JP3879497B2

JP3879497B2 - ガラス基板位置決め装置

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Publication number: JP3879497B2
Application number: JP2001369686A
Authority: JP
Inventors: 正樹河野; 秀樹森; 正典生熊; 英生淡河; 剛史山口
Original assignee: Toppan Inc
Current assignee: Toppan Inc
Priority date: 2001-12-04
Filing date: 2001-12-04
Publication date: 2007-02-14
Anticipated expiration: 2021-12-04
Also published as: JP2003171146A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネル用カラーフィルタを製造する際に用いる薬液塗布装置に関ものであり、特に、ガラス基板を回転させずに、ダイヘッド等を用いて薬液を塗布する薬液塗布装置において、薬液塗布前のガラス基板を塗布ヘッドに対して適正な位置に位置決めするためのガラス基板位置決め装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
矩形状のガラス基板の位置決め装置とその前工程との受け渡し方法の例について言及する。図３（ａ）は、位置決め装置のガラス基板の幅方向の側面図、（ｂ）は、長手方向の側面図である。（ａ）および（ｂ）において、（イ）〜（ロ）は動作順序である。
【０００３】
先ず、図３（ａ）および（ｂ）に示すように、矩形状のガラス基板Ａは、前工程から移載用のロボットＣによって底面を２本のアーム１で支えられた状態でテーブルＢ上に積載されるが、そのままではテーブルＢ上に積載後、アーム１を退避することが出来ないので、一旦、テーブルＢの上面から突出した状態で、アーム１と干渉しない位置に設置された複数の支持ピン２の上に受け渡され、その後にアーム１が退避する。
支持ピン２はテーブルＢに対して垂直方向に昇降自在であり、受け渡された後ゆっくり下降して、テーブルＢ上に矩形状のガラス基板Ａが積載される。
【０００４】
次に、受け渡されたガラス基板の位置を決める位置決め装置の一例を図４に示す。図４（ａ）は、同じく、位置決め装置のガラス基板の幅方向の側面図、（ｂ）は、長手方向の側面図である。（ａ）および（ｂ）において、（イ）〜（ニ）は動作順序である。
図４（ａ）および（ｂ）に示すように、この一例は、矩形状のガラス基板ＡをテーブルＢに積載する際、あらかじめ、矩形状のガラス基板Ａの互いに平行な２組の側端縁間の寸法からわずかに隙間を持たせた状態で設置された上開き方向に傾斜のついた位置決め部材３によって、矩形状のガラス基板Ａの側端縁が支持ピン２の下降に従って、位置決め部材３の傾斜面に接触しながらひとりでに位置決めされるといった位置決め装置である。
【０００５】
また、図５は、位置決め装置の他の例を示したものである。
図５（ａ）は、同じく、位置決め装置のガラス基板の幅方向の側面図、（ｂ）は、長手方向の側面図である。（ａ）および（ｂ）において、（イ）〜（ニ）は動作順序である。
図５（ａ）および（ｂ）に示すように、矩形状のガラス基板ＡをテーブルＢ上に積載する際、ガラス基板Ａが支持ピン２によって保持され、テーブＢとの間に隙間がある状態のままで、矩形状のガラス基板Ａの互いに平行な２組の側端縁をブロック状の位置決め部材３で押し当てて位置決めするといった位置決め装置である。
【０００６】
しかしながら、昨今、大型液晶テレビ等の普及により、液晶パネル用カラーフィルタのガラス基板は年々大型化している。更に、生産効率を向上させる目的で１枚のガラス基板への面付け数を増やして生産することも多く、大型化に拍車をかけている。
また、一方ではノートパソコンや携帯情報端末等の軽薄短小化に伴い、液晶パネル用カラーフィルタのガラス基板は軽量化、高透過率確保等で年々その厚さが薄くなっている。すなわち、液晶パネル用カラーフィルタのガラス基板は年々その大きさが大型化し、厚さが薄くなっている。
【０００７】
このため、上述した２例の場合、その位置決め過程において、ガラス基板の大型化や厚さが薄くなっていることが様々な不具合を引き起こす。例えば、図４に示すように、矩形状のガラス基板Ａが支持ピンの下降に従って、位置決め部材３の傾斜面に接触しながらひとりでに位置決めされる場合には、図６に示すように、支持ピン２の下降時に矩形状のガラス基板Ａの側端縁が位置決め部材３の傾斜面に接触したまま浮いた状態となり、テーブルＢ上に水平に積載されないことがある。
また、仮に、矩形状のガラス基板Ａが完全にテーブルＢ上に密着した状態で積載されたとしても、位置決め部材３が矩形状のガラス基板Ａの互いに平行な２組の側端縁間の寸法からわずかに隙間を持たせた状態で設置されているので、精度の高い位置決めは期待できない。
【０００８】
また、例えば、図５に示すように、矩形状のガラス基板Ａが支持ピン２によって支持されたままの状態で、矩形状のガラス基板Ａの互いに平行な２組の側端縁をブロック状の位置決め部材３で押し当てて位置決めする場合には、図７に示すように、矩形状のガラス基板Ａが支持ピン２で支えられた状態では、自重による撓みのため矩形状のガラス基板Ａが湾曲してしまい、正確な位置決めが困難になる。
仮に、図８に示すように、支持ピン２の位置や本数を工夫することによって矩形状のガラス基板Ａの湾曲を最小限に抑えても、ガラス基板が薄い場合はブロック状の位置決め部材３の押圧による変形が大きくなり、正確な位置決めが困難になる。
【０００９】
更に、液晶パネルの高精細化に伴い、ガラス基板の歪み、傷等が最終品質に大きな影響を与えるので、位置決め工程においても歪み、傷等が発生しない取扱いが要求される。
例えば、図５に示すように、矩形状のガラス基板Ａが支持ピン２で支えられた状態で位置決めを行うことは、矩形状のガラス基板Ａと支持ピン２との接触面積が小さいので、その部分に応力が集中してガラス基板の歪みに繋がったり、接触部分の傷を誘発する可能性が高くなり好ましいものではない。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであって、液晶パネル用カラーフィルタを製造する際に使用する、ダイヘッド等を用いて薬液を塗布する薬液塗布装置などにおいて、大型化、薄厚化が進むガラス基板を塗布ヘッドに対して適正なテーブル上の位置に、安定して精度良く位置決めすることのできるガラス基板位置決め装置を提供することを課題とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ガラス基板を水平に積載して、その平面内の一方向に摺動可能としたテーブルと、該テーブルの上面に対し平行な方向と垂直な方向に摺動自在な少なくとも２つ以上の位置決め部材を備え、該位置決め部材が下方へ摺動してテーブルの上面と接触する部分がテーブルの上面と接触した際に、接触したことを検知する位置検出装置と、該位置検出装置からの信号によって該位置決め部材のテーブルへの押し付け圧力を自動調整する圧力調整装置を備え、該位置決め部材はテーブル上に積載されたガラス基板の側端縁もしくは四隅端縁を、テーブルの上面に接触しながらガラス基板の中心方向に押圧してテーブルの所定の位置にガラス基板を位置決めし、位置決め完了後にテーブル上から退避することを特徴とするガラス基板位置決め装置である。
【００１２】
また、本発明は、上記発明によるガラス基板位置決め装置において、前記位置決め部材は、ガラス基板の側端縁もしくは四隅端縁と接触する部分が、ガラス基板の側端縁もしくは四隅端縁に対し平行な面であり、テーブルの上面と接触する部分が、テーブルの上面と平行な面で、かつ、上記ガラス基板の側端縁もしくは四隅端縁に接触する面から１０ｍｍ以下の幅を有して形成されていることを特徴とするガラス基板位置決め装置である。
【００１５】
また、本発明は、上記発明によるガラス基板位置決め装置において、前記テーブルは、その内部に流体供装置から導管を経由して供給される流体を案内して、その上面に開放した複数の開口から流体を噴出させる中空部を有し、該開口から噴出する流体の圧力でガラス基板を微少浮上させた状態で位置決め部材による位置決めを行うことを特徴とするガラス基板位置決め装置である。
【００１６】
また、本発明は、上記発明によるガラス基板位置決め装置において、前記テーブルは、その内部に負圧発生装置から導管を経由して供給される負圧を案内して、その上面に開放した複数の開口から流体を吸引させる中空部を有し、該開口から吸引する流体の負圧でガラス基板をテーブルに密着させることを特徴とするガラス基板位置決め装置である。
【００１７】
また、本発明は、上記発明によるガラス基板位置決め装置において、前記中空部は、その内部を複数の空間に分割する仕切りを備え、分割された複数の空間の各々に導管が接続されており、各々の導管の途中に各々の空間と流体供給装置もしくは負圧発生装置との接続を任意に切り替え可能な切替弁を備えたことを特徴とするガラス基板位置決め装置である。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明によるガラス基板位置決め装置を、その実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明によるガラス基板位置決め装置の一実施例の構成を説明する斜視図である。図１は、矩形状のガラス基板を用いて液晶パネル用カラーフィルタを製造する際に使用する薬液塗布装置を例としたものである。
Ａはガラス基板、Ｂはガラス基板を積載するテーブル、２はテーブル内に昇降自在に設けられた支持ピンである。支持ピンＢは複数設けられた中の一部が上昇した状態を破線にて示したものである。
【００１９】
また、３は位置決め部材、４は位置決め部材の垂直方向の駆動装置、５は位置決め部材のテーブル長手方向の駆動装置、６は直動スライドガイド、７は位置決め部材のテーブル幅方向の駆動装置、８は空気の噴出・吸入の開口であり、等間隔で複数設けられた中の一部を示したものである。
９はテーブル摺動用のガイドレール、１０は位置決め部材の垂直位置の位置検出装置、１１は圧力制御装置、１２は負圧発生装置、１３は流体供給装置、１４は流体経路の第２切替え弁、１５は負圧発生装置および流体供給装置とテーブル内部とを繋ぐ第２導管、１６は駆動装置を支持するブラケット、１７は位置決め部材駆動部のベースである。
【００２０】
なお、破線矢印はテーブル幅方向（ガラス基板の幅方向）を表している。第１導管２０および第１切替え弁２２はテーブルＢの下方に設けられているので、図１においては図示されていない。また、本装置全体の土台となるフレーム部分は省略してある。
図１０は、図１における位置決め部材３のＰ部分を拡大して示す斜視図である。図１０に示すように、位置決め部材３のテーブルの上面と接触する部分は、位置決め部材３の底面部に形成された略Ｌ字形状の凸部３０である。
この凸部３０の図中斜線で示す底面は、テーブルの上面と平行で、かつ、ガラス基板の側端縁もしくは四隅端縁に対し平行な面Ｑから略１０ｍｍ以下の幅Ｗを有するものである。また、凸部３０の高さＨは１ｍｍ程度である。
【００２１】
図２は、図１におけるテーブルＢの内部構造を示す断面図である。図１と同符号は同一部分に対応し、１８、１９はテーブル内に設けられた中空部、２０は各中空部に繋がる第１導管、２１は中空部を仕切る仕切り部材、２２は流体経路の第１切替え弁である。また、矢印は空気流を示す。
図１に示すように、水平に設置されたテーブルＢ上の四隅近辺に、位置決め部材３が設けられている。テーブル長手方向を軸に対称な片側１対の位置決め部材３は、それぞれ、例えば、エアーシリンダ等の垂直方向の駆動装置４、および、例えば、サーボモータを利用したリニアアクチュエータ等のテーブル長手方向の駆動装置５を介して、垂直方向およびテーブル長手方向に往復摺動自由に、ブラケット１６に支持されている。
ブラケット１６は２つの平行な直動スライドガイド６と、例えば、サーボモータを利用したリニアアクチュエータ等のテーブル幅方向の駆動装置７を介して、テーブル幅方向に往復摺動自由に、ベース１７上に設置されてる。これにより位置決め部材３は、テーブルＢに対し３次元方向に摺動自在となる。また、位置決め部材３の垂直方向の駆動装置４には、下降時の押圧を制御する圧力制御装置１１が接続されている。
【００２２】
テーブルＢは、高精度なガイドレール９に沿って摺動自在に、図示しない本体フレーム上に設置されている。位置決め終了後の塗布工程においては、テーブルＢは水平方向に高精度に移動しつつ、テーブルＢ上に積載されたガラス基板上に薬液塗布が行われる。
また、図２に示すように、テーブルＢの内部には、仕切り部材２１によっていくつかの領域に分割された中空部１８、１９が設けられ、テーブルＢの上面には中空部１８、１９と外気とを繋ぐ複数の開口８が等間隔に設けられている。更に、テーブルＢ内部には前工程からのガラス基板Ａの受け渡し時に昇降する支持ピン２が格納されている。支持ピン２はテーブルＢの上下を貫通しており、図示しない駆動装置によって垂直方向に摺動するが、中空部１８、１９を貫通しているので、その部分は空気漏れを防ぐシール構造となっている。
【００２３】
中空部１８、１９と第１切替え弁２２は、各々に第１導管２０で接続されており、また、第１切替え弁２２と第２切替え弁１４は、第２導管１５で接続されており、更に、第２切替え弁１４と負圧発生装置１２および流体供給装置１３は、第３導管２５で接続されている。
すなわち、第１切替え弁２２は中空部の切替え用であり、また、第２切替え弁１４は負圧発生装置１２と流体供給装置１３の切替え用である。第１切替え弁２２と第２切替え弁１４によって、任意に選択された中空部の領域に流体を供給したり、吸引することが可能である。
【００２４】
これにより、例えば、ガラス基板Ａのサイズが複数ある場合、仕切り部材２１をそのサイズに合わせて配置し、ガラス基板Ａの大きさに合わせた中空部を設ければ、テーブルＢ上に積載されたガラス基板Ａが接触している開口８に限定して、流体の噴出または流体の吸入を行うことが可能となる。
また、図１に示すように、テーブル内部の中空部１８、１９と負圧発生装置１２および流体供給装置１３との接続を任意に切り替えることが出来るので、テーブルＢの開口部８からの噴出・吸入は、後述するように各工程毎にタイミングよく自在に切り替える事が可能となる。
【００２５】
図９は、本発明のガラス基板位置決め装置を用いて、ガラス基板Ａを位置決めする場合の動作を説明するテーブル幅方向の断面図である。図９は、動作順序毎に［ａ］、［ｂ］、［ｃ］、［ｄ］、［ｅ］、［ｆ］、［ｇ］の符号を付加したが、テーブル長手方向の断面図に関しては、幅方向とほぼ同様のものとなるのでここでは省略する。なお、図９においては説明の都合上、テーブルＢ内部の中空部の分割はなく一室とし、それに接続する第１導管２０も一本とする。
また、第１導管２０に接続されている上流の機器や、位置決め部材３の駆動装置類は省略する。
【００２６】
先ず、図９［ａ］に示すように、ガラス基板Ａが前工程から図示しない移載用のロボットによって底面を２本のアーム１で支えられた状態で搬送され、テーブルＢの所定位置に積載されるが、テーブルＢの上面には複数の支持ピン２がアーム１に干渉しない位置に突出した状態で設置されており、ガラス基板Ａは一旦、支持ピン２の上に受け渡される。この間に、テーブル幅方向の駆動装置７（図１参照）を動作させて、テーブルＢから離れた位置に退避していた位置決め部材３をガラス基板Ａの側端縁方向に接近させる。
【００２７】
次に、図９［ｂ］に示すように、支持ピン２がゆっくりと下降し、支持ピン２によって支持されたガラス基板Ａがゆっくりと下降する。また、ガラス基板Ａの側端縁近傍まで接近した位置決め部材３は一旦停止し、垂直方向の駆動装置４（図１参照）を動作させてその位置でテーブルＢの上面に下降する。
【００２８】
続いて、図９［ｃ］に示すように、ガラス基板ＡがテーブルＢの上面に密着した時点で、第２切替え弁１４（図１参照）を動作させ、流体供給装置１３（図１参照）とテーブルＢ内部の中空部１６を導通させることによって、空気流をテーブルの上面に形成された開口８から噴出させる。
その結果、空気流はガラス基板Ａを押し上げるように作用し、ガラス基板ＡとテーブルＢとの間には微少な空間が形成され、両者の機械的摩擦は極端に減少する。このため、ガラス基板Ａの底面の摩擦傷などを抑制でき、さらには、小さな押圧で済むので、ガラス基板Ａに無理な力をかけずに高精度な位置決めがなされる。
【００２９】
また、位置決め部材３は、例えば、近接センサーなどの検出装置１０（図１参照）によってテーブルＢの上面に接触したことが感知されると、圧力制御装置１１によってその押付け圧力が制御され、その状態で位置決め部材３がテーブルＢの上面を滑りながらガラス基板Ａの側端縁を押圧して位置決めを開始する。これにより、位置決め部材３がガラス基板の位置決め時の反力で浮き上がることを防止しつつ、位置決め部材３のテーブル面への押し付け過ぎを防止するような適正圧に制御することができるので、ガラス基板の押し損ねを防ぎながらも位置決め部材とテーブルの上面の摩耗を最小限に抑えることが可能となり、結果として高精度な位置決めが容易なものとなる。
【００３０】
その後、互いに対向する位置決め部材３は、図９［ｄ］に示すように、テーブルＢの中心に対称で、かつそれらの間隔がガラス基板Ａの幅方向の寸法となる位置で停止する。このため、位置決め部材３によってガラス基板Ａを挟み込んで変形させてしまう事はなく、高精度にテーブルＢの中央に位置決め操作がなされる。
なお、ガラス基板Ａの幅方向の寸法をあらかじめその種類数を憶させておき、生産するガラス基板のサイズに合わせて随時選択することによって効率的にサイズ切替えを行うことが可能となる。
【００３１】
次に、図９［ｅ］に示すように、ガラス基板Ａが位置決め部材３によって精度よく位置決めされた状態では、まだテーブルＢへの適正な押付け動作を行っているが、この状態で第２切替え弁１４（図１参照）を動作させ、負圧発生装置１２（図１参照）とテーブルＢ内部の中空部１６を導通させることによって、空気流をテーブルＢの上面に形成された開口８から吸入させる。
その結果、空気流はガラス基板Ａを押し下げげるように作用し、負圧によって前記ガラス基板ＡはテーブルＢに密着し、高い位置精度を保ったまま固定される。
【００３２】
続いて、図９［ｆ］に示すように、ガラス基板ＡがテーブルＢに固定された状態で、テーブル幅方向の駆動装置７（図１参照）と垂直方向の駆動装置４（図１参照）を同時に動作させて、位置決め部材３をテーブルＢに干渉することなく、離れた位置に移動開始させる。
図９［ｇ］は、位置決めが完了した状態を示す。位置決め部材３は、次工程の妨げにならないように、完全にテーブルＢから離れた場所に退避し、ガラス基板ＡはテーブルＢの中央部分に精度よく位置決めされた状態で固定されている。
【００３３】
請求項２に係わるガラス基板位置決め装置は、位置決め部材３の、ガラス基板Ａの側端縁もしくは四隅端縁と接触する部分がガラス基板Ａの側端縁もしくは四隅端縁に対し平行な面であり、また、テーブルＢの上面と接触する部分が位置決め部材３の底面部に形成された略Ｌ字形状の凸部３０であって、凸部３０の底面がテーブルの上面と平行で、かつ、ガラス基板Ａの側端縁もしくは四隅端縁に対し平行な面Ｑから略１０ｍｍ以下の幅Ｗを有するものである。
これにより、例えば、経時変化によって位置決め部材３に歪みが発生したとしても、位置決め部材３の他の部分がテーブルＢの上面に接触することはなく、上記凸部が常にテーブルＢの上面に接触するので、前述［従来の技術］におけるように、矩形状のガラス基板の側端縁もしくは四隅端縁と接触する面がテーブルの面から浮き上がることはなくなり、薄いガラス基板に対しても確実に押圧することが出来るものとなる。
【００３６】
また、請求項３に係わるガラス基板位置決め装置は、ガラス基板位置決め装置のテーブルが、その内部に流体供給装置から導管を経由して供給される流体を案内して、その上面に開放した複数の開口から流体を噴出させる中空部を有し、その開口から噴出する流体の圧力でガラス基板を微少浮上させた状態で位置決め部材による位置決めを行うので、ガラス基板とテーブルの上面との間の摩擦抵抗が少なくなり、位置決め部材による位置決めが小さい押圧で行うことが可能となり、また位置決め時におけるガラス基板の捲れあがり等も発生しにくくなるため、高精度な位置決めが容易なものとなる。
【００３７】
また、請求項４に係わるガラス基板位置決め装置は、ガラス基板位置決め装置のテーブルが、その内部に負圧発生装置から導管を経由して供給される負圧を案内して、その上面に開放した複数の開口から流体を吸引させる中空部を有し、その開口から吸引する流体の負圧でガラス基板をテーブルに密着させることを特徴とするものである。
これにより、位置決め部材による位置決め完了後のガラス基板の高精度な位置保持を行うことが容易なものとなる。
【００３８】
【発明の効果】
本発明は、ガラス基板を水平に積載して、その平面内の一方向に摺動可能としたテーブルと、該テーブルの上面に対し平行な方向と垂直な方向に摺動自在な少なくとも２つ以上の位置決め部材を備え、該位置決め部材はテーブル上に積載されたガラス基板の側端縁もしくは四隅端縁を、テーブルの上面に接触しながらガラス基板の中心方向に押圧してテーブルの所定の位置にガラス基板を位置決めし、位置決め完了後にテーブル上から退避するガラス基板位置決め装置であるので、液晶パネル用カラーフィルタを製造する際に使用する、ダイヘッド等を用いて薬液を塗布する薬液塗布装置などにおいて、大型化、薄厚化が進むガラス基板を塗布ヘッドに対して適正なテーブル上の位置に、安定して精度良く位置決めすることのできるガラス基板位置決め装置となる。
【００３９】
また、本発明は、上記ガラス基板位置決め装置において、位置決め部材のテーブルの上面と接触する部分が略Ｌ字形状の凸部であるので、凸部が常にテーブルの上面に接触し、テーブルの面から浮き上がることはなくなり、薄いガラス基板に対しても確実に押圧することが出来るものとなる。
また、位置検出装置と圧力調整装置を備えたものなので、ガラス基板の位置決め時の反力で浮き上がることを防止しつつ、位置決め部材のテーブル面への押し付け過ぎを防止するような適正圧に制御することができ高精度な位置決めが容易なものとなる。
【００４０】
また、本発明は、上記ガラス基板位置決め装置において、ガラス基板位置決め装置のテーブルが、中空部の開口から噴出する流体の圧力でガラス基板を微少浮上させた状態で位置決め部材による位置決めを行うので、位置決めが小さい押圧で行うことが可能となり高精度な位置決めが容易なものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のガラス基板位置決め装置の一実施例の構成を説明する概略斜視図である。
【図２】図１におけるテーブルの内部構造を示す断面図である。
【図３】（ａ）は、ガラス基板の位置決め装置とその前工程との受け渡し方法について説明するガラス基板の幅方向の側面図である。
（ｂ）は、ガラス基板の位置決め装置とその前工程との受け渡し方法について説明するガラス基板の長手方向の側面図である。
【図４】（ａ）は、ガラス基板位置決め装置の位置決め動作を説明するガラス基板の幅方向の側面図である。
（ｂ）は、ガラス基板位置決め装置の位置決め動作を説明するガラス基板の長手方向の側面図である。
【図５】（ａ）は、ガラス基板位置決め装置の位置決め動作を説明するガラス基板の幅方向の側面図である。
（ｂ）は、ガラス基板位置決め装置の位置決め動作を説明するガラス基板の長手方向の側面図である。
【図６】従来技術におけるガラス基板位置決め装置の問題点を説明する要部模式図である。
【図７】従来技術におけるガラス基板位置決め装置の問題点を説明する要部模式図である。
【図８】従来技術におけるガラス基板位置決め装置の問題点を説明する要部模式図である。
【図９】［ａ］〜［ｇ］は、本発明のガラス基板位置決め装置を用いて位置決めする場合の位置決め動作を説明する断面模式図である。
【図１０】図１におけるＰ部分を拡大して示す斜視図である。
【符号の説明】
Ａ…ガラス基板
Ｂ…テーブル
Ｃ…移載用のロボット
１…アーム
２…支持ピン
３…位置決め部材
４…垂直方向の駆動装置
５…テーブル長手方向の駆動装置
６…直動スライドガイド
７…テーブル幅方向の駆動装置
８…開口
９…ガイドレール
１０…位置検出装置
１１…圧力制御装置
１２…負圧発生装置
１３…流体供給装置
１４…第２切替え弁
１５…第２導管
１６…ブラケット
１７…ベース
１８、１９…中空部
２０…第１導管
２１…仕切り部材
２２…第１切替え弁
２５…第３導管
３０…凸部

Claims

ガラス基板を水平に積載して、その平面内の一方向に摺動可能としたテーブルと、該テーブルの上面に対し平行な方向と垂直な方向に摺動自在な少なくとも２つ以上の位置決め部材を備え、該位置決め部材が下方へ摺動してテーブルの上面と接触する部分がテーブルの上面と接触した際に、接触したことを検知する位置検出装置と、該位置検出装置からの信号によって該位置決め部材のテーブルへの押し付け圧力を自動調整する圧力調整装置を備え、該位置決め部材はテーブル上に積載されたガラス基板の側端縁もしくは四隅端縁を、テーブルの上面に接触しながらガラス基板の中心方向に押圧してテーブルの所定の位置にガラス基板を位置決めし、位置決め完了後にテーブル上から退避することを特徴とするガラス基板位置決め装置。
前記位置決め部材は、ガラス基板の側端縁もしくは四隅端縁と接触する部分が、ガラス基板の側端縁もしくは四隅端縁に対し平行な面であり、テーブルの上面と接触する部分が、テーブルの上面と平行な面で、かつ、上記ガラス基板の側端縁もしくは四隅端縁に接触する面から１０ｍｍ以下の幅を有して形成されていることを特徴とする請求項１記載のガラス基板位置決め装置。
前記テーブルは、その内部に流体供給装置から導管を経由して供給される流体を案内して、その上面に開放した複数の開口から流体を噴出させる中空部を有し、該開口から噴出する流体の圧力でガラス基板を浮上させた状態で位置決め部材による位置決めを行うことを特徴とする請求項１、又は請求項２記載載のガラス基板位置決め装置。
前記テーブルは、その内部に負圧発生装置から導管を経由して供給される負圧を案内して、その上面に開放した複数の開口から流体を吸引させる中空部を有し、該開口から吸引する流体の負圧でガラス基板をテーブルに密着させることを特徴とする請求項１〜３に記載のガラス基板位置決め装置。
前記中空部は、その内部を複数の空間に分割する仕切りを備え、分割された複数の空間の各々に導管が接続されており、各々の導管の途中に各々の空間と流体供給装置もしくは負圧発生装置との接続を任意に切り替え可能な切替弁を備えたことを特徴とする請求項３、又は請求項４記載のガラス基板位置決め装置。