JP7435147B2 - ガラスワークの検査方法、及びガラスワークの検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、ガラスワークの検査方法、及びガラスワークの検査装置に関する。

従来、正面及び背面の両主面を有するガラスワークの画像を取得し、ガラスワークを検査する検査方法が知られている（特許文献１）。

特開２０１８－０５４４４７号公報

上記のようなガラスワークの検査は、例えば、両主面が水平方向に沿った横姿勢で配置されたガラスワークに対して行うことができる。このように横姿勢のガラスワークでは、一方の主面の外周縁部を支持することで、ガラスワークの外周縁部よりも内側の主面における清浄性を容易に保つことができる。

ところが、上記のように横姿勢で配置されたガラスワークでは、ガラスワークの自重により主面が下方に凸となる反りが生じることで、ガラスワークの画像情報を用いた検査の精度が低下するおそれがあった。

ここで、上記のようなガラスワークの主面の反りは、ガラスワークの両主面が垂直方向に沿った縦姿勢でガラスワークを支持することで抑えることができる。このようにガラスワークを縦姿勢で支持するには、ガラスワークの外周縁部における両主面を挟み込む形状の支持部が必要となる。このような形状の支持部は、ガラスワークの外周縁部に重なるように配置されるため、ガラスワークの外周縁部の画像情報の取得を妨げることになる。すなわち、縦姿勢のガラスワークの外周縁の全体を、画像情報を用いて検査するには、支持部とガラスワークの外周縁との相対位置を変更して撮像する必要があり、ガラスワークの外周縁を円滑に検査することができなかった。

本発明の目的は、ガラスワークの外周縁を円滑に検査することを可能にしたガラスワークの検査方法、及びガラスワークの検査装置を提供することにある。

上記課題を解決するガラスワークの検査方法は、正面及び背面の両主面を有するガラスワークの検査方法であって、前記ガラスワークの外周端面の少なくとも一部、及び前記ガラスワークの前記背面における外周縁部の少なくとも一部を支持することで、前記ガラスワークの前記両主面が傾斜した縦姿勢の状態で前記ガラスワークを支持する支持工程と、前記支持工程で支持された前記ガラスワークを前記正面側から撮像することで前記ガラスワークの外周縁を検査するための画像情報を取得する画像情報取得工程と、前記画像情報取得工程で取得した前記画像情報に基づいて前記ガラスワークの外周縁の状態を判定する判定工程と、を備える。

この方法によれば、支持工程において、ガラスワークの正面を支持せずに、反りを抑えた縦姿勢でガラスワークを支持することができる。これにより、画像情報取得工程では、支持工程で支持されたガラスワークの正面側からガラスワークの外周縁の全体を撮像することが可能となる。

上記ガラスワークの検査方法において、前記画像情報取得工程では、前記ガラスワークの正面側から光を照射し、前記ガラスワークを撮像することが好ましい。この方法によれば、ガラスワークの外周縁をより鮮明に撮像することが可能である。

上記ガラスワークの検査方法において、前記判定工程では、前記画像情報において前記ガラスワークの輪郭線を検出し、前記ガラスワークの輪郭線が不連続となる不連続部の有無に応じて、前記ガラスワークの外周縁の状態の合否判定を行ってもよい。

上記ガラスワークの検査方法において、前記判定工程では、前記画像情報において、前記ガラスワークの輪郭線の実際の位置を検出し、さらに前記ガラスワークの輪郭線の目標の位置を設定し、輪郭線の目標の位置からの輪郭線の実際の位置のずれ量に応じて、前記ガラスワークの外周縁の状態の合否判定を行ってもよい。

上記のようにガラスワークの合否判定を行うことで、ガラスワークの外周縁に生じた欠けに基づく欠陥を容易に判定することができる。
上記ガラスワークの検査方法において、前記ガラスワークの外周縁は、平面視で円弧状となる円弧状部と、前記円弧状部を切り欠く形状のノッチ部とを有し、前記画像情報取得工程を繰り返すことで、前記ガラスワークの前記外周縁の異なる位置を部分的に撮像した複数の画像情報を取得し、前記判定工程において、前記複数の画像情報のうち前記ノッチ部を含む画像情報を判定する場合、前記ノッチ部を判定の対象から除外することが好ましい。この方法によれば、ノッチ部を有するガラスワークの外周縁をより円滑に検査することが可能である。

上記ガラスワークの検査方法において、前記支持工程では、前記ノッチ部が上端となるように前記ガラスワークを配置することが好ましい。この方法によれば、ノッチ部の位置を容易に確認することができる。

上記ガラスワークの検査方法は、前記画像情報取得工程を第１画像情報取得工程とし、前記第１画像情報取得工程で取得した第１画像を判定する前記判定工程を第１判定工程としたとき、前記ガラスワークの正面又は背面の状態を検査するための第２画像情報を前記第１判定工程の判定結果に基づいて取得する第２画像情報取得工程と、前記第２画像情報に基づいて前記ガラスワークの正面又は背面の状態を判定する第２判定工程と、をさらに備えることが好ましい。この方法によれば、ガラスワークの外周縁の状態の検査に続いて、ガラスワークの正面又は背面の状態の検査を行うことができる。

上記ガラスワークの検査方法において、前記第２画像情報取得工程では、前記支持工程で支持された前記ガラスワークを前記正面側から撮像することが好ましい。この方法によれば、例えば、第２画像情報取得工程において、第１画像情報取得工程で用いた撮像部と共通の撮像部を用いて第２画像情報を円滑に取得することが可能となる。

上記ガラスワークの検査方法において、前記第２画像情報取得工程では、前記ガラスワークの背面側から光を照射し、前記ガラスワークを撮像することが好ましい。この方法によれば、ガラスワークの正面又は背面に存在する傷や汚れをより鮮明に撮像することが可能となる。

上記ガラスワークの検査方法において、前記第２判定工程では、前記ガラスワークの主面のうち外周縁に沿った外周部を検査対象から除外し、前記外周部よりも内側の内側部を検査対象として前記判定を行ってもよい。

この方法によれば、ガラスワークの外周部よりも内側を有効範囲として正面又は背面の状態の検査を行うことができる。これにより、例えば、ガラスワークの外周部の検査が不要な場合、この外周部の検査を省略することで、より円滑に検査を行うことができる。

上記ガラスワークの検査方法において、前記第１判定工程の後、前記第１画像情報に含まれる前記ガラスワークの輪郭線から所定の距離以上内側の領域を前記内側部として検査範囲を決定する検査範囲の決定工程をさらに備えることが好ましい。この方法によれば、第１画像情報を利用して検査範囲を容易に決定することができる。

上記ガラスワークの検査方法において、前記第２画像情報が、複数の点を含む場合、前記第２判定工程では、前記複数の点を膨張処理することで、前記複数の点の集合体の面積、又は前記集合体の面積当たりの点の個数割合に基づいて前記ガラスワークの正面又は背面に付着した汚れの状態の合否判定を行うことが好ましい。この方法によれば、汚れの度合いをより精密に判定することが可能となる。

上記ガラスワークの検査方法において、前記第２画像情報が、線状部を含む場合、前記第２判定工程では、前記線状部の長さに基づいて前記ガラスワークの正面又は背面に存在する傷の状態の合否判定を行ってもよい。この方法によれば、傷の大きさに基づく合否を容易に判定することができる。

ガラスワークの検査装置は、正面及び背面の両主面を有するガラスワークの検査装置であって、前記ガラスワークの外周端面の少なくとも一部、及び前記ガラスワークの前記背面における外周縁部の少なくとも一部を支持することで、前記ガラスワークの両主面が傾斜した縦姿勢の状態で前記ガラスワークを支持する支持部と、前記支持部で支持された前記ガラスワークを前記正面側から撮像することで前記ガラスワークの輪郭を含む画像情報を取得する画像情報取得部と、前記画像情報取得部で取得した画像情報に基づいて前記ガラスワークの外周縁の状態を判定する判定部と、を備える。

本発明によれば、ガラスワークの外周端縁を円滑に検査することが可能となる。

実施形態におけるガラスワークの支持状態を示す概略斜視図である。 ガラスワークの検査装置を示す概略側面図である。 ガラスワークの検査方法を説明するフロー図である。 （ａ）～（ｄ）は、第１画像情報を示す概略図である。 （ａ）～（ｄ）は、第２画像情報を示す概略図である。 撮像位置を説明する概略図である。 ガラスワークの内側範囲の検査方法を説明するフロー図である。

以下、ガラスワークの検査方法、及びガラスワークの検査装置の一実施形態について図面を参照して説明する。なお、図面では、説明の便宜上、構成の一部を誇張又は簡略化して示す場合がある。また、各部分の寸法比率についても、実際と異なる場合がある。

図１及び図２に示すように、ガラスワークＷは、正面Ｗ１及び背面Ｗ２の両主面を有している。ガラスワークＷの外周縁は、平面視、すなわちガラスワークＷの厚み方向に見て円弧状となる円弧状部Ｗａと、円弧状部Ｗａを切り欠く形状のノッチ部Ｗｂとを有している。ノッチ部Ｗｂは、検査が終了したガラスワークＷを取り扱う後工程において位置決め部として用いることができる。

本実施形態のガラスワークＷの全体形状は、平面視で円形状であるが、例えば、楕円形状であってもよい。ガラスワークＷは、ガラスのみから構成されてもよいし、ガラス基板と、ガラス基板の両主面のうち少なくとも一方の主面に設けられた膜とを有するものであってもよい。ガラス基板の厚さは、例えば、０．２ｍｍ以上、１．０ｍｍ以下の範囲内である。膜としては、例えば、反射防止膜等として用いられる誘電体多層膜、電極等として用いられる透明導電膜等が挙げられる。膜の厚さは、例えば、１００ｎｍ以上、９００ｎｍ以下の範囲内である。

ガラスワークの検査装置１１は、ガラスワークＷを支持する支持部１２を備えている。ガラスワークの検査装置１１の支持部１２は、ガラスワークＷの外周端面の少なくとも一部を支持する第１支持部１２ａと、ガラスワークＷの背面Ｗ２における外周縁部の少なくとも一部を支持する第２支持部１２ｂとを有している。ガラスワークの検査装置１１の支持部１２は、ガラスワークＷの両主面が傾斜した縦姿勢の状態でガラスワークＷを支持する。なお、本書において、「縦姿勢」とは、ガラスワークＷの最大の撓み量が０．１ｍｍ以下となるようにたわみが抑制された状態であり、ガラスワークＷの主面の角度が、水平面に対して７０度以上、好ましくは８０度以上、より好ましくは８５度以上、９０度以下の範囲となるようにガラスワークＷを起立させた状態をいう。

ガラスワークの検査装置１１は、ガラスワークＷの画像情報を取得する画像情報取得部１３を備えている。画像情報取得部１３は、ガラスワークＷの外周縁を検査するための第１画像情報を取得する第１画像情報取得部と、ガラスワークＷの外周縁よりも内側を検査するための第２画像情報を取得する第２画像情報取得部とを備えている。

第１画像情報取得部は、ガラスワークＷの正面Ｗ１側に配置される撮像部１４と、ガラスワークＷの正面Ｗ１側から光を照射する第１光照射部１５とを備えている。第１画像情報取得部は、支持部１２で支持されたガラスワークＷの正面Ｗ１側からガラスワークＷの輪郭を含む画像情報を取得する。第２画像情報取得部は、上記撮像部１４と、ガラスワークＷの背面Ｗ２側から光を照射する第２光照射部１６とを備えている。

画像情報取得部１３の撮像部１４は、カメラ１４ａとレンズ１４ｂとを備えている。カメラ１４ａとしては、例えば、ＣＣＤ、ＣＭＯＳ等の撮像素子を備えたカメラ（例えば、エリアカメラ）を好適に用いることができる。

第１光照射部１５及び第２光照射部１６の光源は、例えば、ＬＥＤである。第１光照射部１５及び第２光照射部１６としては、リング照明を好適に用いることができる。第１光照射部１５の中心波長と、第２光照射部１６の中心波長との差は、例えば、１０ｎｍ以下の範囲内であることが好ましい。

ガラスワークの検査装置１１は、画像情報取得部１３又は支持部１２の移動により画像情報取得部１３とガラスワークＷとの相対位置を調整可能に構成されている。
ガラスワークＷの検査装置は、画像情報に基づいてガラスワークＷの状態を判定する判定制御部１７を備えている。判定制御部１７は、第１画像情報取得部で取得した第１画像情報に基づいてガラスワークＷの外周縁の状態を判定する第１判定部と、第２画像情報取得部で取得した第２画像情報に基づいてガラスワークＷの正面Ｗ１又は背面Ｗ２の状態を判定する第２判定部とを備えている。なお、判定制御部１７は、画像情報取得部１３で取得した画像を処理する画像処理部を備えている。判定制御部１７は、ＣＰＵ、メモリ、画像処理プログラム等から構成することができる。

次に、ガラスワークＷの検査方法をガラスワークの検査装置１１の動作とともに説明する。
図３に示すように、ガラスワークＷの検査方法は、ガラスワークＷを支持する支持工程（ステップＳ１）と、ガラスワークＷの外周縁を検査するための第１画像情報を取得する第１画像情報取得工程（ステップＳ２）と、ガラスワークＷの外周縁の状態を判定する第１判定工程（ステップＳ３）とを備える。

ステップＳ１の支持工程では、図１に示すようにガラスワークＷの外周端面の少なくとも一部、及びガラスワークＷの背面Ｗ２における外周縁部の少なくとも一部を支持することで、ガラスワークＷの両主面が傾斜した縦姿勢の状態でガラスワークＷを支持する。ステップＳ１の支持工程では、ガラスワークＷの正面Ｗ１を支持せずに、反りを抑えた縦姿勢でガラスワークＷを支持することができる。

ステップＳ１の支持工程では、図１及び図２に示すように、ノッチ部Ｗｂが上端となるようにガラスワークＷを配置することが好ましい。
ステップＳ２の第１画像情報取得工程では、ステップＳ１の支持工程で支持されたガラスワークＷを図２に示すようにガラスワークＷの正面Ｗ１側から撮像することで第１画像情報を取得する。このとき、ガラスワークＷは、上述したステップＳ１の支持工程により支持されているため、ステップＳ２の第１画像情報取得工程では、ガラスワークＷの正面Ｗ１側からガラスワークＷの外周縁の全体を撮像することが可能である。

ステップＳ２の第１画像情報取得工程では、図２に示すようにガラスワークＷの正面Ｗ１側から光を照射し、ガラスワークＷを撮像することが好ましい。
ステップＳ３の第１判定工程では、第１画像情報に基づいてガラスワークＷの外周縁の状態を判定する。本実施形態におけるステップＳ３の第１判定工程では、ガラスワークＷの外周縁に欠陥となる欠けが存在するか否かを判定する。

例えば、図４（ａ）に示す第１画像情報Ｄ１ａ、及び図４（ｂ）に示す第１画像情報Ｄ１ｂは、ガラスワークＷの輪郭線Ｌ１を含む。すなわち、ステップＳ３の第１判定工程では、第１画像情報Ｄ１ｂにおいてガラスワークＷの輪郭線Ｌ１を検出する。ガラスワークＷの輪郭線Ｌ１は、例えば、暗視野の画像中の白い線として映り込む。

図４（ａ）に示す第１画像情報Ｄ１ａのように、ガラスワークＷの輪郭線Ｌ１が、連続している場合には、ステップＳ３の第１判定工程において、ガラスワークＷの外周縁に欠陥となる欠けが存在しない旨の判定がなされる（ステップＳ３：ＮＯ）。この判定がなされた場合には、ステップＳ４の検査範囲の決定工程へと進む。

一方、図４（ｂ）に示す第１画像情報Ｄ１ｂのように、ガラスワークＷの輪郭線Ｌ１が、不連続部Ｌ１ａを有する場合には、ステップＳ３の第１判定工程において、ガラスワークＷの外周縁に欠陥となる欠けが存在する旨の判定がなされる（ステップＳ３：ＹＥＳ）。この判定がなされた場合には、このガラスワークＷの検査を終了する。

なお、図示を省略するが、ガラスワークＷの輪郭線Ｌ１が、所定の長さ未満となる不連続部を有する場合、ガラスワークＷの外周縁に欠陥となる欠けが存在しない旨の判定を行い、所定の長さ以上の条件を満たす不連続部を有する場合、ガラスワークＷの外周縁に欠陥となる欠けが存在する旨の判定を行ってもよい。すなわち、ステップＳ３の第１判定工程では、ガラスワークＷの輪郭線Ｌ１の不連続部の有無ではなく、不連続部の長さに応じてガラスワークＷの外周縁の状態の合否判定を行ってもよい。

第１画像情報Ｄ１ｂにおいて、ガラスワークＷの輪郭線Ｌ１が不連続部Ｌ１ａを有する場合には、実際のガラスワークＷの正面Ｗ１又は背面Ｗ２には、ガラスワークＷの厚さ方向に向かって凹む形状の欠けが発生している。

ここで、ガラスワークＷの外周縁には、ガラスワークＷの外周端面がガラスワークＷの径方向に向かって凹む形状の欠けが発生する場合もある。この場合、図４（ｂ）に示す第１画像情報Ｄ１ｂにおいて、ガラスワークＷの輪郭線Ｌ１の目標の位置Ｐ１に対する輪郭線Ｌ１の実際の位置Ｐ２のずれ量に応じて、欠けの合否判定を行うことが好ましい。詳述すると、ステップＳ３の第１判定工程では、第１画像情報Ｄ１ｂにおいてガラスワークＷの輪郭線Ｌ１の実際の位置Ｐ２を検出し、さらにガラスワークＷの輪郭線Ｌ１の目標の位置Ｐ１を設定する。ガラスワークＷの欠けの合否判定では、輪郭線Ｌ１の目標の位置Ｐ１に対する輪郭線Ｌ１の実際の位置Ｐ２のずれ量が所定量よりも小さい場合には、ガラスワークＷの外周縁に欠陥となる欠けが存在しない旨の判定がなされ、ステップＳ４の検査範囲の決定工程へと進む。一方、輪郭線Ｌ１の目標の位置Ｐ１に対する輪郭線Ｌ１の実際の位置Ｐ２のずれ量が所定量よりも大きい異常部分ＰＡが存在する場合には、ガラスワークＷの外周縁に欠陥となる欠けが存在する旨の判定がなされ、このガラスワークＷの検査を終了する。

ステップＳ４の検査範囲の決定工程では、ステップＳ２の第１画像情報取得工程で撮像されたガラスワークＷの範囲内において、さらにガラスワークＷの正面Ｗ１又は背面Ｗ２の状態を検査する範囲を決定する。ここで、ガラスワークＷの外周縁に沿った外周部Ｖ１の検査が不要であり、この外周部Ｖ１よりも内側の主面を有効範囲として正面Ｗ１又は背面Ｗ２の状態の検査が求められる場合がある。本実施形態のステップＳ４の検査範囲の決定工程では、ステップＳ３の第１判定工程の後、図４（ｃ）に示すように、第１画像情報に含まれるガラスワークＷの輪郭線Ｌ１から所定の距離ＷＤ以上内側の領域をガラスワークＷの内側部Ｖ２として検査範囲を決定する。すなわち、ステップＳ４の検査範囲の決定工程では、ガラスワークＷの輪郭線Ｌ１からの距離ＷＤによって、外周部Ｖ１と内側部Ｖ２との境界線Ｌ２を決定する。ステップＳ４の検査範囲の決定工程後、第２画像情報取得工程が行われる（ステップＳ５）。

ステップＳ５の第２画像情報取得工程は、ガラスワークＷの正面Ｗ１又は背面Ｗ２の状態を検査するための第２画像情報をステップＳ３の第１判定工程の判定結果に基づいて取得する。ステップＳ５の第２画像情報取得工程は、ステップＳ３の第１判定工程において、ガラスワークＷの外周縁に欠陥となる欠けが存在しない旨の判定がなされた場合に行われる。

ステップＳ５の第２画像情報取得工程は、ステップＳ１の支持工程で支持されたガラスワークＷを図２に示すようにガラスワークＷの正面Ｗ１側から撮像することで第２画像情報を取得する。第２画像情報は、第１画像情報と同じ範囲の画像情報であってもよいし、例えば、ガラスワークＷの輪郭よりも内側の画像情報やガラスワークＷの内側部Ｖ２の画像情報であってもよい。撮像の効率を高めるという観点から、同じ位置に配置した撮像部１４を用いて、ステップＳ２の第１画像情報取得工程とステップＳ５の第２画像情報取得工程とを行うことが好ましい。

ステップＳ５の第２画像情報取得工程では、ガラスワークＷの背面Ｗ２側から光を照射し、ガラスワークＷを撮像することが好ましい。ステップＳ５の第２画像情報取得工程では、撮像部１４の焦点をガラスワークＷの厚み方向の中央に合わせることで、ガラスワークＷの正面Ｗ１側及び背面Ｗ２側の両面側に存在する欠陥に由来する点や線を撮像することができる。ステップＳ５の第２画像情報取得工程の後、第２判定工程が行われる（ステップＳ６）。

ステップＳ６の第２判定工程では、第２画像情報に基づいてガラスワークＷの正面Ｗ１又は背面Ｗ２の状態を判定する。本実施形態におけるステップＳ６の第２判定工程では、ガラスワークＷの主面のうち外周縁に沿った外周部Ｖ１を検査対象から除外し、外周部Ｖ１よりも内側の内側部Ｖ２を検査対象として判定を行う。また、ステップＳ６の第２判定工程では、ガラスワークＷの正面Ｗ１又は背面Ｗ２に傷や汚れが存在するか否かを判定する。

例えば、図５（ａ）に示す第２画像情報Ｄ２ａは、ガラスワークＷの正面Ｗ１又は背面Ｗ２に生じた傷に由来する線状部、及びガラスワークＷの正面Ｗ１又は背面Ｗ２に付着した汚れに由来する複数の点（点像）を含む。ガラスワークＷの正面Ｗ１又は背面Ｗ２に生じた傷は、暗視野の画像中に白い線状部として映り込む。ガラスワークＷの正面Ｗ１又は背面Ｗ２に付着した汚れは、暗視野の画像中に複数の白点として映り込む。

ステップＳ６の第２判定工程において、ガラスワークＷの正面Ｗ１又は背面Ｗ２に欠陥となる傷及び汚れのいずれも存在せず、正面Ｗ１又は背面Ｗ２に異常がない旨の判定がなされた場合（ステップＳ６：ＮＯ）には、ステップＳ７へと進む。

ステップＳ６の第２判定工程において、ガラスワークＷの正面Ｗ１又は背面Ｗ２に欠陥となる傷及び汚れの少なくとも一方が存在し、正面Ｗ１又は背面Ｗ２に異常がある旨の判定がなされた場合（ステップＳ６：ＹＥＳ）には、このガラスワークＷの検査を終了する。

図５（ｂ）には、第２画像情報Ｄ２ａ中において、所定の長さ以上の条件を満たす線状部ＰＢ１が検出された例を示している。このようにステップＳ６の第２判定工程では、線状部の長さに基づいて、傷についての合否判定を行うことが好ましい。

図５（ｄ）には、第２画像情報Ｄ２ａ中において、所定の条件を満たす点群ＰＢ２が検出された例を示している。ここで、図５（ｃ）に示すように、本実施形態におけるステップＳ６の第２判定工程では、第２画像情報Ｄ２ａ中に含まれる複数の点を膨張処理している。膨張処理は、周知のように二値化画像を用いて行うことができる。図５（ｃ）では、汚れに由来する点を膨張させた外形を破線で示している。このように汚れに由来する点を膨張させることで、図５（ｄ）に示すように、汚れに由来する複数の点の集合体Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３が形成される。

ステップＳ６の第２判定工程では、集合体Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３の面積、又は集合体Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３の面積当たりの点の個数割合に基づいて上述した汚れの状態の合否判定を行う。例えば、集合体Ｇ１は、所定の面積よりも大きい面積を有する。すなわち、ステップＳ６の第２判定工程では、集合体Ｇ１を所定の条件を満たす点群ＰＢ２として検出し、ガラスワークＷの正面Ｗ１又は背面Ｗ２の欠陥と判定することができる。

また、例えば、集合体Ｇ２では、集合体Ｇ２の面積については所定値よりも小さいものの、集合体Ｇ２の面積当たりの点の個数割合が所定値よりも高い。すなわち、ステップＳ６の第２判定工程では、複数の点がより密集して存在する場合を、所定の条件を満たす点群ＰＢ２として検出し、ガラスワークＷの正面Ｗ１又は背面Ｗ２の欠陥と判定することができる。

集合体Ｇ３では、集合体Ｇ２の面積が所定値よりも小さく、かつ集合体Ｇ２の面積当たりの点の個数割合が所定値よりも低い。この集合体Ｇ３については、ステップＳ６の第２判定工程では、ガラスワークＷの正面Ｗ１又は背面Ｗ２が正常と判定することで、例えば、使用に問題のないガラスワークＷが欠陥と判定されることを回避することができる。

ステップＳ７では、ガラスワークＷの外周縁の全体の検査が完了したか否かを判断する。
図６に示すように、ガラスワークＷの外周縁の全体の検査が完了するまで、ステップＳ８の撮像位置の変更を行い、ガラスワークＷの外周縁を含む外周撮像範囲Ｒ１について、上述したステップＳ２の第１画像情報取得工程から順に繰り返す。ステップＳ２の第１画像情報取得工程を繰り返すことで、ガラスワークＷの外周縁の異なる位置を部分的に撮像した複数の第１画像情報を得る。

ここで、図４（ｄ）に示す第１画像情報Ｄ１ｃには、ガラスワークＷのノッチ部Ｗｂの輪郭線Ｌ１ｂが含まれている。このようにノッチ部Ｗｂを含む第１画像情報Ｄ１ｃでは、ノッチ部Ｗｂに基づいてガラスワークＷに欠陥となる欠けが存在する旨の判定がなされる場合がある。このようなノッチ部Ｗｂを有するガラスワークＷをより円滑に検査するという観点から、ステップＳ３の第１判定工程において、複数の第１画像情報のうちノッチ部Ｗｂの輪郭線Ｌ１ｂを含む第１画像情報Ｄ１ｃを判定する場合、ノッチ部Ｗｂを判定の対象から除外することが好ましい。

図６に示すように、本実施形態では、ガラスワークＷの内側撮像範囲Ｒ２を撮像し、ガラスワークＷの内側範囲についても正面Ｗ１又は背面Ｗ２の状態の検査を行う。
図７に示すように、ガラスワークＷの内側範囲の検査方法では、内側撮像範囲Ｒ２を撮像することで第３画像情報を取得する第３画像情報取得工程を行う（ステップＳ９）。ステップＳ９の第３画像情報取得工程は、内側撮像範囲Ｒ２について、ステップＳ５の第２画像情報取得工程と同様に行うことができる。

次に、ガラスワークＷの内側範囲の検査方法では、ステップＳ９の第３画像情報取得工程で取得した第３画像情報に基づいてガラスワークＷの正面Ｗ１又は背面Ｗ２の状態を判定する第３判定工程を行う（ステップＳ１０）。ステップＳ１０の第３判定工程は、ステップＳ６の第２判定工程と同様に行うことができる。

ステップＳ１０の第３判定工程の後、ステップＳ１１では、ガラスワークＷの内側範囲の全体の検査が完了したか否かを判断する。図６に示すように、ガラスワークＷの内側範囲の全体の検査が完了するまで、ステップＳ１２の撮像位置の変更を行い、内側撮像範囲Ｒ２について、上述したステップＳ９の第３画像情報取得工程から繰り返す。

次に、本実施形態の作用及び効果について説明する。
（１）正面Ｗ１及び背面Ｗ２の両主面を有するガラスワークＷの検査方法は、ガラスワークＷを支持する支持工程（ステップＳ１）と、ガラスワークＷの外周縁を検査するための画像情報を取得する第１画像情報取得工程（ステップＳ２）とを備えている。ステップＳ１の支持工程では、ガラスワークＷの外周端面の少なくとも一部、及びガラスワークＷの背面Ｗ２における外周縁部の少なくとも一部を支持することで、ガラスワークＷの両主面が傾斜した縦姿勢の状態でガラスワークＷを支持する。ステップＳ２の第１画像情報取得工程では、ステップＳ１の支持工程で支持されたガラスワークＷを正面Ｗ１側から撮像する。ガラスワークＷの検査方法は、ステップＳ２の第１画像情報取得工程で取得した第１画像情報に基づいてガラスワークＷの外周縁の状態を判定する第１判定工程（ステップＳ３）とを備えている。

この方法によれば、ステップＳ１の支持工程において、ガラスワークＷの正面Ｗ１を支持せずに、反りを抑えた縦姿勢でガラスワークＷを支持することができる。これにより、ステップＳ２の第１画像情報取得工程では、ステップＳ１の支持工程で支持されたガラスワークＷの正面Ｗ１側からガラスワークＷの外周縁の全体を撮像することが可能となる。従って、ガラスワークＷの外周縁を円滑に検査することを可能となる。

（２）ガラスワークＷの検査方法において、ステップＳ５の第２画像情報取得工程では、ガラスワークＷの正面Ｗ１側から光を照射し、ガラスワークＷを撮像することが好ましい。

この方法によれば、ガラスワークＷの外周縁をより鮮明に撮像することが可能である。従って、ガラスワークＷの外周縁の検査精度を高めることが可能となる。
（３）ガラスワークＷの検査方法において、ステップＳ３の第１判定工程では、第１画像情報Ｄ１ｂにおいてガラスワークＷの輪郭線Ｌ１を検出し、ガラスワークＷの輪郭線Ｌ１が不連続となる不連続部Ｌ１ａの有無に応じて、ガラスワークＷの外周縁の状態の合否判定を行うことができる。また、ステップＳ３の第１判定工程では、第１画像情報においてガラスワークＷの輪郭線Ｌ１の実際の位置Ｐ２を検出し、さらにガラスワークＷの輪郭線Ｌ１の目標の位置Ｐ１を設定し、目標の位置Ｐ１からの実際の位置Ｐ２のずれ量に応じて、ガラスワークＷの外周縁の状態の合否判定を行うこともできる。この場合、ガラスワークＷの外周縁に生じた欠けに基づく欠陥を容易に判定することができる。

（４）ガラスワークＷの外周縁は、平面視で円弧状となる円弧状部Ｗａと、円弧状部Ｗａを切り欠く形状のノッチ部Ｗｂとを有している。ガラスワークＷの検査方法では、ステップＳ２の第１画像情報取得工程を繰り返すことで、ガラスワークＷの外周縁の異なる位置を部分的に撮像した複数の第１画像情報を取得している。ステップＳ３の第１判定工程において、複数の第１画像情報のうちノッチ部Ｗｂを含む第１画像情報Ｄ１ｃを判定する場合、ノッチ部Ｗｂを判定の対象から除外することが好ましい。この場合、ノッチ部Ｗｂを有するガラスワークＷの外周縁をより円滑に検査することが可能である。

（５）ガラスワークＷの検査方法において、ステップＳ１の支持工程では、ガラスワークＷのノッチ部Ｗｂが上端となるようにガラスワークＷを配置することが好ましい。この場合、ノッチ部Ｗｂの位置を容易に確認することができる。

（６）ガラスワークＷの検査方法は、ガラスワークＷの正面Ｗ１又は背面Ｗ２の状態を検査するための第２画像情報をステップＳ３の第１判定工程の判定結果に基づいて取得する第２画像情報取得工程（ステップＳ５）をさらに備えている。ガラスワークＷの検査方法は、第２画像情報に基づいてガラスワークＷの正面Ｗ１又は背面Ｗ２の状態を判定する第２判定工程（ステップＳ６）をさらに備えている。この場合、ガラスワークＷの外周縁の状態の検査に続いて、ガラスワークＷの正面Ｗ１又は背面Ｗ２の状態の検査を行うことができる。

（７）ガラスワークＷの検査方法において、ステップＳ５の第２画像情報取得工程では、ステップＳ１の支持工程で支持されたガラスワークＷをガラスワークＷの正面Ｗ１側から撮像している。この場合、例えば、第２画像情報取得工程において、第１画像情報取得工程で用いた撮像部１４と共通の撮像部１４を用いて第２画像情報を円滑に取得することが可能となる。

（８）ガラスワークＷの検査方法において、ステップＳ５の第２画像情報取得工程では、ガラスワークＷの背面Ｗ２側から光を照射し、ガラスワークＷを撮像することが好ましい。この場合、ガラスワークＷの正面Ｗ１又は背面Ｗ２に存在する傷や汚れをより鮮明に撮像することが可能となる。

（９）ガラスワークＷの検査方法において、ステップＳ６の第２判定工程では、ガラスワークＷの主面のうち外周縁に沿った外周部Ｖ１を検査対象から除外し、外周部Ｖ１よりも内側の内側部Ｖ２を検査対象として判定を行っている。この場合、ガラスワークＷの外周部Ｖ１よりも内側を有効範囲として正面Ｗ１又は背面Ｗ２の状態の検査を行うことができる。これにより、例えば、ガラスワークＷの外周部Ｖ１の検査が不要な場合、この外周部Ｖ１の検査を省略することで、より円滑に検査を行うことができる。

（１０）ガラスワークＷの検査方法において、ステップＳ２の第１判定工程の後、第１画像情報に含まれるガラスワークＷの輪郭線Ｌ１から所定の距離ＷＤ以上内側の領域をガラスワークＷの内側部Ｖ２として検査範囲を決定する検査範囲の決定工程（ステップＳ４）をさらに備えることが好ましい。この方法によれば、第１画像情報を利用して検査範囲を容易に決定することができる。

（１１）ガラスワークＷの検査方法において、第２画像情報Ｄ２ａが、複数の点を含む場合がある。この場合、ステップＳ６の第２判定工程では、複数の点を膨張処理することで、複数の点の集合体Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３の面積、又は集合体Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３の面積当たりの点の個数割合に基づいて、ガラスワークＷの正面又は背面に付着した汚れの状態の合否判定を行うこともできる。これにより、ガラスワークＷの正面又は背面に付着した汚れの度合いをより精密に判定することが可能となる。

（１２）ガラスワークＷの検査方法において、第２画像情報Ｄ２ａが、線状部ＰＢ１を含む場合がある。この場合、ステップＳ６の第２判定工程では、線状部ＰＢ１の長さに基づいて、ガラスワークＷの正面Ｗ１又は背面Ｗ２に存在する傷の状態の合否判定を行うこともできる。これにより、ガラスワークＷの正面Ｗ１又は背面Ｗ２に存在する傷の大きさに基づく合否を容易に判定することができる。

（変更例）
本実施形態は、以下のように変更して実施することができる。本実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。

・ガラスワークＷの検査方法において、ガラスワークＷの正面Ｗ１又は背面Ｗ２を検査する工程は、ガラスワークＷの傷及び汚れのいずれか一方を検査対象としてもよい。また、ガラスワークＷの傷及び汚れ以外の異常を検査対象としてもよい。

・ガラスワークＷの検査方法において、第２画像情報Ｄ２ａ中に含まれる複数の点を膨張処理せずに、ステップＳ６の第２判定工程において、例えば、第２画像情報Ｄ２ａ中に含まれる点の大きさ、点の数等を判定基準としてもよい。

・ステップＳ６の第２判定工程において、ガラスワークＷの外周部Ｖ１と内側部Ｖ２の境界線Ｌ２を、第１画像情報Ｄ１ａに含まれるガラスワークＷの輪郭線Ｌ１からの距離ＷＤにより決定しているが、例えば、ガラスワークの検査装置１１における支持部１２の位置を基準として決定することもできる。

・ステップＳ６の第２判定工程において、ガラスワークＷの内側部Ｖ２を検査対象として判定しているが、ガラスワークＷの外周部Ｖ１のみを検査対象として判定してもよいし、外周部Ｖ１及び内側部Ｖ２を検査対象として判定してもよい。

・ステップＳ５の第２画像情報取得工程では、ガラスワークＷを背面Ｗ２側から撮像してもよい。
・ガラスワークＷの検査方法において、ガラスワークＷの正面Ｗ１又は背面Ｗ２を検査する工程を省略することもできる。

・ガラスワークの検査装置１１の第１光照射部１５の数及び第２光照射部１６の数は、単数であってもよいし、複数であってもよい。また、第１光照射部１５の数及び第２光照射部１６の位置を適宜変更してもよい。

・ステップＳ１の配置工程において、ガラスワークＷのノッチ部Ｗｂが上端以外の位置となるようにガラスワークＷを配置してもよい。
・ガラスワークＷのノッチ部Ｗｂを省略してもよい。

・ステップＳ１０の第３判定工程は、例えば、ガラスワークＷの位置に応じた異なる判定基準（閾値）で判定するように構成することもできる。例えば、ステップＳ１０の第３判定工程において、ガラスワークＷの径方向における内側と外側とで異なる判定を行ってもよい。

・図７に示すガラスワークＷの内側範囲の検査については、ステップＳ１の支持工程による支持方法とは異なる方法でガラスワークＷを支持して行うこともできる。すなわち、ガラスワークＷの内側範囲の検査は、ガラスワークＷの外周範囲の検査とは異なる検査装置を用いて行ってもよい。

・ガラスワークの検査装置１１における第１支持部１２ａの数、及び第２支持部１２ｂの数は、単数であってもよいし、複数であってもよい。ガラスワークの検査装置１１における第１支持部１２ａの形状、及び第２支持部１２ｂの形状は、上記実施形態に限定されず、ガラスワークＷの正面Ｗ１側からのガラスワークＷの外周縁の撮像を妨げない範囲で変更することができる。

１１…ガラスワークの検査装置
１２…支持部
１３…画像情報取得部
Ｄ１ａ，Ｄ１ｂ，Ｄ１ｃ…第１画像情報
Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３…集合体
Ｌ１，Ｌ１ｂ…輪郭線
Ｌ１ａ…不連続部
Ｐ１…目標の位置
Ｐ２…実際の位置
ＰＢ１…線状部
ＰＢ２…点群
Ｖ１…外周部
Ｖ２…内側部
Ｗ…ガラスワーク
Ｗ１…正面
Ｗ２…背面
Ｗａ…円弧状部
Ｗｂ…ノッチ部
ＷＤ…距離

Claims (14)

1. 正面及び背面の両主面を有するガラスワークの検査方法であって、
   前記ガラスワークの外周端面の少なくとも一部、及び前記ガラスワークの前記背面における外周縁部の少なくとも一部を支持することで、前記ガラスワークの前記両主面が傾斜した縦姿勢の状態で前記ガラスワークを支持する支持工程と、
   前記支持工程で支持された前記ガラスワークを前記正面側から撮像することで前記ガラスワークの外周縁を検査するための第１画像情報を取得する第１画像情報取得工程と、
   前記第１画像情報取得工程で取得した前記第１画像情報に基づいて前記ガラスワークの外周縁の状態を判定する第１判定工程と、
   前記ガラスワークの正面及び背面の状態を検査するための第２画像情報を前記第１判定工程の判定結果に基づいて取得する第２画像情報取得工程と、
   前記第２画像情報に基づいて前記ガラスワークの正面及び背面の状態を判定する第２判定工程と、
   前記ガラスワークの内側範囲の正面及び背面を検査するための第３画像情報を取得する第３画像情報取得工程と、
   前記第３画像情報に基づいて前記ガラスワークの内側範囲の正面及び背面の状態を判定する第３判定工程と、を備える、ガラスワークの検査方法。
2. 前記第２画像情報が、複数の点を含む場合、
   前記第２判定工程では、前記複数の点を膨張処理することで、前記複数の点の集合体の面積、又は前記集合体の面積当たりの点の個数割合に基づいて前記ガラスワークの正面及び背面に付着した汚れの状態の合否判定を行う、請求項１に記載のガラスワークの検査方法。
3. 正面及び背面の両主面を有するガラスワークの検査方法であって、
   前記ガラスワークの外周端面の少なくとも一部、及び前記ガラスワークの前記背面における外周縁部の少なくとも一部を支持することで、前記ガラスワークの前記両主面が傾斜した縦姿勢の状態で前記ガラスワークを支持する支持工程と、
   前記支持工程で支持された前記ガラスワークを前記正面側から撮像することで前記ガラスワークの外周縁を検査するための第１画像情報を取得する第１画像情報取得工程と、
   前記第１画像情報取得工程で取得した前記第１画像情報に基づいて前記ガラスワークの外周縁の状態を判定する第１判定工程と、
   前記ガラスワークの正面及び背面の状態を検査するための第２画像情報を前記第１判定工程の判定結果に基づいて取得する第２画像情報取得工程と、
   前記第２画像情報に基づいて前記ガラスワークの正面及び背面の状態を判定する第２判定工程と、を備え、
   前記第２画像情報が、複数の点を含む場合、
   前記第２判定工程では、前記複数の点を膨張処理することで、前記複数の点の集合体の面積、又は前記集合体の面積当たりの点の個数割合に基づいて前記ガラスワークの正面及び背面に付着した汚れの状態の合否判定を行う、ガラスワークの検査方法。
4. 前記第２画像情報取得工程では、前記支持工程で支持された前記ガラスワークを前記正面側から撮像する、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のガラスワークの検査方法。
5. 前記第２画像情報取得工程では、前記ガラスワークの背面側から光を照射し、前記ガラスワークを撮像する、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のガラスワークの検査方法。
6. 前記第２判定工程では、前記ガラスワークの主面のうち外周縁に沿った外周部を検査対象から除外し、前記外周部よりも内側の内側部を検査対象として前記判定を行う、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のガラスワークの検査方法。
7. 前記第１判定工程の後、前記第１画像情報に含まれる前記ガラスワークの輪郭線から所定の距離以上内側の領域を前記内側部として検査範囲を決定する検査範囲の決定工程をさらに備える、請求項６に記載のガラスワークの検査方法。
8. 前記第２画像情報が、線状部を含む場合、
   前記第２判定工程では、前記線状部の長さに基づいて前記ガラスワークの正面又は背面に存在する傷の状態の合否判定を行う、請求項１から請求項７のいずれか一項に記載のガラスワークの検査方法。
9. 前記第１画像情報取得工程では、前記ガラスワークの正面側から光を照射し、前記ガラスワークを撮像する、請求項１から請求項８のいずれか一項に記載のガラスワークの検査方法。
10. 前記第１判定工程では、前記第１画像情報において前記ガラスワークの輪郭線を検出し、前記ガラスワークの輪郭線が不連続となる不連続部の有無に応じて、前記ガラスワークの外周縁の状態の合否判定を行う、請求項１から請求項９のいずれか一項に記載のガラスワークの検査方法。
11. 前記第１判定工程では、前記第１画像情報において、前記ガラスワークの輪郭線の実際の位置を検出し、さらに前記ガラスワークの輪郭線の目標の位置を設定し、輪郭線の目標の位置からの輪郭線の実際の位置のずれ量に応じて、前記ガラスワークの外周縁の状態の合否判定を行う、請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載のガラスワークの検査方法。
12. 正面及び背面の両主面を有するガラスワークの検査方法であって、
    前記ガラスワークの外周端面の少なくとも一部、及び前記ガラスワークの前記背面における外周縁部の少なくとも一部を支持することで、前記ガラスワークの前記両主面が傾斜した縦姿勢の状態で前記ガラスワークを支持する支持工程と、
    前記支持工程で支持された前記ガラスワークを前記正面側から撮像することで前記ガラスワークの外周縁を検査するための画像情報を取得する画像情報取得工程と、
    前記画像情報取得工程で取得した前記画像情報に基づいて前記ガラスワークの外周縁の状態を判定する判定工程と、を備え、
    前記ガラスワークの外周縁は、平面視で円弧状となる円弧状部と、前記円弧状部を切り欠く形状のノッチ部とを有し、
    前記画像情報取得工程を繰り返すことで、前記ガラスワークの前記外周縁の異なる位置を部分的に撮像した複数の画像情報を取得し、
    前記判定工程において、前記複数の画像情報のうち前記ノッチ部を含む画像情報を判定する場合、前記ノッチ部を判定の対象から除外する、ガラスワークの検査方法。
13. 前記支持工程では、前記ノッチ部が上端となるように前記ガラスワークを配置する、請求項１２に記載のガラスワークの検査方法。
14. 正面及び背面の両主面を有するガラスワークの検査装置であって、
    前記ガラスワークの外周端面の少なくとも一部、及び前記ガラスワークの前記背面における外周縁部の少なくとも一部を支持することで、前記ガラスワークの前記両主面が傾斜した縦姿勢の状態で前記ガラスワークを支持する支持部と、
    前記支持部で支持された前記ガラスワークを前記正面側から撮像することで前記ガラスワークの外周縁を検査するための第１画像情報を取得する第１画像情報取得部と、
    前記第１画像情報取得部で取得した前記第１画像情報に基づいて前記ガラスワークの外周縁の状態を判定する第１判定部と、
    前記ガラスワークの正面及び背面の状態を検査するための第２画像情報を前記第１判定部の判定結果に基づいて取得する第２画像情報取得部と、
    前記第２画像情報に基づいて前記ガラスワークの正面及び背面の状態を判定する第２判定部と、
    前記ガラスワークの内側範囲の正面及び背面を検査するための第３画像情報を取得する第３画像情報取得部と、
    前記第３画像情報に基づいて前記ガラスワークの内側範囲の正面及び背面の状態を判定する第３判定部と、を備える、ガラスワークの検査装置。