JP3402172B2 - 導電性ボールの搭載装置および搭載方法 - Google Patents
導電性ボールの搭載装置および搭載方法Info
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/48—Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
- H01L21/4814—Conductive parts
- H01L21/4846—Leads on or in insulating or insulated substrates, e.g. metallisation
- H01L21/4853—Connection or disconnection of other leads to or from a metallisation, e.g. pins, wires, bumps
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワークに導電性ボ
ールを搭載する導電性ボールの搭載装置および搭載方法
に関するものである。
ールを搭載する導電性ボールの搭載装置および搭載方法
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】フリップチップなどのバンプ付チップを
製造する方法として、導電性ボールを用いる方法が知ら
れている。この方法は、搭載ヘッドに複数個の導電性ボ
ールを保持し、この導電性ボールをチップや基板などの
ワークの電極上に搭載するものである。この導電性ボー
ルの搭載工程を含め、電子部品の製造工程でのワークを
搬送する方法として、ワークを保持する凹部が多数設け
られたトレーによる方法が広く用いられている。この方
法は多数のワークを一括して搬送することができるの
で、効率的な取り扱いができるという利点がある。
製造する方法として、導電性ボールを用いる方法が知ら
れている。この方法は、搭載ヘッドに複数個の導電性ボ
ールを保持し、この導電性ボールをチップや基板などの
ワークの電極上に搭載するものである。この導電性ボー
ルの搭載工程を含め、電子部品の製造工程でのワークを
搬送する方法として、ワークを保持する凹部が多数設け
られたトレーによる方法が広く用いられている。この方
法は多数のワークを一括して搬送することができるの
で、効率的な取り扱いができるという利点がある。
【０００３】ところで導電性ボールは、ワークの電極上
に位置ずれなく正確に搭載する必要があるため、カメラ
などの認識装置を用いてワークの電極や搭載ヘッドに保
持された導電性ボールの位置認識を行い、この位置認識
結果に基づいて導電性ボールと電極の位置合せをしたう
えで導電性ボールを電極上に搭載する。
に位置ずれなく正確に搭載する必要があるため、カメラ
などの認識装置を用いてワークの電極や搭載ヘッドに保
持された導電性ボールの位置認識を行い、この位置認識
結果に基づいて導電性ボールと電極の位置合せをしたう
えで導電性ボールを電極上に搭載する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前述のトレ
ーは主に搬送用のものであるため寸法精度が悪く、ワー
クがトレーに保持された状態では凹部とワークの間には
導電性ボール搭載時の位置決め精度の許容値を大きく超
える隙間が存在する。このため、従来の導電性ボールの
搭載装置では、ワークの位置を個別に認識し位置合せ動
作および搭載動作も個別に行う必要があり、タクトタイ
ムが長くなり生産能率がきわめて低いという問題点があ
った。
ーは主に搬送用のものであるため寸法精度が悪く、ワー
クがトレーに保持された状態では凹部とワークの間には
導電性ボール搭載時の位置決め精度の許容値を大きく超
える隙間が存在する。このため、従来の導電性ボールの
搭載装置では、ワークの位置を個別に認識し位置合せ動
作および搭載動作も個別に行う必要があり、タクトタイ
ムが長くなり生産能率がきわめて低いという問題点があ
った。
【０００５】そこで本発明は、複数個のワークに対して
導電性ボールを位置精度よくかつ効率よく一括して搭載
することができる導電性ボールの搭載装置および搭載方
法を提供することを目的とする。
導電性ボールを位置精度よくかつ効率よく一括して搭載
することができる導電性ボールの搭載装置および搭載方
法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の導電性ボ
ールの搭載装置は、ワークを保持する凹部が複数個形成
されたトレーと、このトレーを搬送する搬送手段と、前
記凹部に保持されたワークをこの凹部の中央部に形成さ
れた貫通孔を通って下方から持ち上げる持ち上げ手段
と、この持ち上げ手段により持ち上げられたワークの位
置決めを行う位置決め部と、位置決めされた複数個のワ
ーク上に導電性ボールを一括して搭載する搭載ヘッドと
を備え、前記位置決め部が、前記トレーの凹部に対応し
て孔部が複数個形成された相接する上下２枚のマスクプ
レートを有し、この２枚のマスクプレートを移動手段に
より前記孔部の対角線方向に相対的に水平移動させてこ
の孔部内に位置する前記ワークを前記上下２枚のマスク
プレートの孔部の内側面ではさみ込むことにより前記ワ
ークの位置決めを行うようにした。
ールの搭載装置は、ワークを保持する凹部が複数個形成
されたトレーと、このトレーを搬送する搬送手段と、前
記凹部に保持されたワークをこの凹部の中央部に形成さ
れた貫通孔を通って下方から持ち上げる持ち上げ手段
と、この持ち上げ手段により持ち上げられたワークの位
置決めを行う位置決め部と、位置決めされた複数個のワ
ーク上に導電性ボールを一括して搭載する搭載ヘッドと
を備え、前記位置決め部が、前記トレーの凹部に対応し
て孔部が複数個形成された相接する上下２枚のマスクプ
レートを有し、この２枚のマスクプレートを移動手段に
より前記孔部の対角線方向に相対的に水平移動させてこ
の孔部内に位置する前記ワークを前記上下２枚のマスク
プレートの孔部の内側面ではさみ込むことにより前記ワ
ークの位置決めを行うようにした。
【０００７】請求項２記載の導電性ボールの搭載方法
は、トレーに形成された複数の凹部内に保持された複数
個のワーク上に搭載ヘッドにより導電性ボールを一括し
て搭載する導電性ボールの搭載方法であって、前記凹部
に保持されたワークを持ち上げ手段によって凹部の中央
部に形成された貫通孔を通って下方から持ち上げて、相
接する上下２枚のマスクプレートの前記トレーの孔部に
対応して形成された孔部内に位置させ、この上下２枚の
マスクプレートを移動手段により前記孔部の対角線方向
に相対的に水平移動させて、前記ワークを前記上下２枚
のマスクプレートの孔部の内側面ではさみ込むことによ
り前記ワークの位置決めを行い、搭載ヘッドによって少
なくとも２個以上のワークに対して同時に導電性ボール
を搭載するようにした。
は、トレーに形成された複数の凹部内に保持された複数
個のワーク上に搭載ヘッドにより導電性ボールを一括し
て搭載する導電性ボールの搭載方法であって、前記凹部
に保持されたワークを持ち上げ手段によって凹部の中央
部に形成された貫通孔を通って下方から持ち上げて、相
接する上下２枚のマスクプレートの前記トレーの孔部に
対応して形成された孔部内に位置させ、この上下２枚の
マスクプレートを移動手段により前記孔部の対角線方向
に相対的に水平移動させて、前記ワークを前記上下２枚
のマスクプレートの孔部の内側面ではさみ込むことによ
り前記ワークの位置決めを行い、搭載ヘッドによって少
なくとも２個以上のワークに対して同時に導電性ボール
を搭載するようにした。
【０００８】本発明によれば、トレーの凹部に保持され
たワークを上方に持ち上げて相互にスライド可能な相接
する上下２枚のマスクプレートの孔部内に位置させ、マ
スクプレートを孔部の対角線方向に相対的に水平移動さ
せてこのワークを上下２枚のマスクプレートの孔部の内
側面ではさみ込むことにより、複数個のワークを同時に
位置決めすることができる。
たワークを上方に持ち上げて相互にスライド可能な相接
する上下２枚のマスクプレートの孔部内に位置させ、マ
スクプレートを孔部の対角線方向に相対的に水平移動さ
せてこのワークを上下２枚のマスクプレートの孔部の内
側面ではさみ込むことにより、複数個のワークを同時に
位置決めすることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を図面を
参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態の導電
性ボールの搭載装置の斜視図、図２、図３、図４は同導
電性ボールの搭載装置の断面図、図５は同導電性ボール
の搭載装置のマスクプレートの平面図、図６、図７は同
導電性ボールの搭載装置の断面図である。
参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態の導電
性ボールの搭載装置の斜視図、図２、図３、図４は同導
電性ボールの搭載装置の断面図、図５は同導電性ボール
の搭載装置のマスクプレートの平面図、図６、図７は同
導電性ボールの搭載装置の断面図である。
【００１０】まず図１を参照して導電性ボールの搭載装
置の構造を説明する。図１において、１対のベルトコン
ベア１にはワーク３のトレー２が載置されている。ベル
トコンベア１のベルト１ａが走行することにより、トレ
ー２はベルト１ａ上を搬送される。したがってベルトコ
ンベア１はトレー２の搬送手段となっている。トレー２
には、複数個の凹部２ａが形成されており、凹部２ａ内
にはワーク３が周囲に隙間がある状態で保持されてい
る。ワーク３の上面には、多数の電極３ａが設けられて
おり、電極３ａ上には導電性ボールが搭載される。
置の構造を説明する。図１において、１対のベルトコン
ベア１にはワーク３のトレー２が載置されている。ベル
トコンベア１のベルト１ａが走行することにより、トレ
ー２はベルト１ａ上を搬送される。したがってベルトコ
ンベア１はトレー２の搬送手段となっている。トレー２
には、複数個の凹部２ａが形成されており、凹部２ａ内
にはワーク３が周囲に隙間がある状態で保持されてい
る。ワーク３の上面には、多数の電極３ａが設けられて
おり、電極３ａ上には導電性ボールが搭載される。
【００１１】ベルトコンベア１上にはワーク３の位置決
め部１０が設けられている。以下、図１、図２を参照し
て位置決め部１０について説明する。図１、図２におい
て、ベルトコンベア１の両側にはベース部材１１，１２
が配設されている。ベース部材１１，１２上にはそれぞ
れガイドレール１３が配設されており、ガイドレール１
３にはスライダ１４が水平方向にスライド自在に装着さ
れている。
め部１０が設けられている。以下、図１、図２を参照し
て位置決め部１０について説明する。図１、図２におい
て、ベルトコンベア１の両側にはベース部材１１，１２
が配設されている。ベース部材１１，１２上にはそれぞ
れガイドレール１３が配設されており、ガイドレール１
３にはスライダ１４が水平方向にスライド自在に装着さ
れている。
【００１２】スライダ１４の上面には下部マスクプレー
ト１５の両端部が固着されており、下部マスクプレート
１５はベルトコンベア１の上方をまたぐ形で配設されて
いる。下部マスクプレート１５には、トレー２の凹部２
ａに対応して孔部１５ａが設けられている（図１も参
照）。ベース部材１１上にはシリンダ１６が配設されて
おり、シリンダ１６のロッド１６ａは下部マスクプレー
ト１５に結合されている。したがってシリンダ１６のロ
ッド１６ａが突没することにより、下部マスクプレート
１５は水平移動する。
ト１５の両端部が固着されており、下部マスクプレート
１５はベルトコンベア１の上方をまたぐ形で配設されて
いる。下部マスクプレート１５には、トレー２の凹部２
ａに対応して孔部１５ａが設けられている（図１も参
照）。ベース部材１１上にはシリンダ１６が配設されて
おり、シリンダ１６のロッド１６ａは下部マスクプレー
ト１５に結合されている。したがってシリンダ１６のロ
ッド１６ａが突没することにより、下部マスクプレート
１５は水平移動する。
【００１３】図２において、ベース部材１２上にはガイ
ドレール１７が配設されており、ガイドレール１７には
スライダ１８が水平方向にスライド自在に装着されてい
る。スライダ１８の上面にはプレート１９が固着されて
おり、プレート１９の上面にはローラ２２がブラケット
２１を介して配設されている。ローラ２２は上部マスク
プレート２４の端部に固着されたストッパブロック２３
の側面に当接している。
ドレール１７が配設されており、ガイドレール１７には
スライダ１８が水平方向にスライド自在に装着されてい
る。スライダ１８の上面にはプレート１９が固着されて
おり、プレート１９の上面にはローラ２２がブラケット
２１を介して配設されている。ローラ２２は上部マスク
プレート２４の端部に固着されたストッパブロック２３
の側面に当接している。
【００１４】図１において、上部マスクプレート２４の
各隅部には、斜行溝２５が設けられている。斜行溝２５
は上部マスクプレート２４に設けられた孔部２４ａの対
角線方向（矢印ａと平行方向）に設けられており、斜行
溝２５内には下部マスクプレート１５に立設されたピン
２６が嵌入している。
各隅部には、斜行溝２５が設けられている。斜行溝２５
は上部マスクプレート２４に設けられた孔部２４ａの対
角線方向（矢印ａと平行方向）に設けられており、斜行
溝２５内には下部マスクプレート１５に立設されたピン
２６が嵌入している。
【００１５】ベース部材１２上にはシリンダ２０が配設
されており、シリンダ２０のロッド２０ａはプレート１
９に固着されている。したがってシリンダ２０のロッド
２０ａが突出することにより、ローラ２２はストッパブ
ロック２３をＸ方向に押し進める。これにより、上部マ
スクプレート２４は斜行溝２５とピン２６によってガイ
ドされ、図１に示す矢印ａ方向に移動する。このとき、
ローラ２２はストッパブロック２３の側面上で転動する
ので、上部マスクプレート２４のＹ方向の動きが妨げら
れることがない。またシリンダ２０のロッド２０ａが没
入すると、上部マスクプレート２４はスプリング２７に
より引き戻されて、矢印ａの反対方向に戻る。
されており、シリンダ２０のロッド２０ａはプレート１
９に固着されている。したがってシリンダ２０のロッド
２０ａが突出することにより、ローラ２２はストッパブ
ロック２３をＸ方向に押し進める。これにより、上部マ
スクプレート２４は斜行溝２５とピン２６によってガイ
ドされ、図１に示す矢印ａ方向に移動する。このとき、
ローラ２２はストッパブロック２３の側面上で転動する
ので、上部マスクプレート２４のＹ方向の動きが妨げら
れることがない。またシリンダ２０のロッド２０ａが没
入すると、上部マスクプレート２４はスプリング２７に
より引き戻されて、矢印ａの反対方向に戻る。
【００１６】図２において、ベルトコンベア１の間に
は、ワーク３の持ち上げ手段であるバックアップ部材３
０が配設されている。バックアップ部材３０は上下駆動
機構（図外）により上下し、バックアップ部材３０の上
面にはトレー２の凹部２ａ内に設けられた貫通孔２ｂに
対応した位置に凸部３１が設けられている。バックアッ
プ部材３０が上昇することにより、凸部３１は貫通孔２
ｂを通って下方からワーク３を持ち上げる。凸部３１の
上面にはワーク３の吸着孔３２が形成されており、吸着
孔３２は吸引孔３３と連通している。バックアップ部材
３０が上昇し凸部３１の上面がワーク３の下面に当接し
た状態で吸引孔３３から真空吸引することにより、ワー
ク３は凸部３１上で吸引されて固定される。
は、ワーク３の持ち上げ手段であるバックアップ部材３
０が配設されている。バックアップ部材３０は上下駆動
機構（図外）により上下し、バックアップ部材３０の上
面にはトレー２の凹部２ａ内に設けられた貫通孔２ｂに
対応した位置に凸部３１が設けられている。バックアッ
プ部材３０が上昇することにより、凸部３１は貫通孔２
ｂを通って下方からワーク３を持ち上げる。凸部３１の
上面にはワーク３の吸着孔３２が形成されており、吸着
孔３２は吸引孔３３と連通している。バックアップ部材
３０が上昇し凸部３１の上面がワーク３の下面に当接し
た状態で吸引孔３３から真空吸引することにより、ワー
ク３は凸部３１上で吸引されて固定される。
【００１７】図２において、位置決め部１０の上方には
搭載ヘッド３５が配設されている。搭載ヘッド３５はト
レー２に保持された複数個のワーク３に導電性ボール４
を一括して搭載する。搭載ヘッド３５にはカメラ３６が
設けられており、位置決めされたワーク３の位置をカメ
ラ３６で認識することにより、搭載ヘッド３５のＸＹ方
向の位置合せを行う。
搭載ヘッド３５が配設されている。搭載ヘッド３５はト
レー２に保持された複数個のワーク３に導電性ボール４
を一括して搭載する。搭載ヘッド３５にはカメラ３６が
設けられており、位置決めされたワーク３の位置をカメ
ラ３６で認識することにより、搭載ヘッド３５のＸＹ方
向の位置合せを行う。
【００１８】この導電性ボールの搭載装置は上記のよう
に構成されており、次に動作を説明する。まず図１にお
いて、それぞれの凹部２ａにワーク３を保持したトレー
２はベルトコンベア１により位置決め部１０まで搬送さ
れ、ストッパ（図外）によって所定位置で停止する。こ
の後、図３に示すようにバックアップ部材３０を上昇さ
せ（矢印ｃ参照）、凸部３１の上面をワーク３の下面に
当接させてワーク３を持ち上げる。この結果、ワーク３
は上部マスクプレート１５、下部マスクプレート２４の
それぞれの孔部１５ａ，２４ａの内部に位置する。この
とき、バックアップ部材３０の吸引孔３３から真空吸引
することにより（矢印ｄ参照）、ワーク３の下面は凸部
３１の上面に吸着されて保持される。
に構成されており、次に動作を説明する。まず図１にお
いて、それぞれの凹部２ａにワーク３を保持したトレー
２はベルトコンベア１により位置決め部１０まで搬送さ
れ、ストッパ（図外）によって所定位置で停止する。こ
の後、図３に示すようにバックアップ部材３０を上昇さ
せ（矢印ｃ参照）、凸部３１の上面をワーク３の下面に
当接させてワーク３を持ち上げる。この結果、ワーク３
は上部マスクプレート１５、下部マスクプレート２４の
それぞれの孔部１５ａ，２４ａの内部に位置する。この
とき、バックアップ部材３０の吸引孔３３から真空吸引
することにより（矢印ｄ参照）、ワーク３の下面は凸部
３１の上面に吸着されて保持される。
【００１９】次に図４に示すように、シリンダ１６を駆
動して下部マスクプレート１５を矢印ｅ方向に移動させ
るとともに、シリンダ２０を駆動して上部マスクプレー
ト２４を矢印ｆ方向に移動させる。このときの状態を図
５を参照して説明する。図５において下部マスクプレー
ト１５を矢印ｇ方向に、また上部マスクプレート２４を
矢印ｈ方向に移動させることにより、ワーク３（ハッチ
ング部にて示す）は下部マスクプレート１５の孔部１５
ａの内側面Ａおよび上部マスクプレート２４の孔部２４
ａの内側面Ｂによってはさみ込まれて位置が固定され
る。
動して下部マスクプレート１５を矢印ｅ方向に移動させ
るとともに、シリンダ２０を駆動して上部マスクプレー
ト２４を矢印ｆ方向に移動させる。このときの状態を図
５を参照して説明する。図５において下部マスクプレー
ト１５を矢印ｇ方向に、また上部マスクプレート２４を
矢印ｈ方向に移動させることにより、ワーク３（ハッチ
ング部にて示す）は下部マスクプレート１５の孔部１５
ａの内側面Ａおよび上部マスクプレート２４の孔部２４
ａの内側面Ｂによってはさみ込まれて位置が固定され
る。
【００２０】このとき、各孔部は搭載ヘッド３５の導電
性ボールの吸着孔の配置に対応して配置されており、各
孔部相互の位置精度および各孔部の内側面Ａ，Ｂの加工
精度は、必要な導電性ボールの位置決め精度が確保でき
るような精度となっている。したがって、マスクプレー
トの１５、２４の孔部１５ａ，２４ａをワーク３の位置
決め基準として用いることができ、複数個のワーク３を
同一の位置基準で搭載ヘッド３５に対して位置決めする
ことができる。
性ボールの吸着孔の配置に対応して配置されており、各
孔部相互の位置精度および各孔部の内側面Ａ，Ｂの加工
精度は、必要な導電性ボールの位置決め精度が確保でき
るような精度となっている。したがって、マスクプレー
トの１５、２４の孔部１５ａ，２４ａをワーク３の位置
決め基準として用いることができ、複数個のワーク３を
同一の位置基準で搭載ヘッド３５に対して位置決めする
ことができる。
【００２１】次に、このようにして位置決めされたワー
ク３に対して下面の吸着孔に導電性ボール４を保持した
搭載ヘッド３５を位置合せする。図６に示すように、カ
メラ３６でトレー２に保持されたワーク３の何れかの位
置を認識し、この認識結果に基づいて搭載ヘッド３５を
駆動手段（図外）によって移動させ、ワーク３に位置合
せする。この後、搭載ヘッド３５を下降させ、導電性ボ
ール４の真空吸着を解除することにより導電性ボール４
をワーク３上に搭載する。このとき、各ワーク３は上部
マスクプレート２４と下部マスクプレート１５によっ
て、搭載ヘッド３５のそれぞれ対応する吸着孔に対して
確実に位置決めされている。このため、少なくとも２個
以上の複数個のワーク３もしくは位置決めされた全ての
ワーク３に導電性ボール４を同時に一括して精度よく搭
載することができる。
ク３に対して下面の吸着孔に導電性ボール４を保持した
搭載ヘッド３５を位置合せする。図６に示すように、カ
メラ３６でトレー２に保持されたワーク３の何れかの位
置を認識し、この認識結果に基づいて搭載ヘッド３５を
駆動手段（図外）によって移動させ、ワーク３に位置合
せする。この後、搭載ヘッド３５を下降させ、導電性ボ
ール４の真空吸着を解除することにより導電性ボール４
をワーク３上に搭載する。このとき、各ワーク３は上部
マスクプレート２４と下部マスクプレート１５によっ
て、搭載ヘッド３５のそれぞれ対応する吸着孔に対して
確実に位置決めされている。このため、少なくとも２個
以上の複数個のワーク３もしくは位置決めされた全ての
ワーク３に導電性ボール４を同時に一括して精度よく搭
載することができる。
【００２２】次に図７に示すように上面に導電性ボール
４が搭載されたワーク３は、下部マスクプレート１５を
矢印ｉ方向に、上部マスクプレート２４を矢印ｊ方向に
移動させることにより位置決めが解除される。次いで吸
引孔３３からの真空吸引を解除してバックアップ部材３
０を下降させる（矢印ｋ参照）ことにより、ワーク３は
再びトレー２の凹部２ａ内に保持される。この後、トレ
ー２はベルトコンベア１により次工程に搬送される。
４が搭載されたワーク３は、下部マスクプレート１５を
矢印ｉ方向に、上部マスクプレート２４を矢印ｊ方向に
移動させることにより位置決めが解除される。次いで吸
引孔３３からの真空吸引を解除してバックアップ部材３
０を下降させる（矢印ｋ参照）ことにより、ワーク３は
再びトレー２の凹部２ａ内に保持される。この後、トレ
ー２はベルトコンベア１により次工程に搬送される。
【００２３】
【発明の効果】本発明によれば、トレーの凹部に保持さ
れたワークを上方に持ち上げて相互にスライド可能な上
下２枚のマスクプレートの孔部内に持ち上げ、マスクプ
レートを孔部の対角線方向に相対的に移動させてこのワ
ークをマスクプレートの内側面ではさみ込むようにして
いるので、上下各マスクプレートの加工精度を確保する
ことにより、簡単な機構を使用して複数個のワークを精
度よく確実に位置決めすることができ、導電性ボールを
一括して効率よく搭載することができる。
れたワークを上方に持ち上げて相互にスライド可能な上
下２枚のマスクプレートの孔部内に持ち上げ、マスクプ
レートを孔部の対角線方向に相対的に移動させてこのワ
ークをマスクプレートの内側面ではさみ込むようにして
いるので、上下各マスクプレートの加工精度を確保する
ことにより、簡単な機構を使用して複数個のワークを精
度よく確実に位置決めすることができ、導電性ボールを
一括して効率よく搭載することができる。
【図１】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装
置の斜視図
置の斜視図
【図２】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装
置の断面図
置の断面図
【図３】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装
置の断面図
置の断面図
【図４】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装
置の断面図
置の断面図
【図５】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装
置のマスクプレートの平面図
置のマスクプレートの平面図
【図６】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装
置の断面図
置の断面図
【図７】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装
置の断面図
置の断面図
１ ベルトコンベア
２ トレー
２ａ 凹部
３ ワーク
４ 導電性ボール
１０ 位置決め部
１５ 下部マスクプレート
１５ａ 孔部
２４ 上部マスクプレート
２４ａ 孔部
３０ バックアップ部材
３６ カメラ
Claims (2)
- 【請求項１】ワークを保持する凹部が複数個形成された
トレーと、このトレーを搬送する搬送手段と、前記凹部
に保持されたワークをこの凹部の中央部に形成された貫
通孔を通って下方から持ち上げる持ち上げ手段と、この
持ち上げ手段により持ち上げられたワークの位置決めを
行う位置決め部と、位置決めされた複数個のワーク上に
導電性ボールを一括して搭載する搭載ヘッドとを備え、
前記位置決め部が、前記トレーの凹部に対応して孔部が
複数個形成された相接する上下２枚のマスクプレートを
有し、この２枚のマスクプレートを移動手段により前記
孔部の対角線方向に相対的に水平移動させてこの孔部内
に位置する前記ワークを前記上下２枚のマスクプレート
の孔部の内側面ではさみ込むことにより前記ワークの位
置決めを行うことを特徴とする導電性ボールの搭載装
置。 - 【請求項２】トレーに形成された複数の凹部内に保持さ
れた複数個のワーク上に搭載ヘッドにより導電性ボール
を一括して搭載する導電性ボールの搭載方法であって、
前記凹部に保持されたワークを持ち上げ手段によって凹
部の中央部に形成された貫通孔を通って下方から持ち上
げて、相接する上下２枚のマスクプレートの前記トレー
の孔部に対応して形成された孔部内に位置させ、この上
下２枚のマスクプレートを移動手段により前記孔部の対
角線方向に相対的に水平移動させて、前記ワークを前記
上下２枚のマスクプレートの孔部の内側面ではさみ込む
ことにより前記ワークの位置決めを行い、搭載ヘッドに
よって少なくとも２個以上のワークに対して同時に導電
性ボールを搭載することを特徴とする導電性ボールの搭
載方法。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP00013498A JP3402172B2 (ja) | 1998-01-05 | 1998-01-05 | 導電性ボールの搭載装置および搭載方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00013498A JP3402172B2 (ja) | 1998-01-05 | 1998-01-05 | 導電性ボールの搭載装置および搭載方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11195668A JPH11195668A (ja) | 1999-07-21 |
| JP3402172B2 true JP3402172B2 (ja) | 2003-04-28 |
Family
ID=11465571
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00013498A Expired - Fee Related JP3402172B2 (ja) | 1998-01-05 | 1998-01-05 | 導電性ボールの搭載装置および搭載方法 |
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-
1998
- 1998-01-05 JP JP00013498A patent/JP3402172B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH11195668A (ja) | 1999-07-21 |
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