JP2007198761A - 欠陥検出方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】1つの撮像装置21に対して2つの投光装置22、23を設ける。これらは、一方の投光装置23の光が、板状体10を透過して撮像装置21に入るよう配置し、他方の投光装置22の光は板状体10の表面によって反射させ、その反射光を撮像装置21が撮像できるよう配置する。板状体10の透過光および反射光による画像を同時に撮像することで、板状体10の表面と内部の欠陥を短時間でくまなく検出することができる。
【選択図】図1
Description
本実施例による欠陥検出装置と、1つの撮像装置および1つの投光装置を用いて、投光装置の角度を10度に設定した装置による製品検査を行った。このとき用いた板状体サンプルは、目視にて確認可能な、製品表面部にスジ状の欠陥があり、欠陥部の深さはレーザー測定機の測定により、約5〜30μm程度のもので、スジ状の幅については150〜200μm程度のものを12本選択した。
2 保持台
3 駆動モータ
21 撮像装置
22、23 投光装置
24 記憶・処理装置
25 駆動制御装置
26 表示装置
Claims (4)
- 透明または半透明の板状体の欠陥を検出する欠陥検出方法において、
第1の投光装置の光によって得られた板状体の反射光による画像と、第2の投光装置の光によって得られた板状体の透過光による画像とを1つの撮像装置によって撮像する工程と、
透過光と反射光とによる板状体の画像をデジタル処理する工程と、を有することを特徴とする欠陥検出方法。 - 第2の投光装置において、540ないし680nmの波長領域をカットした光源を用いることを特徴とする請求項1記載の欠陥検出方法。
- 板状体が電子写真用クリーニングブレードであることを特徴とする請求項2記載の欠陥検出方法。
- 透明または半透明の板状体の欠陥を検出する欠陥検出装置において、撮像装置と、前記板状体の第1面に光を投光し、前記板状体の反射光を前記撮像装置に入射させる第1の投光装置と、前記板状体の第2面に光を投光し、前記板状体の透過光を前記撮像装置に入射させる第2の投光装置と、前記撮像装置によって撮像された、前記透過光と前記反射光とによる前記板状体の画像を処理する画像処理手段と、を有することを特徴とする欠陥検出装置。
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