JP2005156200A - 板ガラスの検査方法および板ガラスの検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】大型で肉薄の板ガラスを、破損させることなく検査位置に搬入・搬出可能で、広い空間を要さず、熟練者でなくても欠陥を検出できる検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の検査方法及び検査装置は、ラック台車１１に複数枚の板ガラス１を略垂直にして厚さ方向に整列させ、その中の１枚を昇降機１３でその有効面より外側の部位を支持して外光が遮断された上方の検査台１２に移動させ、第一投光器１４により板ガラス１の一方側の斜め方向から検査光を照射し、他方側で欠陥による散乱光を検出し、第二投光器により板ガラス１の内部に向けて検査光を照射し、板ガラス１の表面側で欠陥による散乱光を検出した後、昇降機１３で板ガラス１を検査台１２から離脱させ、ラック台車１１の元の位置に整列復帰させるものである。
【選択図】図１

Description

本発明は、板ガラスの検査方法および板ガラスの検査装置に関し、特に、平面表示装置の液晶ディスプレイ用等、後に切り分けられて複数のガラスパネルや複数のガラス基板に加工される大型サイズの親板ガラスの欠陥検査に適する検査方法および検査装置に関する。

代表的な平面表示装置の中、例えば、液晶ディスプレイに使われるガラスパネルは、親板ガラスと称する一対の大きい板ガラスを用いてガラスパネルを形成した後、これを所定のサイズに切り分けて複数の製品に加工されており、親板ガラスの面積が大きいほど多数のガラスパネルを採取することができる。このようなところから、親板ガラスの大型化が進んでいる。液晶ディスプレイ等の平面表示装置に使われるガラスパネルは、画像の表示領域である有効面に僅かでも基準を超える光学的欠陥があれば商品価値を損なうため、親板ガラスの段階で厳しい検査が行われる。

特に、液晶ディスプレイの場合、親板ガラスは厚さが僅かに０．７ｍｍ程度の肉薄の板ガラスである。この親板ガラスの光学的欠陥の検査を行う場合、一辺が数十ｃｍの小型サイズであれば、検査位置への搬入搬出手段として人手あるいは搬送装置のいずれもが選択可能であるが、一辺が１ｍを超える大型サイズの場合は、大面積であることに加えて肉薄であるために撓んで破損するおそれがあり、人手による移動は困難であり搬送装置に依るほかない。また、親板ガラスの検査においても、小型サイズの場合は、検査の対象領域が狭いため、目視あるいは検査装置のいずれも採用可能であるが、数ｍ²もの面積を有する大型サイズの場合、このような広い領域をカバーするには、目視、検査装置の別なく容易ではない。検査装置を導入して検査をするにしても大掛かりなものになるため相当の空間が必要となり、検査を目視によって行うとしても熟練が必要とされ、特に、その欠陥が親板ガラスの表面に存在するのか、あるいは内部に存在するのかを識別するとなると高度の技能が不可欠であり、限られた熟練者に頼るほかない。

板ガラス等の透明の被検査体に検査光を照射し、その反射光あるいは散乱光を観察して被検査体に存在する光学的欠陥を検出する検査方法の事例として特許文献１〜特許文献４が開示されている。
特開平８−１３６４６５号公報 特開平８−２６１９５３号公報 特開平６−２９４７４９号公報 特開平５−１７２７５３号公報

上記特許文献１〜特許文献３は、板ガラスの表面に向かってあるいは厚さ方向に光を照射して、その反射光あるいは散乱光を観察して板ガラスに存在する欠陥を検出する方法に関するものである。これらのうち、特許文献１は板ガラスの表面に斜め上方向から光を照射し、反射光の散乱状態を観察して傷などの表面欠陥を検出するもの、特許文献２は板ガラスの端面に光を照射し、板ガラスの厚み方向で発散され全反射される光の散乱状態により板ガラスの内部欠陥を検出するもの、特許文献３は板ガラスの端面から板ガラスの内部に光を照射し、板ガラスの表面の一定領域における画像の明るさを検出して、板ガラスの内部欠陥の位置および種類を判定するものである。

また、特許文献４は、ホルダーに上端部を把持され吊下げ支持された透明の被検査体を、対向配置された発光手段と受光手段との中間に配置し、発光手段から被検査体に向けて光を照射して被検査体を通過した光を反対側の受光手段で検知し、光量の変化を計測して被検査体の光学的欠陥を検出するものである。

上記特許文献１〜特許文献３は、いずれも単方向から光を照射するように構成されており、光の照射方向により検出可能な欠陥の種類が特定されるため、異種の欠陥を連続的に検出することはできない。しかも、被検査体は小面積のものが対象とされており、被検査体が大面積である場合には適用することができない。

また、特許文献４は、大面積の被検査体の検査に適用可能な検査装置に係るものであるが、この検査装置は、透明な被検査体を挟んで両側に発光手段と受光手段とを対向配置する構造を採用しており、このような構造では検査装置は相当の奥行を有するものとならざるを得ない。また、この検査装置による被検査体の欠陥検出は、発光手段と受光手段を並行移動させ、順次検査領域を変更するように構成されているため大面積の被検査体に存在する欠陥を短時間で検出するのは難しい。

さらに、上記特許文献１〜特許文献４は、それぞれが物品の保持あるいは物品の検査といった個別の目的を有するものであって、物品の取出、移動、検査位置への配置、検査、検査位置から離脱、物品の収納といったこれらの一連の作業を有機的に組み合わせて連続動作として行うものではない。そのため、これらの特許文献の要部を断片的に組み合わせたとしても、クリーンルーム等の限られた空間内において、大面積かつ肉薄の板ガラスを損傷なく搬入搬出させ、高度の熟練を要せず容易に欠陥検査を行うことは困難である。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであって、大型で肉薄の板ガラスを破損のおそれがなく、安全に板ガラスを検査位置へ搬入あるいは検査位置から搬出することができ、検査のための広い空間を必要とせず、しかも、高度な技術を有する熟練者でなくても容易に光学的欠陥を発見することができる板ガラスの検査方法および板ガラスの検査装置を提供することを課題とする。

上記の課題を解決するために、本発明の板ガラスの検査方法は、板ガラスを検査位置の下方の所定位置に移動させ、次いで該板ガラスをその有効面より外側の部位を支持して実質的に外光が遮断された上方の検査位置に移動させ、該板ガラスに検査光を照射して欠陥による散乱光を検出することにより検査し、その後、該板ガラスを検査位置から下方に移動させることを特徴とする。

本発明の板ガラスの検査方法において、板ガラスをその有効面より外側の部位を支持して実質的に外光から遮断された上方の検査位置に移動させるとは、平面表示装置の画像表示領域になる板ガラスの有効面よりも外側の部位、例えば、有効面の外側の上端部を昇降装置等により把持して吊り下げたり、コーナー部で支持したりして、板ガラスを、検査に影響を及ぼすレベルの外光が囲い等により遮断された上方の検査位置へ、検査位置の下方の開口部を通過させて移動させることを意味している。板ガラスが検査位置に移動した後に、検査位置の開口部を昇降装置等の部位により閉じて、下方から検査位置への迷光の入射を防止することが好ましい。

本発明の板ガラスの検査方法において、板ガラスに検査光を照射して欠陥による散乱光を検出することにより検査するとは、外光が遮断されて十分に暗い検査位置に板ガラスを配置し、その表面あるいは内部に検査光を照射すると、欠陥に検査光が当たって散乱光が生じて欠陥を輝点として容易に認識できるようになることを意味している。板ガラスに照射する検査光としては、受光側の形態にもよるが、目視検査を行う場合は目の感度が最高になる緑色を含む蛍光灯、ハロゲンランプ、キセノンランプ、メタルハライドランプ等の白色光の光源が適当であり、受光側に半導体を導入する場合は赤外線レーザや赤外線ランプ等の光源が使用可能である。

本発明の板ガラスの検査方法において、所定の検査が終了した後に、板ガラスを検査位置から下方に移動させる場合、検査の結果を反映させて、検査位置の下方に、検査合格品の受取用の搬送手段と検査不合格品の受取用の搬送手段を別に配設し、板ガラスを選別して載置してもよく、同じ搬送装置に板ガラスに合否の表示を施して混載してもよい。

また、本発明の板ガラスの検査方法は、略矩形の複数枚の板ガラスを略垂直にして厚さ方向に整列させ、該板ガラスの１枚を検査位置の下方の所定位置に移動させ、次いで該板ガラスを上方の検査位置に移動させて検査し、その後、該板ガラスを検査位置から下方の前記所定位置に移動させることにより元の整列状態に復帰させることを特徴とする。

本発明の板ガラスの検査方法では、略矩形の複数枚の板ガラスを略垂直にして厚さ方向に整列させる場合、板ガラス同士が接触しないように、略等間隔に配置され板ガラスの有効面より外側の部位を支持する立設支持部を具備するコンベヤやラックに板ガラスを立てて整列させるとよい。板ガラスの整列姿勢としては垂直であることが好ましいが、立設支持部に負荷がかからず、板ガラスが撓まない程度の実質的に垂直な姿勢であればよい。また、整列させた板ガラスの１枚を検査位置の下方の所定位置に移動させるとは、コンベヤやラックを移動させて板ガラスの中の１枚を、検査位置に設けられた開口部の直下に配置することを意味している。また、本発明の板ガラスの検査方法において、板ガラスを検査位置から下方の所定位置に移動させることにより元の整列状態に復帰させるとは、複数枚の板ガラスをコンベヤやラックに立てて整列させている場合、検査が終了した後の１枚の板ガラスを、それ自体が検査のために取出されて空になった元の位置に戻すことを意味している。復帰に際して、同じコンベヤやラックに検査合格品と検査不合格品とが混載される場合は、板ガラスあるいはコンベヤやラックの整列位置に合否が識別可能なマーキングを施しておく。

また、本発明の板ガラスの検査方法は、板ガラスの検査が、板ガラスの一方側の斜め方向から有効面に向けて検査光を照射し、他方側で該板ガラスの表面欠陥による散乱光を検出する工程と、板ガラスの端面から内部に向けて検査光を照射し、該板ガラスの表面側で内部欠陥による散乱光を検出する工程とを含むことを特徴とする。

本発明の板ガラスの検査方法において、板ガラスの一方側の斜め方向から有効面に向けて検査光を照射し、他方側で板ガラスの表面欠陥による散乱光を検出する工程とは、板ガラスの有効面が鏡面仕上げされていると、板ガラスの一方側の斜め方向から板ガラスの有効面に向けて照射された検査光は、同じ角度で板ガラスの他方側に反射され、板ガラスに表面欠陥があると検査光が欠陥部位だけ乱反射されて他方側に到達するので欠陥の検出が可能になることを意味している。検査光の入射角としては、板ガラスの有効面に対して１５°〜４５°の範囲であれば適用可能であり、目視あるいは受光半導体等を用いた検出機器の動作範囲を考慮すると２０°〜３５°が好ましい。また、検査光をスリット等で絞り込み、あるいは必要ならば反射鏡やレンズ等の光学系を介して平行光にして板ガラスの有効面の面領域を走査させてもよい。

また、板ガラスの端面から内部に向けて検査光を照射し、板ガラスの表面側で板ガラスの内部欠陥による散乱光を検出する工程とは、板ガラスの端面から板ガラスの厚さ方向に向けて検査光を照射すると、板ガラスの内部を直進する検査光および板ガラスの対向する有効面で全反射して板ガラスの内部を伝播する検査光が板ガラスの内部に存在する気泡や異物等の欠陥に当たって乱反射され、板ガラスの表面側に検査光の一部が漏れるので欠陥の検出が可能となることを意味している。板ガラスの端面から照射する検査光としては、スリット等を使用して板ガラスの厚さの２００％以内で、板ガラスの端面の全長をカバーする領域に照射するようにすると、十分な光量の検査光を板ガラスの内部に導入することができる。また、必要ならば検査光を反射鏡やレンズ等の光学系を介して平行光にして照射してもよく、板ガラスの光透過率にもよるが、板ガラスの一方の端面からだけでなく、対向する他方の端面から交互に検査光を照射してもよい。さらに、検査光をスリット等で絞り込んで板ガラスの端面の全長を走査させてもよい。また、検査光の位置精度や板ガラスの寸法精度により、内部欠陥により乱反射されて表面側に漏れるものの外に、板ガラスの表面に検査光が漏れる場合は、板ガラスの有効面と検査光の間に漏れ光を遮るシールを設けてもよい。

本発明の板ガラスの検査方法は、板ガラスが、厚さが３ｍｍ以下で、かつ面積が１ｍ²以上であり、平面表示装置に使用されるものであることを特徴とする。

液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ等の平面表示装置の製造には、生産効率の向上や製造原価の低減を図るために、親板ガラスとして、より大型の板ガラスを使用する傾向にある。この板ガラスが、厚さが３ｍｍ以下で、かつ面積が１ｍ²以上であると、板ガラスを水平姿勢にして行う従来の検査方法では、有効面より外側を支持すると撓んで変形してしまい、精確な欠陥検査を行うことができなくなる。これを解決するには板ガラスの有効面を支持せざるを得ず、検査そのものによって板ガラスの表面に汚れ、傷等の欠陥を生じさせるといった矛盾に陥ることになる。このようなところから、平面表示装置の製造に用いられる厚さが３ｍｍ以下で、かつ面積が１ｍ²以上である板ガラスを検査する場合、上記のように板ガラスを垂直にして欠陥を検査することが好ましい。また、平面表示装置の中でも、特に液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、無機ＥＬディスプレイ等に用いられる肉薄の板ガラスは、その厚さは最大１．１ｍｍであり、平均で０．７ｍｍ以下となる。このような肉薄の板ガラスの面積が１ｍ²以上になると、水平はもとより斜めに保持することも困難になる。そのため、板ガラスを垂直にする本発明の板ガラスの検査方法は、厚さが１．１ｍｍ以下で、かつ面積が１ｍ²以上である場合には、極めて有効なものとなる。

また、本発明の板ガラスの検査装置は、略矩形の板ガラスを略垂直にして整列させて検査位置の下方の所定位置に移動させる搬送手段と、該板ガラスをその有効面より外側の部位を支持して実質的に外光が遮断された上方の検査位置に移動し、検査位置で所定の検査が完了した後に該板ガラスを検査位置から下方の搬送手段に移動させる昇降手段と、検査位置において該板ガラスの一方側の斜めから有効面に向けて検査光を照射する第一投光手段と、検査位置において該板ガラスの端面から内部に向けて検査光を照射する第二投光手段とを具備してなることを特徴とする。

本発明の板ガラスの検査装置において、搬送手段としては、検査位置の下方の空間に板ガラスを略垂直の状態で配置することができ、検査位置の開口部の直下に板ガラスを移動させる機能を有するものであれば使用可能である。具体的には、複数枚の板ガラスを略垂直にして整列させるラック部と、ラック部を移動させるコンベヤやレール上に配置された台車等の搬送機構部とを有するものがある。昇降手段としては、板ガラスを、その有効面より外側の部位を支持して検査位置の開口部を通過させて検査位置まで上昇させ、検査位置を実質的に外光が遮断された状態に維持する機能を有することが要求される。具体的には、駆動ベルトやボールネジによって上昇下降する昇降機に、板ガラスの有効面よりも外側の部位を把持、係合、嵌入等で板ガラスを支持する保持部を有するものがある。また、第一投光手段としては、検査位置にある板ガラスの一方側において入射角が有効面に対して１５°〜４５°の斜め方向から有効面に向けて検査光を照射するものであれば使用可能である。検査光の光源としては、他方側で目視検査を行う場合は、目の感度が最高になる緑色を含む蛍光灯、ハロゲンランプ、キセノンランプ等の白色光が適当であり、他方側で受光半導体等を用いた検出機器を導入する場合は、赤外線レーザや赤外線ランプ等が使用可能である。これらの光源を使用して、検査光をスリット等で絞り込み、必要ならば反射鏡やレンズ等の光学系を介して平行光にして板ガラスの有効面の面領域を走査させてもよい。また、第二投光手段としては、板ガラスの端面にスリット等を使用して板ガラスの厚さの２００％以内に照射して板ガラスの有効面の内部に検査光を照射するものであれば使用可能であり、具体的には、スリット、反射鏡、レンズ等の光学系を介して検査光を板ガラスの厚さの２００％以内に絞り込んで板ガラスの内部に導入し、必要ならば板ガラスの端面の全長を走査させてもよい。

また、本発明の板ガラスの検査装置は、搬送手段が、略矩形の複数枚の板ガラスを略垂直にして厚さ方向に整列させるラック部と、ラック部の板ガラスの１枚を検査位置の下方の所定位置に移動させる位置決め部とを具備することを特徴とする。

搬送手段のラック部としては、コンベヤあるいはレール上を移動する台車に載置され、略矩形の複数枚の板ガラスを略垂直にして厚さ方向に整列させることができれば使用可能である。具体的には、略直方体の箱体または枠体であって、板ガラスを略垂直の状態で昇降させることを可能とする天井部を開放した複数のゾーンに分けたものがある。また、搬送手段の位置決め部としては、コンベヤや台車に載置されたラック部の板ガラスの中の１枚を検査位置の開口部の直下に移動させる機能を備えたものであれば使用可能である。具体的には、コンベヤや台車に載置されたラック部の板ガラスの中の１枚が、検査位置の開口部の直下に達したときに、ラック部、台車、レールあるいはコンベヤに設けたストッパーを作動させて所定位置に停止させるものがある。

さらに、本発明の板ガラスの検査装置は、検査光を照射する第一投光手段および第二投光手段が、ライン状の光源を板ガラスの幅方向および高さ方向に平行に配置されてなることが好ましい。ライン状の光源としては、蛍光灯、ハロゲンランプ、キセノンランプ、メタルハライドランプ等の白色光源、赤外線レーザ、赤外線ランプ等を使用し、スリット等で検査光を絞り込み、必要ならば反射鏡やレンズ等の光学系を利用して平行光にして板ガラスの有効面の面領域あるいは板ガラスの端面の全長を走査させてもよい。

本発明の板ガラスの検査方法は、板ガラスを検査位置の下方の所定位置に配置し、該板ガラスをその有効面より外側の部位を支持して実質的に外光が遮断された上方の検査位置に移動させ、該板ガラスに検査光を照射して欠陥による散乱光を検出することにより検査し、その後、該板ガラスを検査位置から下方に移動させるので、板ガラスの搬入搬出、検査等の一連の作業を、板ガラスを垂直にした姿勢で行うことで検査空間を最小限にすることができ、液晶ディスプレイ用の親板ガラス等の肉薄で大型の板ガラスであっても、破損させることなく安全に移動させて検査することができる。

また、本発明の板ガラスの検査方法は、略矩形の複数枚の板ガラスを略垂直にして厚さ方向に整列させ、該板ガラスの１枚を検査位置の下方の所定位置に移動させ、次いで該板ガラスを上方の検査位置に移動させて検査し、その後、該板ガラスを検査位置から下方の前記所定位置に移動させることにより元の整列状態に復帰させるので、簡単な構造の搬送手段であっても、検査空間を最小限に保った状態で肉薄で大型の板ガラスを破損させることなく安全に移動させて検査することができる。

また、本発明の板ガラスの検査方法は、板ガラスの検査が、板ガラスの一方側の斜め方向から有効面に向けて検査光を照射し、他方側で該板ガラスの表面欠陥による散乱光を検出する工程と、板ガラスの端面から内部に向けて検査光を照射し、該板ガラスの表面側で内部欠陥による散乱光を検出する工程とを含むので、板ガラスの表面および内部に存在する欠陥によって生じる散乱光によって欠陥部分のみが強調され、簡素な検査装置でも光学的欠陥を漏れなく検出することが可能となる。また、目視検査による場合、高度な技能を有する熟練者でなくても容易に光学的欠陥を発見することができる。さらに、板ガラスに照射方向が異なる複数の検査光を照射するようにしたので、板ガラスを移動させることなく板ガラスの表面欠陥と内部欠陥を連続して検査することができ、検査空間を最小限に止めることが可能となる。

さらに、本発明の板ガラスの検査方法は、板ガラスが、厚さが３ｍｍ以下で、かつ面積が１ｍ²以上であり、平面表示装置に使用されるものであるので、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、ＦＥＤ等に使用されるガラスパネルの親板ガラスの検査に好適である。

本発明の板ガラスの検査装置は、略矩形の板ガラスを略垂直にして整列させて検査位置の下方の所定位置に移動させる搬送手段と、該板ガラスをその有効面より外側の部位を支持して実質的に外光が遮断された上方の検査位置に移動し、検査位置で所定の検査が完了した後に該板ガラスを検査位置から下方の搬送手段に移動させる昇降手段と、検査位置において板ガラスの一方側の斜め方向から有効面に向けて検査光を照射する第一投光手段と、検査位置において板ガラスの端面から内部に向けて検査光を照射する第二投光手段とを具備しているので、板ガラスの移動、検査等の所要の作業を、板ガラスを略垂直にして行うことで検査空間を最小限にすることができ、肉薄で大型サイズの板ガラスであっても破損させることなく安全に移動させて検査することができる。また、板ガラスに照射方向が異なる複数の検査光を照射するようにしたので、検査位置において板ガラスを移動させることなく板ガラスの表面欠陥と内部欠陥を連続的に検査することができ、広い検査空間を必要としない。

また、本発明の板ガラスの検査装置は、搬送手段が、略矩形の複数枚の板ガラスを略垂直にして厚さ方向に整列させるラック部と、該ラック部の前記板ガラスの１枚を検査位置の下方の所定位置に移動させる位置決め部とを具備しているので、簡単な構造の搬送手段であっても、限られた検査空間内で肉薄かつ大型サイズの板ガラスを破損させることなく安全に移動させることができる。

以下に、本発明の実施形態の一例について図を参照しながら説明する。

図１は、本発明に係る板ガラスの検査装置の一例を示す概略図である。図２は、板ガラスに検査光を照射する第一投光器および第二投光器の配置図である。

図１および図２において、１は板ガラス、１１はラック台車、１２は検査台、１３は昇降機、１４は第一投光器、１５は第二投光器をそれぞれ示している。ラック台車１１は、略直方体の箱体であり、両短辺の側壁に分離部材（図示省略）が等間隔に取付けられており、隣り合う分離部材によって板ガラス１が１枚ずつ垂直姿勢で厚さ方向に整列されるように構成されている。さらに、ラック台車１１には駆動装置（図示省略）が取付けられており、ラックの短辺方向、即ち板ガラス１の厚さ方向に所定距離を移動可能に構成されている。

検査台１２は、ラック台車１１に垂直姿勢で整列された板ガラス１の高さよりも上方の位置に水平に設けられた架台であり、中央部に板ガラス１が垂直方向に通過可能な開口部１２ａが形成されている。検査台１２の幅方向の両側には、図２に示すように、板ガラス１の表面１ａに向けて斜め方向から検査光を照射する第一投光器１４が配置されている。この第一投光器１４は検査光をスリット等で絞り込んで平行光にして板ガラス１の有効面１ａに向けて照射するものである。また、検査台１２の下端には端面１ｂから板ガラス１の内部に向けて検査光を照射する第二投光器１５が配置されている。この第二投光器１５は検査光を、図示しないスリット、反射鏡、レンズ等の光学系を介して板ガラス１の厚さの２００％以内に絞り込んで板ガラス１の内部に導入するものである。検査台１２は、周囲全体が暗幕で覆われ、外光の侵入が遮断されるようになっている。

昇降機１３は、検査台１２上の、板ガラス１の幅方向に立設された一対のガイドポスト１３ａと、ガイドポスト１３ａに横架され、両端にガイドポスト１３ａの軌道に沿って滑動するリング部材を有するバー１３ｂと、バー１３ｂの両端から中央に向かって一定の距離に吊着され、内側に弾性体が貼設された２個のチャック１３ｃとを備えている。バー１３ｂにはチェーン（図示省略）が付設されており、駆動装置（図示省略）の作動によりチェーンが巻上げられ、あるいは巻上げが解かれたりすることによってバー１３ｂが昇降する構造になっている。

ガイドポスト１３ａの上端近傍と下端近傍には、それぞれ近接センサ１３ｄが取付けられ、近接センサ１３ｄがバー１３ｂの通過を検知すると、昇降機１３の駆動装置が作動してバー１３ｂの昇降速度を減速させて所定位置で停止させる。

ガイドローラ１３ｅは、ガイドポスト１３ａの下端近傍に取付けられ、互いに逆方向に回転する一対のローラからなり、板ガラス１が幅方向の側端をローラとローラの間に挟まれた状態で昇降するように構成されており、このガイドローラ１３ｅにより板ガラス１は厚さ方向への振れが抑制される。

次に、上記本発明の板ガラスの検査装置を用いた板ガラスの検査方法の一例について説明する。

まず、ラック台車１１に、１０枚の矩形の板ガラス１を、厚さ方向に所定間隔をおいて垂直に整列させ、ラック台車１１を板ガラス１の厚さ方向に所定距離移動させて１枚の板ガラス１を繰出してストッパー（図示省略）で位置決めし、検査台１２の下方の所定位置に待機させる。

次いで、昇降機１３の駆動装置を作動させて、バー１３ｂに付設されたチェーンの巻上げを解き、バー１３ｂをガイドポスト１３ａの軌道に沿って降下させ、検査台１２の開口部１２ａを通過させた後に所定位置で停止させ、バー１３ｂに吊着されているチャック１３ｃで所定位置に待機中の板ガラス１の非有効表面である上端２ヶ所を把持する。

次に、昇降機１３の駆動装置を作動させてバー１３ｂに付設されたチェーンを巻上げてチャック１３ｃで把持された板ガラス１を吊上げる。このとき、板ガラス１は、幅方向の側端がガイドローラ１３ｅで挟持されるので、厚さ方向に振れることはない。

板ガラス１が検査台１２の開口部１２ａを通過して、ガイドポスト１３ａの上端近傍の近接センサ１３ｄによってバー１３ｂの通過が検知されると、昇降機１３の駆動装置が作動してバー１３ｂの上昇速度を減速させ所定位置で停止させる。バー１３ｂが停止すると同時に、検査台１２の幅方向に配置された第一投光器１４が点灯して、図３（ａ）に示すように、板ガラス１の斜め方向から板ガラス１の表面１ａに向けて検査光Ｌが照射され、照射側と反対の側で検査者によって板ガラス１の表面１ａが観察され、反射光Ｒ以外に検査光Ｌの散乱による散乱光Ｓの存否が判定され、散乱光Ｓの存在が認められたときは、その部分にマークが記されて第一投光器１４が消灯する。

続いて、検査台１２の上端に配置された第二投光器１５が点灯して、図３（ｂ）に示すように、板ガラス１の下方の端面１ｂから板ガラス１の内部に向けて検査光Ｌが照射され、板ガラス１の正面で検査者によって板ガラス１の表面１ａが観察されて検査光Ｌの散乱による散乱光Ｓの存否が判定され、散乱光Ｓの存在が認められたときは、その部分にマークが記されて第二投光器１５が消灯する。

一連の検査が完了して、検査者が操作スイッチを押すと、昇降機１３の駆動装置が作動してバー１３ｂに付設され巻上げられていたチェーンが徐々に解かれてバー１３ｂが降下を開始し、ガイドポスト１３ａの下端近傍の近接センサ１３ｄによってバー１３ｂの通過が検知されると、昇降機１３の駆動装置が作動してバー１３ｂの降下速度を減速させ所定位置で停止させる。このとき、板ガラス１は検査台１２の開口部１２ａを通過して、ラック台車１１の元の位置に垂直に整列される。これによって板ガラス１の検査が一巡し、ラック台車１１は板ガラス１の厚さ方向に所定距離移動して次の１枚の板ガラス１を繰出し所定位置に待機させる。以降、この動作が反復される。

上記の板ガラスの検査装置において、検査光Ｌを照射する第一投光器１４および第二投光器１５として、板ガラス１の幅方向の全長および高さ方向の全長に向けて検査光Ｌを照射することができる直管型のライン状光源を用いたものを配置するのが好ましい。このようなライン状の光源を用いれば、一度に検査光Ｌを板ガラス１の有効面の面領域あるいは板ガラス１の端面の全長に照射することができ、この検査光Ｌの散乱光Ｓを観察することにより板ガラス１に存在する欠陥を一時に検出することができる。

また、上記の板ガラスの検査装置において、検査光Ｌを照射する第一投光器１４および第二投光器１５として、板ガラス１の幅方向および高さ方向に平行に電球型の単光源を連続的に移動可能にしたものを配置することができる。このような移動可能に構成した単光源を用いれば、検査光Ｌを板ガラス１に局部的に照射することができ、検査光Ｌの移動に追随した散乱光Ｓを観察することにより板ガラス１に存在する欠陥を領域毎に検出することができる。

なお、上記実施例の昇降機１３は、板ガラス１の上端２ヶ所を把持して吊上げ昇降させるものを示したが、これに限らず、板ガラス１の端面、コーナー、下端面等を支持するものでもよい。

本発明の板ガラスの検査方法および板ガラスの検査装置は、大型で傷つき易いプラスチック等の透明な物品の光学的欠陥を検査にも適用することができる。

本発明に係る板ガラスの検査装置の概略図。 板ガラスに検査光を照射する第一投光器および第二投光器の配置図。 板ガラスの検査方法を示す説明図であり、（ａ）は板ガラスの表面欠陥の検査方法、（ｂ）は板ガラス内部の欠陥を検査する方法の説明図である。

符号の説明

１ 板ガラス
１ａ 表面
１ｂ 端面
１１ ラック台車
１２ 検査台
１２ａ 開口部
１３ 昇降機
１４ 第一投光器
１５ 第二投光器
Ｌ 検査光
Ｒ 反射光
Ｓ 散乱光

Claims (6)

1. 板ガラスを検査位置の下方の所定位置に配置し、該板ガラスをその有効面より外側の部位を支持して実質的に外光が遮断された上方の検査位置に移動させ、該板ガラスに検査光を照射して欠陥による散乱光を検出することにより検査し、その後、該板ガラスを検査位置から下方に移動させることを特徴とする板ガラスの検査方法。
2. 略矩形の複数枚の板ガラスを略垂直にして厚さ方向に整列させ、該板ガラスの１枚を検査位置の下方の所定位置に移動させ、次いで該板ガラスを上方の検査位置に移動させて検査し、その後、該板ガラスを検査位置から下方の前記所定位置に移動させることにより元の整列状態に復帰させることを特徴とする請求項１に記載の板ガラスの検査方法。
3. 板ガラスの検査が、板ガラスの一方側の斜め方向から有効面に向けて検査光を照射し、他方側で該板ガラスの表面欠陥による散乱光を検出する工程と、板ガラスの端面から内部に向けて検査光を照射し、該板ガラスの表面側で内部欠陥による散乱光を検出する工程とを含むことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の板ガラスの検査方法。
4. 板ガラスが、厚さが３ｍｍ以下で、かつ表面積が１ｍ²以上であり、平面表示装置に使用されるものであることを特徴とする請求項１から請求項３の何れかに記載の板ガラスの検査方法。
5. 略矩形の板ガラスを略垂直にして整列させて検査位置の下方の所定位置に移動させる搬送手段と、該板ガラスをその有効面より外側の部位を支持して実質的に外光が遮断された上方の検査位置に移動し、検査位置で所定の検査が完了した後に該板ガラスを検査位置から下方の搬送手段に移動させる昇降手段と、検査位置において板ガラスの一方側の斜め方向から有効面に向けて検査光を照射する第一投光手段と、検査位置において板ガラスの端面から内部に向けて検査光を照射する第二投光手段とを具備してなることを特徴とする板ガラスの検査装置。
6. 搬送手段が、略矩形の複数枚の板ガラスを略垂直にして厚さ方向に整列させるラック部と、該ラック部の前記板ガラスの１枚を検査位置の下方の所定位置に移動させる位置決め部とを具備することを特徴とする請求項５に記載の板ガラスの検査装置。

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