JP2010043895A - 欠陥検出装置及び欠陥検出方法 - Google Patents
欠陥検出装置及び欠陥検出方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010043895A JP2010043895A JP2008206922A JP2008206922A JP2010043895A JP 2010043895 A JP2010043895 A JP 2010043895A JP 2008206922 A JP2008206922 A JP 2008206922A JP 2008206922 A JP2008206922 A JP 2008206922A JP 2010043895 A JP2010043895 A JP 2010043895A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- cleaning blade
- defect detection
- imaging
- defect
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 22
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 46
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims abstract description 21
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims abstract description 13
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 73
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 47
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 32
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 20
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 16
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 15
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 10
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 5
- 239000005338 frosted glass Substances 0.000 description 4
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 4
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 3
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 3
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning In Electrography (AREA)
- Control Or Security For Electrophotography (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
【解決手段】クリーニングブレードの1方の側から投光し、光透過率が92%以下の拡散板によって光を拡散させ、同じ側でその正反射光を前記ブレード表面の全幅にわたって撮像することで画像データを取得する。
【選択図】図1
Description
(1)欠陥部を埋める画素の画素数(面積)
(2)欠陥部の一番遠い画素同士の距離
(3)欠陥部を囲む稜線の真円度
(4)欠陥部を囲む稜線の方形度(縦横比)
(5)欠陥部を囲む稜線の長さ
これらの項目(1)〜(5)で求めた数値を利用して欠陥部であるか否かを判定する条件式を用意しておき、個々の欠陥部候補に対して本当に欠陥であるか否かの検定を行う。この時点でも欠陥であると判定されたものを最終的に欠陥部として確定する。その後、上記項目の数値に基づいて、確定した欠陥部の重心位置を算出する。
上記のように構成された欠陥検出装置を用いて、表面粗さの異なる10枚のクリーニングブレード(以下、サンプルと記す)を検査し、しかる後に電子写真プリンタのカートリッジに挿入して画像評価を行った。欠陥検出装置において光の入射角や、撮像装置3及びレンズ4の光軸と前記ブレード2とのなす角をそれぞれ変え、さらに拡散板の光透過率も変えて各サンプルの検査を行っている。表1に、それらの条件変更の例を実施例1〜6及び比較例1〜8として記し、各例によるサンプルごとの検査結果及び画像評価結果を示す。
2 クリーニングブレード
3 撮像装置
4 レンズ
5 投光装置
6 拡散板
7 仮想軸
8 記憶・処理装置
9 表示装置
10 駆動装置
11 クランプ機構
12 光の入射角
13 光の反射角
14 撮像装置及びレンズの光軸
15 投光装置から照射される光
16 拡散板で散乱され、輝度計に入らない光
17 拡散板を通過しても輝度計に入る光
18 被測定面
19 主点
20 対物レンズ
21 固定絞り
22 アパーチャミラー
23 視感度補正フィルター
24 拡散透過板
25 光電素子
26 ミラー
27 測定角
28 入射立体角
29 射出立体角
Claims (8)
- 電子写真装置において像担持体上に残留するトナーを摺擦して除去するためのクリーニングブレードの欠陥を検出する欠陥検出装置において、
前記クリーニングブレードを載置するための載置手段と、
前記載置手段に載置される前記クリーニングブレードの一方の側に配置された、投光手段及び、該クリーニングブレードからの正反射光を撮像する撮像手段と、
を有し、
前記撮像手段は前記クリーニングブレードの表面の全幅にわたる撮像を一度に行える距離に配置されており、かつ、
前記投光手段と前記クリーニングブレードとの間に、光透過率が92%以下である拡散板が配置されたことを特徴とする欠陥検出装置。 - 前記投光手段からの入射光の入射角が20°以上60°以下に設定可能であり、該入射角に付随して前記撮像手段も位置と角度を変える入射角可変手段をさらに有することを特徴とする請求項1に記載の欠陥検出装置。
- 前記投光手段には、480nm以下の光を遮断するシャープカットフィルターが装着されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の欠陥検出装置。
- 前記投光手段はハロゲン光源であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の欠陥検出装置。
- 電子写真装置において像担持体上に残留するトナーを摺擦して除去するためのクリーニングブレードの欠陥を検出する欠陥検出方法において、
前記クリーニングブレードの一方の側に投光し、
前記投光による光を前記クリーニングブレードに達する前に、光透過率92%以下の拡散板によって拡散し、かつ、前記投光による前記クリーニングブレードからの正反射光で、前記クリーニングブレードの表面の全幅にわたる撮像を一度に行うことを特徴とする欠陥検出方法。 - 前記投光による入射光の入射角と該入射角に付随した前記撮像手段の光軸の角度とを20°以上60°以下の範囲で設定可能とする、請求項5に記載の欠陥検出方法。
- 前記投光された光が480nm以下の光を遮断するシャープカットフィルターを透過する、請求項5又は6に記載の欠陥検出方法。
- 前記投光される光がハロゲン光である、請求項5から7のいずれか1項に記載の欠陥検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008206922A JP5297717B2 (ja) | 2008-08-11 | 2008-08-11 | 欠陥検出装置及び欠陥検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008206922A JP5297717B2 (ja) | 2008-08-11 | 2008-08-11 | 欠陥検出装置及び欠陥検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010043895A true JP2010043895A (ja) | 2010-02-25 |
JP5297717B2 JP5297717B2 (ja) | 2013-09-25 |
Family
ID=42015395
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008206922A Active JP5297717B2 (ja) | 2008-08-11 | 2008-08-11 | 欠陥検出装置及び欠陥検出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5297717B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001041719A (ja) * | 1999-07-27 | 2001-02-16 | Canon Inc | 透明材の検査装置及び検査方法並びに記憶媒体 |
JP2007033327A (ja) * | 2005-07-28 | 2007-02-08 | Canon Chemicals Inc | 欠陥検出方法及び装置 |
JP2007198761A (ja) * | 2006-01-24 | 2007-08-09 | Canon Chemicals Inc | 欠陥検出方法および装置 |
-
2008
- 2008-08-11 JP JP2008206922A patent/JP5297717B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001041719A (ja) * | 1999-07-27 | 2001-02-16 | Canon Inc | 透明材の検査装置及び検査方法並びに記憶媒体 |
JP2007033327A (ja) * | 2005-07-28 | 2007-02-08 | Canon Chemicals Inc | 欠陥検出方法及び装置 |
JP2007198761A (ja) * | 2006-01-24 | 2007-08-09 | Canon Chemicals Inc | 欠陥検出方法および装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5297717B2 (ja) | 2013-09-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9140545B2 (en) | Object inspection system | |
JP5014003B2 (ja) | 検査装置および方法 | |
CN110389021B (zh) | 透镜图像产生系统及屈光能力和厚度确定与缺陷检测方法 | |
JP4550610B2 (ja) | レンズ検査装置 | |
JP2008249568A (ja) | 外観検査装置 | |
KR101203210B1 (ko) | 결함 검사장치 | |
US20100309309A1 (en) | Method for precisely detecting crack width | |
JP2010048602A (ja) | プリント基板検査装置及び検査方法 | |
TW201606288A (zh) | 基板的檢查裝置及基板的檢查方法 | |
TW201224443A (en) | Device and method for detecting bubble in transparent tube | |
JP2017166903A (ja) | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 | |
JP5042503B2 (ja) | 欠陥検出方法 | |
JP2012237585A (ja) | 欠陥検査方法 | |
JP2009236760A (ja) | 画像検出装置および検査装置 | |
JP2009103494A (ja) | 表面検査装置 | |
JP5297717B2 (ja) | 欠陥検出装置及び欠陥検出方法 | |
JP2001124538A (ja) | 物体表面の欠陥検査方法および欠陥検査装置 | |
KR101217173B1 (ko) | 기판검사장치 및 기판검사방법 | |
JP5787668B2 (ja) | 欠陥検出装置 | |
JP2007003332A (ja) | 板状体側面の欠陥検出方法及び欠陥検出装置 | |
JP2007033240A (ja) | 板状体の欠陥検出方法及び欠陥検出装置 | |
JP2010054273A (ja) | 欠陥検出装置及び欠陥検出方法 | |
JP2011007498A (ja) | 円筒体の表面検査装置 | |
JP2004212353A (ja) | 光学的検査装置 | |
JP2020079720A (ja) | 検査装置及び検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110708 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120926 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121009 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121205 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130521 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130617 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5297717 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |