KR20140142689A - 유리 기판의 반송 장치 및 반송 방법 - Google Patents

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히로유키 타가와
마사오 츠카다
아키히사 사에키
타이키 미나리
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니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤
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Abstract

종자세의 유리 기판(G)에 있어서의 상부 가장자리부(U)를 파지해서 유리 기판(G)을 현수상태로 지지하는 복수의 파지 수단(10, 11)을 구비하고, 파지 수단(10, 11)에 의해 현수상태로 지지된 유리 기판(G)을 상부 가장자리부(U)를 따르는 반송 방향(T)으로 반송하는 유리 기판의 반송 장치(1)이며, 복수의 파지 수단(10, 11) 중 적어도 1개의 파지 수단을 수평면 상에서 위치 및/또는 자세가 가변 가능한 가동 파지 수단(10)으로 했다.

Description

유리 기판의 반송 장치 및 반송 방법{GLASS SUBSTRATE CONVEYANCE DEVICE AND CONVEYANCE METHOD}
본 발명은 유리 기판의 반송 장치 및 반송 방법에 관한 것이고, 상세하게는 종자세의 기판을 반송한 후에 검사나 가공을 실시하기 위한 기술에 관한 것이다.
주지와 같이, 유리 기판의 검사나 가공을 행하는 장치의 일종으로서 종자세에 있어서의 기판의 상측 가장자리부를 파지해 현수상태로 지지한 상태에서 반송함과 아울러, 반송한 후에 기판의 검사나 가공을 실시하는 장치가 널리 보급되는데 이르러 있다. 이와 같은 장치는 예를 들면 하기의 특허문헌 1에 나타내어져 있다.
특허문헌 1에는 상류측으로부터 반송(搬送)되어 온 유리 기판의 상측 가장자리부를 파지하는 상부 파지 수단과, 상부 파지 수단에 의해 현수상태로 지지된 기판의 하측 가장자리부를 파지하는 하부 파지 수단과, 기판의 반송 경로를 따라 설치되고 또한 결함의 유무를 검지하는 결함 검지 수단을 구비한 장치가 개시되어 있다. 그리고, 동 문헌에 개시된 장치는 상하의 양 파지 수단에 파지된 기판을 하류측으로 반송하면서 결함 검지 수단을 통과시킴으로써 결함의 유무를 검사하는 구성으로 되어 있다.
일본 특허 공개 2009-236711 호 공보
그런데, 최근 대량으로 제조되는데 이르러 있는 액정 디스플레이, 플라스마 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이에 이용되는 박형의 유리 기판은 본체 디바이스의 경량화로의 요구가 높아짐에 따라 더욱 박육화(薄肉化)가 추진되고 있다. 이와 같은 사정에 기인해서 상기 특허문헌 1에 개시된 바와 같은 장치를 이용하여 이들 기판의 검사나 가공을 행할 때에는 하기와 같은 문제가 발생하고 있었다.
즉, 유리 기판의 검사나 가공을 실시할 때에는 예를 들면 기판의 촬영을 행하는 카메라의 핀트를 기판에 맞추는 것이나, 기판을 절단하는 커터를 기판에 꽉 누르는 것 등이 필요해지기 때문에 기판의 상측 가장자리부와 하측 가장자리부 쌍방을 파지해서 기판에 장력을 갖게 하는 것이 필수적이다.
그러나, 박육화가 추진된 유리 기판은 기판의 두께가 얇아짐에 따라서 강성이 낮아지기 때문에 기판에 발생한 약간의 내부 응력의 차에 의해 쉽게 휨을 발생시켜 버린다. 이 때문에, 현수상태로 지지된 기판의 하측 가장자리부가 휨에 의해 아치 형상으로 만곡되어버리는 경우가 있었다. 그 결과, 상기 특허문헌 1에 나타내어진 바와 같이 상측 가장자리만이 파지된 상태에서 반송되는 기판의 하측 가장자리부를 기판의 검사를 실시하는데 있어서 파지할 때에, 기판의 하측 가장자리부를 파지 수단으로 원활하게 파지하는 것이 곤란하거나, 또는 파지하는 것 자체가 불가능해지는 문제가 있었다.
이와 같은 사태가 발생하면, 유리 기판의 하측 가장자리부를 파지 수단에 고정시킬 때에 만곡된 하측 가장자리부와 파지 수단이 충돌하여 기판에 균열이 생기거나 파손되어 버리거나 함으로써 제품 수율의 저하를 초래할 뿐만 아니라, 파손된 기판의 파편이 파지 수단 상에 잔존해버린다는 문제를 발생시켜버린다.
따라서, 상기와 같은 문제를 방지하기 위해서 유리 기판의 검사나 가공을 실시할 때에 기판의 하측 가장자리부를 파지하기 쉽게 하기 위한 연구를 실시할 필요가 있었지만, 이를 위한 조치에 대해서는 아직 충분히 연구되고 있지 않은 것이 현상태이다.
상기 사정을 감안하여 이루어진 본 발명은 종자세의 유리 기판을 현수상태로 지지해서 반송한 후에 검사나 가공을 실시할 때에 기판의 하측 가장자리부를 파지하기 쉽게 해서 제품 수율의 개선 등을 도모하는 것을 기술적 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해서 창안된 본 발명에 의한 장치는 종자세의 유리 기판에 있어서의 상측 가장자리부를 파지해서 상기 유리 기판을 현수상태로 지지하는 복수의 파지 수단을 구비하고, 상기 파지 수단에 의해 현수상태로 지지된 상기 유리 기판을 상기 상측 가장자리부를 따라 반송 방향으로 반송하는 유리 기판의 반송 장치이며, 상기 복수의 파지 수단 중 적어도 1개의 파지 수단은 수평면 상에서 위치 및/또는 자세가 가변 가능한 가동 파지 수단인 것으로 특징지어진다.
이와 같은 구성에 의하면, 가동 파지 수단을 포함하는 복수의 파지 수단에 의해 유리 기판을 현수상태로 지지해서 반송할 경우에 상기 기판이 가요성을 갖는 두께가 얇은 유리 기판이면, 그 기판의 하측 가장자리부가 평면으로부터 볼 때에 크게 만곡된 형상으로 된다. 이와 같은 상태로 유리 기판을 반송한 후에 기판의 검사나 가공을 실시하기 때문에, 기판의 하측 가장자리부를 파지할 필요가 발생한 경우에 있어서는 하기와 같은 바람직한 형태가 얻어진다. 즉, 유리 기판의 상측 가장자리부를 복수의 파지 수단이 파지한 상태 하에서 가동 파지 수단의 수평면 상에 있어서의 위치 및/또는 자세를 변화시키면, 기판의 상측 가장자리부의 형상이 직선 형상으로부터 비직선 형상(만곡 형상)으로 변형됨과 동시에, 기판의 하측 가장자리부도 상측 가장자리부의 형상 변화에 따라 그 형상이 변형된다. 이 때문에, 기판의 상측 가장자리부를 가동 파지 수단이 비직선 형상으로 변형시킬 때에 그 변형의 방향 및 정도를 적절히 조정하면, 기판의 하측 가장자리부를 크게 만곡된 형상으로부터 직선 형상에 근사한 형상으로 변형시킬 수 있다. 따라서, 유리 기판의 검사나 가공을 행할 때에는 직선 형상에 근사한 형상으로 변형된 하측 가장자리부를 하방에 있는 다른 파지 수단에 의해 용이하고 또한 원활하게 파지하는 것이 가능해진다. 그 결과, 유리 기판의 하측 가장자리부에 다른 파지 수단이 간섭하는 것 등에 기인해서 발생할 수 있는 기판의 균열이나 파손을 방지할 수 있어 제품 수율의 개선 등을 도모하는 것이 가능해진다.
상기 구성에 있어서, 상기 가동 파지 수단은 수평면 상의 원궤도를 따라 선회하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같이 하면, 가동 파지 수단이 선회함으로써 유리 기판의 상측 가장자리부가 비직선 형상(만곡 형상)으로 변형되고, 이것에 따라 기판의 하측 가장자리부가 직선 형상에 근사한 형상으로 교정될 수 있다. 이 경우, 「가동 파지 수단이 선회한다」라는 것은 가동 파지 수단의 위치 및 자세가 가변인 것을 의미하고 있다. 또한, 이 경우에는 유리 기판에 있어서의 가변 파지 수단에 파지되는 부위의 근방에 있어서 구부림에 기인하는 큰 응력이 국소적으로 발생한다는 문제가 회피될 수 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 가동 파지 수단은 연직선 둘레로 자전하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같이 하면, 가동 파지 수단이 자전함으로써 유리 기판의 상측 가장자리부가 비직선 형상(만곡 형상)으로 변형되고, 이것에 따라 기판의 하측 가장자리부가 직선 형상에 근사한 형상으로 교정될 수 있다. 이 경우, 「가동 파지 수단이 자전한다」라는 것은 가동 파지 수단의 자세가 가변인 것을 의미하고 있다. 그리고, 상술한 바와 같이 가동 파지 수단이 선회하면서 자전도 하면 기판의 하측 가장자리부를 직선 형상에 근사한 형상으로 교정하는데 있어서 더욱 유리해진다.
상기 구성에 있어서, 상기 가동 파지 수단은 상기 반송 방향과 수직인 방향으로 이동하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같이 하면, 가동 파지 수단이 반송 방향과 직각인 방향으로 이동함으로써 유리 기판의 상측 가장자리부가 비직선 형상(만곡 형상)으로 변형되고, 이것에 따라 기판의 하측 가장자리부가 직선 형상에 근사한 형상으로 교정될 수 있다. 이 경우, 「가동 파지 수단이 반송 방향과 직각인 방향으로 이동한다」라는 것은 가동 파지 수단의 위치가 가변인 것을 의미하고 있다. 그리고, 상술한 바와 같이 가동 파지 수단이 선회하면서 반송 방향과 직각인 방향으로 이동하거나, 자전하면서 반송 방향과 직각인 방향으로 이동하거나 하면, 기판의 하측 가장자리부를 직선 형상에 근사한 형상으로 교정하는데 있어서 더욱 유리해진다.
상기 구성에 있어서, 상기 가동 파지 수단은 상기 반송 방향과 평행한 방향으로 이동하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같이 하면, 가동 파지 수단이 반송 방향과 평행한 방향으로 이동함으로써 유리 기판의 상측 가장자리부가 비직선 형상(만곡 형상)으로 변형되고, 이것에 따라 기판의 하측 가장자리부가 직선 형상에 근사한 형상으로 교정될 수 있다. 이 경우, 「가동 파지 수단이 반송 방향과 평행한 방향으로 이동한다」라는 것은 가동 파지 수단의 위치가 가변인 것을 의미하고 있다. 그리고, 상술한 바와 같이 가동 파지 수단이 선회하면서 반송 방향과 평행한 방향으로 이동하거나, 자전하면서 반송 방향과 평행한 방향으로 이동하거나, 또한 반송 방향과 직각인 방향으로 이동하면서 반송 방향과 평행한 방향으로 이동하거나 하면, 기판의 하측 가장자리부를 직선 형상에 근사한 형상으로 교정하는데 있어서 더욱 유리해진다.
상기 구성에 있어서, 상기 복수의 파지 수단에 의해 현수상태로 지지되어 있는 유리 기판이 작업 에어리어에서 소정의 처리를 받는 동안에는 상기 가동 파지 수단을 위치 및/또는 자세가 변화되어 있지 않은 초기 상태로 함과 아울러, 상기 유리 기판의 하측 가장자리부를 다른 복수의 파지 수단이 파지하는 것이 바람직하다.
이와 같이 하면, 유리 기판이 소정의 처리를 받고 있는 동안에 있어서 기판의 상측 가장자리부와 하측 가장자리부 쌍방을 직선 형상으로 할 수 있다. 그 때문에, 기판 전체의 만곡이 해소되어 소정의 처리를 실시하는데 적합한 평판 형상의 형상으로 유지된다. 이 결과, 유리 기판에 대한 소정의 처리를 원활하고 또한 정확하게 행하는 것이 가능해진다.
상기 구성에 있어서, 상기 가동 파지 수단을 포함하는 상기 복수의 파지 수단이 복수의 공정에 대응해서 각각 복수 에어리어에 구비되고, 전공정의 복수의 파지 수단에 의해 현수상태로 지지되어 있던 유리 기판을 후공정의 복수의 파지 수단에 전달할 때에 상기 가동 파지 수단을 위치 및/또는 자세가 변화되어 있지 않은 초기 상태로 하는 것이 바람직하다.
이와 같이 하면, 유리 기판을 후공정에 전달할 때에 기판의 상측 가장자리부를 직선 형상으로 복귀시킬 수 있기 때문에 공정간에 있어서의 원활한 기판의 전달이 가능해진다.
상기 구성에 있어서, 상기 가동 파지 수단을 구동시키는 구동 수단과, 상기 유리판의 하측 가장자리부의 휨을 측정하는 측정 수단과, 상기 측정 수단으로부터의 신호에 의거하여 상기 구동 수단을 제어하는 제어 수단을 구비하는 것이 바람직하다.
이와 같이 하면, 유리 기판의 제조 조건 등이 변경되어서 기판의 휨의 크기가 시시각각 변화하는 경우라도, 측정 수단으로부터의 신호에 의거하여 구동 수단을 제어하는 제어 수단이 구비되어 있음으로써 각각의 기판이 갖는 휨의 크기에 따라 상측 가장자리부의 변형을 조정하는 것이 가능해진다.
상기 구성에 있어서, 상기 가동 파지 수단을 포함하는 상기 복수의 파지 수단이 복수의 공정에 대응해서 각각 복수 에어리어에 구비되고, 전공정의 복수의 파지 수단에 의해 현수상태로 지지되어 있던 유리 기판을 후공정의 복수의 파지 수단에 전달할 때에 전공정의 가동 파지 수단을 구동시키는 구동 수단의 동작 정보를 기억해 두고, 이 기억된 동작 정보에 의거하여 후공정의 가동 파지 수단을 구동시키는 구동 수단을 제어하도록 구성하는 것이 바람직하다.
이와 같이 하면, 예를 들면 유리 기판에 소정의 처리를 실시한 후에 후공정에서 다른 처리를 실시하기 위해서 다시 기판의 하측 가장자리부를 파지할 필요가 생길 경우에 있어서 하기와 같은 바람직한 형태가 얻어진다. 즉, 전공정의 구동 수단의 동작 정보가 기억되어 있음으로써 이 동작 정보에 의거하여 후공정의 구동 수단에 전공정의 구동 수단과 동일한 동작을 시키면, 필연적으로 가동 파지 수단도 전공정의 가동 파지 수단과 동일한 동작을 하게 된다. 이것에 의해, 후공정에 있어서는 가동 파지 수단에 대하여 아무런 제어를 행하지 않아도 기판의 하측 가장자리부를 직선 형상에 근사한 형상으로 교정할 수 있기 때문에 공정간에서의 작업의 흐름이 대폭 원활화된다.
상기 구성에 있어서, 상기 복수의 파지 수단 중 일부를 상기 유리 기판의 상측 가장자리부를 유삽(遊揷)시켜서 안내하는 가이드 부재로 대체해도 좋다.
이와 같이 하면, 유리 기판에 있어서의 가이드 부재에 유삽되는 부위는 완전히 구속된 상태가 아니기 때문에 가동 파지 수단의 위치 및/또는 자세가 변화할 때에 상기 부위에 있어서 국소적으로 큰 응력이 발생할 우려를 저감하는 것이 가능해진다.
또한, 상기 과제를 해결하기 위해서 창안된 본 발명에 의한 방법은 종자세의 유리 기판에 있어서의 상측 가장자리부를 파지해서 상기 유리 기판을 현수상태로 지지하는 복수의 파지 수단을 구비하고, 상기 파지 수단에 의해 현수상태로 지지된 상기 유리 기판을 상기 상측 가장자리부를 따라 반송 방향으로 반송하는 유리 기판의 반송 방법이며, 상기 복수의 파지 수단 중 적어도 1개의 파지 수단을 수평면 상에서 위치 및/또는 자세가 가변 가능한 가동 파지 수단으로 해서 상기 유리 기판을 현수상태로 지지해서 반송하는 것으로 특징지어진다.
이와 같은 방법에 의하면, 상기 유리 기판의 반송 장치에 대해서 이미 서술한 사항과 마찬가지의 작용 효과를 향수할 수 있다.
[발명의 효과]
이상과 같이, 본 발명에 의하면 종자세의 유리 기판을 현수상태로 지지해서 반송한 후에 기판의 검사나 가공을 실시할 때에, 기판의 하측 가장자리부를 파지하기 쉬워지기 때문에 파지 불량에 기인하는 제품 수율 저하의 문제가 해소된다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 유리 기판의 반송 장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는 유리 기판을 반송하는 반송 경로를 나타내는 측면도이다.
도 3a는 유리 기판의 상측 가장자리부 및 하측 가장자리부의 변형을 나타내는 평면도이다.
도 3b는 유리 기판의 상측 가장자리부 및 하측 가장자리부의 변형을 나타내는 평면도이다.
도 4는 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 유리 기판의 반송 장치를 나타내는 사시도이다.
도 5a는 유리 기판의 상측 가장자리부 및 하측 가장자리부의 변형을 나타내는 평면도이다.
도 5b는 유리 기판의 상측 가장자리부 및 하측 가장자리부의 변형을 나타내는 평면도이다.
도 6은 본 발명의 제 3 실시형태에 의한 유리 기판의 반송 장치를 나타내는 사시도이다.
도 7a는 유리 기판의 상측 가장자리부 및 하측 가장자리부의 변형을 나타내는 평면도이다.
도 7b는 유리 기판의 상측 가장자리부 및 하측 가장자리부의 변형을 나타내는 평면도이다.
도 8은 본 발명의 제 4 실시형태에 의한 유리 기판의 반송 장치를 나타내는 사시도이다.
도 9a는 유리 기판의 상측 가장자리부 및 하측 가장자리부의 변형을 나타내는 평면도이다.
도 9b는 유리 기판의 상측 가장자리부 및 하측 가장자리부의 변형을 나타내는 평면도이다.
도 10은 본 발명의 제 5 실시형태에 의한 유리 기판의 반송 장치를 나타내는 사시도이다.
도 11a는 유리 기판의 상측 가장자리부 및 하측 가장자리부의 변형을 나타내는 평면도이다.
도 11b는 유리 기판의 상측 가장자리부 및 하측 가장자리부의 변형을 나타내는 평면도이다.
도 12는 본 발명의 제 6 실시형태에 의한 유리 기판의 반송 장치를 나타내는 사시도이다.
도 13a는 유리 기판의 상측 가장자리부 및 하측 가장자리부의 변형을 나타내는 평면도이다.
도 13b는 유리 기판의 상측 가장자리부 및 하측 가장자리부의 변형을 나타내는 평면도이다.
이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 첨부한 도면을 참조해서 설명한다. 또한, 하기의 각 실시형태에 있어서는 가동 파지 수단으로서 가동 척(10)을 이용하고, 가동 파지 수단 이외의 파지 수단으로서 고정 척(11)을 이용하고 있다. 또한, 가이드 부재로서 가동 가이드(12) 및 고정 가이드(13)를 이용하고 있다. 또한, 가동 파지 수단을 구동시키는 구동 수단으로서 서보 모터(6), 실린더(7), 모터(8)를 이용하고, 기판의 하측 가장자리부를 파지하는 다른 파지 수단으로서 하측 가장자리부 파지 척(20)을 이용하고 있다. 또한, 기판의 하측 가장자리부의 휨을 측정하는 측정 수단으로서 제 1 센서(40)를 이용하고, 기판에 처리를 행하는 작업 에어리어로서 검사 영역(A2)을 형성하고 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 유리 기판의 반송 장치(1)를 나타내는 사시도이다. 동 도면에 나타낸 바와 같이, 유리 기판의 반송 장치(1)는 가이드 레일(GR)을 따라 도면 내에 나타낸 반송 방향(T)으로 이동하는 메인 프레임(2)과, 메인 프레임(2)으로부터 현수된 3개의 서브 프레임(3)과, 각 서브 프레임(3)에 각각 고정되고 또한 유리 기판(G)[이하, 간단히 기판(G)이라고 한다]의 상측 가장자리부(U)를 파지하는 가동 척(10) 및 고정 척(11)을 구비한다.
3개의 서브 프레임(3) 중 중앙에 위치하는 서브 프레임(3)은 2개의 암(5)에 의해 메인 프레임(2)으로부터 현수되어 고정된다. 또한, 양단에 위치하는 2개의 서브 프레임(3)은 메인 프레임(2)에 고정된 감속기가 장착된 서보 모터(6)를 통해서 메인 프레임(2)으로부터 현수된다. 그리고, 서보 모터(6)에 구비된 회전 구동부(6a)가 도면 내의 R 방향으로 회전하는데 따라 회전 구동부(6a)의 하부에 고정된 서브 프레임(3)이 도면에 나타낸 초기 상태로부터 S 방향으로 선회하도록 구성되어 있다.
중앙에 위치하는 서브 프레임(3)은 고정 척(11)을 구비하고, 양단에 위치한 2개의 서브 프레임(3)은 각각 가동 척(10)을 구비함과 아울러, 가동 척(10)과 고정 척(11)은 초기 상태에 있어서 이들 척을 상방 및 측방으로부터 볼 때에 각각이 일직선상으로 배열되도록 배치된다. 또한, 양 척(10, 11)은 기판(G)의 상측 가장자리부(U)를 파지하는 부위로서의 한 쌍의 클로부(10a, 11a)를 갖고, 이 한 쌍의 클로부(10a, 11a)는 양 척(10, 11)에 고정된 축(10b, 11b)을 중심으로 공기압에 의해 회전함으로써 개폐된다. 또한, 가동 척(10)은 서브 프레임(3)이 S 방향으로 선회하는데 따라 기판(G)의 상측 끝면(Ua)과 평행한 도시하지 않은 가상 평면 상, 즉 수평면 상을 원궤도를 따라 선회하도록 구성되어 있다.
이하, 상기 제 1 실시형태에 의한 유리 기판의 반송 장치(1)가 기판(G)을 반송하는 반송 경로의 구성에 대해서 도 2에 의거하여 설명한다. 또한, 하기에 설명하는 구성은 기판(G)을 반송하는 도중에 결함의 유무를 검사하고, 그 후 기판(G)을 후공정으로 전달하는 경우의 구성이다. 또한, 후공정에 있어서는 상기와 마찬가지의 구성으로 된 반송 장치(1)가 사용된다.
도 2는 기판(G)의 반송 경로를 나타내는 측면도이다. 또한, 동 도면에 있어서 상기 제 1 실시형태에 의한 유리 기판의 반송 장치(1)의 구성 중 가동 척(10)과 고정 척(11) 이외의 구성 요소에 대해서는 도시를 생략하고 있다. 기판(G)의 반송 경로는 도면 내에 나타낸 반송 방향(T)을 따라서 기판(G)의 하측 가장자리부(D)에 있어서의 휨의 크기를 측정하는 측정 영역(A1)과, 결함의 유무를 검사하는 검사 영역(A2)과, 기판(G)을 후공정으로 이송하는 이송 영역(A3)으로 구성된다.
측정 영역(A1)은 상류측으로부터 반송되어 온 기판(G)의 하측 가장자리부(D)에 있어서의 휨의 크기를 측정하는 제 1 센서(40)를 구비하고 있다. 제 1 센서(40)에 의한 측정 결과의 정보는 도시하지 않은 회로를 통해 전기 신호로서 도시하지 않은 제어 수단에 전달된다. 그리고, 이 신호에 의거하여 서보 모터(6)를 제어함으로써 피드백 제어를 행하는 구성으로 되어 있다.
검사 영역(A2)은 측정 영역(A1)으로부터 반송되어 온 기판(G)의 하측 가장자리부(D)를 파지하는 3개의 하측 가장자리부 파지 척(20)과, 가동 척(10)의 초기 상태로부터의 위치 및/또는 자세의 변화를 측정하는 제 2 센서(50)와, 기판(G)의 표리면에 있어서의 결함의 유무를 검사하는 라인 센서(30)를 구비하고 있다.
하측 가장자리부 파지 척(20)은 상방 및 측방으로부터 볼 때에 각각이 일직선상으로 배열되도록 배치된다. 그리고, 하측 가장자리부 파지 척(20)에 구비되고, 또한 기판(G)의 하측 가장자리부(D)를 파지하는 파지부(20a)는 기판(G)의 두께 방향으로 슬라이드해서 이동하는 한 쌍의 판 형상 부재이며, 기판(G)의 파지 및 그 해제가 가능하게 되어 있다. 또한, 제 2 센서(50)에서 측정된 가동 척(10)의 초기 상태로부터의 위치 및/또는 자세 변화의 정보는 도시하지 않은 기억 수단에 기억된 후, 후공정에서 사용되는 마찬가지의 가동 척(10)의 서보 모터(6)에 전달 가능하다. 또한, 상기 가동 척(10)의 초기 상태로부터의 위치 및/또는 자세 변화의 정보는 서보 모터(6)의 회전 각도[또는 후술하는 실린더(7)의 이동량, 모터(8)의 회전량]로서 기억 수단에 기억시키도록 해도 좋다. 또한, 라인 센서(30)는 상하 방향으로 배열된 복수의 카메라(30a)를 구비하고 있고, 기판(G)의 표면측을 향해서 조사된 광을 기판(G)의 이면측에서 수광하고, 수광한 광량의 변화에 의거하여 결함의 유무를 검사하는 구성으로 되어 있다.
이송 영역(A3)은 결함 유무의 검사를 마치고 하측 가장자리부(D)의 파지가 해제된 기판(G)을 반송 경로의 하류단까지 반송한 후에 후공정으로 전달하는 구성으로 되어 있다.
이하, 상기 제 1 실시형태에 의한 유리 기판의 반송 장치(1)를 이용하여 기판(G)을 상기 반송 경로를 따라 반송하는 반송 방법에 대해서 도 2 및 도 3에 의거하여 설명한다. 여기서, 반송되는 기판(G)은 가요성을 갖고 있고, 그 두께로서는 0.2~0.7㎜인 것이 바람직하다.
우선, 측정 영역(A1)에 있어서 상류측으로부터 반송되어 온 기판(G)을 제 1 센서(40) 상에서 정지시키고, 기판(G)의 하측 가장자리부(D)에 있어서의 휨의 크기를 측정한다. 이때, 휨 크기의 측정값이 검사 영역(A2)에 구비된 하측 가장자리부 파지 척(20)의 가동 범위(L)보다 클 경우, 도 3에 나타낸 바와 같이 하측 가장자리부(D)에 있어서의 휨 크기의 교정이 이루어진다.
도 3a는 제 1 센서(40) 상에서 정지한 기판(G)의 초기 상태를 연직 상방으로부터 본 상태를 나타내는 평면도이며, 기판(G)의 상측 가장자리부(U)의 윤곽을 실선으로 나타내고, 하측 가장자리부(D)의 윤곽을 일점 쇄선으로 나타내고 있다. 또한, 이 도면에 있어서도 유리 기판의 반송 장치(1)의 구성 중 가동 척(10)과 고정 척(11) 이외의 구성 요소에 대해서는 도시를 생략하고 있다.
하측 가장자리부(D)에 있어서의 휨의 크기가 측정되고, 그 값이 하측 가장자리부 파지 척(20)의 가동 범위(L)보다 클 경우, 그 측정값의 정보가 회로를 통해 전기 신호로서 도시하지 않은 제어 수단에 전달된다. 그리고, 이 신호에 의거하여 서보 모터(6)를 제어함으로써 피드백 제어가 행해진다. 이것에 의해, 서보 모터(6)에 구비된 회전 구동부(6a)가 회전하고, 서브 프레임(3)에 고정된 가동 척(10)이 S 방향으로 선회한다. 그 결과, 상측 가장자리부(U)의 변형에 따라 도 3b에 나타낸 바와 같이 하측 가장자리부(D)에 있어서의 휨의 크기가 하측 가장자리부 파지 척(20)의 가동 범위(L) 내에 들어가도록 교정된다. 그리고, 하측 가장자리부(D)에 있어서의 휨의 크기가 교정된 기판(G)은 검사 영역(A2)으로 반송된다.
검사 영역(A2)으로 반송된 기판(G)은 결함의 유무를 검사하는데 있어서 하측 가장자리부(D)가 하측 가장자리부 파지 척(20)에 구비된 파지부(20a)에 의해 파지되어 장력을 갖는 상태로 된다. 이때, 측정 영역(A1)에 있어서 하측 가장자리부(D)에 있어서의 휨의 크기가 교정되어 있음으로써 원활하게 하측 가장자리부(D)를 파지하는 것이 가능해진다. 이 때문에, 파지 불량에 기인하는 제품 수율 저하의 문제를 해소할 수 있다.
또한, 기판(G)의 하측 가장자리부(D)가 하측 가장자리부 파지 척(20)에 의해 파지될 때에 가동 척(10)의 초기 상태로부터의 위치 및 자세의 변화가 제 2 센서(50)에 의해 측정되고, 그 측정값의 정보가 후공정으로 전달된다. 이것에 의해, 후공정에서 동일한 구성의 유리 기판의 반송 장치(1)를 이용해 별도의 검사나 가공을 실시하기 위해서 다시 기판(G)의 하측 가장자리부(D)를 파지할 필요가 생길 경우에 있어서도, 가동 척(10)의 위치 및 자세 변화의 정보가 후공정으로 전달됨으로써 후공정에 있어서 원활하게 기판(G)의 하측 가장자리부(D)를 파지할 수 있다.
상술한 바와 같이, 하측 가장자리부(D)가 하측 가장자리부 파지 척(20)에 의해 파지되면 서보 모터(6)에 구비된 회전 구동부(6a)를 R 방향을 따라 역방향으로 회전시킨다. 이에 따라 서브 프레임(3)이 S 방향을 따라 초기 위치로 선회함으로써 서브 프레임(3)에 구비된 가동 척(10)도 마찬가지로 초기 상태로 복귀한다. 그 결과, 기판(G)의 상측 가장자리부(U)에 있어서의 윤곽이 직선 형상으로 복귀된다. 그 후, 상측 가장자리부(U) 및 하측 가장자리부(D)가 파지된 기판(G)을 하류측으로 반송하면서 라인 센서(30)를 통과시킴으로써 결함의 유무가 라인 센서(30)에 구비된 카메라(30a)에 의해 검사된다.
결함 유무의 검사를 마친 기판(G)은 하측 가장자리부 파지 척(20)에 의한 파지가 해제되고, 상측 가장자리부(U)만이 파지된 상태에서 후공정을 향해서 이송 영역(A3)을 반송된다. 그리고, 이송 영역(A3)의 하류단까지 도달하면 후공정으로 기판(G)이 전달된다.
도 4는 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 유리 기판의 반송 장치(1)를 나타내는 사시도이다. 또한, 도 4에 있어서 상기 제 1 실시형태에 의한 유리 기판의 반송 장치(1)와 동일한 기능 또는 형상을 갖는 구성 요소에 대해서는 동일한 부호를 붙임으로써 중복되는 설명을 생략한다. 또한, 후술하는 제 3 실시형태~제 6 실시형태에 있어서도 이미 설명한 각 실시형태에 의한 유리 기판의 반송 장치와 동일한 기능 또는 형상을 갖는 구성 요소에 대해서는 중복되는 설명을 마찬가지로 생략한다. 또한, 본 실시형태 및 후술하는 제 3 실시형태~제 6 실시형태에 있어서 기판(G)을 반송하는 반송 경로의 구성은 상기 제 1 실시형태와 동일한 구성이다.
이 제 2 실시형태에 의한 유리 기판의 반송 장치(1)가 상술한 제 1 실시형태에 의한 유리 기판의 반송 장치(1)와 상위한 점은, 중앙에 위치한 서브 프레임(3)에 있어서 고정 척(11) 대신에 고정 가이드(13)가 구비되어 있는 점이다. 고정 가이드(13)는 기판(G)의 상측 가장자리부(U)를 안내하는 가이드부(13a)를 구비하고 있고, 가이드부(13a)는 공기압에 의해 기판(G)의 두께 방향으로 슬라이드 가능한 한 쌍의 판 형상 부재이다. 또한, 가이드부(13a)와 기판(G) 사이에는 유격이 형성되어 기판(G)을 완전하게는 구속하지 않는 구성으로 되어 있다.
이 반송 장치(1)를 이용한 유리 기판의 반송 방법에 의하면, 도 5a, 도 5b에 나타낸 바와 같이 하측 가장자리부(D)에 있어서의 휨의 크기가 하측 가장자리부 파지 척(20)의 가동 범위(L) 내에 들어가도록 하측 가장자리부(D)의 형상을 교정하는데 있어서 바람직한 형태가 얻어진다. 즉, 가동 척(10)이 동작하여 기판(G)의 상측 가장자리부(U)가 변형될 때에 가이드부(13a)에 안내되는 부위가 완전히 구속되어 있지 않기 때문에 기판(G)에 국소적인 응력이 발생할 우려를 저감할 수 있다. 또한, 유리 기판의 반송 장치(1)의 진동이나, 하측 가장자리부 파지 척(20)에의 설치 시에 있어서의 정밀도의 불균일에 의해 기판(G)에 균열이 생기거나, 기판(G)이 파손되거나 하는 사태를 적절히 방지하는 것이 가능해진다. 또한, 동 도면에 있어서는 상기 제 1 실시형태와 마찬가지로 반송되어 온 기판(G)의 상측 가장자리부(U)의 윤곽을 실선으로 나타내고, 하측 가장자리부(D)의 윤곽을 일점 쇄선으로 나타내고 있다. 또한, 이 도면에 있어서도 유리 기판의 반송 장치(1)의 구성 중 가동 척(10)과 고정 가이드(13)에 구비된 가이드부(13a) 이외의 구성 요소에 대해서는 도시를 생략하고 있다. 이와 같은 표기는 후술하는 제 3 실시형태~제 6 실시형태에 대해서도 마찬가지이다.
도 6은 본 발명의 제 3 실시형태에 의한 유리 기판의 반송 장치(1)를 나타내는 사시도이다. 동 도면에 나타낸 바와 같이, 유리 기판의 반송 장치(1)는 가이드 레일(GR)을 따라 도면 내에 나타낸 반송 방향(T)으로 이동하는 메인 프레임(2)과, 메인 프레임(2)에 고정된 3개의 암(5)과, 기판(G)의 상측 가장자리부(U)를 파지하는 고정 척(11)과, 기판(G)의 상측 가장자리부(U)를 안내하는 가동 가이드(12)를 구비한다.
3개의 암(5) 중 양단에 위치하는 2개의 암(5)의 하부에는 실린더(7)가 각각 고정되어 있고, 이 실린더(7)에 내포되는 피스톤이 운동함으로써 가동 가이드(12)가 수평면 상을 도면 내에 나타낸 Y 방향(직선 궤도)을 따라 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 가동 가이드(12)는 기판(G)의 상측 가장자리부(U)를 안내하는 가이드부(12a)를 구비하고 있고, 가이드부(12a)는 공기압에 의해 기판(G)의 두께 방향으로 슬라이드 가능한 한 쌍의 판 형상 부재이다. 또한, 가이드부(12a)와 기판(G) 사이에는 유격이 형성되어 기판(G)을 완전하게는 구속하지 않는 구성으로 되어 있다. 그리고, 중앙에 위치하는 암(5)의 선단에는 고정 척(11)이 고정되어 있다.
이 반송 장치(1)를 이용한 유리 기판의 반송 방법에 의해서도 도 7a, 도 7b에 나타낸 바와 같이 가동 가이드(12)를 Y 방향으로 이동시킴으로써, 하측 가장자리부(D)에 있어서의 휨의 크기가 하측 가장자리부 파지 척(20)의 가동 범위(L) 내로 들어가도록 하측 가장자리부(D)의 형상을 교정할 수 있다. 또한, 이 유리 기판의 반송 장치(1)는 장치의 구조가 단순하다는 이점도 갖는다.
도 8은 본 발명의 제 4 실시형태에 의한 유리 기판의 반송 장치(1)를 나타내는 사시도이다. 이 제 4 실시형태에 의한 유리 기판의 반송 장치(1)는 상기 제 3 실시형태에 의한 유리 기판의 반송 장치(1)와 하기의 점에서 상위한 구성으로 되어 있다. 양단에 위치하는 암의 선단에 고정 가이드(13)가 고정되어 있는 점과, 중앙에 위치하는 암(5)의 하부에 실린더(7)가 고정되고, 이 실린더(7)의 피스톤 운동에 의해 가동 척(10)이 수평면 상을 도면 내에 나타낸 Z 방향(직선 궤도)을 따라 이동가능하게 되어 있는 점이다.
이 반송 장치(1)를 이용한 유리 기판의 반송 방법에 의해서도 도 9a, 도 9b에 나타낸 바와 같이 가동 척(10)을 Z 방향으로 이동시킴으로써, 하측 가장자리부(D)에 있어서의 휨의 크기가 하측 가장자리부 파지 척(20)의 가동 범위(L) 내로 들어가도록 하측 가장자리부(D)의 형상을 교정할 수 있다. 또한, 이 유리 기판의 반송 장치(1)는 상기 제 3 실시형태에 의한 유리 기판의 반송 장치(1)와 마찬가지로 장치의 구조가 단순하다는 이점도 갖고 있다.
도 10은 본 발명의 제 5 실시형태에 의한 유리 기판의 반송 장치(1)를 나타내는 사시도이다. 동 도면에 나타낸 바와 같이, 유리 기판의 반송 장치(1)는 가이드 레일(GR)을 따라 도면 내에 나타낸 반송 방향(T)으로 이동하는 메인 프레임(2)과, 메인 프레임(2)에 고정된 3개의 암(5)과, 기판(G)의 상측 가장자리부(U)를 파지하는 가동 척(10)과, 기판(G)의 상측 가장자리부(U)를 안내하는 고정 가이드(13)를 구비한다.
중앙에 위치한 암(5)에는 모터(8)가 고정되어 있다. 모터(8)의 회전축은 암(5)을 관통해서 암(5)의 하방에 구비된 가동 척(10)과 접속되어 있고, 모터(8)의 회전에 따라 가동 척(10)이 도면 내에 나타낸 V 방향으로 가동 척(10) 자신을 회전축으로 해서 자전하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 양단에 위치한 암(5)의 하부에는 고정 가이드(13)가 고정되어 있다.
이 반송 장치(1)를 이용한 유리 기판의 반송 방법에 의해서도 도 11a, 도 11b에 나타낸 바와 같이 가동 척(10)을 V 방향으로 자전시킴으로써, 하측 가장자리부(D)에 있어서의 휨의 크기가 하측 가장자리부 파지 척(20)의 가동 범위(L) 내로 들어가도록 하측 가장자리부(D)의 형상을 교정할 수 있다. 또한, 기판(G)의 상측 가장자리부(U)를 S자 형상으로 만곡시키는 것이 가능해짐으로써 구부림에 대하여 강하다는 이점이 있다. 이 경우, 기판(G)을 S자 형상으로 만곡시킴으로써 기판(G)에 국소적으로 큰 응력이 작용한다는 우려가 생기지만, 기판(G)의 상측 가장자리부(U)의 길이 방향에 있어서의 양단은 고정 가이드(13)에 구비된 가이드부(13a)에 의해 안내될 뿐이고, 구속되어 있지 않기 때문에 이와 같은 우려는 적절히 배제된다.
도 12는 본 발명의 제 6 실시형태에 의한 유리 기판의 반송 장치(1)를 나타내는 사시도이다. 이 제 6 실시형태에 의한 유리 기판의 반송 장치(1)는 상기 제 4 실시형태에 의한 유리 기판의 반송 장치(1)와 하기의 점에서 상위한 구성으로 되어 있다. 상기 제 4 실시형태에서는 기판(G)의 상측 가장자리부(U)를 안내하는 2개의 고정 가이드(13) 사이에 가동 척(10)이 1개만 구비되어 있었지만, 본 실시형태에서는 2개의 가동 척(10)이 구비된다. 이 양 가동 척(10)은 실린더(7)에 내포되는 피스톤이 운동함으로써 수평면 상을 도면 내에 나타낸 W 방향(직선 궤도)을 따라 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 양 가동 척(10)은 W 방향에 있어서 서로 상반되는 방향으로 이동하도록 구성된다.
이 유리 기판의 반송 장치(1)를 이용한 유리 기판의 반송 방법에 의해서도 도 13a, 도 13b에 나타낸 바와 같이 양 가동 척(10)을 W 방향으로 이동시킴으로써, 하측 가장자리부(D)에 있어서의 휨의 크기가 하측 가장자리부 파지 척(20)의 가동 범위(L) 내로 들어가도록 하측 가장자리부(D)의 형상을 교정할 수 있다. 또한, 상기 제 5 실시형태와 마찬가지로 기판(G)의 상측 가장자리부(U)를 S자 형상으로 만곡시키는 것이 가능해짐으로써 구부림에 대하여 강하다는 이점이 있다. 또한, 장치의 구조도 단순하게 할 수 있다.
여기서, 본 발명에 의한 유리 기판의 반송 장치의 구성은 상기 제 1 실시형태~제 6 실시형태에 의한 유리 기판의 반송 장치(1)에 한정되는 것은 아니다. 상기 각 실시형태에 있어서, 가동 척(10), 또는 가동 가이드(12)는 수평면 상을 원궤도를 따라 선회, 또는 직선 궤도를 따라 이동하는 구성으로 되어 있지만, 이들 궤도를 조합시킨 궤도를 따라 동작시켜도 좋다. 또한, 이들 궤도를 따른 동작과, 제 5 실시형태에 나타낸 자전 동작을 병용하도록 해도 좋다. 또한, 각 실시형태에 의한 유리 기판의 반송 장치에 구비된 가동 가이드(12), 또는 고정 가이드(13)는 기판(G)의 반송 방향과 평행하게 이동 가능하게 해도 좋고, 이와 같이 하면 기판(G)에 국소적인 응력이 부하될 우려를 보다 저감할 수 있다. 또한, 가동 척(10), 고정 척(11), 가동 가이드(12), 고정 가이드(13)의 수나 배치 위치도 각 실시형태에 나타낸 구성에 한정되는 것은 아니고, 반송하는 기판(G)의 사이즈나 무게를 고려해서 적절히 변경해도 좋다.
또한, 기판(G)의 반송 경로의 구성도 상기 실시형태에 나타낸 구성에 한정되는 것은 아니다. 상기 각 실시형태에 있어서, 측정 영역(A1)에는 기판(G)의 하측 가장자리부(D)에 있어서의 휨 크기의 측정을 행하는 제 1 센서(40)가 구비되고, 검사 영역(A2)에는 가동 척(10)의 초기 상태로부터의 위치 및 자세 변화의 측정을 행하는 제 2 센서(50)가 구비되어 있지만, 양 센서를 동일 영역에 배치하고, 동시에 측정을 행하도록 해도 좋다. 또한, 상기 각 실시형태에서는 기판(G)의 반송 도중에 결함의 유무를 검사할 경우에 대해서 개시했지만, 이와 같은 경우 이외에도 본 발명에 의한 유리 기판의 반송 장치는 사용할 수 있고, 예를 들면 기판(G)의 반송 도중에 기판(G)의 절단 가공을 행하는 경우에도 사용하는 것이 가능하다.
또한, 상기 각 실시형태에서는 기판(G)의 결함 유무에 대해서 검사를 행한 후에 기판(G)의 상측 가장자리부(U)를 직선 형상으로 유지한 채 반송을 행하고 있지만, 예를 들면 상측 가장자리부(U)를 S자 형상으로 변형시켜서 반송을 행해도 좋다. 이와 같이 하면, 장치 내부에 있어서의 기류의 난조나, 장치의 진동 등이 기판(G)에 작용했을 경우라도 기판(G)이 흔들리기 어렵기 때문에 기판(G)이 반송 경로의 주변에 구비된 부재 등과 접촉하는 사태를 적절히 회피할 수 있다. 또한, 이와 같은 경우 후공정에 있어서의 기판(G)의 반송 장치로서 본 발명에 의한 유리 기판의 반송 장치를 채용하면, 반송 경로의 하류단[이송 영역(A3)의 하류단]에 있어서 상측 가장자리부(U)의 형상을 S자 형상으로 유지한 채 기판(G)을 후공정으로 전달해도 좋다. 이와 같이 하면, 검사 영역(A2)에서 측정된 가동 파지 수단의 초기 상태로부터의 위치 및/또는 자세의 변화가 후공정에 전달되고 있기 때문에 상측 가장자리부(U)를 직선 형상으로 복귀시키지 않아도 후공정에 있는 가동 척(10)이나 고정 척(11)이 원활하게 기판(G)의 상측 가장자리부(U)를 파지하는 것이 가능해진다.
1 : 유리 기판의 반송 장치 6 : 서보 모터
7 : 실린더 8 : 모터
10 : 가동 척 11 : 고정 척
12 : 가동 가이드 13 : 고정 가이드
T : 반송 방향 G : 유리 기판
U : 유리 기판의 상측 가장자리부 D : 유리 기판의 하측 가장자리부
Ua : 유리 기판의 상측 끝면 20 : 하측 가장자리부 파지 척
40 : 제 1 센서 50 : 제 2 센서

Claims (11)

  1. 종자세의 유리 기판에 있어서의 상측 가장자리부를 파지해서 그 유리 기판을 현수상태로 지지하는 복수의 파지 수단을 구비하고, 그 파지 수단에 의해 현수상태로 지지된 상기 유리 기판을 상기 상측 가장자리부를 따르는 반송 방향으로 반송하는 유리 기판의 반송 장치로서,
    상기 복수의 파지 수단 중 적어도 1개의 파지 수단은 수평면 상에서 위치 및/또는 자세가 가변 가능한 가동 파지 수단인 것을 특징으로 하는 유리 기판의 반송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 가동 파지 수단은 수평면 상의 원궤도를 따라 선회하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 반송 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 가동 파지 수단은 연직선 둘레로 자전하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 반송 장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가동 파지 수단은 상기 반송 방향과 수직인 방향으로 이동하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 반송 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가동 파지 수단은 상기 반송 방향과 평행한 방향으로 이동하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 반송 장치.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 파지 수단에 의해 현수상태로 지지되어 있는 유리 기판이 작업 에어리어에서 소정의 처리를 받는 동안에는 상기 가동 파지 수단을 위치 및/또는 자세가 변화되어 있지 않은 초기 상태로 함과 아울러, 상기 유리 기판의 하측 가장자리부를 다른 복수의 파지 수단이 파지하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 반송 장치.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가동 파지 수단을 포함하는 상기 복수의 파지 수단은 복수의 공정에 대응해서 각각 복수 에어리어에 구비되고, 전공정의 복수의 파지 수단에 의해 현수상태로 지지되어 있던 유리 기판을 후공정의 복수의 파지 수단에 전달할 때에 상기 가동 파지 수단을 위치 및/또는 자세가 변화되어 있지 않은 초기 상태로 하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 반송 장치.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가동 파지 수단을 구동시키는 구동 수단과, 상기 유리 기판의 하측 가장자리부의 휨을 측정하는 측정 수단과, 그 측정 수단으로부터의 신호에 의거하여 상기 구동 수단을 제어하는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 유리 기판의 반송 장치.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가동 파지 수단을 포함하는 상기 복수의 파지 수단은 복수의 공정에 대응해서 각각 복수 에어리어에 구비되고, 전공정의 복수의 파지 수단에 의해 현수상태로 지지되어 있던 유리 기판을 후공정의 복수의 파지 수단에 전달할 때에 전공정의 가동 파지 수단을 구동시키는 구동 수단의 동작 정보를 기억시켜 두고, 이 기억된 동작 정보에 의거하여 후공정의 가동 파지 수단을 구동시키는 구동 수단을 제어하도록 구성한 것을 특징으로 하는 유리 기판의 반송 장치.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 파지 수단의 일부를 상기 유리 기판의 상측 가장자리부를 유삽시켜서 안내하는 가이드 부재로 대체한 것을 특징으로 하는 유리 기판의 반송 장치.
  11. 종자세의 유리 기판에 있어서의 상측 가장자리부를 파지해서 그 유리 기판을 현수상태로 지지하는 복수의 파지 수단을 구비하고, 그 파지 수단에 의해 현수상태로 지지된 상기 유리 기판을 상기 상측 가장자리부를 따르는 반송 방향으로 반송하는 유리 기판의 반송 방법으로서,
    상기 복수의 파지 수단 중 적어도 1개의 파지 수단을 수평면 상에서 위치 및/또는 자세가 가변 가능한 가동 파지 수단으로 해서 상기 유리 기판을 현수상태로 지지해서 반송하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 반송 방법.
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