WO2015019868A1

WO2015019868A1 - シート部材搬送装置、シート部材支持装置、シート部材検査装置、およびシート部材搬送方法

Info

Publication number: WO2015019868A1
Application number: PCT/JP2014/069676
Authority: WO
Inventors: 清貴木下; 隆行野田; 孝英藤居; 正善山本
Original assignee: 日本電気硝子株式会社
Priority date: 2013-08-08
Filing date: 2014-07-25
Publication date: 2015-02-12
Also published as: CN105339289A; JP2015034071A; US10101281B2; CN105339289B; US20160178536A1; KR102274704B1; KR20160040454A

Abstract

本発明のシート部材搬送装置は、シート部材を支持する支持手段と、支持手段を移動させることによりシート部材を搬送する移動手段とを備えるシート部材搬送装置であって、支持手段は、シート部材の対向した一方端部と他方端部を各々支持すると共に、シート部材を部分的に湾曲変形させることによりシート部材の主面を横断する凸条部または凹条部を形成する変形支持手段を備える。

Description

シート部材搬送装置、シート部材支持装置、シート部材検査装置、およびシート部材搬送方法

　本発明は、シート部材の端部を支持して搬送および検査するシート部材搬送装置、シート部材支持装置、シート部材検査装置、およびシート部材搬送方法に関する。

　周知のように、フラットパネルディスプレイや太陽電池等に代表される板ガラス製品の製造工程において、板ガラスを縦姿勢で搬送しつつ、加工や検査を行う技術が開発されている。

　ところで、近年、製品の軽量化等を目的として板ガラスに対する薄肉化への要請が高まっており、例えば、その板厚が３００μｍ以下であるような薄板ガラスが大量に製造されるに至っている。このことに起因して、上述のように板ガラスを搬送する場合には、下記のような問題が発生している。

　詳述すると、板ガラスは薄肉化することにより変形し易くなるため、縦姿勢で搬送した場合、例えば、当該板ガラスの表面側と裏面側との気圧差等に起因して揺れが生じやすく、また、揺れの振幅が大きくなりやすい。このような揺れが大きくなると、板ガラスに含まれる微小クラックが進展して破損しやすくなる。また、カメラ等の撮像装置を用いた検査を行う際に板ガラスの揺れの振幅が大きくなると、揺れによって板厚方向に変位した部位が、撮像装置の焦点から外れやすくなり、欠陥の有無を正確に検査することができない場合がある。そこで、これらの問題を解決するための技術が特許文献１に開示されている。

　同文献には、縦姿勢の板ガラスにおける上辺部と下辺部とを、一の辺部に沿って相互に離間して配列された複数の把持手段を一組の把持手段群として、二組の把持手段群で把持し、板ガラスを辺部の長手方向に沿って搬送するシート部材搬送装置において、二組の把持手段群が、板ガラスの上辺部と下辺部とを把持した状態で、両辺部の相互間に引張力を作用させるようにした構成が開示されている。

　このような構成によれば、搬送中の板ガラスに対し、その上下方向に引張力を作用させることが可能となる。そのため、この引張力によって、揺れの振幅が大きくなることを抑制できると共に、当該装置を用いて板ガラスの検査を実施すれば、欠陥の検出精度を向上させ得るものと期待される。

特開２００９－２３６７７１号公報

　しかしながら、特許文献１に開示される装置には改善の余地が残されていた。すなわち、この装置によれば、板ガラスの全面に引張力を作用させるために、搬送中の板ガラスが揺れにより湾曲した際に、湾曲した部位に引張応力が作用する。そのため、当該部位に微小クラックが含まれていた場合、該クラックが引張応力によって進展し、板ガラスが破損し易くなる虞があった。また、把持手段を付勢して板ガラスに引張力を作用させるために、把持手段と板ガラスとが滑り易く、板ガラスが滑落して破損し易くなるという問題があった。

　上記事情に鑑みなされた本発明は、シート部材を支持および搬送する際の揺れを抑制し、シート部材の破損等を抑制することを目的とする。

　上記課題を解決するために創案された本発明に係るシート部材搬送装置は、シート部材を支持する支持手段と、支持手段を移動させることによりシート部材を搬送する移動手段とを備えるシート部材搬送装置であって、支持手段は、シート部材の対向した一方端部と他方端部を各々支持すると共に、シート部材を部分的に湾曲変形させることによりシート部材の主面を横断する凸条部または凹条部を形成する変形支持手段を備えるように構成されていることに特徴付けられる。

　上記構成によれば、シート部材を搬送する際の揺れ、および破損を抑制することができる。具体的には、シート部材に凸条部（または凹条部）が形成されることによってシート部材の面剛性が高まり、変形し難くなる。したがって、引張力等を作用させることなくシート部材の揺れを抑制することができる。また、シート部材を伝搬する面振動が凸条部において減衰或いは消滅するため、該面振動を抑制することができる。このようにシート部材の揺れや振動を抑制することにより、シート部材の破損を抑制することができる。

　本発明に係るシート部材搬送装置において、変形支持手段は、シート部材の一方端部および他方端部を各々に挟持する１対の挟持部材を備え、挟持部材は、互いに嵌合可能に構成された湾曲凹部および湾曲凸部を有し、嵌合する湾曲凹部および湾曲凸部の間隙にシート部材を挟持することにより前記凸条部または凹条部を形成することが好ましい。

　このような構成によれば、簡単な構成の部材で容易に凸条部（または凹条部）を形成させることができる。なお、シート部材の対向する一方端部及び他方端部の１対の挟持部材は、それぞれ対向する位置に配設されていることが好ましい。

　本発明に係るシート部材搬送装置において、湾曲凹部および湾曲凸部の少なくとも何れか一方が弾性部材から成ることが好ましい。

　このような構成によれば、挟持部材によってシート部材を挟持した際に、挟持部材が弾性変形することでシート部材の局所的な変形を防止することができるので、シート部材が破損することを防止できる。

　本発明に係るシート部材搬送装置において、変形支持手段を複数備え、シート部材に複数の凸条部または凹条部を平行に形成することが好ましい。

　このような構成によれば、シート部材の曲げ剛性を、より高め、シート部材の揺れを効果的に抑制できる。

　本発明に係るシート部材搬送装置は、シート部材を変形させずにシート部材の端部を挟持支持する複数の平坦支持手段をさらに備えることが好ましい。

　このような構成によれば、シート部材の平坦な箇所を支持することができ、安定した支持および搬送が可能となる。

　本発明に係るシート部材搬送装置において、シート部材は、厚さ１ｍｍ以下の矩形状を成す板ガラスから成り、変形支持手段は、シート部材が直立姿勢となるよう該シート部材の上端辺部および下端辺部を各々支持し、移動手段は、シート部材の主面方向に変形支持手段を移動させることが好ましい。

　このような構成によれば、厚さが薄く、搬送時に大きな振幅で揺れやすいシート部材を、縦姿勢で安定して支持および搬送させることができる。

　本発明のシート部材検査装置は、上記シート部材搬送装置により搬送されるシート部材に含まれる欠陥の有無を、シート部材の搬送経路に配置された欠陥検査手段により検査するように構成したことを特徴とする。

　本発明のシート部材支持装置は、シート部材の対向した一方辺部と他方辺部を各々挟持すると共に、シート部材を部分的に湾曲変形させることにより一方辺部から他方辺部にかけて延びる凸条部または凹条部を形成する変形支持手段を備えることを特徴とする。

　本発明のシート部材搬送方法は、シート部材の対向した一方端部と他方端部を各々支持すると共に、シート部材を部分的に湾曲変形させることにより一方辺部から他方辺部にかけて延びる凸条部または凹条部を形成するステップと、凸条部または凹条部が形成された状態でシート部材を搬送するステップとを備えることを特徴とする。

　また、上記課題を解決するために創案された本発明に係るシート部材搬送装置は、縦姿勢のシート部材における対向した一対の辺部を、一の辺部に沿って相互に離間して配列された複数の支持手段を一組の支持手段群として、二組の支持手段群で支持し、シート部材を辺部の長手方向に沿って搬送するシート部材搬送装置において、二組の支持手段群は、シート部材の一対の辺部を支持した状態で、シート部材における一対の辺部の相互間に引張力を作用させるように構成されると共に、各支持手段群は、複数の支持手段のうち、少なくとも、シート部材における一の辺部の一端部を支持した状態にある支持手段と、他端部を支持した状態にある支持手段との相互間に引張力を作用させるように構成されていることに特徴付けられる。

　二組の支持手段群が、シート部材の一対の辺部を支持した状態で、当該シート部材における一対の辺部の相互間に引張力（以下、第一方向引張力という）を作用させると、シート部材における搬送方向の前方側端部、及び後方側端部での揺れの振幅を小さくできる。そして、この状態から各支持手段群が複数の支持手段のうち、少なくとも、シート部材における一の辺部の一端部を支持した状態にある支持手段と、他端部を支持した状態にある支持手段との相互間に引張力（以下、第二方向引張力という）を作用させた場合、中央部での揺れの振幅についても小さく抑制することが可能となる。これらのことから、シート部材に第一方向引張力を作用させた状態で、第二方向引張力を作用させれば、揺れに起因したシート部材の板厚方向への変位の最大値を可及的に小さくすることができる。すなわち、シート部材の全体で揺れの振幅を小さく抑制することが可能となる。その結果、シート部材の破損等を抑制することができる。なお、このように第一方向引張力と第二方向引張力との双方を作用させた場合、前方側端部、及び後方側端部での揺れの振幅は、第一方向引張力のみを作用させた場合と比較して大きくなる。さらに、第二方向引張力が大きくなる程、中央部での揺れの振幅は漸次に小さくなり、逆に前方側端部、及び後方側端部での揺れの振幅は漸次に大きくなる。

　本発明に係るシート部材搬送装置において、各支持手段群は、複数の支持手段の支持する位置が、一の辺部の中央部を基準に対称とされると共に、一方の支持手段群に属する支持手段と、他方の支持手段群に属する支持手段とが、一対の辺部の長手方向における同位置を支持するように構成されていることが好ましい。

　このような構成によれば、一方の支持手段群に属する支持手段と、他方の支持手段群に属する支持手段とが支持する位置は、シート部材の面における中心を基準に点対称な配置となる。これにより、第一方向引張力、及び第二方向引張力をシート部材の全体においてバランスよく作用させることができ、揺れの振幅を小さく抑制する効果をより向上させることが可能となる。

　本発明に係るシート部材搬送装置において、各支持手段群は、一の辺部の中央部を基準にして全ての隣り合う支持手段の相互間に引張力を作用させるように構成されていることが好ましい。

　このような構成によれば、シート部材における搬送方向の前方側端部から後方側端部までの全域に、第二方向引張力を作用させることができ、これに起因して、シート部材の全体で揺れの振幅を小さく抑制する効果をさらに向上させることが可能となる。

　本発明に係るシート部材搬送装置において、支持手段によりシート部材に作用させる引張力の大きさを、空気圧、又は油圧によって調整するように構成されていることが好ましい。

　このような構成によれば、圧力の大きさにより、シート部材に作用する第一方向引張力、及び第二方向引張力の大きさを簡便に調整することが可能となる。

　本発明に係るシート部材検査装置は、シート部材搬送装置により搬送されるシート部材に含まれる欠陥の有無を、シート部材の搬送経路に配置された欠陥検査手段により検査するように構成したことを特徴とする。

　本発明に係るシート部材検査装置において、欠陥検査手段は、シート部材の有効面を走査して検査すると共に、各支持手段群は、一の辺部に沿って隣り合う支持手段の相互間に作用させる引張力の大きさを、シート部材の検査部位に応じて変動させるように構成されていることが好ましい。

　このような構成によれば、隣り合う支持手段の相互間に作用する第二方向引張力の大きさを変動させることで、シート部材の搬送方向における前方側端部、及び後方側端部での揺れの振幅と中央部での揺れの振幅とについて、その大小を制御することができる。そのため、検査部位の変遷に伴って、当該部位における揺れの振幅を制御して小さく抑制すれば、欠陥の有無を精度よく検査することが可能となる。

　本発明に係るシート部材検査装置において、欠陥検査手段は、シート部材における有効面の全域を、シート部材を搬送させながら検査するように構成されていることが好ましい。

　このような構成によれば、シート部材搬送装置によって搬送されるシート部材は、その全体において揺れの振幅が小さく抑制されているため、当該シート部材における有効面の全域について、欠陥の有無を精度よく検査することが可能となる。

　本発明に係るシート部材検査装置において、シート部材における搬送方向の前方側端部から中央部までを検査する際に、各支持手段群は、一の辺部の隣り合う支持手段の相互間に作用させる引張力を、検査部位が搬送方向の前方側端部から中央部に移行するに連れて漸次に大きくすると共に、シート部材における搬送方向の中央部から後方側端部までを検査する際に、各支持手段群は、一の辺部の隣り合う支持手段の相互間に作用させる引張力を、検査部位が搬送方向の中央部から後方側端部に移行するに連れて漸次に小さくするように構成されていることが好ましい。

　このような構成によれば、シート部材における搬送方向の前方側端部、及び後方側端部を検査する際には、当該シート部材に作用する第一方向引張力の影響が大きくなり、前方側端部、及び後方側端部での揺れの振幅を小さく抑制することができる。一方、中央部を検査する際には、シート部材に第一方向引張力と第二方向引張力との双方が作用するため、中央部での揺れの振幅を小さく抑制することができる。これらのことから、シート部材における有効面の全域で、欠陥の有無をより正確に検査することが可能である。ここで、前方側端部、及び後方側端部を検査する際においては、第二方向引張力を零とし、第一方向引張力のみをシート部材に作用させることが好ましい。また、中央部を検査する際には、第二方向引張力を、シート部材に破損等の不具合を生じない範囲で可及的に大きくすることが好ましい。このようにすれば、それぞれの部位において、揺れの振幅をさらに小さく抑制することができ、より一層正確な検査が可能となる。

　本発明に係るシート部材搬送方法は、縦姿勢のシート部材における対向した一対の辺部を、一の辺部に沿って相互に離間して配列された複数の支持手段を一組の支持手段群として、二組の支持手段群で支持させ、シート部材を辺部の長手方向に沿って搬送するシート部材搬送方法において、シート部材の搬送時に、二組の支持手段群が、シート部材の一対の辺部を支持した状態で、シート部材における一対の辺部の相互間に引張力を作用させると共に、各支持手段群が、複数の支持手段のうち、少なくとも、シート部材における一の辺部の一端部を支持した状態にある支持手段と、他端部を支持した状態にある支持手段との相互間に引張力を作用させることに特徴付けられる。

　以上のように、本発明によれば、シート部材を縦姿勢で搬送する際に、当該シート部材の揺れの振幅を小さく抑制することが可能となる。

本発明の第一実施形態に係るシート部材搬送装置、シート部材支持装置、およびシート部材検査装置を示す正面図である。本発明の第一実施形態に係るシート部材搬送装置、シート部材支持装置、およびシート部材検査装置を示す図１のＡＡ´部分断面斜視図である。変形支持チャックの構造を示す図である。変形支持チャックがガラスシートを変形させる様子を示す図である。変形支持チャックがガラスシートを変形させる様子を示す図である。本発明の第二実施形態に係るシート部材搬送装置、及びシート部材検査装置を示す正面図である。ガラスシートに作用する第二方向引張力と、当該ガラスシートに発生する揺れの振幅との関係を示す図である。ガラスシートにおける検査部位と、当該ガラスシートに作用する第二方向引張力との関係を示す図である。本発明の第二実施形態に係るシート部材検査装置を用いて、ガラスシートの欠陥を検査する態様を示す正面図である。本発明の第二実施形態に係るシート部材検査装置を用いて、ガラスシートの欠陥を検査する態様を示す正面図である。本発明の第二実施形態に係るシート部材検査装置を用いて、ガラスシートの欠陥を検査する態様を示す正面図である。本発明のシート部材搬送装置を用いて搬送したガラスシートに発生する揺れの振幅と、従来の装置を用いて搬送したガラスシートに発生する揺れの振幅とを比較した図である。ガラスシートに発生する揺れの振幅を示す図である。

　以下、本発明の実施形態について、添付の図面を参照して説明する。

＜第一実施形態＞
　図１は、本発明の第一実施形態に係るシート部材搬送装置１、シート部材支持装置２、およびシート部材検査装置を示す図である。また、図２は、図１におけるＡＡ´断面の斜視図である。

　シート部材搬送装置１は、シート部材を支持する支持手段としてシート部材支持装置２を備え、シート部材支持装置２を移動させる移動手段として移動機構３を備える。また、シート部材検査装置は、シート部材搬送装置１およびラインセンサー４を備え、シート部材搬送装置１によって縦姿勢で搬送方向Ｘ（水平方向）に搬送されるシート部材に含まれた欠陥の有無を、当該シート部材の搬送経路に配置された欠陥検査手段としてのラインセンサー４により検査するように構成されている。なお、本発明の第一実施形態、及び後述の第二実施形態では、シート部材としてガラスシート５を支持、搬送、および検査の対象とする場合を例として説明する。

　シート部材支持装置２は、縦姿勢のガラスシート５の上辺部５１および下辺部５２をそれぞれ支持するチャック対１０～１４を備える。より詳細には、シート部材支持装置２は、ガラスシート５を部分的に湾曲変形させつつ支持（挟持）する変形支持手段としてチャック対１０を備え、ガラスシート５を変形させることなく平坦状に支持（挟持）する平坦支持手段としてチャック対１１～１４を備える。シート部材支持装置２に支持されたガラスシート５は、部分的に湾曲された領域である凸条部５３（裏面側から見れば凹条部）と、その他の平坦な領域である平坦部５４とに区分される。

　移動機構３は、上方フレーム３１、下方フレーム３２、上方ガイドレール３３、下方ガイドレール３４を備える。上方フレーム３１および下方フレーム３２は、各々、チャック対１０～１４が固定される棒板状の部材である。上方フレーム３１および下方フレーム３２は、各々、上方ガイドレール３３および下方ガイドレール３４に沿って移動可能に構成される。上方フレーム３１および下方フレーム３２の駆動源は、例えばサーボモータ等の周知の駆動源によって構成される。上方フレーム３１および下方フレーム３２の幅寸法は、ガラスシート５の幅寸法に応じて定められ、上方フレーム３１と下方フレーム３２との離間距離はガラスシート５の長さ寸法に応じて定められることが好ましい。

　より詳細に説明すると、チャック対１０には、変形支持チャック１０１，１０２が含まれ、チャック対１１には平坦支持チャック１１１，１１２が含まれ、チャック対１２には平坦支持チャック１２１，１２２が含まれ、チャック対１３には平坦支持チャック１３１，１３２が含まれ、チャック対１４には、平坦支持チャック１４１，１４２が含まれる。変形支持チャック１０１および平坦支持チャック１１１，１２１，１３１，１４１は、各々、上方フレーム３１に所定間隔を空けて固定配置される。また、変形支持チャック１０２および平坦支持チャック１１２，１２２，１３２，１４２は、下方フレーム３２に所定間隔を空けて固定配置される。このようにして、対となる支持チャックが、上下方向に対向配置される。

　変形支持チャック１０１および平坦支持チャック１１１，１２１，１３１，１４１は、ガラスシート５の上辺部５１を挟持し、変形支持チャック１０２および平坦支持チャック１１２，１２２，１３２，１４２は、ガラスシート５の下辺部５２を挟持する。この際、各支持チャックは、上辺部５１と下辺部５２との各辺部に沿う方向でそれぞれに対向する位置を支持する。このようにガラスシート５を支持した状態で、上方ガイドレール３３に沿って上方フレーム３１が、下方ガイドレール３４に沿って下方フレーム３２が移動することによって、ガラスシート５が縦姿勢で主面方向（図１に示すＸ方向）に移動する。

　なお、各支持チャックがガラスシート５を支持する位置は任意に定めて良いが、ガラスシート５の主面における中心を基準に点対称な位置であることが好ましい。すなわち、平坦支持チャック１１１と平坦支持チャック１４２、平坦支持チャック１２２と平坦支持チャック１３１はそれぞれガラスシート５の主面における中心を基準に点対称な位置にあり、それぞれ平坦支持チャック１１１には対向する平坦支持チャック１１２が、平坦支持チャック１４２には平坦支持チャック１４１がそれぞれある。また、何れかの支持チャックが、上辺部５１、下辺部５２における搬送方向Ｘの前方側端部および後方側端部を支持することが好ましい。このような構成によれば、ガラスシート５を、より安定して支持および搬送することができる。

　変形支持チャック１０１，１０２に挟持されたガラスシート５には、変形支持チャック１０１に挟持された箇所から変形支持チャック１０２に挟持された箇所にかけてガラスシート５の主面を横断する凸条部５３が形成される。以下、変形支持チャックの構成について図３および図４を参照して説明する。なお、変形支持チャック１０１と１０２とは同様の構成を有するため、以下では代表例として変形支持チャック１０１の構成について説明する。

　図３は変形支持チャック１０１の構成を示す模式図である。変形支持チャック１０１は、図３に示すように、互いに嵌合可能な湾曲凸部４１および湾曲凹部４２を備える。湾曲凸部４１は円柱面状の嵌合面を有しており、該嵌合面の湾曲形状は楕円であっても真円であっても良い。

　図４は変形支持チャック１０１によってガラスシート５が変形する様子を示す図である。湾曲凸部４１および湾曲凹部４２がガラスシート５の板厚方向に移動して開閉することで、ガラスシート５の上辺部５１、或いは、下辺部５２の支持と、その解除とが実行される。変形支持チャック１０１を開状態として湾曲凸部４１と湾曲凹部４２との間にガラスシート５を配置した後（図４（ａ））、閉状態として湾曲凸部４１と湾曲凹部４２とを嵌合させることによって（図４（ｂ））、ガラスシート５に凸条部５３が形成される。変形支持チャック１０１の開閉機構は、例えばエアシリンダー等の周知の機構によって構成される。

　なお、湾曲凸部４１および湾曲凹部４２の少なくとも何れか一方のガラスシート５と当接する部位は、例えば、ゴム等の弾性に富んだ材料で構成されることが好ましい。同様に、各平坦支持チャックのガラスシート５と当接する部位も弾性部材により構成されることが好ましい。このような構成によれば、ガラスシート５を挟持する際に、ガラスシート５の挟持箇所に過度の応力がかかることを防ぎ、ガラスシート５の破損を防止できる。

　ラインセンサー４は、図１に示すようにガラスシート５の搬送経路に配置され、ガラスシート５に含まれる欠陥を検出する。ラインセンサー４は、例えばＣＣＤなどの撮像素子を上下方向に沿って複数備えている。そして、ラインセンサー４の前を通過する搬送中のガラスシート５の面に対し、当該ガラスシート５を挟んで反対側に設置された図示省略の光源から照射され、ガラスシート５を透過した光を撮像素子で受光する。光源は、例えば、ラインセンサー４に沿って設けられたＬＥＤライン光源である。ラインセンサー４は、この撮像素子が受光する光量の変化に基づいて、ガラスシート５に含まれる欠陥の有無を検査（走査）するように構成されている。検出される欠陥は、例えば、ガラスシート５内部や表面の泡、ブツ等である。なお、この検査（走査）は、ガラスシート５における搬送方向Ｘの前方側端部から後方側端部までの全域に対して、漸次に実行される。

　なお、ガラスシート５の欠陥の有無を検査する方法は上記に限らない。例えば、ガラスシート５の一方主面側に光源およびラインセンサー４の双方を配置し、ガラスシート５から反射された光をラインセンサー４で受光することによってガラスシート５の欠陥を検出しても良い。また、光源は、ラインセンサー４の受光部に沿って走査する点光源であっても良い。なお、光源としては、例えば、ＬＥＤ、メタルハライドランプ、レーザー光源等を用いることができる。

　以上のように、本発明の第一実施形態に係るシート部材搬送装置１によれば、ガラスシート５に凸条部５３が形成されるため、ガラスシート５の曲げ剛性が、凸条部５３が形成されていない場合に比べ高くなり、ガラスシート５が変形し難くなる。その結果、当該ガラスシート５の板厚方向の揺れの振幅を小さく抑制できる。したがって、ガラスシート５の揺れによる破損を防止し易くなる。また、シート部材を伝搬する面振動が凸条部５３において減衰或いは消滅するため、該面振動を抑制することができる。例えば、前方端側の平坦部５４Ａにおいて発生した振動は凸条部５３において減衰或いは消滅するため、後方端側の平坦部５４Ｂまで伝搬し難い。このようにシート部材の揺れや面振動を抑制することにより、例えば、シート部材がガラスである場合に、クラックの進展を防止し、破損を抑制することができる。また、ラインセンサー４によって欠陥を検査する際に、ガラスシート５が揺れてラインセンサー４の焦点位置から外れることを防止し易くなる。すなわち、ガラスシート５の欠陥の有無を精度よく検査することが可能となる。

＜第二実施形態＞
　図５は、本発明の第二実施形態に係るシート部材搬送装置６、及びシート部材検査装置７を示す正面図である。なお、この第二実施形態の説明において、上記の第一実施形態で既に説明した要素については、第二実施形態の説明で参照する図面に同一の符号を付すことにより重複する説明を省略している。

　図５に示すように、シート部材検査装置７は、シート部材搬送装置６によって縦姿勢で搬送方向Ｘ（水平方向）に搬送されるガラスシート５に含まれた欠陥の有無を、当該ガラスシート５の搬送経路に配置された欠陥検査手段としてのラインセンサー４により検査するように構成されている。

　シート部材搬送装置６は、縦姿勢のガラスシート５の上下方向で対向した一対の辺部である上辺部５１と下辺部５２とを、それぞれ支持（把持）する支持手段群として、二組のチャック群８，９を備える。チャック群８，９の各々は、上辺部５１、下辺部５２に沿って相互に離間して配列された複数の支持手段として、５体のチャック８１～８５，９１～９５を有している。そして、５体のチャックを一組としたチャック群８，９の各々が、上辺部５１の中央部、下辺部５２の中央部を基準に、対称な位置を支持する構成となっている。さらに、チャック群８に属する各チャックと、チャック群９に属する各チャックとが、上下方向で対向する位置（上辺部５１と下辺部５２との長手方向における同位置）を支持している。以上の構成により、両チャック群８，９に属する各チャックの支持する位置は、ガラスシート５の面における中心Ｃを基準に、点対称な位置とされている。加えて、各チャックのうち、チャック８１，９１は、それぞれ上辺部５１、下辺部５２における搬送方向Ｘの前方側端部５１ａ，５２ａを支持し、チャック８５，９５は、それぞれ後方側端部５１ｂ，５２ｂを支持するように構成されている。

　また、各チャックにおいて、上辺部５１、或いは、下辺部５２を支持する支持部は、ガラスシート５の面に沿って上下方向に延びた一対の平板状部材で構成されている。これら支持部が板厚方向に移動して開閉することで、上辺部５１、或いは、下辺部５２の支持（把持）と、その解除とが実行される。加えて、平板状部材において、上辺部５１、或いは、下辺部５２と直接に当接する当接部は、例えば、ゴム等の弾性に富んだ材料で構成される。

　さらに、各チャックは、第一エアシリンダー１５に内包されるピストンと連結されている。第一エアシリンダー１５内には、図示省略のエア供給装置（例えば、エアコンプレッサー）から圧縮空気を送り込むことが可能であると共に、図示省略のエア吸引装置（例えば、真空ポンプ）により第一エアシリンダー１５内に存する空気を吸引して排出することが可能となっている。そして、エア供給装置とエア吸引装置とにより、シリンダー内の空気圧を調整し、その圧力でシリンダーに内包されたピストンを移動させることで、各チャックが上下方向に移動する。この各チャックの移動に伴って、ガラスシート５に上下方向の引張力Ｆ（以下、第一方向引張力Ｆという）が作用する。ここで、各チャックからガラスシート５に負荷される第一方向引張力Ｆの大きさは、いずれも同じであり、ガラスシート５を支持（把持）可能な範囲で任意に設定して良い。例えば、第一方向引張力Ｆの大きさは、チャック一体につき、単位支持面積（単位把持面積）当たりの引張力が、５～５００ｋＮ／ｍ^２となるよう設定することが好ましい。なお、各チャックの単位支持面積当たりの引張力が、５ｋＮ／ｍ^２以下である場合には、揺れの振幅を抑制する効果を得難くなる。また、各チャックの単位支持面積当たりの引張力が、５００ｋＮ／ｍ^２以上である場合には、ガラスシート５がチャックから滑脱し易くなり、当該ガラスシート５を安定して支持し難くなる。

　加えて、チャック８３，９３と連結されたピストンを内包する第一エアシリンダー１５を除き、他の全ての第一エアシリンダー１５は、第二エアシリンダー１６に内包されたピストンと連結されている。第二エアシリンダー１６内の空気圧は、第一エアシリンダー１５と同様にして、図示省略のエア供給装置とエア吸引装置とによって調整されている。そして、空気圧の変化により、シリンダーに内包されたピストンが移動することで、各チャックが水平方向に移動する。この各チャックの移動に伴って、ガラスシート５における搬送方向Ｔの前方側端部５５から後方側端部５６までの全域に引張力Ｐ（以下、第二方向引張力Ｐという）が作用する。ここで、各チャックからガラスシート５に負荷される第二方向引張力Ｐの大きさは、いずれも同じであり、ガラスシート５を支持（把持）可能な範囲で任意に設定して良い。例えば、第二方向引張力Ｐの大きさは、チャック一体につき、単位支持面積（単位把持面積）当たりの引張力が、３～３００ｋＮ／ｍ^２となるよう設定することが好ましい。

　また、第二エアシリンダー１５の各々は、フレーム３１，３２に固定されている。なお、チャック８３，９３と連結されたピストンを内包する第一エアシリンダー１５は、それぞれフレーム３１，３２に直接固定されている。

　以下、上記のシート部材搬送装置６、及びシート部材検査装置７を用いて、ガラスシート５を縦姿勢で搬送しつつ、当該ガラスシート５に含まれる欠陥の有無を検査する場合の作用・効果について、添付の図面を参照して説明する。

　搬送中のガラスシート５に対し、第一方向引張力Ｆを作用させると、当該ガラスシート５における搬送方向Ｘの前方側端部５５、及び後方側端部５６での揺れの振幅は小さく抑制されるが、中央部５７での揺れの振幅は大きいままとなる。すなわち、この状態においては、揺れに起因したガラスシート５の板厚方向への変位は、中央部５７において最大となる。

　本発明の発明者は、鋭意研究の結果、この状態から、第一方向引張力Ｆを一定の大きさに保持しつつ、ガラスシート５に対し、第二方向引張力Ｐを作用させた場合、図６に示すように、第二方向引張力Ｐの増加に伴い、中央部５７での揺れの振幅Ｍが漸次に小さくなることを知見するに至った。また、同図に示すように、第二方向引張力Ｐの増加に伴い、前方側端部５５、及び後方側端部５６（同図において、前方方端部５５、及び後方側端部５６を合わせて端部と表記する）での揺れの振幅Ｈは、中央部５７とは逆に、漸次に大きくなり、やがて中央部５７での揺れの振幅Ｍを上回り、揺れに起因したガラスシート５の板厚方向への変位が、前方側端部５５、或いは、後方側端部５６において最大となることを見出した。

　これらのことから、ガラスシート５に作用する第一方向引張力Ｆの大きさを一定に保持しつつ、第二方向引張力Ｐの大きさを調整して、中央部５７における揺れの振幅Ｍと、前方側端部５５、及び後方側端部５６における揺れの振幅Ｈとが、同図に丸で囲ったＴ点のように、略同一となるようにすれば、揺れに起因したガラスシート５の板厚方向への変位の最大値を、可及的に小さくすることができる。すなわち、ガラスシート５の全体で揺れの振幅を小さく抑制することが可能となる。その結果、ガラスシート５の破損等を抑制することができる。

　また、上記のシート部材搬送装置６によれば、各チャックの支持する位置が、ガラスシート５の面における中心Ｃを基準に点対称な配置となっているため、第一方向引張力Ｆ、及び第二方向引張力Ｐを、ガラスシート５の全体においてバランスよく作用させることができる。さらには、ガラスシート５における搬送方向Ｘの前方側端部５５から後方側端部５６までの全域に、第二方向引張力Ｐを作用させることができる。これらのことに起因して、ガラスシート５の全体で揺れの振幅を小さく抑制する効果を、さらに高めることが可能となる。加えて、第一エアシリンダー１５内、第二エアシリンダー１６内に存する空気の空気圧を制御することにより、ガラスシート５に作用させる第一方向引張力Ｆ、及び第二方向引張力Ｐの大きさを簡便に調整することができる。

　これらの結果、シート部材搬送装置６によって搬送されるガラスシート５の全体において、揺れの振幅が小さく抑制されるため、シート部材検査装置７により、当該ガラスシート５における有効面の全域について、欠陥の有無を精度よく検査することが可能となる。

　また、ガラスシート５における搬送方向Ｘの前方側端部５５から後方側端部５６に向かって検査部位が移行するのに伴って、当該ガラスシート５に作用させる第二方向引張力Ｐの大きさを、以下に説明する態様のように変化させれば、さらに正確な欠陥の検査が可能となる。

　すなわち、図７に示すように、ガラスシート５における搬送方向Ｘの前方側端部５５から中央部５７までを検査する際、検査部位が前方側端部５５から中央部５７に移行するに連れて、第二方向引張力Ｐを零から漸次に大きくする。さらに、中央部５７から後方側端部５６までを検査する際、検査部位が中央部５７から後方側端部５６に移行するに連れて、第二方向引張力Ｐを漸次に小さくして零とする。

　このようにすれば、図８ａ（ガラスシート５以外は図示省略）に示すように、ガラスシート５における搬送方向Ｘの前方側端部５５を検査する際には、当該ガラスシート５に第一方向引張力Ｆのみが作用し、前方側端部５５での揺れの振幅を可及的に小さく抑制することができる。

　そして、図８ｂ（ガラスシート５以外は図示省略）に示すように、検査部位が、前方側端部５５から中央部５７に移行する際には、ガラスシート５に第一方向引張力Ｆと第二方向引張力Ｐとの双方が作用すると共に、中央部５７の検査時に第二方向引張力Ｐが最大となる。これにより、中央部５７での揺れの振幅を可及的に小さく抑制することができる。

　さらに、図８ｃ（ガラスシート５以外は図示省略）に示すように、検査部位が、後方側端部５６に移行した際には、前方側端部５５を検査する際と同様に、第一方向引張力Ｆのみがガラスシート５に作用し、後方側端部５６での揺れの振幅を可及的に小さく抑制することができる。

　以上のように、検査部位に応じて第二方向引張応力Ｐの大きさを制御すれば、ガラスシート５における有効面の全域で、欠陥の有無をより正確に検査することが可能である。なお、第二方向引張力Ｐが大きくなる程、中央部５７での揺れの振幅は小さくなるため、この態様において、中央部５７を検査する際には、第二方向引張力Ｐを、ガラスシート５に破損等の不具合を生じない範囲で可及的に大きくすることが好ましい。さらに、前方側端部５５、後方側端部５６の検査時において、第二方向引張力Ｐの大きさは、必ずしも零である必要はないが、前方側端部５５、後方側端部５６での揺れの振幅を可及的に小さく抑制するため、零、或いは、略零とすることが好ましい。

　ここで、本発明に係るシート部材搬送装置、及びシート部材検査装置の構成は、上記の各実施形態で説明した構成に限定されるものではない。上記の第一実施形態においては、上辺部、及び下辺部を、５対のチャックで支持しているが、少なくとも１対の変形支持チャックを含む複数のチャックで支持していれば、チャックの数や支持箇所は任意に変更してよい。例えば、変形支持チャックを複数対備え、ガラスシートに複数の凸条部を平行に形成しても良い。このようにすれば、ガラスシートの曲げ剛性を、より高め、ガラスシートの揺れを効果的に抑制できる。

　また、上記の第二実施形態では、上辺部、及び下辺部を、それぞれ５体のチャックで支持しているが、少なくとも上辺部、及び下辺部における搬送方向の前方側端部を支持するチャックと、後方側端部を支持するチャックとが備えられる構成であればよい。また、上辺部を支持するチャックの数と、下辺部を支持するチャックの数とが異なっていてもよい。

　また、上記の各実施形態では、各チャックが、ガラスシートの面における中心点を基準に、点対称な位置を支持する構成となっているが、各チャックの配置はこれに限らずともよい。

　また、上記の第二実施形態では、上辺部側と下辺部側との双方に、第一エアシリンダーが備えられ、第一エアシリンダーに内包されたピストンと連結されたチャックの移動により、第一方向引張力をガラスシートに作用させている。しかしながら、第一エアシリンダーは、上辺部側、或いは、下辺部側のいずれか一方にのみ備えられる構成としてもよい。例えば、上辺部側にのみ第一エアシリンダーが備えられている場合、上辺部側において第一方向引張力がガラスシートに作用すると、その反力として下辺部側にも第一方向引張力が作用するため、上記の実施形態と同様の効果を得ることができる。さらに、上記の第二実施形態では、エアシリンダーを用いて、ガラスシートに第一方向引張力と第二方向引張力とを作用させているが、エアシリンダーに代えて、油圧シリンダーを使用してもよいし、サーボ機構を用いた制御により、第一方向引張力と第二方向引張力とをガラスシートに作用させるようにしてもよい。

　さらに、上記の第二実施形態において、各チャックは、その上下方向、及び水平方向への移動量を個別に制御可能に構成されていて良い。すなわち、各チャックを移動させるための第一エアシリンダー、及び第二エアシリンダーは、シリンダー内の空気圧がチャック毎に個別に制御可能に構成されていて良い。このような構成とした場合、チャック間に作用する引張応力の大きさを個別に制御することができる。

　加えて、上記の各実施形態においては、ガラスシートの上下方向で対向した上辺部と下辺部とを支持した状態で、当該ガラスシートを水平方向に搬送する構成となっているが、ガラスシートの水平方向で対向した一対の辺部をそれぞれ支持した状態で、当該ガラスシートを上下方向に搬送する構成としてもよい。また、上記の各実施形態においては、支持手段としてチャックを用いているが、これに限定されるものではない。例えば、上辺部、下辺部との当接部（当接面）に負圧を作用させるための多数の吸引孔を有するような吸着パッド等を用いてもよい。

　なお、ガラスシートは、その板厚が薄くなる程、また、その面の面積が大きくなる程、搬送中に揺れが発生しやすくなるため、本発明のシート部材搬送装置は、板厚（ｍ）と面積（ｍ^２）との比率（板厚／面積）の値が、好ましくは０．７×１０^－３以下、より好ましくは０．１×１０^－３以下であるようなガラスシートの搬送に用いることが好適である。

　本発明の実施例として、上記の第一実施形態と同様の構成を有するシート部材搬送装置を用いて、ガラスシートを縦姿勢で搬送すると共に、当該ガラスシートに発生する揺れの振幅を検証した。以下に検証の実施条件を示す。

　搬送されるガラスシートの寸法は、縦：１５００ｍｍ、横：２０００ｍｍ、板厚：０．２ｍｍとした。また、ガラスシートの上辺部、下辺部をそれぞれ支持するチャック群において、隣り合うチャック間の離間距離は、４７５ｍｍとした。このような条件でガラスシートに凸条部を形成した状態で搬送した。そして、搬送中のガラスシートにおける中央部と、搬送方向の後方側端部とにおける揺れの振幅の大きさを測定した。振幅の大きさはレーザー変位計で測定した。

　また、比較例として、実施例のシート部材搬送装置の変形支持チャックを平坦支持チャックに置き換え、同一のサイズを有するガラスシートを用いて、凸条部を形成させない状態で搬送した。そして、搬送中のガラスシートにおける中央部と、搬送方向の後方側端部とにおける揺れの振幅の大きさを測定した。

　上記実施例、及び比較例について、揺れの振幅の大きさを測定した結果を図９に示す。同図に示すように、実施例では、中央部と、端部との双方において、比較例よりも揺れの振幅が小さくなっていることが分かる。以上のことから、本発明のシート部材搬送装置によれば、ガラスシートを縦姿勢で搬送する際に、当該ガラスシートの全体において、揺れの振幅を小さく抑制することができる。

　本発明の実施例として、上記の第二実施形態と同一の構成を有するシート部材搬送装置を用いて、ガラスシートを縦姿勢で搬送すると共に、搬送中のガラスシートに作用する第一方向引張力、及び第二方向引張力と、当該ガラスシートに発生する揺れの振幅との関係を検証した。以下に検証の実施条件を示す。

　搬送されるガラスシートの寸法は、縦：１５００ｍｍ、横：２０００ｍｍ、板厚：０．２ｍｍとした。また、ガラスシートの上辺部、下辺部をそれぞれ支持するチャック群において、隣り合うチャック間の離間距離は、４７５ｍｍとした。そして、第一方向引張力の大きさを１５０Ｎとすると共に、第二方向引張力の大きさを５０Ｎとして、これらの双方をガラスシートに作用させた状態で搬送した。そして、搬送中のガラスシートにおける中央部と、搬送方向の後方側端部とにおける揺れの振幅の大きさを測定した。

　また、比較例１として、実施例と同一のシート部材搬送装置、同一のサイズを有するガラスシートを用いて、当該ガラスシートに第一方向引張力と第二方向引張力との双方を一切作用させない状態（ガラスシートを各チャックで支持しただけの状態）で搬送した。そして、搬送中のガラスシートにおける中央部と、搬送方向の後方側端部とにおける揺れの振幅の大きさを測定した。

　さらには、比較例２として、実施例と同一のシート部材搬送装置、同一のサイズを有するガラスシートを用いて、当該ガラスシートに第一方向引張力の大きさを１５０Ｎ（一定の大きさ）として、第一方向引張力のみを作用させた状態で搬送した。そして、搬送中のガラスシートにおける中央部と、搬送方向の後方側端部とにおける揺れの振幅の大きさを測定した。

　実施例、及び比較例について、揺れの振幅の大きさを測定した結果を図１０に示す。同図に示すように、比較例１では、中央部と、搬送方向の後方側端部との双方において、実施例、及び比較例２よりも揺れの振幅が大きくなっていることが分かる。

　さらに、比較例２では、搬送方向の後方側端部においては、実施例よりも揺れの振幅が小さく抑制されているが、一方、中央部においては、実施例よりも揺れの振幅が大きくなっていることが分かる。つまり、比較例２において、揺れに起因したガラスシートの板厚方向への変位は、中心部において、その値が最大となると共に、この最大値が実施例と比較して、大きくなっている。

　これらに対し、実施例では、中央部と、搬送方向の後方側端部とで、揺れの振幅の大きさが略同一となっている。また、揺れに起因したガラスシートの板厚方向への変位は、中心部と、搬送方向の後方側端部との双方で最大となるが、この最大値は、比較例１及び比較例２に対して、小さい値となっている。

　この効果は、以下の理由により得られる。すなわち、一定の大きさの第一方向引張力のみをガラスシートに作用させた状態（比較例２の状態）から、第二方向引張力を作用させた場合、第二方向引張力の増加に伴い、中央部での揺れの振幅が漸次に小さくなる。また、第二方向引張力の増加に伴い、搬送方向の後方側端部での揺れの振幅は、中央部とは逆に、漸次に大きくなる。その結果、第二方向引張力の大きさを調整することで、中央部と、搬送方向の後方側端部との揺れの振幅を、略同一とすることができる。以上のことから、本発明によれば、ガラスシートを縦姿勢で搬送する際に、当該ガラスシートの全体において、揺れの振幅を小さく抑制することができる。

１　　　　　　　　　　　　シート部材搬送装置
２　　　　　　　　　　　　シート部材支持装置
３　　　　　　　　　　　　移動機構
４　　　　　　　　　　　　ラインセンサー
５　　　　　　　　　　　　ガラスシート
６　　　　　　　　　　　　シート部材搬送装置
７　　　　　　　　　　　　シート部材検査装置
８，９　　　　　　　　　　チャック群
１１～１４　　　　　　　　チャック対
１０１、１０２　　　　　　変形支持チャック
１１１、１１２　　　　　　平坦支持チャック
１２１、１２２　　　　　　平坦支持チャック
１３１、１３２　　　　　　平坦支持チャック
１４１、１４２　　　　　　平坦支持チャック
３１　　　　　　　　　　　上方フレーム
３２　　　　　　　　　　　下方フレーム
３３　　　　　　　　　　　上方ガイドレール
３４　　　　　　　　　　　下方ガイドレール
４１　　　　　　　　　　　湾曲凸部
４２　　　　　　　　　　　湾曲凹部
５１　　　　　　　　　　　上辺部
５１ａ　　　　　　　　　　上辺部における搬送方向の前方側端部
５１ｂ　　　　　　　　　　上辺部における搬送方向の後方側端部
５２　　　　　　　　　　　下辺部
５２ａ　　　　　　　　　　下辺部における搬送方向の前方側端部
５２ｂ　　　　　　　　　　下辺部における搬送方向の後方側端部
５３　　　　　　　　　　　凸条部（凹条部）
５４　　　　　　　　　　　平坦部
８１～８５　　　　　　　　チャック
９１～９５　　　　　　　　チャック
Ｆ　　　　　　　　　　　　第一方向引張力
Ｐ　　　　　　　　　　　　第二方向引張力

Claims

　シート部材を支持する支持手段と、前記支持手段を移動させることにより前記シート部材を搬送する移動手段とを備えるシート部材搬送装置であって、
　前記支持手段は、シート部材の対向した一方端部と他方端部を各々支持すると共に、前記シート部材を部分的に湾曲変形させることにより前記シート部材の主面を横断する凸条部または凹条部を形成する変形支持手段を備えることを特徴とする、シート部材搬送装置。
　前記変形支持手段は、前記シート部材の一方端部および他方端部を各々に挟持する１対の挟持部材を備え、
　前記挟持部材は、互いに嵌合可能に構成された湾曲凹部および湾曲凸部を有し、嵌合する前記湾曲凹部および湾曲凸部の間隙に前記シート部材を挟持することにより前記凸条部または凹条部を形成することを特徴とする、請求項１に記載のシート部材搬送装置。
　前記湾曲凹部および湾曲凸部の少なくとも何れか一方が弾性部材から成ることを特徴とする、請求項２に記載のシート部材搬送装置。
　前記変形支持手段を複数備え、前記シート部材に複数の凸条部または凹条部を平行に形成することを特徴とする、請求項１から３の何れか１項に記載のシート部材搬送装置。
　前記シート部材の端部を平坦状に支持する複数の平坦支持手段をさらに備えることを特徴とする、請求項１から４の何れか１項に記載のシート部材搬送装置。
　前記シート部材は、厚さ１ｍｍ以下の矩形状を成す板ガラスから成り、
　前記変形支持手段は、前記シート部材が直立姿勢となるよう該シート部材の上端辺部および下端辺部を各々支持し、
　前記移動手段は、前記シート部材の主面方向に前記変形支持手段を移動させることを特徴とする、請求項１から５の何れか１項に記載のシート部材搬送装置。
　請求項１から６のいずれか１項に記載のシート部材搬送装置により搬送される前記シート部材に含まれる欠陥の有無を、前記シート部材の搬送経路に配置された欠陥検査手段により検査するように構成したことを特徴とする、シート部材検査装置。
　シート部材の対向した一方辺部と他方辺部を各々挟持すると共に、前記シート部材を部分的に湾曲変形させることにより前記一方辺部から他方辺部にかけて延びる凸条部または凹条部を形成する変形支持手段を備えることを特徴とする、シート部材支持装置。
　シート部材の対向した一方端部と他方端部を各々支持すると共に、前記シート部材を部分的に湾曲変形させることにより前記一方辺部から他方辺部にかけて延びる凸条部または凹条部を形成するステップと、
　前記凸条部または凹条部が形成された状態で前記シート部材を搬送するステップとを備えることを特徴とする、シート部材搬送方法。
　縦姿勢のシート部材における対向した一対の辺部を、一の辺部に沿って相互に離間して配列された複数の支持手段を一組の支持手段群として、二組の支持手段群で支持し、前記シート部材を前記辺部の長手方向に沿って搬送するシート部材搬送装置において、
　前記二組の支持手段群は、前記シート部材の一対の辺部を支持した状態で、該シート部材における一対の辺部の相互間に引張力を作用させるように構成されると共に、
　前記各支持手段群は、複数の支持手段のうち、少なくとも、前記シート部材における一の辺部の一端部を支持した状態にある支持手段と、他端部を支持した状態にある支持手段との相互間に引張力を作用させるように構成されていることを特徴とする、シート部材搬送装置。
　前記各支持手段群は、複数の支持手段の支持する位置が、一の辺部の中央部を基準に対称とされると共に、
　一方の支持手段群に属する支持手段と、他方の支持手段群に属する支持手段とが、前記一対の辺部の長手方向における同位置を支持するように構成されていることを特徴とする、請求項１０に記載のシート部材搬送装置。
　前記各支持手段群は、一の辺部の中央部を基準にして全ての隣り合う支持手段の相互間に引張力を作用させるように構成されていることを特徴とする、請求項１０又は１１に記載のシート部材搬送装置。
　支持手段により前記シート部材に作用させる引張力の大きさを、空気圧、又は油圧によって調整するように構成したことを特徴とする、請求項１０から１２の何れか１項に記載のシート部材搬送装置。
　請求項１０から１３の何れか１項に記載のシート部材搬送装置により搬送される前記シート部材に含まれる欠陥の有無を、前記シート部材の搬送経路に配置された欠陥検査手段により検査するように構成したことを特徴とする、シート部材検査装置。
　前記欠陥検査手段は、前記シート部材の有効面を走査して検査すると共に、
　前記各支持手段群は、一の辺部に沿って隣り合う支持手段の相互間に作用させる引張力の大きさを、前記シート部材の検査部位に応じて変動させるように構成されていることを特徴とする、請求項１４に記載のシート部材検査装置。
　前記欠陥検査手段は、前記シート部材における有効面の全域を、該シート部材を搬送させながら検査するように構成されていることを特徴とする、請求項１４又は１５に記載のシート部材検査装置。
　前記シート部材における搬送方向の前方側端部から中央部までを検査する際に、前記各支持手段群は、一の辺部の隣り合う支持手段の相互間に作用させる引張力を、検査部位が前記搬送方向の前方側端部から中央部に移行するに連れて漸次に大きくすると共に、
　前記シート部材における搬送方向の中央部から後方側端部までを検査する際に、前記各支持手段群は、一の辺部の隣り合う支持手段の相互間に作用させる引張力を、検査部位が前記搬送方向の中央部から後方側端部に移行するに連れて漸次に小さくするように構成されていることを特徴とする、請求項１６に記載のシート部材検査装置。
　縦姿勢のシート部材における対向した一対の辺部を、一の辺部に沿って相互に離間して配列された複数の支持手段を一組の支持手段群として、二組の支持手段群で支持させ、前記シート部材を前記辺部の長手方向に沿って搬送するシート部材搬送方法において、
　前記シート部材の搬送時に、前記二組の支持手段群が、前記シート部材の一対の辺部を支持した状態で、該シート部材における一対の辺部の相互間に引張力を作用させると共に、
　前記各支持手段群が、複数の支持手段のうち、少なくとも、前記シート部材における一の辺部の一端部を支持した状態にある支持手段と、他端部を支持した状態にある支持手段との相互間に引張力を作用させることを特徴とする、シート部材搬送方法。