KR101555580B1 - 대면적 평면 검사 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 대면적의 원자재를 조명실과 암실에서 서로 다른 광학적 특성을 이용하여 상기 대면적 원자재의 표면을 검사하는 대면적 평면 검사 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 대면적 평면 검사 장치는, 표면이 평면으로 형성된 검사 대상물(P)을 내부에서 일정한 방향으로 이동시키는 이송부(10)와, 이송 중인 상기 검사 대상물(P)의 표면을 라인스캔하여 상기 검사 대상물(P) 표면의 이미지를 촬영하여 스크래치와 이물질을 검사하는 제1 검사부(20)와, 상기 검사 대상물(P)의 표면으로 레이저를 조사(照射)하고 상기 검사 대상물(P)의 표면에서 반사된 반사광의 패턴을 감지하여 상기 검사 대상물(P)의 평탄도를 검사하는 제2 검사부(30)를 포함한다.

Description

대면적 평면 검사 장치{Inspecting apparatus for huge plane}
본 발명은 대면적의 원자재의 표면을 검사하는 대면적 평면 검사 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 상기 대면적의 원자재를 조명실과 암실에서 서로 다른 광학적 특성을 이용하여 상기 대면적 원자재의 표면을 검사하는 대면적 평면 검사 장치에 관한 것이다.
일반적으로 표면이 단단하고 평탄한 평면에 대하여, 상기 평면의 표면 오류 또는 평탄도를 검사하는 다양한 방법이 존재한다.
이중에서도 상기 평면의 평탄도를 검사하는 방식중에서 광학적으로 상기 평면의 평탄도를 검사하는 방식은 적용하기가 쉽지 않았다.
검사 대상물의 재질에 따라 평면의 평탄도 검사시 서로 다른 특성이 나타나고, 상기 검사 대상물의 표면에 돌기, 찍힘이 발생한 부분의 높이 또는 깊이가 수십 마이크로미터에 불과하여 상기 검사 대상물의 불량여부를 검사하기가 용이하지 않았다.
물론, 나노급 전자현미경 이나 전자파 현미경 등과 같은 고가의 장비를 사용하여, 상기 검사 대상물의 표면의 평탄도를 검사할 수는 있으나, 상기 검사 대상물이 대면적이고, 대량으로 상기 검사 대상물이 생상되는 산업현장에서는 상기 전자현미경이나 전자파현미경을 통하여 상기 검사 대상물의 표면을 검사하는 것은 시간과 비용이 많이 소요되고. 이로 인해 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.
한편, 하기의 선행기술 문헌에는 '비접촉식 평탄도 측정장치 및 측정방법'에 관한 기술이 개시되어 있다.
KR 10-2010-0046742 A
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 발명된 것으로서, 대면적의 검사 대상물을 이동시키면서, 조명실과 암실에서 각각 서로 다른 광원으로 발생된 빛을 상기 검사 대상물의 표면으로 조사(照射)시켜, 상기 검사 대상물의 표면을 촬영한 이미지와 상기 검사 대상물의 표면에서 반사된 반사광을 촬영한 이미지를 통하여 대면적을 갖는 상기 검사 대상물의 표면을 검사하는 대면적 평면 검사 장치를 제공하는데 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 대면적 평면 검사 장치는, 표면이 평면으로 형성된 검사 대상물을 내부에서 일정한 방향으로 이동시키는 이송부와, 이송 중인 상기 검사 대상물의 표면을 라인스캔하여 상기 검사 대상물 표면의 이미지를 촬영하여 스크래치와 이물질을 검사하는 제1 검사부와, 상기 검사 대상물의 표면으로 레이저를 조사(照射)하고 상기 검사 대상물의 표면에서 반사된 반사광의 패턴을 감지하여 상기 검사 대상물의 평탄도를 검사하는 제2 검사부를 포함한다.
상기 제1 검사부는, 내부에 공간이 형성되고, 외부로부터 빛이 유입되는 것을 차단하는 조명실과, 상기 검사 대상물의 표면으로 조명을 조사하는 라인스캔조명과, 상기 검사 대상물의 표면을 라인스캔하여 상기 검사 대상물의 표면의 이미지를 촬영하는 라인스캔카메라를 포함하고, 상기 라인스캔카메라가 촬영한 이미지와 기 저장된 양품의 검사 대상물의 이미지를 비교하여 상기 검사 대상물에 존재하는 스크래치나 이물질을 검사하는 것을 특징으로 한다.
상기 라인스캔카메라로 촬영한 이미지는 8비트 내지 16비트의 그레이 스케일의 이미지 또는 컬러이미지인 것을 특징으로 한다.
상기 라인스캔카메라는 상기 조명실에 설치되고 링크구조를 갖는 다관절암에 각도가 조정되도록 설치되는 것을 특징으로 한다.
상기 제2 검사부는, 외부로부터 내부로 빛이 유입되지 못하도록 차단하는 암실과, 상기 검사 대상물의 표면으로 라인 레이저를 조사하는 라인레이저부와, 상기 라인레이저부로부터 조사된 레이저가 상기 검사 대상물의 상부면에 반사한 후 투사되는 스크린과, 상기 스크린에 투사된 영상을 촬영하여, 상기 스크린에 투사된 레이저의 불연속면을 탐지하는 스크린촬영카메라를 포함하고, 상기 스크린에 투사된 반사광의 변곡되는 부분의 존재유무로 상기 검사 대상물의 평탄도를 검사하는 것을 특징으로 한다.
상기 스크린촬영카메라에서 취득 이미지는 8비트의 깊이를 갖는 이미지인 것을 특징으로 한다.
상기 라인레이저부와 상기 스크린촬영카메라는 상기 암실에 설치되고 링크구조를 갖는 다관절암에 각각 각도가 조정되도록 설치되는 것을 특징으로 한다.
상기 이송부는, 상기 검사 대상물의 진행방향을 따라 설치되는 가이드와, 상기 가이드에 장착되고, 상부면에 상기 검사 대상물이 탑재되는 테이블을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 제1 검사부와 상기 제2 검사부는 복수로 마련되어, 복수의 제1 검사부와 복수의 제2 검사부가 배열되고, 상기 제1 검사부들와 제2 검사부들의 내부에 상기 이송부가 설치되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 대면적 평면 검사 장치에 따르면, 대면적의 평면을 갖는 검사 대상물을 조명실과 암실에서 각각 서로 다른 광원을 상기 검사 대상물로 조사함으로써, 상기 검사 대상물의 표면에 존재하는 불량을 신속하게 검사할 수 있다.
또한, 상기 검사 대상물의 표면 검사를 위해 상기 검사 대상물의 표면에 인접하거나 접촉하여 기구적으로 작동하는 부분이 없고, 검사영역으로 광원에서 발생한 빛을 검사대상영역으로 조사(照射)하기만 하면 되므로, 구조가 간단해진다.
아울러, 필요에 따라, 제1 검사부 또는 제2 검사부의 개수를 늘여 장착하여 확장함으로써, 검사의 신뢰성과 생산성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 대면적 평면 검사 장치의 개략도.
도 2는 본 발명에 따른 대면적 평면 검사 장치를 이용하여 검사 대상물을 제1 검사부에서 검사하는 상태를 도시한 개략도.
도 3은 본 발명에 따른 대면적 평면 검사 장치를 이용하여 검사 대상물을 제2 검사부에서 검사하는 상태를 도시한 개략도.
도 4는 도 3은 본 발명에 따른 대면적 평면 검사 장치의 제1 검사부와 제2 검사부에서 서로 다른 검사 대상물이 동시에 검사되는 상태를 도시한 개략도.
이하 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명에 따른 대면적 평면 검사 장치에 대하여 자세히 설명하기로 한다.
본 발명에 따른 대면적 평면 검사 장치는, 표면이 평면으로 형성된 검사 대상물(P)을 내부에서 일정한 방향으로 이동시키는 이송부(10)와, 이송 중인 상기 검사 대상물(P)의 표면을 라인스캔하여 상기 검사 대상물(P) 표면의 이미지를 촬영하여 스크래치와 이물질을 검사하는 제1 검사부(20)와, 상기 검사 대상물(P)의 표면으로 레이저를 조사(照射)하고 상기 검사 대상물(P)의 표면에서 반사된 반사광의 패턴을 감지하여 상기 검사 대상물(P)의 평탄도를 검사하는 제2 검사부(30)를 포함한다.
본 발명에 따른 대면적 평면 검사 장치(10)에서는 검사 대상물(P)을 이송시키면서, 서로 다른 공간에서 각각 서로 다른 조명을 조사(照射)한 후, 상기 검사 대상물(P)의 표면을 촬영하거나 상기 검사 대상물(P)에서 반사된 반사광의 패턴을 판독하여 상기 검사 대상물(P)의 표면을 검사하게 된다. 즉, 상기 검사 대상물(P)의 표면이 불량인 상태에서는 상기 검사 대상물(P)의 표면을 촬영한 이미지가 미리 저장된 양품의 검사 대상물(P)의 이미지와 틀리고, 불량인 부분에 의해 상기 반사광에서 변곡이 발생하기 때문에 이를 이용하여, 상기 검사 대상물(P)의 표면을 검사한다.
이송부(10)는 외부로부터 검사 대상물(P)을 본 발명에 따른 대면적 평면 검사 장치(10)의 내부로 인입시켜, 상기 장치(10)의 내부에서 대면적을 갖는 검사 대상물(P)의 표면을 이송시키고, 검사가 완료된 상기 검사 대상물(P)을 외부로 배출시킨다.
예컨대, 상기 이송부(10)는 상기 검사 대상물(P)을 안착시키는 테이블(12)과 상기 테이블(12)이 이동되도록 하는 가이드(11)를 포함할 수 있다.
테이블(12)은 그 상부면에 검사하려는 대면적의 검사 대상물(P)을 안착시킨다. 상기 테이블(12)의 상부면은 상기 검사 대상물(P)의 안착이 용이하도록 평면으로 형성되는 것이 바람직하다.
가이드(11)는 바람직하게는 본 발명의 대면적 평면 검사 장치(10)의 내부에 상기 장치(10)의 전체 길이에 대하여 설치된다. 상기 가이드(11)에 상기 테이블(12)이 슬라이딩 가능하게 설치됨으로써, 상기 테이블(12)이 상기 장치(10)의 전체 길이에 대하여 이송될 수 있다.
제1 검사부(20)는 상기 검사 대상물(P)로 라인스캔조명을 조사하여, 상기 검사 대상물(P)의 표면에 존재하는 스크래치나 이물질의 여부에 대하여 검사한다.
이를 위해 상기 제1 검사부(20)는 내부에 공간을 형성하는 조명실(21)과, 상기 조명실에 설치되는 라인스캔조명(22) 및 라인스캔카메라(23)를 포함할 수 있다.
조명실(21)은 내부에 상기 제1 검사부(20)를 구성하는 공간을 형성한다. 상기 조명실(21)에 의해서 외부의 빛은 차단함으로써, 외부 광원의 영향을 받지 않는 상태에 라인스캔조명(22)에 의해 상기 조명실(21)의 내부가 조명되도록 한다.
라인스캔조명(22)은 상기 조명실(21)을 이송중인 검사 대상물(P)로 라인스캔을 위한 조명을 조사(照射)한다. 상기 제1 검사부(20)는 상기 검사 대상물(P)의 표면에 존재하는 스크래치나 이물질의 여부를 검사하기 위한 것으로서, 상기 라인스캔조명(22)에서는 상기 제1 검사부(20)의 내부를 이송중인 검사 대상물(P)로 라인스캐닝을 위한 강한 조명을 조사함으로써, 라인스캔카메라(23)가 상기 검사 대상물(P)의 표면을 스캔할 수 있는 조도를 형성하도록 한다.
라인스캔카메라(23)는 상기 검사 대상물(P)의 표면을 고속으로 스캔한다. 상기 라인스캔카메라(23)는 이송중인 검사 대상물(P)의 전체 폭이 스캔되도록 상기 검사 대상물(P)의 표면을 고속으로 라인스캐닝한다. 여기서, 라인스캐닝의 방향은 상기 검사 대상물(P)의 이송방향과 수직한 방향이 될 수도 있고, 상기 수직방향과 일정한 각도로 경사지게 하여 라인스캔을 할 수도 있다. 다만, 상기 검사 대상물(P)의 전체 폭에 대하여 라인스캔한다. 따라서, 라인스캔한 결과를 진행방향으로 누적함으로써 검사 대상물(P) 전체를 스캔할 수 있다.
상기 라인스캔카메라(23)가 상기 라인스캔조명(22)으로 조정된 상태에서, 상기 검사 대상물(P)의 표면을 고속스캔하면서, 상기 검사 대상물(P)의 표면을 촬영하여 이미지화한다. 상기 라인스캔카메라(23)가 상기 검사 대상물(P)의 표면을 순차적으로 라인스캔하여 상기 검사 대상물(P)의 표면에 대한 이미지를 촬영하고, 이를 미리 저장된 양품의 이미지와 대비하여 상기 검사 대상물(P)의 표면의 스크래치나 이물질 존재여부를 감지한다.
상기 라인스캔카메라(23)는 상기 조명실(21)의 일측에 설치되는데, 예를들어, 링크구조로 형성된 다관절암(24)을 상기 조명실(21)에 설치하고, 상기 다관절암(24)에 상기 라인스캔카메라(23)를 설치하여, 상기 라인스캔카메라(23)의 위치, 각도 등이 조절되도록 할 수 있다.
제2 검사부(30)는 상기 제2 검사부(30)의 내부를 이송중인 검사 대상물(P)로 라인레이저를 조사하여, 상기 검사 대상물(P)에서 반사된 반사광을 스크린(33)으로 투사시켜 반사광의 변곡부위의 존재여부를 감지함으로써, 상기 검사 대상물(P)의 표면을 검사한다.
암실(31)은 내부에 공간이 형성되고, 외부로부터 내부로 전달되는 빛을 차단하여, 외부 광원에 의해 측정결과가 영향받는 것을 배제시킨다.
라인레이저부(32)는 상기 검사 대상물(P)로 라인레이저를 조사(照射)한다. 상기 라인레이저부(32)도 이송중인 검사 대상물(P)의 전체 폭에 대하여 라인레이저를 조사하는데, 상기 라인레이저는 상기 검사 대상물(P)의 폭방향(이송방향과 수직한 방향)으로 조사될 수 있고, 이와 일정한 각도로 경사지게 조사될 수도 있다.
만약, 상기 검사 대상물(P)의 표면이 손상되지 않았다면, 상기 라인레이저부(32)에서 조사된 라인형태의 레이저는 반사된 후에도 라인형태를 갖지만, 상기 검사 대상물(P)의 표면이 손상되면, 상기 반사된 반사광에서 직선의 형태가 깨지기 쉽기 때문에 이러한 부분(도 3에서 'A'로 표시된 부분)과 같이, 쉽게 식별이 가능하다.
스크린촬영카메라(34)는 상기 라인레이저부(32)에서 조사된 레이저가 검사 대상물(P)에서 반사되어 스크린(33)으로 투사되는 반사광을 촬영한다. 즉, 상기 스크린촬영카메라(34)가 검사 대상물(P)의 표면에서 반사된 반사광을 촬영함으로써, 상기 반사광의 직선여부를 판단함으로써, 상기 검사 대상물(P)의 평탄도를 측정할 수 있다.
스크린(33)은 상기 검사 대상물(P)에서 반사된 반사광을 표시한다. 즉, 상기 스크린(33)에 상기 검사 대상물(P)에서 반사된 레이저가 투사되도록 한다. 상기 스크린(33)에 투사된 반사광은 상기 스크린촬영카메라(34)를 통하여 촬영한다.
한편, 상기 라인레이저부(32)와 상기 스크린촬영카메라(34)는 상기 암실(31)에 설치되는 다관절암(35)에 설치된다. 상기 다관절암(35)은 다수의 링크가 연결되는 형태로 구성되어 서로 각도를 조절할 수 있고, 각 연결부위에 구동수단을 설치하여 상기 라인레이저부(32)와 상기 스크린촬영카메라(34)를 각각 원하는 각도로 조정할 수 있다. 여기서, 상기 라인레이저부(32)와 상기 스크린촬영카메라(34)는 서로 다른 각도로 조절되도록 설치되는 것이 바람직하다.
한편, 미설명 부호 13은 상기 조명실(21)과 상기 암실(31) 사이에 설치되어, 서로 공간적으로 분리되도록 하는 격벽이다.
상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 대면적 평면 검사 장치의 작용에 대하여 설명하면 다음과 같다.
도 1에 도시된 바와 같이, 제1 검사부(20)와 제2 검사부(30)가 배열된 상태에서, 내부로 검사 대상물(P)이 이송되면, 각 검사부에서 상기 검사 대상물(P)에 대하여 각각 검사를 수행한다.
먼저, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 제1 검사부(20)로 유입된 검사 대상물(P)은 제1 검사부(20)에서 상기 라인스캔조명(22)으로부터 조명이 조사되는 상태에서, 상기 라인스캔카메라(23)가 이송중인 상기 검사 대상물(P)의 표면을 라인스캔하면서, 상기 검사 대상물(P)의 표면 이미지를 촬영한다.
이렇게 라인스캔카메라(23)를 통하여 촬영된 이미지를 미리 저장된 양품의 이미지와 비교함으로써, 상기 검사 대상물(P)의 표면에 존재하는 스크래치나 이물질을 검사한다.
이때, 상기 라인스캔카메라(23)는 다관절암(24)에 설치되어 있어서, 상기 검사 대상물(P)의 표면을 라인스캔하기 좋은 각도로 조절될 수 있다.
상기 라인스캔카메라(23)가 촬영한 이미지를 미리 저장된 양품의 검사 대상물(P)에 대한 표면 이미지와 비교함으로써, 상기 검사 대상물(P)의 표면이 스크래치나 이물질의 존재여부를 감지할 수 있다.
상기 라인스캔카메라(23)가 상기 검사 대상물(P)의 표면을 라인스캔하여 얻는 이미지는 그레이스케일의 흑백이미지 또는 컬러이미지가 된다. 상기 라인스캔카메라(23)가 취득한 이미지는 8비트 내지 16비트의 깊이를 갖는 이미지가 된다.
상기 제1 검사부(20)에서 스크래치나 이물질의 존재여부를 마친 검사 대상물(P)은 제2 검사부(30)로 이동한다.
제2 검사부(30)에서는 라인레이저가 상기 검사 대상물(P)로 조사되고, 상기 라인레이저는 상기 상기 검사 대상물(P)의 표면에서 반사되어 상기 스크린(33)으로 투사된다. 상기 스크린(33)으로 투사되는 라인레이저의 반사광을 상기 스크린촬영카메라(34)가 촬영하면서, 상기 반사광에 변곡되는 부위가 있는지를 검사한다. 라인레이저가 투사되는 상태에서 상기 검사 대상물(P)이 가이드(11)에 의해 가이드(11)가 설치된 방향으로 이동하면 상기 검사 대상물(P)의 전체면적에 대하여 라인레이저가 조사되어 상기 검사 대상물(P)의 표면에 반사된 후, 반사광은 스크린(33)에 투사된다. 이때, 상기 스크린촬영카메라(34)는 지속적으로 상기 스크린(33)을 촬영하면서, 스크린(33)으로 투사된 반사광에서 변곡되는 부위가 나타나면 불량으로 판정한다. 즉, 상기 검사 대상물(P)의 표면에 상기 검사 대상물(P)의 표면에 돌기, 눌림, 찍힘과 같은 요철이나 패턴의 오류와 같은 평탄도에 있어서 불량이 있으면 그 부위로 조사된 라인레이저는 다른 부위와 다른 각도로 입사와 반사가 진행되기 때문에, 상기 스크린(33)에 투사된 이미지에서 오류가 없는 부위에 비하여 변곡되는 부위가 존재한다(도 3 참조). 이러한 변곡되는 부위의 존재여부를 상기 스크린촬영카메라(34)가 촬영함으로써, 상기 검사 대상물(P)의 표면이 요철과 패턴 오류를 쉽게 검사할 수 있다.
여기서, 상기 스크린촬영카메라(34)가 상기 스크린(33)을 촬영함으로써 얻는 이미지의 깊이는 8비트 이미지가 된다. 즉, 상기 제2 검사부(30)에서는 상기 검사 대상물(P)의 표면의 요철을 주로 검사하기 때문에 8비트의 이미지 깊이를 갖는 흑백이미지를 이용한다.
한편, 상기 도 2 내지 도 3에서는 장치(10)의 내부에 하나의 검사 대상물(P)이 검사되는 것으로 도시되어 있는데, 도 4에 상기 제1 검사부(20)와 상기 제2 검사부(30)에서 동시에 서로 다른 검사 대상물(P)을 검사하도록 할 수도 있다. 즉, 제1 검사부(20)에서 검사가 완료된 검사 대상물(P)에 제2 검사부(30)로 이동하면, 또 다른 검사 대상물(P)을 상기 제1 검사부(20)로 새로이 인입시켜, 제1 검사부(20)와 제2 검사부(30)에서 동시에 서로 다른 검사 대상물(P)에 대하여 검사를 진행할 수도 있다.
도 1 내지 도 4에서는 하나의 제1 검사부(20)와 하나의 제2 검사부(30)가 연결된 실시예에 대하여 도시되어 있는데, 필요에 따라 상기 제1 검사부(20)와 상기 제2 검사부(30)는 각각 모듈화되어 필요한 개수만큼 배열되어 대면적 평면 검사 장치를 구성할 수 있다.
예컨대, 상기 제1 검사부(20)와 상기 제2 검사부(30)는 각각 2개씩 배열하여, '제1 검사부(20)-제1 검사부(20)-제2 검사부(30)-제2 검사부(30)'로 배열함으로써, 2개의 검사 대상물(P)을 동시에 제1 검사부(20)에 투입하여, 표면의 스크래치나 이물질을 검사한 후, 각각 제2 검사부(30)로 넘겨 동시에 2개의 검사 대상물(P)에 대하여 표면의 평탄도를 검사할 수 있다. 또는 하나의 검사 대상물(P)에 대하여 반복하여 제1 검사부(20)와 제2 검사부(30)에서 각각 표면의 스크래치나 이물질, 평탄도를 검사함으로써, 표면 검사에 대한 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 상기 제1 검사부(20)와 제2 검사부(30)가 배열될 때, 인접한 검사부와의 사이에는 격벽(13)이 설치된다.
아울러, 상기 이송부(10)를 공유한 상태에서 상기 제1 검사부(20)와 제2 검사부(30)를 필요한 개수만틈 확장시켜 배열할 수 있다.
상술한 바와 같이, 검사 대상물(P)을 상기 제1 검사부(20)와 상기 제2 검사부(30)를 순차적으로 이동시키면서, 상기 라인스캔카메라(23)로 상기 검사 대상물(P)의 표면을 촬영한 이미지와 상기 스크린촬영카메라(34)로 상기 검사 대상물(P)에서 반사된 반사광을 촬영한 이미지를 이용하여 상기 검사 대상물(P)과 이격된 상태로 상기 검사 대상물(P)의 표면을 검사함으로써, 대면적의 검사 대상물(P)의 표면을 간편하게 검사할 수 있다.
또한, 상기 검사 대상물(P)의 표면을 검사하기 위해 상기 검사 대상물(P)의 표면에 접촉하거나 인접하는 구성요소가 없기 때문에 대면적의 평면의 검사가 가능해진다.
1 : 장치 10 : 이송부
11 : 가이드 12 : 테이블
13 : 격벽 20 : 제1 검사부
21 : 조명실 22 : 라인스캔조명
23 : 라인스캔카메라 24 : 다관절암
30 : 제2 검사부 31 : 암실
32 : 라인레이저부 33 : 스크린
34 : 스크린촬영카메라 35 : 다관절암
P : 측정대상물

Claims (9)

  1. 표면이 평면으로 형성된 검사 대상물을 내부에서 일정한 방향으로 이동시키는 이송부와,
    이송 중인 상기 검사 대상물의 표면을 라인스캔하여 상기 검사 대상물 표면의 이미지를 촬영하여 스크래치와 이물질을 검사하는 제1 검사부와,
    상기 검사 대상물의 표면으로 레이저를 조사(照射)하고 상기 검사 대상물의 표면에서 반사된 반사광의 패턴을 감지하여 상기 검사 대상물의 평탄도를 검사하는 제2 검사부를 포함하고,
    상기 이송부는, 상기 검사 대상물의 진행방향을 따라 설치되는 가이드와, 상기 가이드에 장착되고, 상부면에 상기 검사 대상물이 탑재되는 테이블을 포함하며,
    상기 제2 검사부는, 외부로부터 내부로 빛이 유입되지 못하도록 차단하는 암실과, 상기 검사 대상물의 표면으로 라인 레이저를 조사(照射)하는 라인레이저부와, 상기 라인레이저부로부터 조사된 레이저가 상기 검사 대상물의 상부면에 반사한 후 투사되는 스크린과, 상기 스크린에 투사된 영상을 촬영하여, 상기 스크린에 투사된 레이저의 불연속면을 탐지하는 스크린촬영카메라를 포함하고, 상기 스크린에 투사된 반사광의 변곡되는 부분의 존재유무로 상기 검사 대상물의 평탄도를 검사하는 것을 특징으로 하는 대면적 평면 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 검사부는,
    내부에 공간이 형성되고, 외부로부터 빛이 유입되는 것을 차단하는 조명실과,
    상기 검사 대상물의 표면으로 조명을 조사하는 라인스캔조명과,
    상기 검사 대상물의 표면을 라인스캔하여 상기 검사 대상물의 표면의 이미지를 촬영하는 라인스캔카메라를 포함하고,
    상기 라인스캔카메라가 촬영한 이미지와 기 저장된 양품의 검사 대상물의 이미지를 비교하여 상기 검사 대상물에 존재하는 스크래치나 이물질을 검사하는 것을 특징으로 하는 대면적 평면 검사 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 라인스캔카메라로 촬영한 이미지는 8비트 내지 16비트의 그레이 스케일의 이미지 또는 컬러이미지인 것을 특징으로 하는 대면적 평면 검사 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 라인스캔카메라는 상기 조명실에 설치되고 링크구조를 갖는 다관절암에 각도가 조정되도록 설치되는 것을 특징으로 하는 대면적 평면 검사 장치.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 스크린촬영카메라에서 취득한 이미지는 8비트의 깊이를 갖는 이미지인 것을 특징으로 하는 대면적 평면 검사 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 라인레이저부와 상기 스크린촬영카메라는 상기 암실에 설치되고 링크구조를 갖는 다관절암에 각각 각도가 조정되도록 설치되는 것을 특징으로 하는 대면적 평면 검사 장치
  8. 삭제
  9. 제1항에 있어서,
    상기 제1 검사부와 상기 제2 검사부는 복수로 마련되어, 복수의 제1 검사부와 복수의 제2 검사부가 배열되고, 상기 제1 검사부들와 제2 검사부들의 내부에 상기 이송부가 설치되는 것을 특징으로 하는 대면적 평면 검사 장치.
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