邊緣，如以下所詳述。

第6B圖係繪示彈性耦接件612，其將蓋體618連接至角落支撐件614與616。蓋體可以被裝設在一延伸臂610上，其中該延伸臂610連接至一或多個被裝設在彈性耦接件中之彈簧624。雖然第6B圖係顯示使用有彈簧，其他彈性構件係被包含在本發明範圍內。在其他實施例中，索環(grommet)或櫬套(bushing)係被使用以替代第6B圖之彈簧。在定位操作期間，面板玻璃邊緣與蓋體之間的接觸會造成沿著延伸臂長度之力量，而壓縮被裝設在彈性耦接件中之彈簧。根據彈簧之特性而定，本發明實施例係提供一預定量之線性補償，以容納在面板玻璃定位時之起初的不對準。

第6C圖係繪示一角落定位構件606，其具有固定位置蓋體。如所示，兩延伸臂630被裝設在角落支撐件634、636(其為單一“L”形托座之兩部分)於相對於角落支撐件之固定位置處。是以，延伸臂630與蓋體618係彼此地以固定關係被結合在一起，使得單一驅動機構能同時地轉移兩蓋體618。包括有角落支撐件之該單一“L”形托座被裝設在一水平氣缸640上，該水平氣缸640連接至一垂直氣缸642。垂直氣缸適用以將蓋體618設置在一對準於面板玻璃之垂直位置，其中該面板玻璃被支撐在支撐構件220上方。水平氣缸適用以將蓋體618設置在一預定之水平位置，其中蓋體將會接觸於面板玻璃之兩邊緣，如以下所詳述。

第6D圖係繪示一邊緣定位構件608，其具有一固定位 置蓋體650。延伸臂652被裝設成連接於一水平氣缸654與一垂直氣缸656，其中該水平氣缸654可以使蓋體沿著氣缸之長軸運動。水平與垂直氣缸係適用以將蓋體定位在預定的水平與垂直位置，其中蓋體將會接觸於面板玻璃之兩邊緣，如以下所詳述。

在定位操作期間，面板玻璃先被裝載至夾盤框架上，並且一空氣墊被提供在板下方。角落定位構件606與兩邊緣定位構件608係使用其對應而被電腦控制所致動的垂直與水平氣缸被移動至預定位置。大體上，固定的角落定位構件606與邊緣定位構件608之運動將會轉移面板玻璃，若面板玻璃之起初位置使得定位構件與板之間產生接觸。在一些實施例中，根據面板玻璃被控制裝置置放在夾盤上之起初位置而定，角落定位構件606與邊緣定位構件608至其預定位置之運動不會造成蓋體與面板玻璃之間的接觸。

參閱第6A圖，因為板被支撐在由支撐構件220所提供之空氣墊上，板能夠被彈性的角落定位構件602使用其對應的垂直622與水平620氣缸將蓋體618設置成接觸於面板玻璃之第一側314與第二側316以最小力量被移動(如第3圖所示)。較佳地，彈性的角落定位構件602推擠面板玻璃使其接觸於固定位置蓋體，造成了固定的角落定位構件606與面板玻璃之第三側310及第四側312之間的接觸。固定的邊緣定位構件608與面板玻璃之第三及第四側之間也會產生接觸。

大體上，在角落定位構件606及邊緣定位構件608、與面板玻璃之第三側310及第四側312之間接觸之後，角落定 位構件602之彈性耦接件中的彈簧被壓縮。是以，面板玻璃被刷滌或定位在一適用於後續檢視與/或修復操作之預定位置。角落與邊緣定位構件至預定位置之運動可以依序地、一致地、同時地、或其組合地被執行，視特定應用而定。

使用本發明之一些實施例，對準及定位構件與面板玻璃之間的接觸點數目係從八個接觸點(面板玻璃之每一側上有兩個)被減少至六個接觸點(四個固定且兩個彈性)。此外，第6A與6C圖所繪示之“L”形托座使用可以減少水平驅動件數目從六個至四個(即在相對角落之氣缸620與640及在兩側上氣缸654)。再者，本發明之一些實施例係提供了在預定或刷滌位置之四個硬蓋體置放，接著使用刷滌角落處之彈性定位構件來轉移面板玻璃以將面板玻璃對準與定位在預定位置。典型地，定位構件係適用以接收來自控制裝置(robot)而位置變化高達±5mm之面板玻璃。是以，定位構件所提供之刷滌操作之範圍大於5mm。本發明之實施例可以在任何組合之固定與彈性對準與定位構件中使用任何數目之接觸點。

前述步驟之順序僅說明之用，且不會限制住本發明實施例。在替代性實施例中，定位或刷滌製程中步驟之數目、步驟之順序、與各種步驟之間的延遲係根據特定應用被變更。在不脫離申請專利範圍之下，也可以提供其他替代性實施例，其中步驟被增加、一或多個步驟被移除、或一或多個步驟被提供於不同順序中。

在背光模式中復檢與修復形成在面板玻璃上電路之金 屬線與其他特徵係為在檢視與/或修復設備中所樂見的特徵。一些傳統的夾盤設計係對於夾盤使用單件式玻璃，以進行版之背光照明。然而，面板玻璃之漸增尺寸係伴隨著加工單件式玻璃之漸增困難度。是以，本發明之實施例係提供了一夾盤設計，其係相容於背光檢視與/或修復操作。

第7圖係為根據本發明一實施例之一背光照明模組的側視圖。如第7圖所示，多個光源710、712與714被設置在支撐構件220下方。用於一些實施例中之光源為由美國加州聖荷西市(San Jose)之Lumileds所獲得之發光二極體(light emitting diode,LED)源。這些特定光源在約420nm至約700nm波長範圍中之輻射功率係介於66至80mW。視特定應用而定，可以使用在適當波長能夠提供足夠光照明之光源。

第7圖所示之支撐構件220為第5A-5B圖之支撐構件，而在支撐構件下方具有三個光源。一面板玻璃750被支撐構件220所支撐住(第7圖)，且部分地接觸於支撐構件之頂表面，且部分地未接觸。

在測試與/或修復操作期間，板之表面係被檢視/修復頭130掃瞄搜尋缺陷，如第1A圖所示。對於背光被用於檢視/修復操作之應用，背光組件移動與檢視/修復頭130協調，以確保在板表面上任一點之一致性照明。是以，利用背側照明之測試、檢視、與/或修復操作係可以確保通過支撐構件之照明在實施於自由空間之強度與分佈及施加在面板玻璃背部之照射為相同的。第7圖可以表示此兩種狀況。典型地，自由空間中照射強度與通過玻璃支撐構件之照射強度之間的差異係小於25%。

對於照明橫越自由空間之狀況，來自光源710之光係沿著線720傳播，且照射在交會點726之板上。對於此狀況，光輻射720、722、724、732與734僅用於說明用。用於聚焦、反射等等之光學鏡片係被省略，以為了清晰性。再者，來自光源712與714之光將各自地沿著輻射732與734傳播，通過離開測試區域。是以，在測試區域之光強度將為光輻射720強度、對應的光學等等之函數。

對於支撐構件設置在光源與測試區域之間的狀況，來自光源710(其係被裝設成入射正交於區塊744之下表面)之光係沿著與第一狀況中相同的方向傳播，通過區塊744、區塊744上方之供應通道、與區塊746。在通過這些區塊與通道之後，來自光源710之光照射在位置726之板上。在第7圖繪示之實施例中，來自光源712與714之光係各自地在區塊740與742之外表面處折射，通過頂部區塊746。支撐構件與光源之幾何結構，以及支撐構件之光學性質，係被選擇而使得當支撐構件設置在光源與所測試的板之間時，來自光源712與714之光照射在位置726。

本發明之實施例不被限制在第7圖之特定幾何結構。在其他實施例中，支撐構件之區塊的材料性質會造成其他角度之折射。此外，光源之放射不受限在單一平面中，而是在一些平面中，但仍然在關聯於測試區域之位置處交會。再者，各種區塊之尺寸、被選擇用於各種光輻射之入射角度、被提供在支撐構件區塊之各種表面上的塗層等等會影響照射在測試區域上之光量。此領域中一般技藝之人士可以知悉許多變化、變更與替代物。

在替代性實施例中，多個光源可以沿著一線被對準，其中該線垂直於第7圖之配置，亦即光源係沿著一平行於支撐構件長度之線。在這些實施例中，此三個光源大致上傳播通過下方區塊740、742或744之一者，以及上方區塊746，當測試區域被設置在個別區塊上方時。在各種區塊之界面，光傳播通過對應的材料，如同熟習此技藝之人士能瞭解者。

用於測試操作之本發明替代性實施例可以包括單一玻璃條，其包含一陣列之孔洞，該些孔洞位於其頂表面中且被單一導管連接以用於空氣與真空。這樣單一玻璃條之表面積係小於所測試、檢視、或修復之玻璃板的總面積。可以使用一固定或可移動的背光模組。是以，雖然本文描述的一些實施例是使用一陣列之玻璃條，這並非絕對，其他實施例係使用單一玻璃條。

雖然本發明已經以特定實施例及其特定範例被描述出來，應當瞭解的是，其他實施例亦落入本發明之精神與範圍內。因此，本發明之範圍應該由隨附申請專利範圍及其均等物之整個範圍來決定。

105．．．支撐結構

110．．．盪臂

112．．．軌道

120．．．起重架

130．．．檢視與/或修復頭

210．．．支撐夾盤

212．．．夾盤框架

214．．．夾盤支撐件

220．．．支撐構件

222．．．穿孔

230．．．支撐與整平托座

305．．．控制裝置(robot)

306．．．臂

307．．．面板玻璃

310．．．第三側

312．．．第四側

314．．．第一側

316．．．第二側

410．．．頂部區塊

412．．．底部區塊

414．．．溝槽

510．．．頂部區塊

512．．．底部區塊

514．．．供應通道

520．．．中央區塊

522．．．外部區塊

524．．．外部區塊

530．．．頂部

532．．．底部

534．．．頂表面

536．．．頂表面

602．．．角落定位構件

606．．．角落定位構件

608．．．邊緣定位構件

610．．．延伸臂

612．．．彈性耦接件

614．．．角落支撐件

616．．．角落支撐件

618．．．蓋體

620．．．水平氣缸

622．．．垂直氣缸

624．．．彈簧

630．．．延伸臂

634．．．角落支撐件

636．．．角落支撐件

640．．．水平氣缸

642．．．垂直氣缸

650．．．固定位置蓋體

652．．．延伸臂

654．．．水平氣缸

656．．．垂直氣缸

710．．．光源

712．．．光源

714．．．光源

720．．．光輻射

722．．．光輻射

724．．．光輻射

726．．．交會點

732．．．光輻射

734．．．光輻射

740．．．區塊

742．．．區塊

744‧‧‧區塊

746‧‧‧區塊

750‧‧‧面板玻璃

810‧‧‧背光模組

820‧‧‧光源

830‧‧‧橫條

第1A圖係為根據本發明一實施例之一檢視與修復系統的立體圖。

第1B圖係為根據本發明一實施例之一背光照明模組的立體圖，其中該背光照明模組背光社在一盪臂上。

第2圖係為根據本發明一實施例之一支撐夾盤的立體圖，其中該支撐夾盤係用於檢視與修復系統。

第3圖係為根據本發明一實施例之一支撐夾盤在面板玻璃裝載操作期間的示意圖。

第4A－4C圖係為根據本發明一實施例之一支撐構件的示意圖。

第5A－5B圖係為根據本發明另一實施例之一支撐構件的示意圖。

第6A－6D圖係為根據本發明一實施例之定位構件的立體圖。

第7圖係為根據本發明一實施例之一背光照明模組的側視圖。

305．．．控制裝置(robot)

306．．．臂

307．．．面板玻璃

310．．．第三側

312．．．第四側

314．．．第一側

316．．．第二側

602．．．角落定位構件

606．．．角落定位構件

608．．．邊緣定位構件

Claims (23)

1. 一種基材處理系統，其至少包含：一夾盤框架；一夾盤，其連接(coupled)至該夾盤框架，該夾盤包含一玻璃條陣列而其玻璃條係相隔開一預定距離，此玻璃條陣列中之每一玻璃條在一支撐表面中具有多個穿孔，該支撐表面係適用接觸於一基材之背側表面，其中每一玻璃條中之穿孔係流體溝通於一沿著玻璃條長度延伸之導管；以及一多光背光系統，其適用以照明該基材之背側表面。
2. 如申請專利範圍第1項所述之基材處理系統，其中該導管係流體溝通於一提供加壓氣體之來源，以及一提供真空之來源。
3. 如申請專利範圍第2項所述之基材處理系統，其中該加壓氣體包含空氣。
4. 如申請專利範圍第1項所述之基材處理系統，其中每一玻璃條為一硼矽酸鹽玻璃條。
5. 如申請專利範圍第1項所述之基材處理系統，其中每一玻璃條之一或多個表面被塗覆以一抗反射塗層。
6. 如申請專利範圍第1項所述之基材處理系統，其中每一玻璃條之支撐表面係實質上平坦。
7. 如申請專利範圍第6項所述之基材處理系統，其中該導管包含單一通孔，其具有一加工表面且通過每一玻璃條之內部。
8. 如申請專利範圍第6項所述之基材處理系統，其中每一玻璃條更包含一玻璃基板，該玻璃基板具有一接合表面。
9. 如申請專利範圍第1項所述之基材處理系統，更包含一或多個刷件，其適用以接觸於該基材之一或多個邊緣。
10. 如申請專利範圍第9項所述之基材處理系統，其中該一或多個刷件包含：一第一蓋體，其連接至該夾盤框架；以及一第二蓋體，其連接至該夾盤框架。
11. 如申請專利範圍第10項所述之基材處理系統，更包含一第三蓋體，其被裝設在一連接至夾盤框架之側支撐件上，其中該第三蓋體相對於該側支撐件具有固定的空間關係。
12. 如申請專利範圍第1項所述之基材處理系統，其中該多光背光系統與該玻璃條陣列係適用以對該基材中之被定位於每一玻璃條上方的第一部分提供一光強度，以及對該基材中之被定位在各玻璃條之間的第二部分提供實質上相同的光強度。
13. 如申請專利範圍第12項所述之基材處理系統，其中該第一部分處之光強度與該第二部分處之實質上相同的光強度係相差小於25%。
14. 如申請專利範圍第1項所述之基材處理系統，其中該多光背光系統包含：一第一光源，其至少沿著一第一方向放射光輻射，其中來自該第一光源之光輻射係照射在該基材之一測試區域上；以及一第二光源，其至少沿著一第二方向放射光輻射，其中該第一方向與該第二方向係夾一第一角度，且來自該第二光源而通過每一玻璃條之光的折射係使得來自該第二光源之光輻射照射在該測試區域上。
15. 一種將一玻璃板定位在一平面面板顯示器測試、檢視與/或站上之方法，該方法至少包含： 藉由使一氣體流動通過複數個穿孔來提供一空氣墊，其中該些穿孔位在一或多個玻璃條之上表面中；將該玻璃板定位在該空氣墊上；使該玻璃板之一或多個邊緣接觸於一或多個刷件；利用該一或多個刷件以移動該玻璃板至一預定位置；以及在上述移動步驟之後，將該玻璃板固持接觸於該一或多個玻璃條之上表面。
16. 如申請專利範圍第15項所述之方法，其中將該玻璃板定位在該空氣墊上的步驟係包含：將該玻璃板從一控制裝置(robot)轉移至鄰近於該一或多個玻璃條之位置。
17. 如申請專利範圍第15項所述之方法，其中移動該玻璃板的步驟係包含：平移該玻璃板於至少一水平方向中。
18. 如申請專利範圍第15項所述之方法，其中將該玻璃板固持的步驟係包含：藉由在一導管中建立一低於大氣壓力之壓力來提供一真空於該一或多個玻璃條之上表面，而該導管係形成在該一或多個玻璃條之內部。
19. 一種檢視、修復、或測試一用於LCD顯示器之玻璃板之方法，該方法至少包含： 藉由將一氣體流動通過複數個穿孔來提供一空氣墊，其中該些穿孔位在一或多個玻璃條之上表面中；將該玻璃板定位在該空氣墊上；經由該複數個穿孔來抽吸氣體，以使該玻璃板之背側接觸於該一或多個玻璃條之上表面；以及照明該玻璃板之背側。
20. 如申請專利範圍第19項所述之方法，更包含：使該玻璃板之一或多個邊緣接觸於一或多個刷件；利用該一或多個刷件以移動該玻璃板至一預定位置。
21. 如申請專利範圍第20項所述之方法，其中移動該玻璃板至一預定位置係被執行成該玻璃板之背側與該一或多個玻璃條之上表面之間不接觸。
22. 如申請專利範圍第19項所述之方法，其中該氣體為利用一導管而被提供至該複數個穿孔之加壓氣體，該導管係沿著該一或多個玻璃條之每一者之長度延伸。
23. 如申請專利範圍第22項所述之方法，其中經由該複數個穿孔來抽吸氣體的步驟係包含：應用一真空源至該導管。