JP2008162783A

JP2008162783A - 吸着保持装置および吸着保持方法

Info

Publication number: JP2008162783A
Application number: JP2006356274A
Authority: JP
Inventors: Atsuo Yamano; 敦生山野; Junichi Ishida; 淳一石田; Kenichi Morita; 健一森田
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 2006-12-28
Filing date: 2006-12-28
Publication date: 2008-07-17

Abstract

【課題】吸着手段が板状体を吸着して保持し、搬送先に位置ずれを防いで板状体を配置することができる吸着保持装置および吸着保持方法を提供する。
【解決手段】板状体の表面に沿う延在方向に板状体が変位することを阻止して板状体を吸着して保持する第１吸着手段１０と、板状体の表面に沿う延在方向に変位可能に板状体を吸着して保持する第２吸着手段２０とを備える吸着保持装置とする。また第１吸着手段１０および第２吸着手段２０を用いる吸着工程を含む吸着保持方法とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、板状体を吸着して保持し、予め定められる搬送先に搬送して配置する吸着保持装置および吸着保持方法に関する。

液晶表示装置の普及拡大が進む中、液晶表示装置の生産能力の増大と生産コストの低減とが求められる。それに伴い、液晶表示装置の基幹部品である液晶モジュール３０の組立工程における機械化が求められる。図１３は、液晶モジュール３０の構成を示す断面図である。液晶モジュール３０は、液晶パネル３１とフレーム３２とベゼル３３とを含んで構成される。液晶モジュール３０は、フレーム３２とベゼル３３とによって液晶パネル３１の縁辺部を保護した構造に形成される。

液晶モジュール３０の組立工程のうち、フレーム３２の乗載面に液晶パネル３１を移載する作業を機械化する場合、まず吸着手段によって液晶パネル３１を液晶パネル３１の表面に沿う延在方向に固定した状態で吸着保持する。そのあと液晶パネル３１を吸着保持した状態で、フレーム３２上に配置されるパネルガイド３４に囲まれる鉛直方向上方の搬送位置付近に液晶パネル３１を配置する。そのあと吸着手段による吸着を解除して、液晶パネル３１をフレーム３２の乗載面に移載する。

液晶パネル３１の大きさに対してフレーム３２上に配置されるパネルガイド３４に囲まれる搬送領域の大きさは、余裕がないように設計されているので、パネルガイド３４に囲まれる搬送領域内側に液晶パネル３１を配置することが困難である。そのためパネルガイド３４の厚み方向一方上面の一部に被さる状態で液晶パネル３１が配置される。このような状態で液晶パネル３１が配置されたまま、フレーム３２と液晶パネル３１とに被さるようにベゼル３３を移載すると、液晶パネル３１が破損するおそれがある。

また液晶パネル３１、フレーム３２、パネルガイド３４の寸法公差や、液晶パネル３１を吸着保持したときの位置決め精度、フレーム３２の作業台に対する位置決め精度などが、相互に影響するため、液晶パネル３１を吸着保持して液晶パネル３１を搬送位置に配置する位置と、パネルガイド３４に囲まれる搬送領域とが、作業のたびに異なることがある。このような場合にも、パネルガイド３４の厚み方向一方上面の一部に被さる状態で液晶パネル３１が配置される。

上述のような問題に対する対策として、液晶パネル３１の大きさに対してパネルガイド３４に囲まれる搬送領域の大きさを余裕があるように、パネルガイド３４の配置位置を変更する方法がある。しかしこの方法では、フレーム３２上に配置した液晶パネル３１を十分に固定することができない。そのため後工程での搬送中の振動によって、液晶パネル３１の破損や、液晶パネル３１の位置ずれによる不良品の発生を引き起こすことがある。

板状体を逆船底状に湾曲させ、板状体を板状体の表面に沿う延在方向に固定した状態で吸着保持する方法が、たとえば特許文献１に開示されている。特許文献１に開示される吸着保持方法を液晶パネル３１の移載作業に採用した場合、まず液晶パネル３１を湾曲させ、液晶パネル３１を延在方向に固定した状態で吸着保持する。そのあと液晶パネル３１を吸着保持した状態で、フレーム３２上に配置されるパネルガイド３４に囲まれる鉛直方向上方の搬送位置付近に液晶パネル３１を配置する。そのあと吸着手段による吸着を解除して、液晶パネル３１をフレーム３２の乗載面に移載する。

特開平６−４８６７９号公報

このような特許文献１に開示される方法では、液晶パネル３１を湾曲させた状態で吸着保持することができるので、フレーム３２上に配置されるパネルガイド３４に囲まれる搬送領域よりも小さい状態で、搬送位置付近に液晶パネル３１を配置することができる。そのためパネルガイド３４に囲まれる搬送領域内側に液晶パネル３１を配置しやすくすることができる。

しかしながら特許文献１に開示される方法では、液晶パネル３１を湾曲させ、液晶パネル３１を液晶パネル３１の表面に沿う延在方向に固定した状態で吸着保持する。そのため吸着手段による吸着を解除すると、パネルガイド３４に囲まれる搬送領域内側に落下した液晶パネル３１が、固定用ゴム３５に接触した状態で、湾曲形状から平板形状に戻ることがある。この場合液晶パネル３１と固定用ゴム３５との摩擦力によって生じる反力によって、液晶パネル３１がパネルガイド３４に囲まれる搬送領域内側に対して位置ずれした状態で配置される。さらにパネルガイド３４の厚み方向一方上面の一部に被さる状態で液晶パネル３１が配置されることがある。

したがって本発明の目的は、吸着手段が板状体を吸着して保持し、搬送先に位置ずれを防いで板状体を配置することができる吸着保持装置および吸着保持方法を提供することである。

本発明は、板状体の表面に沿う延在方向に板状体が変位することを阻止して板状体を吸着して保持する第１吸着手段と、
板状体の表面に沿う延在方向に板状体が変位可能に板状体を吸着して保持する第２吸着手段とを備えることを特徴とする吸着保持装置である。

また本発明は、第１および第２吸着手段は、平板状の板状体を湾曲させた状態で保持可能であることを特徴とする。

また本発明は、第１吸着手段は、予め定める基準方向に向けて設けられる第１吸着パッドを備える第１吸着部を有し、
第２吸着手段は、第１吸着部に対して、基準方向と垂直な配列方向両側にそれぞれ設けられる第２吸着部を有し、
各第２吸着部は、基準方向に向けて設けられ、基準方向に変位可能に支持される第２吸着パッドと、第２吸着パッドを第１吸着パッドに対して基準方向にずれた位置に向けて弾発的に押圧する押圧部材とを備えることを特徴とする。

また本発明は、第２吸着部は、第１吸着部に対して、互いに直交する２つの配列方向両側にそれぞれ設けられることを特徴とする。

また本発明は、第１吸着部は、第１配列方向に並ぶ第１グループと、第２配列方向に並ぶ第２グループとを有し、
第２吸着部は、第１吸着部の第１グループに対して第２配列方向両側の領域であり、かつ第１吸着部の第２グループに対して第１配列方向両側の領域に設けられることを特徴とする。

また本発明は、第１吸着手段を用いて板状体の表面に沿う延在方向に変位することを阻止して板状体を吸着するとともに、第２吸着手段を用いて板状体の表面に沿う延在方向に変位可能に板状体を吸着する吸着工程と、
第１吸着手段で吸着したときに板状体表面に形成される第１吸着面に対して、第２吸着手段で吸着したときに板状体表面に形成される第２吸着面を、板状体の厚み方向にずれた位置に向けて弾発的に押圧して、板状体を湾曲させる湾曲工程と、
第２吸着手段による板状体の吸着を維持して、第１吸着手段による板状体の吸着を解除して、板状体を復元変形させる復元変形工程と、
第２吸着手段による板状体の吸着を解除する吸着解除工程とを含むことを特徴とする吸着保持方法である。

また本発明は、第１吸着手段を用いて板状体の表面に沿う延在方向に変位することを阻止して板状体を吸着するとともに、第２吸着手段を用いて板状体の表面に沿う延在方向に変位可能に板状体を吸着する吸着工程と、
第１吸着手段で吸着したときに板状体表面に形成される第１吸着面に対して、第２吸着手段で吸着したときに板状体表面に形成される第２吸着面を、板状体の厚み方向にずれた位置に向けて弾発的に押圧して、板状体の厚み方向に垂直な第１配列方向に、板状体を湾曲させる第１湾曲工程と、
第１吸着手段による板状体の吸着を解除して、前記第１配列方向に一様な形状に板状体を復元変形させる第１配列方向復元変形工程と、
第１吸着手段で吸着したときに板状体表面に形成される第１吸着面に対して、第２吸着手段で吸着したときに板状体表面に形成される第２吸着面を、板状体の厚み方向にずれた位置に向けて弾発的に押圧して、板状体の厚み方向に垂直でかつ前記第１配列方向に直交する第２配列方向に、板状体を湾曲させる第２湾曲工程と、
第１吸着手段による板状体の吸着を解除して、前記第２配列方向に一様な形状に板状体を復元変形させる第２配列方向復元変形工程と、
第２吸着手段による板状体の吸着を解除する吸着解除工程とを含むことを特徴とする。

本発明によれば、第１吸着手段によって、板状体を延在方向に固定した状態で保持することができる。また第２吸着手段によって、板状体を延在方向に変位可能な状態で保持することができる。吸着した板状体を予め定められる搬送位置に配置する場合、まず第１および第２吸着手段で吸着して板状体を搬送する。

搬送位置付近に板状体を配置した状態で、第１吸着手段による吸着を解除することで、板状体が吸着された状態で延在方向に移動可能となり、吸着したうえで延在方向に位置決め可能となる。位置決めした状態で第２吸着手段による吸着を解除することで、板状体を搬送先に位置ずれを防いで配置することができる。

また本発明によれば、第１および第２吸着手段は、平板状の板状体を湾曲させた状態で保持可能である。吸着した板状体を予め定められる搬送位置に配置する場合、板状体を湾曲させた状態で吸着保持することができるので、搬送先に設定された搬送領域よりも小さい状態で、搬送位置付近に板状体を配置することができる。

そのため板状体の大きさに対して搬送領域の大きさが、余裕がないように設計された場合であっても、搬送位置付近に板状体を簡単に配置することができる。そのあと第１吸着手段による吸着を解除することで、板状体が吸着された状態で延在方向に移動可能となる。そのため板状体の形状が、湾曲形状から平板形状に戻り、吸着したうえで延在方向に位置決め可能となる。位置決めした状態で第２吸着手段による吸着を解除することで、板状体を搬送先に位置ずれを防いで配置することができる。

また本発明によれば、第１吸着手段は、予め定める基準方向に向けて設けられる第１吸着パッドを備える第１吸着部を備える。第２吸着手段は、第１吸着部に対して基準方向と垂直な配列方向両側に設けられる第２吸着部を備える。各第２吸着部は、基準方向に変位可能に支持される第２吸着パッドと、第２吸着パッドを第１吸着パッドに対して基準方向にずれた位置に向けて弾発的に押圧する押圧部材とを備える。

板状体を吸着保持する場合、第１吸着部は、板状体を延在方向に固定した状態で吸着保持する。第２吸着部は、板状体を延在方向に変位可能に吸着保持するので、第１吸着パッドに対して基準方向にずれた位置に向けて押圧部材で押圧することによって、第２吸着部が配置される配列方向において、板状体を湾曲させた状態で吸着保持することができる。

そのため吸着した板状体を予め定められる搬送位置に配置する場合、板状体を湾曲させた状態で吸着保持することができるので、搬送先に設定された搬送領域よりも小さい状態で、搬送位置付近に板状体を配置することができる。そのあと第１および第２吸着手段による吸着を解除することによって、板状体を搬送先に位置ずれを防いで配置することができる。また押圧部材が設けられることで、第２吸着パッドを基準方向に向けて変位駆動するための駆動手段を不必要とすることができ、構造を簡単化することができる。

また本発明によれば、第２吸着部が、第１吸着部に対して互いに直交する２つの配列方向に設けられる。これによって第２吸着部が配置される、互いに直交する２つの配列方向において、板状体を湾曲させた状態で吸着保持することができる。そのため吸着した板状体を予め定められる搬送位置に配置する場合、板状体を互いに直交する２つの方向に湾曲させた状態で吸着保持することができるので、搬送先に設定された搬送領域よりも小さい状態で、搬送位置付近に板状体を配置することができる。そのあと第１および第２吸着手段による吸着を解除することによって、板状体を搬送先に位置ずれをさらに防いで配置することができる。

また本発明によれば、第１吸着部は、第１配列方向に並ぶ第１グループと、第２配列方向に並ぶ第２グループとを有する。第２吸着部は、第１吸着部の第１グループに対して第２配列方向両側の領域であり、かつ第１吸着部の第２グループに対して第１配列方向両側の領域に設けられる。第１と第２グループとに区別される第１吸着部のうち、第１グループに配置される第１吸着部と、第２吸着部とによって板状体を吸着保持した場合、第２配列方向に湾曲させた状態で板状体を吸着保持することができる。

また第１と第２グループとに区別される第１吸着部のうち、第２グループに配置される第１吸着部と、第２吸着部とによって板状体を吸着保持した場合、第１配列方向に湾曲させた状態で板状体を吸着保持することができる。このように第１グループに配置される第１吸着部による吸着動作と、第２グループに配置される第１吸着部による吸着動作とを切換えることで、板状体を２方向に湾曲させることができる。

これによって予め定められる搬送位置に吸着した板状体を配置する場合、板状体に対応する第１配列方向と第２配列方向とを別々に位置決めした状態で、搬送位置付近に板状体を配置することができる。そのあと第１および第２吸着手段による吸着を解除することによって、板状体を搬送先に位置ずれを防いで配置することができる。

また本発明によれば、第１吸着手段を用いて板状体の表面に沿う延在方向に変位することを阻止して板状体を吸着するとともに、第２吸着手段を用いて板状体の表面に沿う延在方向に変位可能に板状体を吸着する。そのあと第１吸着手段で吸着したときに板状体表面に形成される第１吸着面に対して、第２吸着手段で吸着したときに板状体表面に形成される第２吸着面を、板状体の厚み方向にずれた位置に向けて弾発的に押圧して、板状体を湾曲させて吸着保持する。そのあと第２吸着手段による板状体の吸着を維持して、第１吸着手段による板状体の吸着を解除して、板状体を復元変形させる。そのあと第２吸着手段による板状体の吸着を解除する。

板状体を予め定められる搬送位置に配置する場合、板状体を湾曲させて吸着保持するので、搬送先に設定された搬送領域よりも小さい状態で、板状体を搬送位置付近に配置することができる。そのため板状体の大きさに対して搬送領域の大きさが、余裕がないように設計された場合であっても、搬送位置付近に板状体を簡単に配置することができる。

そのあと第１吸着手段による板状体の吸着を解除するので、板状体の形状が湾曲形状から平板形状に戻り、吸着したうえで搬送位置付近に位置決め可能となる。位置決めした状態で第２吸着手段による板状体の吸着を解除するので、板状体を搬送先に位置ずれを防いで配置することができる。

また本発明によれば、第１吸着手段を用いて板状体の表面に沿う延在方向に変位することを阻止して板状体を吸着するとともに、第２吸着手段を用いて板状体の表面に沿う延在方向に変位可能に板状体を吸着する。そのあと第１吸着手段で吸着したときに板状体表面に形成される第１吸着面に対して、第２吸着手段で吸着したときに板状体表面に形成される第２吸着面を、板状体の厚み方向にずれた位置に向けて弾発的に押圧して、板状体の厚み方向に垂直な第１配列方向に、板状体を湾曲させる。

そのあと第１吸着手段による板状体の吸着を解除して、第１配列方向に一様な形状に板状体を復元変形させる。そのあと第１吸着面に対して、第２吸着面を、板状体の厚み方向にずれた位置に向けて弾発的に押圧して、板状体の厚み方向に垂直でかつ第１配列方向に直交する第２配列方向に、板状体を湾曲させる。そのあと第１吸着手段による板状体の吸着を解除して、第２配列方向に一様な形状に板状体を復元変形させる。そのあと第２吸着手段による板状体の吸着を解除する。

したがって板状体を予め定められる搬送位置に搬送する場合、互いに直交する第１配列方向と第２配列方向とを別々に位置決めした状態で、搬送位置付近に板状体を配置することができる。そのあと第１および第２吸着面の吸着を解除することによって、板状体を搬送先に位置ずれを防いで配置することができる。

図１は、本発明の実施の一形態である吸着保持装置１の構成を示す正面図である。本発明の実施の一形態である吸着保持装置１は、フレーム３２の液晶パネル３１が乗載されるべき乗載面に、吸着した液晶パネル３１を配置して移載する装置である。

図２は、液晶パネル３１が乗載されるフレーム３２の乗載面の構成を示す斜視図である。図３は、フレーム３２の乗載面に、液晶パネル３１が配置された状態を示す斜視図である。フレーム３２は、液晶モジュール３０として組立てられた場合に、液晶パネル３１の裏面側に位置し、液晶表示装置に組込まれる際に、バックライトの光を透過するように、矩形状の開口部を持った枠形状に形成される。

フレーム３２の乗載面には、パネルガイド３４と固定用ゴム３５とが配置される。パネルガイド３４および固定用ゴム３５によって、フレーム３２の乗載面に配置された液晶パネル３１は、位置決めされて固定される。液晶パネル３１を位置決めするために、パネルガイド３４に囲まれた液晶パネル取付け領域の大きさは、液晶パネル３１の大きさに対して余裕がないように設計される。本実施形態では、パネルガイド３４は、弾発性および可とう性を有する部材で実現され、ゴムを成形して製作される。また固定用ゴム３５は、配置された液晶パネル３１を固定するために、液晶パネル３１との間の摩擦力が大きなゴム部材である。

図１に示すように本実施形態の吸着保持装置１は、第１吸着手段１０と、第２吸着手段２０と、支持手段５０と、制御手段６０と、圧縮空気供給ユニット７０と、搬送ユニット８０とを含んで構成される。第１吸着手段１０は、１つ以上の第１吸着部１０ａを備え、液晶パネル３１の厚み方向一方の面に沿う延在方向に、液晶パネル３１を固定した状態で吸着保持する。第２吸着手段２０は、１つ以上の第２吸着部２０ａを備え、液晶パネル３１を延在方向に変位可能な状態で吸着保持する。

支持手段５０は、第１吸着手段１０および第２吸着手段２０を支持する。制御手段６０は、圧縮空気供給ユニット７０と搬送ユニット８０とに動作指令をそれぞれ与える。圧縮空気供給ユニット７０は、制御手段６０の指令に基づいて、コンプレッサなどから発生した圧縮空気を、第１吸着手段１０および第２吸着手段２０に供給する。搬送ユニット８０は、制御手段６０の指令に基づいて、第１吸着手段１０および第２吸着手段２０を支持する支持手段５０を、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向に変位駆動させる。

図４は、第１吸着部１０ａの構造を示す正面図である。第１吸着部１０ａは、第１吸着パッド１１と、真空発生手段１２とを含んで構成される。第１吸着パッド１１と真空発生手段１２とは、予め定める基準方向１００に向けて配置される。

本実施形態では、基準方向１００は、鉛直方向下向きに設定され、第１吸着パッド１１が鉛直方向下側に配置される。支持手段５０は、鉛直方向に対して垂直な水平方向に向けて配置され、第１吸着部１０ａを支持する。つまり液晶パネル３１の厚み方向一方の面に接触する、第１吸着パッド１１の吸着面は、予め定める仮想平面に沿って配置される。本実施の形態では、予め定める仮想平面は、水平面に沿って延びる。

第１吸着パッド１１は、液晶パネル３１を吸着保持するときに、液晶パネル３１の厚み方向一方の面に接触する。真空発生手段１２は、圧縮空気供給ユニット７０から供給された圧縮空気が、空気の粘性によって、第１吸着パッド１１側の空気を引き付け、負圧を発生する。真空発生手段１２で発生した負圧によって、第１吸着パッド１１と液晶パネル３１との間の空間が吸引されて大気圧よりも低くなり、第１吸着パッド１１と接触する液晶パネル３１が、延在方向に固定された状態で吸着保持される。

図５は、第２吸着部２０ａの構造を示す正面図である。第２吸着部２０ａは、第２吸着パッド２１と、関節継手２２と、押圧部材２３とを含んで構成される。第２吸着パッド２１と、関節継手２２と、押圧部材２３とは、前記基準方向１００に向けて配置される。本実施形態では、鉛直方向上側から下側に向けて、押圧部材２３、関節継手２２、第２吸着パッド２１の順で配置される。支持手段５０は、鉛直方向に対して垂直な水平方向に向けて配置され、第２吸着部２０ａを支持する。

押圧部材２３は、伸縮機構によって支持される。伸縮機構は、前記基準方向１００に向けて伸縮する機構である。つまり押圧部材２３は、伸縮機構によって、基準方向に移動可能に弾発的に支持される。押圧部材２３は、液晶パネル３１を吸着保持するときに、第２吸着パッド２１を第１吸着パッド１１に対して、基準方向にずれた位置に向けて弾発的に押圧し、液晶パネル３１を湾曲させる。第２吸着パッド２１が、押圧部材２３によって基準方向下方に最も大きく変位されたときの、支持手段５０から第２吸着パッド２１の下面までの長さＬ２は、支持手段５０から第１吸着パッド１１の下面までの長さＬ１よりも大きい（Ｌ２＞Ｌ１）。

また第２吸着パッド２１が、押圧部材２３によって基準方向上方に最も大きく変位されたときの、支持手段５０から第２吸着パッド２１の下面までの長さＬ３は、支持手段５０から第１吸着パッド１１の下面までの長さＬ１以下である（Ｌ３≦Ｌ１）。つまり第２吸着パッド２１の下面は、第１吸着パッド１１の下面より、鉛直方向上側まで変位することができる。

第２吸着パッド２１の吸着面は、前記基準方向１００に移動可能に弾発的に支持される。第２吸着パッド２１の吸着面は、自然状態で、各第１吸着パッド１１の吸着面が沿う前記仮想平面よりも、基準方向下方に配置される。各第２吸着パッド２１は、押圧部材２３によるばね力に抗して押圧されることで、その吸着面が、前記仮想平面に沿う位置まで変位可能に設定される。

また各第２吸着部２０ａが備える、それぞれの押圧部材２３によるばね力は、全て一定である。これによって第２吸着手段２０のみで液晶パネル３１を吸着保持した時に、液晶パネル３１を水平に保つことができる。

関節継手２２は、湾曲した液晶パネル３１の厚み方向一方の面に沿って対向するように、第２吸着パッド２１を相対角変位自在に支持する。相対角変位自在の関節継手２２によって第２吸着部２０ａの第２吸着パッド２１が連結されることで、予め定める固定点まわりに角変位可能となり、湾曲変形した液晶パネル３１の表面に沿った状態で、液晶パネル３１を吸着させることができる。第２吸着部２０ａは、圧縮空気供給ユニット７０から供給される圧縮空気の流れによって生じる吸着力で、第２吸着パッド２１が液晶パネル３１と接触しない状態で、液晶パネル３１を吸着保持する。

図６は、第２吸着部２０ａの吸着機構を説明する図である。第２吸着パッド２１には、第２吸着パッド２１の液晶パネル３１に対向する面に対して直交する方向に、気体供給口２１ａと気体噴出口２１ｂが設けられる。まず圧縮空気供給ユニット７０から第２吸着部２０ａに供給された圧縮空気が、気体供給口２１ａから気体噴出口２１ｂに向かって流れる。気体噴出口２１ｂに到達した気体は、第２吸着パッド２１と、第２吸着パッド２１に対向した液晶パネル３１との空隙に噴出する。

空隙に噴出した気体は、気体噴出口２１ｂを通過する場合に比べて、高速で流れるので、ベルヌーイ効果に基づき、静圧Ｐが大気圧Ｐ_０より低い負圧になる。これによって液晶パネル３１が第２吸着パッド２１に引き寄せられる。また空隙に噴出した気体は、気体噴出口２１ｂに対して同心円状に広がるように流れ、その同心円上の各位置において放射方向にほぼ均等な流速の流れとなる。つまり静圧Ｐは、同心円上の各位置においてほぼ同じ値となる。

また空隙が狭くなれば、空隙を通過する気体流のクッション効果によって、液晶パネル３１が第２吸着パッド２１から引き離される。このような原理で、第２吸着部２０ａは、空隙を一定に保ちながら、液晶パネル３１を空中に浮遊させた状態で吸着保持する。したがって第２吸着部２０ａは、液晶パネル３１の厚み方向一方の面に沿う延在方向に液晶パネル３１が変位可能な状態で、液晶パネル３１を吸着保持する。

図７は、吸着保持装置１の電気的構成を示すブロック図である。本実施形態の吸着保持装置１は、上述したように、各手段を統括的に制御する制御手段６０を含む。制御手段６０は、圧縮空気供給ユニット７０と搬送ユニット８０とに動作指令をそれぞれ与える。制御手段６０は、第１吸着手段１０と、第２吸着手段２０との吸着動作をそれぞれ独立して制御する。また制御手段６０は、第１吸着手段１０のうち、第１グループ１０Ａの第１吸着部１０ａと、第２グループ１０Ｂの第１吸着部１０ａとの吸着動作をそれぞれ独立して制御する。

圧縮空気供給ユニット７０は、制御手段６０から圧縮空気供給指令が与えられることで、圧縮空気を第１吸着手段１０と第２吸着手段２０とに供給する。これによって第１吸着手段１０および第２吸着手段２０は、液晶パネル３１を吸着保持する。また圧縮空気供給ユニット７０は、制御手段６０から圧縮空気供給停止指令が与えられることで、圧縮空気の供給を停止する。これによって第１吸着手段１０および第２吸着手段２０は、液晶パネル３１の吸着保持を解除する。

搬送ユニット８０は、制御手段６０からの移動指令にしたがって、第１吸着手段１０および第２吸着手段２０を支持する支持手段５０を、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向に変位駆動させる。また搬送ユニット８０は、支持手段５０の位置を示す情報を制御手段６０に与える。

制御手段６０によって、吸着保持装置１は、圧縮空気供給ユニット７０と搬送ユニット８０とが連動制御される。これによって吸着保持装置１は、液晶パネル３１を吸着保持した状態で搬送する。そのあと吸着保持装置１は、フレーム３２の乗載面に設定された搬送位置で吸着を解除して、液晶パネル３１を配置する。

制御手段６０は、記憶部と、演算部と、入出力部とを含んで構成される。記憶部は、圧縮空気供給ユニット７０および搬送ユニット８０などの制御対象を制御するための制御プログラムを記憶する。演算部は、記憶部に記憶される制御プログラムを読み出して、入出力部から与えられる信号に基づいて、制御プログラムに従った演算結果を出力する。入出力部は、演算部の演算結果に従った、各種指令値を制御対象物に与える。また入出力部は、制御対象物および検出手段から与えられる情報を演算部に与える。

たとえば制御手段６０は、プログラマブルコントローラなどによって実現される。記憶部は、ＲＡＭ（Random Access Memory）およびＲＯＭ（Read Only Memory）などの記憶回路によって実現される。また演算部は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などの演算回路によって実現される。また入出力部は、制御対象物および検出手段に接続されるインターフェース回路によって実現される。また入出力部は、外部から指令が入力されるキーボードなどの入力手段と、外部に情報を報知するディスプレイなどの報知手段とを含んでいてもよい。

図８は、本発明の第１の実施形態による第１吸着手段１０および第２吸着手段２０の配置を示す平面図である。吸着保持装置１によって吸着保持される液晶パネル３１の大きさは、縦寸法が６７０ｍｍ、横寸法が１１８０ｍｍである。第１の実施形態では、支持手段５０は、液晶パネル３１に対応する縦寸法が７５０ｍｍ、横寸法が１２５０ｍｍの方形平板状の部材である。

第１吸着部１０ａは、第１グループ１０Ａと第２グループ１０Ｂとを有する。第１グループ１０Ａは、支持手段５０の短手方向の中心線上である第１配列方向に並んで、支持手段５０によって支持される。第２グループ１０Ｂは、支持手段５０の長手方向の中心線上である第２配列方向に並んで、支持手段５０によって支持される。各第１および第２グループの第１吸着部１０ａは、それぞれ２０〜３０ｃｍの間隔で配置され、合計９個配置される。

具体的には、重心に１個、重心に対して第１配列方向両側に２個ずつ、重心に対して第２配列方向両側に２個ずつ配置される。なお２本の中心線の交点に配置される第１吸着部１０ａは、第１および第２グループの両方に含まれる。各配列方向は、基準方向に垂直で、互いに直交する。

第２吸着部２０ａは、第１吸着部１０ａの第１グループ１０Ａに対して第２配列方向両側の領域であり、かつ第１吸着部１０ａの第２グループ１０Ｂに対して第１配列方向両側の領域に配置され、支持手段５０によって支持される。各第２吸着部２０ａは、それぞれ２０〜３０ｃｍの間隔で配置され、くぎられた領域ごとに４個ずつの合計１６個配置される。また第２吸着部２０ａは、第１吸着部１０ａに比べて多く配置される。

また本実施形態では、第１吸着パッド１１と第２吸着パッド２１との液晶パネル３１に対向するそれぞれの面のうち、第２吸着パッド２１の面が、鉛直方向下側に配置されるように、第１および第２吸着部が支持手段５０によって支持される。

図９は、本発明の第１の実施形態による吸着保持手順について説明した正面図である。吸着保持装置１による吸着保持手順は、図９（ａ）〜図９（ｈ）の順で行われる。本実施形態では、吸着保持装置１は、液晶パネル３１を吸着して保持し、予め定められる搬送先である、パネルガイド３４に囲まれた縦寸法が６７０ｍｍ、横寸法が１１８０ｍｍである範囲に液晶パネル３１を搬送して配置する。

図１０は、本発明の第１の実施形態による吸着保持手順を示すフローチャートである。まずステップｓ０では、液晶パネル３１が供給トレイ４２に搭載される。またコンプレッサによって発生した圧縮空気が、圧縮空気供給ユニット７０に供給された状態でステップｓ１に進み、吸着保持装置１による吸着保持作業を開始する。

ステップｓ１では、図９（ａ）に示すように、制御手段６０が搬送ユニット８０に移動指令を与えて、第１吸着手段１０および第２吸着手段２０を支持する支持手段５０を、液晶パネル３１に対向するように移動させ、ステップｓ２に進む。ステップｓ２では、図９（ｂ）に示すように、制御手段６０は、搬送ユニット８０に移動指令を与えて、第１吸着パッド１１の液晶パネル３１に対向する面が、液晶パネル３１の厚み方向一方の面に接触する位置まで、支持手段５０を鉛直方向下方に移動させる。

このとき第２吸着パッド２１の液晶パネル３１に対向する面は、液晶パネル３１の厚み方向一方の面に沿う。具体的には、押圧部材２３によって第２吸着パッド２１の鉛直方向の位置が調整され、関節継手２２によって第２吸着パッド２１の角度が調整され、ステップｓ３に進む。

ステップｓ３では、制御手段６０は、吸着手段が液晶パネル３１を吸着可能な位置にあることを示す検出信号を搬送ユニット８０から与えられ、吸着可能であることを判断すると、ステップｓ４に進む。ステップｓ４では、制御手段６０は、圧縮空気供給ユニット７０に圧縮空気供給指令を与えて、第１グループ１０Ａの第１吸着部１０ａと、第２吸着部２０ａとのそれぞれに、圧縮空気を供給させる。これによって第１吸着部１０ａは、真空発生手段１２によって負圧となる。そのため第１吸着パッド１１が液晶パネル３１と接触した状態で、液晶パネル３１を第１グループ１０Ａが配置される第１配列方向に固定して吸着保持する。

また第２吸着部２０ａに配置される第２吸着パッド２１が、圧縮空気の供給を受けて鉛直方向上方に移動し、液晶パネル３１との間に空隙が生じる。この空隙に噴出した気体の流れによって生じる吸着力で、第２吸着パッド２１が液晶パネル３１と接触しない状態で、液晶パネル３１を延在方向に変位可能に吸着保持する。このように第１グループ１０Ａの第１吸着部１０ａと、第２吸着部２０ａとで液晶パネル３１を吸着保持し、ステップｓ５に進む。

ステップｓ５では、図９（ｃ）に示すように、制御手段６０は、搬送ユニット８０に移動指令を与えて、支持手段５０を鉛直方向上方に移動させる。これによって液晶パネル３１が、供給トレイ４２から取出される。このとき第２吸着パッド２１が、押圧部材２３によって鉛直方向下方に押圧される。これによって液晶パネル３１は、吸着保持された状態で、第１グループ１０Ａの配列方向に対して垂直な方向に湾曲する。

具体的には、支持手段５０が鉛直方向上方に移動されると、液晶パネル３１には、第１吸着部１０ａによる吸着力と、伸縮機構によって支持される押圧部材２３のばね力によって、第２吸着部２０ａを液晶パネル３１側に突出した位置へ戻そうとする力が加わる。このとき第１吸着部１０ａは、液晶パネル３１を接触して保持しているので、液晶パネル３１の位置は、延在方向に固定されている。

一方、第２吸着パッド２１と液晶パネル３１との間には隙間が存在するため、液晶パネル３１は、延在方向に固定されておらず、移動可能である。そのため液晶パネル３１の短辺部分は、液晶パネル３１の重心方向に移動して、液晶パネル３１の長辺方向の長さは変形前と比較して短くなり、湾曲する。このように吸着手段が液晶パネル３１を湾曲させた状態で吸着保持し、ステップｓ６に進む。

ステップｓ６では、制御手段６０は、吸着手段が液晶パネル３１をフレーム３２の方向に搬送可能な位置にあることを示す検出信号を搬送ユニット８０から与えられ、搬送可能であることを判断すると、ステップｓ７に進む。

ステップｓ７では、図９（ｄ）に示すように、制御手段６０は、搬送ユニット８０に移動指令を与えて、吸着手段によって吸着保持された液晶パネル３１が搬送位置に対向するように、支持手段５０を移動させる。具体的には、パネルガイド３４の上面延長面よりも鉛直方向下方で、かつ固定用ゴム３５の上面に接触しない鉛直方向上方に、湾曲した液晶パネル３１の周囲端部下面が位置するように、液晶パネル３１が配置され、ステップｓ８に進む。

ステップｓ８では、図９（ｅ）に示すように、制御手段６０は、圧縮空気供給ユニット７０に圧縮空気供給停止指令を与えて、第１グループ１０Ａの第１吸着部１０ａへの圧縮空気供給を停止させる。これによって第１吸着部１０ａによる液晶パネル３１の吸着が解除され、第２吸着部２０ａのみで液晶パネル３１を吸着保持した状態となる。このとき第２吸着部２０ａのみで、液晶パネル３１にかかる重力以上の吸着力を有する。

そのため液晶パネル３１が、吸着保持された状態で延在方向に移動可能となり、液晶パネル３１の形状が、吸着保持された状態で湾曲形状から平板形状に戻る。具体的には、第１吸着部１０ａによる吸着が解除されると、液晶パネル３１の変形からの復元力と、伸縮機構によって支持される押圧部材２３のばね力によって第２吸着部２０ａを液晶パネル３１側に突出した位置へ戻そうとする力によって、液晶パネル３１の形状が、湾曲形状から平板形状に戻る。

つまり液晶パネル３１の第１グループ１０Ａの配列方向に対して平行な方向に対応する液晶パネル３１の短辺側の２つの辺が、外側に押し出されるように移動する。この過程で、液晶パネル３１の前記短辺側の２つの辺のうち、どちらか一方の辺がパネルガイド３４に接触して、移動がとまる。これは液晶パネル３１、フレーム３２、パネルガイド３４の寸法公差や、フレーム３２の作業台に対する位置決め精度などによって、液晶パネル３１を搬送位置に搬送したとしても、位置ずれが発生する場合があるためである。

しかしながら液晶パネル３１の変形からの復元力と、伸縮機構によって支持される押圧部材２３のばね力によって第２吸着部２０ａを液晶パネル３１側に突出した位置へ戻そうとする力は、液晶パネル３１の前記短辺側の他方の辺が、パネルガイド３４に接触するまで続き、液晶パネル３１は、パネルガイド３４に囲まれた搬送領域に倣う。そのため第１グループ１０Ａの配列方向に対して平行な方向に対応する液晶パネル３１の辺が、パネルガイド３４に囲まれた搬送位置に位置決めされる。このように液晶パネル３１が配置されるとステップｓ９に進む。

ステップｓ９では、制御手段６０は、搬送ユニット８０に移動指令を与えて、第１吸着パッド１１の液晶パネル３１に対向する面が、液晶パネル３１の厚み方向一方の面に接触する位置まで、支持手段５０を鉛直方向下方に移動させ、ステップｓ１０に進む。ステップｓ１０では、制御手段６０は、圧縮空気供給ユニット７０に圧縮空気供給指令を与えて、第２グループ１０Ｂの第１吸着部１０ａに、圧縮空気を供給させる。

これによって第１吸着部１０ａは、真空発生手段１２によって負圧となる。そのため第１吸着パッド１１が液晶パネル３１と接触した状態で、液晶パネル３１を第２グループ１０Ｂが並ぶ第２配列方向に固定して吸着保持する。このように第２グループ１０Ｂの第１吸着部１０ａと、第２吸着部２０ａとで液晶パネル３１を吸着保持し、ステップｓ１１に進む。

ステップｓ１１では、図９（ｆ）に示すように、制御手段６０は、搬送ユニット８０に移動指令を与えて、支持手段５０を鉛直方向上方に移動させる。このときの移動は、第２グループ１０Ｂの配列方向に対して平行な方向に対応する液晶パネル３１の辺が、フレーム３２上に設定される搬送位置から外側に外れない範囲である。このとき第２吸着パッド２１が、押圧部材２３によって鉛直方向下方に押圧される。これによって液晶パネル３１は、吸着保持された状態で、第２グループ１０Ｂの配列方向に対して垂直な方向に湾曲する。つまり吸着手段が液晶パネル３１を湾曲させた状態で吸着保持し、ステップｓ１２に進む。

ステップｓ１２では、図９（ｇ）に示すように、制御手段６０は、圧縮空気供給ユニット７０に圧縮空気供給停止指令を与えて、第２グループ１０Ｂの第１吸着部１０ａへの圧縮空気供給を停止させる。これによって第１吸着部１０ａによる液晶パネル３１の吸着が解除され、第２吸着部２０ａのみで液晶パネル３１を吸着保持した状態となる。このとき第２吸着部２０ａのみで、液晶パネル３１にかかる重力以上の吸着力を有する。

そのため液晶パネル３１が、吸着保持された状態で延在方向に移動可能となり、液晶パネル３１の形状が、吸着保持された状態で湾曲形状から平板形状に戻る。そのため第２グループ１０Ｂの配列方向に対して平行な方向に対応する液晶パネル３１の辺が、パネルガイド３４に囲まれた搬送位置に位置決めされる。このように液晶パネル３１が配置されるとステップｓ１３に進む。

ステップｓ１３では、図９（ｈ）に示すように、制御手段６０は、圧縮空気供給ユニット７０に圧縮空気供給停止指令を与えて、第２吸着部２０ａへの圧縮空気供給を停止させる。これによって第２吸着部２０ａによる液晶パネル３１の吸着が解除される。液晶パネル３１の吸着手段による吸着保持が完全に解除されるので、液晶パネル３１は、パネルガイド３４に囲まれた搬送位置に位置決めされた状態で配置される。さらに液晶パネル３１は、固定用ゴム３５の上面に接触してフレーム３２に固定される。このようにして吸着保持装置１による液晶パネル３１の吸着保持および搬送動作が完了し、ステップｓ１４に進む。

ステップｓ１４では、予め定められる終了するか否かを判断し、終了条件を満足すると、ステップｓ１５に進み、動作を終了する。たとえば終了条件は、作業者によって終了指令が与えられることで、終了条件を満足する。または予め定められる時刻に達すると終了条件を満足する。またステップｓ１４において、終了条件を満足しない場合には、ステップｓ１に戻り、吸着保持装置１による吸着保持作業を繰り返す。

以上のように実施の第１形態の吸着保持装置１によれば、第１吸着手段１０によって板状体を延在方向に固定した状態で吸着保持する。さらに第２吸着手段２０によって板状体を延在方向に変位可能な状態で吸着保持する。このように吸着保持装置１によって、板状体を吸着保持した状態で、第１吸着手段１０による吸着を解除することで、板状体が吸着された状態で延在方向に移動可能となるので、吸着したうえで、予め定められる搬送位置に位置決め可能となる。位置決めした状態で第２吸着手段２０による吸着を解除することで、板状体を搬送先に位置ずれを防いで配置することができる。

さらに第１の実施形態では、吸着保持装置１は、第１グループ１０Ａと第２グループ１０Ｂとに区別される第１吸着部１０ａと、第２吸着部２０ａとを備える。そのため第１グループ１０Ａに配置される第１吸着部１０ａによる吸着動作と、第２グループ１０Ｂに配置される第１吸着部１０ａによる吸着動作とを切換えることで、板状体を２方向に湾曲させた状態で吸着保持することができる。

そのためまず第１グループ１０Ａによる吸着を解除することで、第１グループ１０Ａの配列方向に対して平行な方向に対応する板状体の辺を、吸着したうえで位置決めすることができる。そのあと第２グループ１０Ｂによる吸着を解除することで、第２グループ１０Ｂの配列方向に対して平行な方向に対応する板状体の辺を、吸着したうえで位置決めすることができる。そのあと第２吸着部２０ａによる吸着を解除することで、板状体を搬送先に位置ずれをさらに防いで配置することができる。

また液晶パネル３１、フレーム３２、パネルガイド３４の寸法公差や、フレーム３２の作業台に対する位置決め精度などに関係なく、板状体を搬送先に位置決ずれを防いで配置することができる。

また第２吸着部２０ａが、第１吸着部１０ａの配列方向に対して配列方向両側に配置されるので、板状体を安定して吸着保持できる。つまり板状体の表面に沿う延在方向に固定された第１吸着部１０ａによる吸着領域に対して、対称な位置に、延在方向に変位可能な第２吸着部２０ａによる吸着領域を設けて、板状体を吸着保持するので、板状体を安定して吸着保持することができる。

また各第１吸着部１０ａおよび第２吸着部２０ａは、圧縮空気の供給によって吸着力が生じる、第１吸着部１０ａがディフューザポンプ、第２吸着部２０ａがフロートチャックである。そのため各吸着部１０ａ，２０ａは、圧縮空気を噴出する構成であればよく、構成が簡単である。圧縮空気が流れる流路の開閉を切換えるだけで、吸着および非吸着状態を切換えることができる。

また第２吸着部２０ａが、第１吸着部１０ａの両側に設けられ、第１吸着部１０ａの配列方向両側に線対称に配置される。そのため第１吸着部１０ａと第２吸着部２０ａとの吸着力に偏りがある場合であっても、板状体が傾いた状態で吸着保持することを防ぐことができる。

また第１吸着部１０ａは、少なくとも板状体の重心位置を吸着することによって、安定して板状体を吸着することができる。また板状体の重心位置に対して、第１吸着部１０ａが点対称となる位置に配置されることによって、安定して板状体を吸着することができる。

図１１は、本発明の第２の実施形態による第１吸着手段１０および第２吸着手段２０の配置を示す平面図である。吸着保持装置１によって吸着保持される液晶パネル３１の大きさは、縦寸法が６７０ｍｍ、横寸法が１１８０ｍｍである。第２の実施形態では、支持手段５０は、液晶パネル３１に対応する縦寸法が７５０ｍｍ、横寸法が１２５０ｍｍの方形平板状の部材である。

第１吸着部１０ａは、支持手段５０の短手方向の中心線と長手方向の中心線との交点に１個配置され、支持手段５０によって支持される。第２吸着部２０ａは、第１吸着部１０ａの周囲において、それぞれ２０〜３０ｃｍの間隔で、合計２４個配置され、支持手段５０によって支持される。

図１２は、本発明の第２の実施形態による吸着保持手順を示すフローチャートである。まずステップａ０では、液晶パネル３１が供給トレイ４２に搭載される。またコンプレッサによって発生した圧縮空気が、圧縮空気供給ユニット７０に供給された状態でステップａ１に進み、吸着保持装置１による吸着保持作業を開始する。

ステップａ１では、制御手段６０が搬送ユニット８０に移動指令を与えて、第１吸着手段１０および第２吸着手段２０を支持する支持手段５０を、液晶パネル３１に対向するように移動させ、ステップａ２に進む。ステップａ２では、制御手段６０は、搬送ユニット８０に移動指令を与えて、第１吸着パッド１１の液晶パネル３１に対向する面が、液晶パネル３１の厚み方向一方の面に接触する位置まで、支持手段５０を鉛直方向下方に移動させる。

このとき第２吸着パッド２１の液晶パネル３１に対向する面は、液晶パネル３１の厚み方向一方の面に沿う。具体的には、押圧部材２３によって第２吸着パッド２１の鉛直方向の位置が調整され、関節継手２２によって第２吸着パッド２１の角度が調整され、ステップａ３に進む。

ステップａ３では、制御手段６０は、吸着手段が液晶パネル３１を吸着可能な位置にあることを示す検出信号を搬送ユニット８０から与えられ、吸着可能であることを判断すると、ステップａ４に進む。ステップａ４では、制御手段６０は、圧縮空気供給ユニット７０に圧縮空気供給指令を与えて、第１吸着部１０ａと、第２吸着部２０ａとのそれぞれに、圧縮空気を供給させる。これによって第１吸着部１０ａは、真空発生手段１２によって負圧となる。そのため第１吸着パッド１１が液晶パネル３１と接触した状態で、液晶パネル３１を固定して吸着保持する。

また第２吸着部２０ａに配置される第２吸着パッド２１が、圧縮空気の供給を受けて鉛直方向上方に移動し、液晶パネル３１との間に空隙が生じる。この空隙に噴出した気体の流れによって生じる吸着力で、第２吸着パッド２１が液晶パネル３１と接触しない状態で、液晶パネル３１を延在方向に変位可能に吸着保持する。このように第１吸着部１０ａと、第２吸着部２０ａとで液晶パネル３１を吸着保持し、ステップａ５に進む。

ステップａ５では、制御手段６０は、搬送ユニット８０に移動指令を与えて、支持手段５０を鉛直方向上方に移動させる。これによって液晶パネル３１が、供給トレイ４２から取出される。このとき第２吸着パッド２１が、押圧部材２３によって鉛直方向下方に押圧される。これによって液晶パネル３１は、吸着保持された状態で、第１吸着部１０ａによって吸着される中央部が凸部となる形状に湾曲する。つまり方形形状の液晶パネル３１の４つの辺が、変形前と比較して短くなる。このように吸着手段が液晶パネル３１を湾曲させた状態で吸着保持し、ステップａ６に進む。

ステップａ６では、制御手段６０は、吸着手段が液晶パネル３１をフレーム３２の方向に搬送可能な位置にあることを示す検出信号を搬送ユニット８０から与えられ、搬送可能であることを判断すると、ステップａ７に進む。

ステップａ７では、制御手段６０は、搬送ユニット８０に移動指令を与えて、吸着手段によって吸着保持された液晶パネル３１が搬送位置に対向するように、支持手段５０を移動させる。具体的には、パネルガイド３４の上面延長面よりも鉛直方向下方で、かつ固定用ゴム３５の上面に接触しない鉛直方向上方に、湾曲した液晶パネル３１の周囲端部下面が位置するように、液晶パネル３１が配置され、ステップａ８に進む。

ステップａ８では、制御手段６０は、圧縮空気供給ユニット７０に圧縮空気供給停止指令を与えて、第１吸着部１０ａへの圧縮空気供給を停止させる。これによって第１吸着部１０ａによる液晶パネル３１の吸着が解除され、第２吸着部２０ａのみで液晶パネル３１を吸着保持した状態となる。このとき第２吸着部２０ａのみで、液晶パネル３１にかかる重力以上の吸着力を有する。

このとき方形状の液晶パネル３１の４つの辺が、外側に押し出されるように移動し、液晶パネル３１は、パネルガイド３４に囲まれた搬送領域に倣う。そのため方形状の液晶パネル３１の４つの辺が、パネルガイド３４に囲まれた搬送位置に位置決めされる。このように液晶パネル３１が配置されるとステップａ９に進む。

ステップａ９では、制御手段６０は、圧縮空気供給ユニット７０に圧縮空気供給停止指令を与えて、第２吸着部２０ａへの圧縮空気供給を停止させる。これによって第２吸着部２０ａによる液晶パネル３１の吸着が解除される。液晶パネル３１の吸着手段による吸着保持が完全に解除されるので、液晶パネル３１は、パネルガイド３４に囲まれた搬送位置に位置決めされた状態で配置される。

さらに液晶パネル３１は、固定用ゴム３５の上面に接触してフレーム３２に固定される。このようにして吸着保持装置１による液晶パネル３１の吸着保持および搬送動作が完了し、ステップａ１０に進む。ステップａ１０では、予め定められる終了するか否かを判断し、終了条件を満足すると、ステップａ１１に進み、動作を終了する。

以上のように実施の第２形態の吸着保持装置１によれば、吸着保持する板状体に対応する方形平板状の部材である支持手段５０の、短手方向の中心線と長手方向の中心線との交点に第１吸着部１０ａを配置し、その周囲において第２吸着部２０ａを配置する。これによって１吸着部１０ａによって吸着される中央部が凸部となる形状に板状体を湾曲させて吸着保持することができる。

そのあと第１吸着部１０ａによる吸着を解除することで、方形板状体の４つの辺を同時に、吸着したうえで位置決めすることができる。そのあと第２吸着部２０ａによる吸着を解除することで、板状体を搬送先に位置ずれを防いで配置することができる。つまり第２の実施形態では、吸着保持する方形板状体の４つの辺を同時に位置決めすることができるので、板状体を搬送先に配置する作業を簡略化することができ、作業時間を短縮することができる。

以上のような本実施の形態は、発明の例示に過ぎず、発明の範囲内において構成を変更することができる。たとえば板状体である液晶パネル３１を吸着保持し、予め定められる搬送先に搬送して配置する例を示した。しかしながら本発明は、これに限定するものではなく、板状体として、たとえばプラズマ表示パネル、電子発光（Electro Luminescent、略称ＥＬ）表示パネルなどの表示パネルなどを挙げることができる。

また第２吸着部２０ａが備える押圧部材２３は、弾発的に押圧する部材であればよく、たとえばばね部材、シリンダ部材などを挙げることができる。押圧部材に代えて、第２吸着部２０ａの第２吸着パッド２１を変位する駆動手段が設けられてもよい。また吸着保持する板状体に対する第１吸着部１０ａと第２吸着部２０ａとの配置間隔や個数などは、吸着保持する板状体の大きさ、各吸着部の吸着力などによって適宜変更可能である。

本発明の実施の一形態である吸着保持装置１の構成を示す正面図である。液晶パネル３１が乗載させるフレーム３２の乗載面の構成を示す斜視図である。フレーム３２の乗載面に液晶パネル３１が配置された状態を示す斜視図である。第１吸着部１０ａの構造を示す正面図である。第２吸着部２０ａの構造を示す正面図である。第２吸着部２０ａの吸着機構を説明する図である。吸着保持装置１の電気的構成を示すブロック図である。本発明の第１の実施形態による第１吸着手段１０および第２吸着手段２０の配置を示す平面図である。本発明の第１の実施形態による吸着保持手順について説明した正面図である。本発明の第１の実施形態による吸着保持手順を示すフローチャートである。本発明の第２の実施形態による第１吸着手段１０および第２吸着手段２０の配置を示す平面図である。本発明の第２の実施形態による吸着保持手順を示すフローチャートである。液晶モジュール３０の構成を示す断面図である。

符号の説明

１吸着保持装置
１０第１吸着手段
１０ａ第１吸着部
１１第１吸着パッド
１２真空発生手段
２０第２吸着手段
２０ａ第２吸着部
２１第２吸着パッド
２１ａ気体供給口
２１ｂ気体噴出口
２２関節継手
２３押圧部材
３０液晶モジュール
３１液晶パネル
３２フレーム
３３ベゼル
３４パネルガイド
３５固定用ゴム
４０作業台
４１位置決めブロック
４２供給トレイ
５０支持手段
６０制御手段
７０圧縮空気供給ユニット
８０搬送ユニット

Claims

板状体の表面に沿う延在方向に板状体が変位することを阻止して板状体を吸着して保持する第１吸着手段と、
板状体の表面に沿う延在方向に板状体が変位可能に板状体を吸着して保持する第２吸着手段とを備えることを特徴とする吸着保持装置。
第１および第２吸着手段は、平板状の板状体を湾曲させた状態で保持可能であることを特徴とする請求項１記載の吸着保持装置。
第１吸着手段は、予め定める基準方向に向けて設けられる第１吸着パッドを備える第１吸着部を有し、
第２吸着手段は、第１吸着部に対して、基準方向と垂直な配列方向両側にそれぞれ設けられる第２吸着部を有し、
各第２吸着部は、基準方向に向けて設けられ、基準方向に変位可能に支持される第２吸着パッドと、第２吸着パッドを第１吸着パッドに対して基準方向にずれた位置に向けて弾発的に押圧する押圧部材とを備えることを特徴とする請求項１または２に記載の吸着保持装置。
第２吸着部は、第１吸着部に対して、互いに直交する２つの配列方向両側にそれぞれ設けられることを特徴とする請求項３記載の吸着保持装置。
第１吸着部は、第１配列方向に並ぶ第１グループと、第２配列方向に並ぶ第２グループとを有し、
第２吸着部は、第１吸着部の第１グループに対して第２配列方向両側の領域であり、かつ第１吸着部の第２グループに対して第１配列方向両側の領域に設けられることを特徴とする請求項４記載の吸着保持装置。
第１吸着手段を用いて板状体の表面に沿う延在方向に変位することを阻止して板状体を吸着するとともに、第２吸着手段を用いて板状体の表面に沿う延在方向に変位可能に板状体を吸着する吸着工程と、
第１吸着手段で吸着したときに板状体表面に形成される第１吸着面に対して、第２吸着手段で吸着したときに板状体表面に形成される第２吸着面を、板状体の厚み方向にずれた位置に向けて弾発的に押圧して、板状体を湾曲させる湾曲工程と、
第２吸着手段による板状体の吸着を維持して、第１吸着手段による板状体の吸着を解除して、板状体を復元変形させる復元変形工程と、
第２吸着手段による板状体の吸着を解除する吸着解除工程とを含むことを特徴とする吸着保持方法。
第１吸着手段を用いて板状体の表面に沿う延在方向に変位することを阻止して板状体を吸着するとともに、第２吸着手段を用いて板状体の表面に沿う延在方向に変位可能に板状体を吸着する吸着工程と、
第１吸着手段で吸着したときに板状体表面に形成される第１吸着面に対して、第２吸着手段で吸着したときに板状体表面に形成される第２吸着面を、板状体の厚み方向にずれた位置に向けて弾発的に押圧して、板状体の厚み方向に垂直な第１配列方向に、板状体を湾曲させる第１湾曲工程と、
第１吸着手段による板状体の吸着を解除して、前記第１配列方向に一様な形状に板状体を復元変形させる第１配列方向復元変形工程と、
第１吸着手段で吸着したときに板状体表面に形成される第１吸着面に対して、第２吸着手段で吸着したときに板状体表面に形成される第２吸着面を、板状体の厚み方向にずれた位置に向けて弾発的に押圧して、板状体の厚み方向に垂直でかつ前記第１配列方向に直交する第２配列方向に、板状体を湾曲させる第２湾曲工程と、
第１吸着手段による板状体の吸着を解除して、前記第２配列方向に一様な形状に板状体を復元変形させる第２配列方向復元変形工程と、
第２吸着手段による板状体の吸着を解除する吸着解除工程とを含むことを特徴とする請求項６記載の吸着保持方法。