TWI712317B - 用於檢查玻璃基板的開路/短路檢查機及其檢查方法 - Google Patents

Abstract

一種檢查一玻璃基板的檢查機，其中該玻璃基板包括各具一面板電路之複數個面板，且各該面板電路的至少其中之一為具有一短路及/或一開路之一缺陷電路，包含一位置掃瞄裝置，設置於該玻璃基板上方，以及一發光裝置，設置於該玻璃基板下方，且發出一反向光照射該缺陷電路，俾便該位置掃瞄裝置進行一第一位置掃瞄，其中當該位置掃瞄裝置發出一正向光與一側向光照射該缺陷電路時，該位置掃瞄裝置進行一第二位置掃瞄，加總該第一與該第二位置掃瞄之二結果，以獲得各該缺陷電路之各該短路及/或各該開路之一確切位置。

Description

用於檢查玻璃基板的開路/短路檢查機及其檢查方法

本發明涉及一種用於檢查一包含各具有一電路之複數個面板之玻璃基板的開路/短路檢查機及其檢查方法，尤指一種包含一發出一正向光與一側向光以同時照射一包含各具有一電路之複數個面板之玻璃基板之具有一短路及/或一開路之各該電路的位置掃瞄裝置以及一發出一反向光以照射具有該短路及/或該開路之各該電路之發光裝置的開路/短路檢查機。

目前用於檢查玻璃基板的開路/短路檢查機，其檢出開路/短路的精確度仍有待提升，俾能進一步地減少瑕疵與降低生產成本。如何改善現存用於檢查玻璃基板的開路/短路檢查機的功能，使得玻璃基板上電路的開路/短路的檢出率能被提高，是一值得深思的問題。

職是之故，發明人鑒於習知技術之缺失，乃思及改良發明之意念，終能發明出本案之「用於檢查玻璃基板的開路/短路檢查機及其檢查方法」。

本發明的主要目的在於提供一種開路/短路檢查機，用於一包括各具有一電路之複數個面板的玻璃基板，包括複數個線掃瞄感測器、一具有一位置檢查感測器及一自動光學檢測(AOI)裝置之位置掃瞄裝置以及一發光裝置，當各該電路的至少其中之一具有一短路及/或一開路時，該複數個線掃瞄感測器用以找出具有該開路及/或該短路的各該電路，該位置檢查感測器用於偵測該開路，該AOI裝置用於偵測該短路，該發光裝置發出一反向光以自該玻璃基板下方照射具有該開路及/或該短路的各該電路並對具有該開路及/或該短路的各該電路進行一第一位置掃瞄以確定具有該開路及/或該短路的各該電路的該開路及/或該短路的一第一位置，該位置掃瞄裝置發出一正向光與一側向光以分別自該玻璃基板上方及側上方同時照射具有該開路及/或該短路的各該電路並對具有該開路及/或該短路的各該電路進行一第二位置掃瞄，以確定具有該開路及/或該短路的各該電路的該開路及/或該短路的一第二位置，並加總該第一與該第二位置以找出具有該短路及/或該開路之各該電路的各該開路及/或各該短路的一確切位置，以提升各該開路及/或各該短路的檢出率。

本案之又一主要目的在於提供一種開路/短路檢查機，用於一包括各具有一電路之複數個面板的玻璃基板，包括一氣浮平台，一量測平台，一凹槽，設置於該氣浮平台與該量測平台間，一發光裝置，設置於該凹槽中，且沿著該凹槽水平移動，用於發出一反向光，以及一位置 掃瞄裝置，設置於該凹槽上方，用於當各該電路的至少其中之一具有一短路及/或一開路時，使該反向光沿著該凹槽照射位於該凹槽上方之具有該短路及/或該開路之各該電路，並沿著該凹槽上方進行一第一位置掃瞄以確認具有該短路及/或該開路之各該電路的各該短路及/或各該開路的一第一位置。

本案之下一主要目的在於提供一種開路/短路檢查機，用於一包括各具有一電路之複數個面板的玻璃基板，包括一凹槽，一發光裝置，設置於該凹槽中，且用於發出一反向光，以及一位置掃瞄裝置，用於當各該電路的至少其中之一具有一短路及/或一開路時，使該反向光照射位於該凹槽上方之具有該短路及/或該開路之各該電路，並沿著該凹槽上方進行一第一位置掃瞄以確認具有該短路及/或該開路的各該電路的該短路及/或該開路的一第一位置，且用於發射一正向光與一側向光，當該正向光與該側向光同時照射位於該凹槽上方具有該短路及/或該開路之各該電路時，沿著該凹槽上方進行一第二位置掃瞄以確認具有該短路及/或該開路之各該電路的該短路及/或該開路的一第二位置，且加總該第一位置與該第二位置，以獲得各該短路及/或各該開路的一確切位置。

本案之另一主要目的在於提供一種開路/短路檢查機的檢查方法，用於一包括各具有一電路之複數個面板的玻璃基板，其中該開路/短路檢查機包括一凹槽、一用於發出一反向光之發光裝置和用於發出一正向光與一 側向光之一位置掃瞄裝置，包含：(a)當各該電路的至少其中之一具有一短路及/或一開路時，使該反向光照射位於該凹槽上方之具有該短路及/或該開路之各該電路，並以該位置掃瞄裝置對位於該凹槽上方之具有該短路及/或該開路之各該電路進行一第一位置掃瞄以確認具有該短路及/或該開路的各該電路的該短路及/或該開路之一第一位置。

本案之再一主要目的在於提供一種檢查一玻璃基板的方法，其中該玻璃基板包括各具有一電路之複數個面板，包含：(a)當各該電路的至少其中之一具有一短路及/或一開路時，提供一反向光照射具有該短路及/或該開路之各該電路以對具有該短路及/或該開路之各該電路進行一第一位置掃瞄，以確認具有該短路及/或該開路之各該電路的該短路及/或該開路之一第一位置；(b)提供一正向光和一側向光同時照射具有該短路及/或該開路之各該電路以對具有該短路及/或該開路之各該電路進行一第二位置掃瞄，以確認具有該短路及/或該開路之各該電路的該短路及/或該開路之一第二位置；以及(c)加總該第一與該第二位置，以找到具有該短路及/或該開路之各該電路的各該短路及/或各該開路之一確切位置。

本案之又一主要目的在於提供一種檢查一玻璃基板的檢查機，其中該玻璃基板包括各具有一電路之複數個面板，包含一位置掃瞄裝置，設置於該玻璃基板上方，以及一發光裝置，設置於該玻璃基板下方，且當各該 電路的至少其中之一具有一短路及/或一開路時，發出一反向光照射具有該短路及/或該開路之各該電路，俾便該位置掃瞄裝置對具有該短路及/或該開路之各該電路進行一第一位置掃瞄，其中當該位置掃瞄裝置發出一正向光與一側向光照射具有該短路及/或該開路之各該電路時，使該位置掃瞄裝置對具有該短路及/或該開路之各該電路進行一第二位置掃瞄，加總該第一與該第二位置掃瞄之二結果，以獲得具有該短路及/或該開路之各該電路的各該短路及/或各該開路之一確切位置。

1‧‧‧開路/短路檢查機

11‧‧‧氣浮平台

110‧‧‧第一夾具

1101‧‧‧第一夾具移動方向

111‧‧‧第一/第二/第三/第四第二夾具

1111‧‧‧沿實質垂直於凹槽方向之第二/第三夾具移動方向

112‧‧‧第一/第二/第三/第四第三夾具

1121‧‧‧沿實質平行於凹槽方向之第二/第三夾具移動方向

113‧‧‧第四夾具

1131‧‧‧第四夾具移動方向

1132‧‧‧第四夾具補正方向

114‧‧‧旋轉平台

115‧‧‧氣浮平台第一側

116‧‧‧氣浮平台第二側/裝卸端

117‧‧‧氣浮平台第三側

118‧‧‧氣浮平台第四側

12‧‧‧量測平台

121‧‧‧量測平台第一側

122‧‧‧量測平台第二側

13‧‧‧凹槽

14‧‧‧發光裝置

141‧‧‧裝置支架

1411‧‧‧滑軌

142‧‧‧點光源

143‧‧‧發光裝置移動方向

15‧‧‧位置掃瞄裝置

151‧‧‧位置檢查感測器

152‧‧‧自動光學檢測裝置

153‧‧‧位置掃瞄裝置移動方向

16‧‧‧第一/第二/第三/第四線感測器

161‧‧‧第一線感測器間距調整方向

162‧‧‧第二線感測器間距調整方向

163‧‧‧第三線感測器間距調整方向

164‧‧‧第四線感測器間距調整方向

165‧‧‧線掃瞄移動方向

166‧‧‧第一線感測器掃瞄啟始位置

167‧‧‧第二線感測器掃瞄啟始位置

168‧‧‧第三線感測器掃瞄啟始位置

169‧‧‧第四線感測器掃瞄啟始位置

17‧‧‧第一/第二對位照相機

18‧‧‧龍門機構

181‧‧‧第一龍門移動滑軌

182‧‧‧第二龍門移動滑軌

183‧‧‧橫樑

184‧‧‧橫樑移動方向

19‧‧‧吹氣孔

191‧‧‧吹氣方向

2‧‧‧玻璃基板

21‧‧‧第一定位標誌

22‧‧‧第二定位標誌

23‧‧‧面板

231‧‧‧電路

2311‧‧‧閘極線

2312‧‧‧公用線

2313‧‧‧開路

2314‧‧‧短路

24‧‧‧工作距離

25‧‧‧玻璃基板氣浮距離

θ‧‧‧旋轉角度

L‧‧‧裝載方向

UL‧‧‧卸除方向

第一圖：其係顯示一依據本發明構想之較佳實施例的開路/短路檢查機之俯視圖。

第二圖：其係顯示一依據本發明構想之較佳實施例的開路/短路檢查機之發光裝置的立體圖。

第三圖：其係顯示一依據本發明構想之較佳實施例的開路/短路檢查機之右側視圖

第四圖：其係顯示一依據本發明構想之較佳實施例的開路/短路檢查機之檢查方法的流程圖。

第五圖(a)：其係顯示一具有一電路之一面板的一部份在受到一正向光照射時的灰階俯視圖。

第五圖(b)：其係顯示一具有一電路之一面板的一部份在受到一正向光和一側向光同時照射時的灰階俯視圖。

第五圖(c)：其係顯示一具有一電路之一面板的一部份在受到一反向光照射時的灰階俯視圖。

第六圖：其係顯示一依據本發明構想之較佳實施例的玻璃基板在進行線掃瞄時的一第一與第二定位標誌、一第一至一第四線感測器掃瞄啟始位置及一線掃瞄移動方向等的示意圖。

第一圖是顯示一依據本發明構想之較佳實施例的開路/短路檢查機之俯視圖。在第一圖中，一開路/短路檢查機1，用於一包括各具有一電路231(見第五圖(b))之複數個面板23的玻璃基板2(見第六圖)，包括一氣浮平台11、一量測平台12、一設置於該氣浮平台11與該量測平台12間的凹槽13、一發光裝置14，設置於該凹槽13中，且沿著該凹槽13水平移動(該發光裝置14是沿著一發光裝置移動方向143水平移動)，用於發出一反向光，以及一位置掃瞄裝置15，設置於該凹槽13上方，用於當各該電路231的至少其中之一具有一短路2314及/或一開路2313時，使該反向光沿著該凹槽13照射位於該凹槽13上方之具有該短路2314及/或該開路2313的各該電路231(該反向光自下方照射於該玻璃基板之示意圖，請參見第五圖(c))，並沿著該凹槽13上方進行一第一位置掃瞄以確認具有該短路2314及/或該開路2313的各該電路231的該短路2314及/或該開路2313的一第一位置(見第五圖(b))。

在第一圖中，該位置掃瞄裝置15具有一位置檢查感測器151及一自動光學檢測(AOI)裝置152，該位置檢查感測器151用於偵測該開路(見第五圖(b)的該開路2313)，該AOI裝置152用於偵測該短路(見第五圖(b)的該短路2314)，且該位置掃瞄裝置15是沿著一位置掃瞄裝置移動方向153而移動。

第二圖是顯示一依據本發明構想之較佳實施例的開路/短路檢查機之發光裝置的立體圖。在第二圖中，該發光裝置14包括一具有一滑軌1411之裝置支架141與一點光源142，該點光源142用於發出該反向光，且設置於該滑軌1411上以使該點光源142沿著該凹槽13水平移動。該AOI裝置152發出一正向光與一側向光，該正向光自該AOI裝置152垂直向一特定面板23之具有該短路及/或該開路之該電路231照射，該側向光自該玻璃基板2之一側上方向該電路231照射(見第一圖，而該正向光與該側向光照射於該玻璃基板上時之示意圖，請參見第五圖(b))。當該正向光與該側向光同時照射該電路231時，使該位置掃瞄裝置15沿著實質與該凹槽13平行之一方向對該特定面板23之具有該短路及/或該開路之該電路231進行一第二位置掃瞄以確認該電路231具有該短路及/或該開路的一第二位置(見第五圖(b)的該開路2313與該短路2314)，加總該第一位置與該第二位置，以獲得各該短路及/或各該開路的一確切位置。

上述之該反向光包括複數個均勻的平行光 束。在第一圖中，該反向光自該凹槽13中向該玻璃基板2上的複數個面板23的至少其中之一的具有該短路及/或該開路的該電路231(參看第五圖(c))照射，且當該發光裝置14設置於該凹槽13中時，該點光源142與該玻璃基板2間的一工作距離24是相距100mm(見第二圖)。當該發光裝置14發出該反向光時，該AOI裝置152不發出該正向光與側向光，而當該AOI裝置152發出該正向光與該側向光時，該發光裝置14則不發出該反向光。

在第一圖中，該開路/短路檢查機1更包括一第一至一第四線感測器16、一第一與一第二對位照相機17與一龍門機構18，其中該龍門機構18具有一第一龍門移動滑軌181與一第二龍門移動滑軌182和一橫樑183。該第一龍門移動滑軌181與該第二龍門移動滑軌182是分別設置於該量測平台12的一第一側121的外緣與一第二側122的外緣，且該第一龍門移動滑軌181與該第二龍門移動滑軌182是實質上垂直於該凹槽13。該橫樑183設置於該第一龍門移動滑軌181與該第二龍門移動滑軌182上，且位於該量測平台12上方。該第一至該第四線感測器16、該第一與該第二對準相機17、該位置檢查感測器151及該AOI裝置152是設置於該橫樑183的不同高度及/或位置上。該玻璃基板2的右上角與右下角分別具有一第一定位標誌21與一第二定位標誌22，該玻璃基板2具有複數個面板23，該複數個面板23分為m列，每列具有n個面板，m與n為正整數(見第六圖，m=2,n=4)。當該開路/短路檢查機1開始一第一次線 掃瞄時，該第一對準相機17對準該第一定位標誌21，該第二對準相機17對準該第二定位標誌22。該第一與該第二線感測器16分別依據一第一線感測器間距調整方向161與一第二線感測器間距調整方向162移動至該第一列的一第一個面板23上的一第一線感測器掃瞄啟始位置166與一第二線感測器掃瞄啟始位置167，同時，該第三與該第四線感測器16則分別依據一第三線感測器間距調整方向163與一第四線感測器間距調整方向164移動至鄰接該第一列的一第二列的一第一個面板23上的一第三線感測器掃瞄啟始位置168與一第四線感測器掃瞄啟始位置169，以進行該第一次線掃瞄(依據一線掃瞄移動方向165，參見第六圖)，以此類推，直至該複數個面板23全部被掃瞄完畢；而後使具有該開路2313及/或該短路2314之各該電路231(見第五圖(b))逐一被移動至位於該凹槽13上方之位置，以進行該第一位置掃瞄與該第二位置掃瞄。

如第一圖所示之該開路/短路檢查機1更包括複數個吹氣孔19(見第三圖，氣體是沿一吹氣方向191吹出，以使該玻璃基板2與該量測平台12或該氣浮平台11間有一氣浮距離25)、一裝卸端116、兩個第一夾具110、一第一至一第四第二夾具111、一第一至一第四第三夾具112、一第四夾具113與一旋轉平台114。其中，該複數個吹氣孔19位於該量測平台12下方一隅，用於向該玻璃基板2吹氣，以使該玻璃基板2上的複數個微粒被吹走，且當該複數個吹氣孔19進行吹氣時，使該玻璃基板2懸浮於該氣 浮平台11或該量測平台12上方，且使該玻璃基板2與該氣浮平台11或該量測平台12間相距20-30微米。該玻璃基板2是沿著實質垂直於該凹槽13之一裝載方向L，經由該裝卸端116被裝載至該氣浮平台11上，或沿著一卸除方向UL，經由該裝卸端116自該氣浮平台11上卸除下來。該兩個第一夾具110是位於該氣浮平台11的平行於該裝載方向L或該卸除方向UL的一第一側115外緣，用於當該玻璃基板2裝載至該氣浮平台11上時，夾緊該玻璃基板2。而該第一與該第二第二夾具111和該第一與該第二第三夾具112是位於該氣浮平台11的一第二側/該裝卸端116，該第三第二夾具111和該第三第三夾具112是位於該氣浮平台11的一第三側117，該第四第二夾具111和該第四第三夾具112是位於該氣浮平台11的一第四側118。當該玻璃基板2與該裝載方向L或該卸除方向UL間具有一0度或180度之夾角時，該第一至該第四第二夾具111用於夾緊該玻璃基板2於該氣浮平台11上。該第一至該第四第三夾具112是當該玻璃基板2與該裝載方向L或該卸除方向UL有一90度或270度之夾角時，用於夾緊該玻璃基板2於該氣浮平台11上；使該旋轉平台114經由抽真空而緊密吸附於該玻璃基板2，俾藉由旋轉該旋轉平台114以一旋轉角度θ旋轉該玻璃基板。該第四夾具113位於該氣浮平台11的該第一側115外緣或該量測平台12之一第一側121外緣，用於經抽真空以緊密吸附於該玻璃基板2，俾協同該緊密吸附於該玻璃基板2之旋轉平台114將該玻璃基板2自該氣浮平台11移動 至該量測平台12、自該量測平台12移動至該凹槽13上方，或自該凹槽13上方移動至該裝卸端116。

在第一圖中，該開路/短路檢查機1的各該第一夾具110、各該第二夾具111與各該第三夾具112均呈一圓形，而該第四夾具113呈一長條形。當使用各該第一至各該第三夾具110~112時，各該第一至各該第三夾具110~112首先向上伸起，而後朝向該玻璃基板2移動(參看第一圖中：第一夾具移動方向1101，沿實質垂直於凹槽方向之第二/第三夾具移動方向1111與沿實質平行於凹槽方向之第二/第三夾具移動方向1121)，夾緊於該玻璃基板2，以使該玻璃基板2被固定；當使用該第四夾具113時，該第四夾具113首先向上伸起貼合於該玻璃基板2，而後使該第四夾具113藉由抽真空而緊密地吸附於該玻璃基板2；當停止使用各該第一至各該第三夾具110~112或該第四夾具113時，使各該第一至各該第三夾具110~112自該玻璃基板2鬆開，或停止抽真空而使該第四夾具113自該玻璃基板2鬆開，而後使各該第一至各該第三夾具110~112或該第四夾具113自該玻璃基板2向外移動且向下降，以回歸其未被使用時之一原位；其中該玻璃基板2為一顯示螢幕之一陣列基板。

第四圖是顯示一依據本發明構想之較佳實施例的開路/短路檢查機之檢查方法的流程圖。在第四圖中，該檢查方法包括步驟S1~S18。步驟S1包括：裝載玻璃基板；步驟S2包括：第一至第四夾具上升；步驟S3包括： 向氣浮平台吹氣和將第一與第二夾具向玻璃基板移動；(如玻璃基板需旋轉90度時，則進入步驟S4~S5)，步驟S4包括：將玻璃基板旋轉馬達向上升和開啟吸真空電源；步驟S5包括：將玻璃基板旋轉90度和關閉吸真空電源；步驟S6包括：開啟第四夾具的吸真空電源；步驟S7包括：將玻璃基板傳送至量測平台；步驟S8包括：進行一光學對位(第四夾具的軸向調整)、開啟第四夾具的吸真空電源，及將第四夾具向下降；步驟S9包括：將線感測器移動至量測起點；步驟S10包括：進行線掃瞄並量測短路/斷路；步驟S11包括：判斷是否發現瑕疵，如是則進行步驟S12，如否則進行步驟S16；步驟S12包括：將第四夾具上升及對量測平台吹氣；步驟S13包括：以第四夾具將玻璃基板傳送至位置掃瞄區；步驟S14包括：進行位置掃瞄；步驟S15包括：確認缺陷位置；步驟S16包括：以第四夾具將玻璃基板傳送至卸除位置；步驟S17包括：停止吹氣、關閉第四夾具的吸真空電源及將第四夾具向下降；步驟S18包括：卸除玻璃基板。其中步驟14的位置掃瞄是由位置掃瞄裝置15的位置檢查感測器151及/或AOI裝置152來進行的(參見第一圖)。

第五圖(a)是顯示一具有一電路之一面板的一部份在受到一正向光照射時的灰階俯視圖。在第五圖(a)中，該面板23具有一電路231。該電路231具有複數個閘極線2311與複數個公用線2312。因為該面板23下方之氣浮平台11/量測平台12的材質是不反光的，因此沒有電路處呈 現黑色，且因正向光由上向下照射，故公用線(Com)的灰階圖不明顯；因閘極線2311會反光，故閘極線2311上的開路易檢出；但是閘極線2311與公用線2312間的短路(GCS)，因Com的灰階圖不明顯不易檢出。

第五圖(b)是顯示一具有一電路之一面板的一部份在受到一正向光和一側向光同時照射時的灰階俯視圖。如第五圖(b)所示，該面板23具有複數個閘極線2311及複數個公用線2312，且亦顯示了一開路2313與一短路2314。在第五圖(b)中因有側向光從玻璃基板2的側上方照射，玻璃基板2的玻璃部份會反光，故其灰階圖較第五圖(a)者明亮。因為第五圖(b)的灰階明顯，所以GCS(例如2314)和閘極線2311上的開路及公用線2312上的開路(例如2313)理論上都能檢出。

第五圖(c)是顯示一具有一電路之一面板的一部份在受到一反向光照射時的灰階俯視圖。如第五圖(c)所示，該面板23的一電路231具有複數個閘極線2311與複數個公用線2312。在第五圖(c)中因是反向光從該特定面板23的一部份之下方向上照射，故複數個閘極線2311的不反光部分顏色較第五圖(b)者深。因為第五圖(c)的灰階亦明顯，所以GCS易檢出。但因反向光是從該特定面板23的一部分之下方向上照射，故在該特定面板23上方的另一側之閘極線的開路與公用線的開路無法檢出。

上述第五圖(a)至第五圖(c)是分別在三個工作點(A1840/A1850/A1855)以正向光/正向光+側向光/反向光檢測某一特定面板23的一部份之電路231的GCS。其中，上述三種不同方式總共檢測到42點GCS(含A1840的誤檢出)，其中A1840共檢出34點GCS(含其誤檢出的數量)，A1850共檢出32點GCS，A1855共檢出34點GCS。故，反向光在GCS檢出上略優於正向光+側向光。因此，在本發明中以反向光檢出的GCS位置/結果加總正向光+側向光檢出的GCS位置/結果，將會優於僅以反向光檢出的GCS位置/結果或僅以正向光+側向光檢出的GCS位置/結果。

第六圖是顯示一依據本發明構想之較佳實施例的玻璃基板在進行線掃瞄時之一第一與一第二定位標誌、一第一至一第四線感測器掃瞄啟始位置、一面板上半部、一面板下半部及一線掃瞄移動方向等的示意圖。在第六圖中，其顯示了該玻璃基板2具有複數個面板23(在第六圖中，其顯示為2列4行，共12個面板)，且該玻璃基板2具有一第一定位標誌21與一第二定位標誌22；進行一第一至一第四線掃瞄時之一第一線感測器掃瞄啟始位置166、一第二線感測器掃瞄啟始位置167、一第三線感測器掃瞄啟始位置168與一第四線感測器掃瞄啟始位置169；以及一線掃瞄移動方向165。

實施例：

1.一種開路/短路檢查機，用於一包括各具有一電路之複數個面板的玻璃基板，包括：一氣浮平台； 一量測平台；一凹槽，設置於該氣浮平台與該量測平台間；一發光裝置，設置於該凹槽中，且沿著該凹槽水平移動，用於發出一反向光；以及一位置掃瞄裝置，設置於該凹槽上方，用於當各該電路的至少其中之一具有一短路及/或一開路時，使該反向光沿著該凹槽照射位於該凹槽上方之具有該短路及/或該開路之各該電路，並沿著該凹槽上方進行一第一位置掃瞄以確認具有該短路及/或該開路之各該電路的該短路及/或該開路的一第一位置。

2.根據實施例1所述之開路/短路檢查機，其中該位置掃瞄裝置具有一位置檢查感測器及一自動光學檢測(AOI)裝置，該位置檢查感測器用於偵測該開路，該AOI裝置用於偵測該短路，該發光裝置包括一具有一滑軌之裝置支架與一點光源，該點光源用於發出該反向光，且設置於該滑軌上以使該點光源沿著該凹槽水平移動，該AOI裝置發出一正向光與一側向光，該正向光自該AOI裝置垂直向具有該短路及/或該開路之各該電路照射，該側向光自該玻璃基板之一側上方向具有該短路及/或該開路之各該電路照射，當該正向光與該側向光同時照射具有該短路及/或該開路之各該電路時，使該位置掃瞄裝置沿著該凹槽上方進行一第二位置掃瞄以確認具有該短路及/或該開路之各該電路之該短路及/或該開路的一第二位置，加總該第一位置與該第二位置，以獲得具有該短路及/或該開路之各該電路的各該短路及/或各該開路的一確切位置。

3.根據實施例1或2所述之開路/短路檢查機，其中該反向光自該凹槽中向該玻璃基板照射，且當該發光裝置設置於該凹槽中時，該點光源與該玻璃基板間的一工作距離是相距100mm，當該發光裝置發出該反向光時，該AOI不發出該正向光與側向光，而當該AOI裝置發出該正向光與該側向光時，該發光裝置則不發出該反向光。

4.根據實施例1或2所述之開路/短路檢查機，更包括一第一至一第四線感測器、一第一與一第二對位照相機與一龍門機構，其中該龍門機構具有一第一與一第二龍門移動滑軌和一橫樑，該第一與該第二龍門移動滑軌是分別設置於該量測平台的一第一側的外緣與一第二側的外緣，且該第一與該第二龍門移動滑軌是實質上垂直於該凹槽，該橫樑設置於該第一龍門移動滑軌與該第二龍門移動滑軌上，且位於該量測平台上方，該第一至該第四線感測器、該第一與該第二對準相機、該位置檢查感測器及該AOI裝置是設置於該橫樑的不同高度及/或位置上，該玻璃基板的右上角與右下角分別具有一第一定位標誌與一第二定位標誌，該複數個面板分為m列，每列 具有n個面板，m與n為正整數，當該開路/短路檢查機開始一第一次線掃瞄時，該第一對準相機對準該第一定位標誌，該第二對準相機對準該第二定位標誌，該第一與該第二線感測器分別依據一第一線感測器間距調整方向與一第二線感測器間距調整方向移動至一第一列的一第一個面板上的一第一與一第二線感測器掃瞄啟始位置，同時，該第三與該第四線感測器則分別依據一第三線感測器間距調整方向與一第四線感測器間距調整方向移動至鄰接該第一列之一第二列的一第一個面板上的一第三與一第四線感測器掃瞄啟始位置，以依據一線掃瞄移動方向進行該第一次線掃瞄，以此類推，直至該複數個面板全部被掃瞄完畢；而後使具有該開路及/或該短路之各該電路逐一被移動至位於該凹槽上方之位置，以進行該第一位置掃瞄與該第二位置掃瞄。

5.根據實施例1或2所述之開路/短路檢查機，更包括複數個吹氣孔、一裝卸端、兩個第一夾具、一第一至一第四第二夾具、一第一至一第四第三夾具、一第四夾具與一旋轉平台，其中該複數個吹氣孔位於該量測平台下方一隅，用於向該玻璃基板吹氣，以使該玻璃基板上的複數個微粒被吹走，且當該複數個吹氣孔進行吹氣時，使該玻璃基板懸浮於該氣浮平台或該量測平台上方，且使該玻璃基板與該氣浮平台或該量測平台間相距20-30微 米，該玻璃基板是沿著實質垂直於該凹槽之一裝載方向，經由該裝卸端被裝載至該氣浮平台上，或沿著一卸除方向，經由該裝卸端自該氣浮平台上卸除下來，該兩個第一夾具是位於該氣浮平台的平行於該裝載方向或該卸除方向的一第一側外緣，用於當該玻璃基板裝載至該氣浮平台上時，夾緊該玻璃基板，而該第一與該第二第二夾具和該第一與該第二第三夾具是位於該氣浮平台的一第二側，該第三第二夾具和該第三第三夾具是位於該氣浮平台的一第三側，該第四第二夾具和該第四第三夾具是位於該氣浮平台的一第四側，當該玻璃基板與該裝載方向或該卸除方向間具有一0度或180度之夾角時，該第一至該第四第二夾具用於夾緊該玻璃基板於該氣浮平台上，該第一至該第四第三夾具是當該玻璃基板與該裝載方向或該卸除方向間具有一90度或270度之夾角時，用於夾緊該玻璃基板於該氣浮平台上，使該旋轉平台經由抽真空而緊密吸附於該玻璃基板，俾藉由旋轉該旋轉平台以旋轉該玻璃基板，該第四夾具位於該氣浮平台的該第一側外緣或該量測平台之一第一側外緣，用於經抽真空以緊密吸附於該玻璃基板，俾協同該緊密吸附於該玻璃基板之旋轉平台將該玻璃基板自該氣浮平台移動至該量測平台、自該量測平台移動至該凹槽上方，或自該凹槽上方移動至該裝卸端。

6.根據以上任一實施例所述之開路/短路檢查機，其中各該第一至各該第三夾具呈一圓形，該第四夾具呈一長條形，當使用各該第一至各該第三夾具時，各該第一至各該第三夾具首先向上伸起，而後朝向該玻璃基板移動，夾緊於該玻璃基板，以使該玻璃基板被固定；當使用該第四夾具時，該第四夾具首先向上伸起貼合於該玻璃基板，而後使該第四夾具藉由抽真空而緊密地吸附於該玻璃基板；當停止使用各該第一至各該第三夾具或該第四夾具時，使各該第一至各該第三夾具自該玻璃基板鬆開，或停止抽真空而使該第四夾具自該玻璃基板鬆開，而後使各該第一至各該第三夾具或該第四夾具自該玻璃基板向外移動且向下降，以回歸其未被使用時之一原位，其中該玻璃基板為一顯示螢幕之一陣列基板。

7.一種開路/短路檢查機，用於一包括各具有一電路之複數個面板的玻璃基板，包括：一凹槽；一發光裝置，設置於該凹槽中，且用於發出一反向光；以及一位置掃瞄裝置，用於當各該電路的至少其中之一具有一短路及/或一開路時，使該反向光照射位於該凹槽上方之具有該短路及/或該開路之各該電路，並沿著該凹槽上方進行一第一位置掃瞄以確認各該電路具有該短路 及/或該開路的一第一位置，且用於發射一正向光與一側向光，當該正向光與該側向光同時照射位於該凹槽上方具有該短路及/或該開路之各該電路時，沿著該凹槽上方進行一第二位置掃瞄以確認具有該短路及/或該開路之各該電路的該短路及/或各該開路的一第二位置，且加總該第一位置與該第二位置，以獲得具有該短路及/或該開路之各該電路之各該短路及/或各該開路的一確切位置。

8.一種開路/短路檢查機的檢查方法，用於一包括各具有一電路之複數個面板的玻璃基板，其中該開路/短路檢查機包括一凹槽、一用於發出一反向光之發光裝置和用於發出一正向光與一側向光之一位置掃瞄裝置，包含：(a)當各該電路的至少其中之一具有一短路及/或一開路時，使該反向光照射位於該凹槽上方之具有該短路及/或該開路之各該電路，並以該位置掃瞄裝置對位於該凹槽上方之具有該短路及/或該開路之各該電路進行一第一位置掃瞄，以確認具有該短路及/或該開路之各該電路的該短路及/或該開路的一第一位置。

9.根據實施例8所述之開路/短路檢查機的檢查方法，其中該開路/短路檢查機更包括一氣浮平台、一量測平台、一第一至一第四線感測器、一第一與一第二對位照相機與一龍門機構，該凹槽位於該氣浮平台與該量測平 台間，該龍門機構具有一第一與一第二龍門移動滑軌和一橫樑，該第一與該第二龍門移動滑軌是分別設置於該量測平台的一第一側的外緣與一第二側的外緣，該第一與該第二龍門移動滑軌實質上垂直於該凹槽，該橫樑設置於該第一龍門移動滑軌與該第二龍門移動滑軌上且位於該量測平台上方，該位置掃瞄裝置具有用於偵測該開路之一位置檢查感測器，與用於偵測該短路之一自動光學檢測(AOI)裝置，該第一至該第四線感測器、該第一與該第二對準相機、該位置檢查感測器及該AOI裝置是設置於該橫樑的不同高度及/或位置上，該玻璃基板的右上角與右下角分別具有一第一定位標誌與一第二定位標誌，該複數個面板分為m列，每列具有n個面板，m與n為正整數，且更包括：(a1)當該開路/短路檢查機開始一第一次線掃瞄時，使該第一對準相機對準該第一定位標誌，且使該第二對準相機對準該第二定位標誌；(a2)使該第一與該第二線感測器分別移動至該第一列的一第一個面板上的一第一與一第二線感測器掃瞄啟始位置，同時，使該第三與該第四線感測器分別移動至鄰接該第一列之一第二列的一第一個面板上的一第三與一第四線感測器掃瞄啟始位置，以進行該第一次線掃瞄； (a3)重複步驟(a1)至(a2)直至該複數個面板全部被掃瞄完畢；(a4)當該複數個面板全部被掃瞄完畢後，若該開路及/或該短路被偵測到時，則使具有該開路及/或該短路之各該電路被逐一依序移動至位於該凹槽上方之位置；(a5)使該位置掃瞄裝置在沿該凹槽移動之該反向光之照射下，針對位於該凹槽上方之具有該短路及/或該開路之各該電路進行該第一位置掃瞄，以找到具有該短路及/或該開路之各該電路的該短路及/或該開路之一第一位置；(a6)當該正向光與該側向光同時照射位於該凹槽上方之具有該短路及/或該開路之各該電路時，以該位置掃瞄裝置對位於該凹槽上方之具有該短路及/或該開路之各該電路進行一第二位置掃瞄，以找到具有該短路及/或該開路之各該電路的該短路及/或該開路的一第二位置；以及(a7)加總該第一位置與該第二位置，以獲得具有該短路及/或該開路之各該電路的各該短路及/或各該開路的一確切位置。

10.一種檢查一玻璃基板的方法，其中該玻璃基板包括各具有一電路之複數個面板，包含：(a)當各該電路的至少其中之一具有一短路及/或一開路時，提供一反向光照射具有該短路及/或該開路之各該 電路以對具有該短路及/或該開路之各該電路進行一第一位置掃瞄，以確認具有該短路及/或該開路之各該電路的該短路及/或該開路之一第一位置；(b)提供一正向光和一側向光同時照射具有該短路及/或該開路之各該電路以對具有該短路及/或該開路之各該電路進行一第二位置掃瞄，以確認具有該短路及/或該開路之各該電路的該短路及/或該開路之一第二位置；以及(c)加總該第一與該第二位置，以找到具有該短路及/或該開路之各該電路的各該短路及/或各該開路之一確切位置。

11.根據實施例10所述之檢查該玻璃基板的方法，更包括提供具有一位置檢查感測器及一自動光學檢測(AOI)裝置之一位置掃瞄裝置與設置於一凹槽中之一發光裝置；其中該正向光與該側向光是由該AOI裝置所發出，該反向光是由該發光裝置所發出，該正向光與該側向光是分別自該玻璃基板之上方與側上方向具有該短路及/或該開路之各該電路照射，且該反向光是自該玻璃基板之下方向上照射，該第一與該第二位置掃瞄是由該位置掃瞄裝置所進行，該位置檢查感測器用於偵測各該開路，且該AOI裝置用於偵測各該短路。

12.一種檢查一玻璃基板的檢查機，其中該玻璃基板包括各具有一電路之複數個面板，包含： 一位置掃瞄裝置，設置於該玻璃基板上方；以及一發光裝置，設置於該玻璃基板下方，且當各該電路的至少其中之一具有一短路及/或一開路時，發出一反向光照射具有該短路及/或該開路之各該電路，俾便該位置掃瞄裝置對具有該短路及/或該開路之各該電路進行一第一位置掃瞄，其中當該位置掃瞄裝置發出一正向光與一側向光照射具有該短路及/或該開路之各該電路時，使該位置掃瞄裝置對具有該短路及/或該開路之各該電路進行一第二位置掃瞄，加總該第一與該第二位置掃瞄之二結果，以獲得具有該短路及/或該開路之各該電路的各該短路及/或各該開路之一確切位置。

13.根據實施例12所述之檢查機，其中該位置掃瞄裝置包括一位置檢查感測器與一自動光學檢測(AOI)裝置，其中該反向光是自該玻璃基板下方向上照射，該AOI裝置發射該正向光與該側向光，該正向光自該玻璃基板上方向下照射，該側向光自該玻璃基板的側上方向具有該短路及/或該開路之各該電路照射，該AOI裝置用於偵測該短路，該位置檢查感測器用於偵測該開路。

綜上所述，本發明提供一種開路/短路檢查機，用於一包括各具有一電路之複數個面板的玻璃基板，包括複數個線掃瞄感測器、一具有一位置檢查感測器及一自動光學檢測(AOI)裝置之位置掃瞄裝置以及一發光裝置，當各該電路的至少其中之一具有一短路及/或一開路 時，該複數個線掃瞄感測器用以找出具有該開路及/或該短路的各該電路，該位置檢查感測器用於偵測該開路，該AOI裝置用於偵測該短路，該發光裝置發出一反向光以自該玻璃基板下方照射具有該開路及/或該短路的各該電路並對具有該開路及/或該短路的各該電路進行一第一位置掃瞄以確定具有該開路及/或該短路的各該電路的該開路及/或該短路的一第一位置，該位置掃瞄裝置發出一正向光與一側向光以分別自該玻璃基板上方及側上方同時照射具有該開路及/或該短路的各該電路並對具有該開路及/或該短路的各該電路進行一第二位置掃瞄，以確定具有該開路及/或該短路的各該電路的該開路及/或該短路的一第二位置，並加總該第一與該第二位置以找出具有該開路及/或該短路的各該電路的各該開路及/或各該短路的一確切位置，以提升各該開路及/或各該短路的檢出率，故其確實具有新穎性與進步性。

是以，縱使本案已由上述之實施例所詳細敘述而可由熟悉本技藝之人士任施匠思而為諸般修飾，然皆不脫如附申請專利範圍所欲保護者。

1‧‧‧開路/短路檢查機

11‧‧‧氣浮平台

110‧‧‧第一夾具

1101‧‧‧第一夾具移動方向

111‧‧‧第一/第二/第三/第四第二夾具

1111‧‧‧沿實質垂直於凹槽方向之第二/第三夾具移動方向

112‧‧‧第一/第二/第三/第四第三夾具

1121‧‧‧沿實質平行於凹槽方向之第二/第三夾具移動方向

113‧‧‧第四夾具

1131‧‧‧第四夾具移動方向

1132‧‧‧第四夾具補正方向

114‧‧‧旋轉平台

115‧‧‧氣浮平台第一側

116‧‧‧氣浮平台第二側/裝卸端

117‧‧‧氣浮平台第三側

118‧‧‧氣浮平台第四側

12‧‧‧量測平台

121‧‧‧量測平台第一側

122‧‧‧量測平台第二側

13‧‧‧凹槽

14‧‧‧發光裝置

143‧‧‧發光裝置移動方向

15‧‧‧位置掃瞄裝置

151‧‧‧位置檢查感測器

152‧‧‧自動光學檢測裝置

153‧‧‧位置掃瞄裝置移動方向

16‧‧‧第一/第二/第三/第四線感測器

161‧‧‧第一線感測器間距調整方向

162‧‧‧第二線感測器間距調整方向

163‧‧‧第三線感測器間距調整方向

164‧‧‧第四線感測器間距調整方向

17‧‧‧第一/第二對位照相機

18‧‧‧龍門機構

181‧‧‧第一龍門移動滑軌

182‧‧‧第二龍門移動滑軌

183‧‧‧橫樑

184‧‧‧橫樑移動方向

θ‧‧‧旋轉角度

L‧‧‧裝載方向

UL‧‧‧卸除方向

Claims (12)

1. 一種開路/短路檢查機，用於一包括各具有一電路之複數個面板的玻璃基板，包括：一氣浮平台；一量測平台；一凹槽，設置於該氣浮平台與該量測平台間；一發光裝置，設置於該凹槽中，且包括一具有一滑軌之裝置支架與一點光源，其中該點光源用於發出一反向光，且設置於該滑軌上以使該點光源沿著該凹槽水平移動；以及一位置掃瞄裝置，設置於該凹槽上方，用於當各該電路的至少其中之一具有一短路及/或一開路時，使該反向光沿著該凹槽照射位於該凹槽上方之具有該短路及/或該開路之各該電路，並沿著該凹槽上方進行一第一位置掃瞄以確認具有該短路及/或該開路之各該電路的該短路及/或該開路的一第一位置，其中該位置掃瞄裝置具有：一位置檢查感測器，以及；一自動光學檢測(AOI)裝置，該位置檢查感測器用於偵測該開路，該AOI裝置用於偵測該短路，該AOI裝置發出一正向光與一側向光，該正向光自該AOI裝置垂直向具有該短路及/或該開路之各該電路照射，該側向光自該玻璃基板之一側上方向具有該短路及/或該開路之各該 電路照射，當該正向光與該側向光同時照射具有該短路及/或該開路之各該電路時，使該位置掃瞄裝置沿著該凹槽上方進行一第二位置掃瞄以確認具有該短路及/或該開路之各該電路之該短路及/或該開路的一第二位置，加總該第一位置與該第二位置，以獲得具有該短路及/或該開路之各該電路的各該短路及/或各該開路的一確切位置。
2. 如申請專利範圍第1項所述之開路/短路檢查機，其中該反向光自該凹槽中向該玻璃基板照射，且當該發光裝置設置於該凹槽中時，該點光源與該玻璃基板間的一工作距離是相距100mm，當該發光裝置發出該反向光時，該AOI不發出該正向光與側向光，而當該AOI裝置發出該正向光與該側向光時，該發光裝置則不發出該反向光。
3. 如申請專利範圍第1項所述之開路/短路檢查機，更包括一第一至一第四線感測器、一第一與一第二對位照相機與一龍門機構，其中該龍門機構具有一第一與一第二龍門移動滑軌和一橫樑，該第一與該第二龍門移動滑軌是分別設置於該量測平台的一第一側的外緣與一第二側的外緣，且該第一與該第二龍門移動滑軌是實質上垂直於該凹槽，該橫樑設置於該第一龍門移動滑軌與該第二龍門移動滑軌上，且位於該量測平台上方，該第一至該第四線感測器、該第一與該第二對準相機、該位置檢查感測器及該AOI裝置是設置於該橫樑的不同高度及/或位置上，該玻璃基板 的右上角與右下角分別具有一第一定位標誌與一第二定位標誌，該複數個面板分為m列，每列具有n個面板，m與n為正整數，當該開路/短路檢查機開始一第一次線掃瞄時，該第一對準相機對準該第一定位標誌，該第二對準相機對準該第二定位標誌，該第一與該第二線感測器分別依據一第一線感測器間距調整方向與一第二線感測器間距調整方向移動至該第一列的一第一個面板上的一第一與一第二線感測器掃瞄啟始位置，同時，該第三與該第四線感測器則分別依據一第三線感測器間距調整方向與一第四線感測器間距調整方向移動至鄰接該第一列之一第二列的一第一個面板上的一第三與一第四線感測器掃瞄啟始位置，以依據一線掃瞄移動方向進行該第一次線掃瞄，以此類推，直至該複數個面板全部被掃瞄完畢；而後使具有該開路及/或該短路之各該電路逐一被移動至位於該凹槽上方之位置，以進行該第一位置掃瞄與該第二位置掃瞄。
4. 如申請專利範圍第1項所述之開路/短路檢查機，更包括複數個吹氣孔、一裝卸端、兩個第一夾具、一第一至一第四第二夾具、一第一至一第四第三夾具、一第四夾具與一旋轉平台，其中該複數個吹氣孔位於該量測平台下方一隅，用於向該玻璃基板吹氣，以使該玻璃基板上的複數個微粒被吹走，且當該複數個吹氣孔進行吹氣時，使該玻璃 基板懸浮於該氣浮平台或該量測平台上方，且使該玻璃基板與該氣浮平台或該量測平台間相距20-30微米，該玻璃基板是沿著實質垂直於該凹槽之一裝載方向，經由該裝卸端被裝載至該氣浮平台上，或沿著一卸除方向，經由該裝卸端自該氣浮平台上卸除下來，該兩個第一夾具是位於該氣浮平台的平行於該裝載方向或該卸除方向的一第一側外緣，用於當該玻璃基板裝載至該氣浮平台上時，夾緊該玻璃基板，而該第一與該第二第二夾具和該第一與該第二第三夾具是位於該氣浮平台的一第二側，該第三第二夾具和該第三第三夾具是位於該氣浮平台的一第三側，該第四第二夾具和該第四第三夾具是位於該氣浮平台的一第四側，當該玻璃基板與該裝載方向或該卸除方向間具有一0度或180度之夾角時，該第一至該第四第二夾具用於夾緊該玻璃基板於該氣浮平台上，該第一至該第四第三夾具是當該玻璃基板與該裝載方向或該卸除方向間具有一90度或270度之夾角時，用於夾緊該玻璃基板於該氣浮平台上，使該旋轉平台經由抽真空而緊密吸附於該玻璃基板，俾藉由旋轉該旋轉平台以旋轉該玻璃基板，該第四夾具位於該氣浮平台的該第一側外緣或該量測平台之一第一側外緣，用於經抽真空以緊密吸附於該玻璃基板，俾協同該緊密吸附於該玻璃基板之旋轉平台將該玻璃基板自該氣 浮平台移動至該量測平台、自該量測平台移動至該凹槽上方，或自該凹槽上方移動至該裝卸端。
5. 如申請專利範圍第4項所述之開路/短路檢查機，其中各該第一至各該第三夾具呈一圓形，該第四夾具呈一長條形，當使用各該第一至各該第三夾具時，各該第一至各該第三夾具首先向上伸起，而後朝向該玻璃基板移動，夾緊於該玻璃基板，以使該玻璃基板被固定；當使用該第四夾具時，該第四夾具首先向上伸起貼合於該玻璃基板，而後使該第四夾具藉由抽真空而緊密地吸附於該玻璃基板；當停止使用各該第一至各該第三夾具或該第四夾具時，使各該第一至各該第三夾具自該玻璃基板鬆開，或停止抽真空而使該第四夾具自該玻璃基板鬆開，而後使各該第一至各該第三夾具或該第四夾具自該玻璃基板向外移動且向下降，以回歸其未被使用時之一原位，其中該玻璃基板為一顯示螢幕之一陣列基板。
6. 一種開路/短路檢查機，用於一包括各具有一電路之複數個面板的玻璃基板，包括：一凹槽；一發光裝置，設置於該凹槽中，且用於發出一反向光；以及一位置掃瞄裝置，用於當各該電路的至少其中之一具有一短路及/或一開路時，使該反向光照射位於該凹槽上 方之具有該短路及/或該開路之各該電路，並沿該凹槽上方進行一第一位置掃瞄以確認具有該短路及/或該開路的各該電路的該短路及/或該開路的一第一位置，且用於發射一正向光與一側向光，當該正向光與該側向光同時照射位於該凹槽上方具有該短路及/或該開路之各該電路時，沿著該凹槽上方進行一第二位置掃瞄以確認具有該短路及/或該開路的各該電路的該短路及/或該開路的一第二位置，且加總該第一位置與該第二位置，以獲得具有該短路及/或該開路的各該電路的各該短路及/或各該開路的一確切位置。
7. 一種開路/短路檢查機的檢查方法，用於一包括各具有一電路之複數個面板的玻璃基板，其中該開路/短路檢查機包括一凹槽、一用於發出一反向光之發光裝置和用於發出一正向光與一側向光之一位置掃瞄裝置，該發光裝置包括一具有一滑軌之裝置支架與一點光源，該點光源用於發出該反向光，且設置於該滑軌上以使該點光源沿著該凹槽水平移動，包含：(a)當各該電路的至少其中之一具有一短路及/或一開路時，使該反向光照射位於該凹槽上方之具有該短路及/或該開路之各該電路，並以該位置掃瞄裝置對位於該凹槽上方之具有該短路及/或該開路之各該電路進行一第一位置掃瞄，以確認具有該短路及/或該開路之各該電路的該 短路及/或該開路的一第一位置，其中該位置掃瞄裝置具有一位置檢查感測器及一自動光學檢測(AOI)裝置，該位置檢查感測器用於偵測該開路，該AOI裝置用於偵測該短路，該AOI裝置發出該正向光與該側向光，該正向光自該AOI裝置垂直向具有該短路及/或該開路之各該電路照射，該側向光自該玻璃基板之一側上方向具有該短路及/或該開路之各該電路照射；(b)當該正向光與該側向光同時照射位於該凹槽上方之具有該短路及/或該開路之各該電路時，使該位置掃瞄裝置對位於該凹槽上方之具有該短路及/或該開路之各該電路進行一第二位置掃瞄以確認具有該短路及/或該開路之各該電路之該短路及/或該開路的一第二位置；以及(c)加總該第一位置與該第二位置，以獲得具有該短路及/或該開路之各該電路的各該短路及/或各該開路的一確切位置。
8. 如申請專利範圍第7項所述之開路/短路檢查機的檢查方法，其中該開路/短路檢查機更包括一氣浮平台、一量測平台、一第一至一第四線感測器、一第一與一第二對位照相機與一龍門機構，該凹槽位於該氣浮平台與該量測平台間，該龍門機構具有一第一與一第二龍門移動滑軌和一橫樑，該第一與該第二龍門移動滑軌是分別設置於該量測平台的一第一側的外緣與一第二側的外緣，該第一與該第 二龍門移動滑軌實質上垂直於該凹槽，該橫樑設置於該第一龍門移動滑軌與該第二龍門移動滑軌上且位於該量測平台上方，該第一至該第四線感測器、該第一與該第二對準相機、該位置檢查感測器及該AOI裝置是設置於該橫樑的不同高度及/或位置上，該玻璃基板的右上角與右下角分別具有一第一定位標誌與一第二定位標誌，該複數個面板分為m列，每列具有n個面板，m與n為正整數，且更包括：(a1)當該開路/短路檢查機開始一第一次線掃瞄時，使該第一對準相機對準該第一定位標誌，且使該第二對準相機對準該第二定位標誌；(a2)使該第一與該第二線感測器分別移動至該第一列的一第一個面板上的一第一與一第二線感測器掃瞄啟始位置，同時，使該第三與該第四線感測器分別移動至鄰接該第一列之一第二列的一第一個面板上的一第三與一第四線感測器掃瞄啟始位置，以進行該線掃瞄；(a3)重複步驟(a1)至(a2)直至該複數個面板全部被掃瞄完畢；(a4)當該複數個面板全部被掃瞄完畢後，若該開路及/或該短路被偵測到時，則使具有該開路及/或該短路之各該電路被逐一依序移動至位於該凹槽上方之位置；以及 (a5)使該位置掃瞄裝置在沿該凹槽移動之該反向光之照射下，針對位於該凹槽上方之具有該短路及/或該開路之各該電路進行該第一位置掃瞄，以找到具有該開路及/或該短路之各該電路的該短路及/或該開路之該第一位置。
9. 一種檢查一玻璃基板的方法，其中該玻璃基板包括各具有一電路之複數個面板，包含：(a)當各該電路的至少其中之一具有一短路及/或一開路時，提供一反向光照射具有該短路及/或該開路之各該電路以對具有該短路及/或該開路之各該電路進行一第一位置掃瞄，以確認具有該短路及/或該開路之各該電路的該短路及/或該開路之一第一位置；(b)提供一正向光和一側向光同時照射具有該短路及/或該開路之各該電路以對具有該短路及/或該開路之各該電路進行一第二位置掃瞄，以確認具有該短路及/或該開路之各該電路的該短路及/或該開路之一第二位置；以及(c)加總該第一與該第二位置，以找到具有該短路及/或該開路之各該電路的各該短路及/或各該開路之一確切位置。
10. 如申請專利範圍第9項所述之檢查該玻璃基板的方法，更包括提供具有一位置檢查感測器及一自動光學檢測(AOI)裝置之一位置掃瞄裝置與設置於一凹槽中之一發光 裝置；其中該正向光與該側向光是由該AOI裝置所發出，該反向光是由該發光裝置所發出，該正向光與該側向光是分別自該玻璃基板之上方與側上方向具有該短路及/或該開路之各該電路照射，且該反向光是自該玻璃基板之下方向上照射，該第一與該第二位置掃瞄是由該位置掃瞄裝置所進行，該位置檢查感測器用於偵測各該開路，且該AOI裝置用於偵測各該短路。
11. 一種檢查一玻璃基板的檢查機，其中該玻璃基板包括各具有一電路之複數個面板，包含：一位置掃瞄裝置，設置於該玻璃基板上方；以及一發光裝置，設置於該玻璃基板下方，且當各該電路的至少其中之一具有一短路及/或一開路時，發出一反向光照射具有該短路及/或該開路之各該電路，俾便該位置掃瞄裝置對具有該短路及/或該開路之各該電路進行一第一位置掃瞄，其中當該位置掃瞄裝置發出一正向光與一側向光照射具有該短路及/或該開路之各該電路時，使該位置掃瞄裝置對具有該短路及/或該開路之各該電路進行一第二位置掃瞄，加總該第一與該第二位置掃瞄之二結果，以獲得具有該短路及/或該開路之各該電路的各該短路及/或各該開路之一確切位置。
12. 如申請專利範圍第11項所述之檢查機，其中該位置掃瞄裝置包括一位置檢查感測器與一自動光學檢測(AOI)裝 置，其中該反向光是自該玻璃基板下方向上照射，該AOI裝置發射該正向光與該側向光，該正向光自該玻璃基板上方向下照射，該側向光自該玻璃基板的側上方向具有該短路及/或該開路之各該電路照射，該AOI裝置用於偵測該短路，該位置檢查感測器用於偵測該開路。

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