CN101718828B - 用于平板显示器的缺陷确认装置及其操作方法 - Google Patents
用于平板显示器的缺陷确认装置及其操作方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101718828B CN101718828B CN2008102410005A CN200810241000A CN101718828B CN 101718828 B CN101718828 B CN 101718828B CN 2008102410005 A CN2008102410005 A CN 2008102410005A CN 200810241000 A CN200810241000 A CN 200810241000A CN 101718828 B CN101718828 B CN 101718828B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- defect
- defective
- electrode
- scanning element
- electrode wires
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Abstract
本发明提供了一种用于平板显示器的缺陷确认装置及其操作方法,装置包括:扫描单元,用于在移动过程中对玻璃基板表面进行照相,以获取电极图像;显示终端,用于显示电极图像;光源系统,包括对扫描单元提供照明;控制盘,用于控制扫描单元的移动、光源系统的调节、以及显示终端的图像处理。本发明因为采用一台专用的缺陷确认机对缺陷位置进行确认,因此能够提高生产效率和产品的良品率。
Description
技术领域
本发明涉及平板显示器领域,具体而言,涉及用于平板显示器的缺陷确认装置及其操作方法。
背景技术
在平板显示器(例如等离子显示器)面板的电极制作过程中,不可避免地会产生一些短路和断路缺陷。为控制产品质量,提高产品良品率,就需要对这些缺陷进行检查和修复。电极缺陷的检查修复系统主要包括:外观检查、缺陷复查、缺陷修复及通断检查。外观检查是从外观上对图形进行缺陷检查,而通断检查则是从电气性能上对图形进行缺陷检查,两者相辅相成,确保缺陷检出的效率和准确率。
在工艺流程上,一般是先进行外观检查和缺陷复查。然后针对缺陷复查结果,对需要进行修复的缺陷进行激光切割修复或浆料涂敷修复。在完成所有缺陷的修复后,需进行通断检查,对外观检查进行补充,以防有一些比较特殊的缺陷在外观检查中没有被检查出来。如果在通断检查中仍有缺陷存在,则需对这些缺陷也进行修复。修复完后,再次进行通断检查。如此反复,直到通断检查结果为没有缺陷为止。
由于通断检查的结果,只能显示缺陷的X坐标,对Y坐标无法确认,这使得在进行缺陷修复前需对缺陷的具体位置进行确认。
目前采用的主要方法是在修复机上进行缺陷的具体位置确认。依据通断检查的显示结果,将修复头移动到缺陷所在的端子区域;然后人工计数,找到缺陷的X坐标后,手动控制摇杆使修复头沿着缺陷所在电极线移动,直到找到缺陷为止。这种方法最大的缺点是在进行缺陷修复前,需花大量时间来找到缺陷具体位置,不满足量产线对高效率和节拍时间的要求。在正常情况下,外观检查机和复查机的节拍时间是固定的,理论上修复机也应在此节拍时间内至少完成1张屏的缺陷修复。
在实现本发明过程中,发明人发现修复机要同时进行外观检查机传过来的缺陷和通断检查机传过来的缺陷的修复,对效率的要求很高。如果要花时间进行缺陷位置确认,显然会大大降低修复机的效率。
发明内容
本发明旨在提供一种用于平板显示器的缺陷确认装置及其操作方法,能够解决现有技术用修复机确认缺陷降低生产效率的问题。
在本发明的实施例中,提供了一种用于平板显示器的缺陷确认装置,包括:扫描单元,用于在移动过程中对玻璃基板表面进行照相,以获取电极图像;显示终端,用于显示电极图像;光源系统,包括对扫描单元提供照明;控制盘,用于控制扫描单元的移动、光源系统的调节、以及显示终端的图像处理。
可选的,在上述的缺陷确认装置中,扫描单元包括:移动机构,用于移动;探头,用于照相。
可选的,在上述的缺陷确认装置中,移动机构包括:横梁,用于安装固定扫描探头与光源系统,并用于滑块滑动的导轨;滑块,其可沿横梁移动,用于安装探头和光源系统;驱动装置,用于在控制盘的控制下驱动滑块;连动装置,其连接滑块与驱动装置。
可选的,在上述的缺陷确认装置中,光源系统包括:落射照明单元,用于对扫描单元提供落射照明;反射照明单元,用于对扫描单元提供反射照明。
在本发明的实施例中,还提供了上述的缺陷确认装置的操作方法,包括以下步骤:扫描单元在移动过程中对玻璃基板表面进行照相,以获取电极图像,其中,光源系统对扫描单元提供照明;显示终端实时显示电极图像;通过观察显示终端上的电极图像来确定缺陷位置。
可选的,在上述的操作方法中,扫描单元在移动过程中对玻璃基板表面进行照相具体包括:接收通断检查机传过来的缺陷信息,缺陷信息包含:缺陷类别、数量、X坐标;依据此缺陷信息,找到缺陷所在的端子区域;依X坐标将扫描单元移动到缺陷所在的电极线上;扫描单元延电极线移动照相。
可选的,在上述的操作方法中,缺陷为断路缺陷,依X坐标将扫描单元移动到缺陷所在的电极线上具体包括:电极线位置取X坐标数据的一半。
可选的,在上述的操作方法中,缺陷为短路缺陷,依X坐标将扫描单元移动到缺陷所在的电极线上具体包括:处于同一个放电单元两侧的两根电极以相同的序数计数,则第n根电极与第n根电极发生的短路,则确定短路缺陷是在放电单元两侧的电极发生;第n根电极与第n+1根电极发生的短路,则确定短路缺陷是在非放电侧的电极发生;连续短路发生,则确定短路缺陷是在图形区发生;若发生第n根与第n+1根、第n+1根与第n+2根的连续短路缺陷,则确定短路缺陷是在端子部发生;根据以上判断,将扫描单元移动到缺陷所在的电极线上。
可选的,在上述的操作方法中,光源系统包括:落射照明单元,用于对扫描单元提供落射照明;反射照明单元,用于对扫描单元提供反射照明;光源系统对扫描单元提供照明具体包括:在查找ITO短路缺陷时关掉反射照明单元,在查找Ag电极短路和断路缺陷时关掉落射照明单元。
可选的,在上述的操作方法中,通过观察显示终端上的电极图像来确定缺陷位置具体包括:对于单根电极线上只存在一个缺陷的情况,在找到缺陷位置后,将缺陷坐标记录下来,结束此根电极线的扫描;对于单根电极线存在多个缺陷的情况,则进一步判定是连续缺陷还是非连续缺陷,如果是连续缺陷,则在找到缺陷后与通断后缺陷数据分析结果进行比对,只有在完全符合的情况下才终止此根电极线的扫描;如果是非连续缺陷,则在找到一处缺陷并记录其坐标后继续对电极线扫描,直到找到此根电极线上的所有缺陷为止;完成基板上所有电极线的缺陷确认后,将确认的缺陷坐标传给修复机。
本发明上述实施例的用于平板显示器的缺陷确认装置及其操作方法,因为采用一台专用的缺陷确认机对缺陷位置进行确认,因此解决了使用修复机确认缺陷降低生产效率的问题,能够提高生产效率和产品的良品率。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解,构成本申请的一部分,本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明,并不构成对本发明的不当限定。在附图中:
图1示出了根据本发明一个实施例的用于平板显示器的缺陷确认装置的方框图;
图2示出了根据本发明一个优选实施例的缺陷确认装置的结构图;
图3示出了图1的缺陷确认装置的操作方法的流程图;
图4示出了根据本发明一个实施例的缺陷确认及修复过程。
具体实施方式
下面将参考附图并结合实施例,来详细说明本发明。
图1示出了根据本发明一个实施例的用于平板显示器的缺陷确认装置的方框图,包括:
扫描单元10,用于在移动过程中对玻璃基板表面进行照相,以获取电极图像;
显示终端20,用于显示电极图像;
光源系统30,包括对扫描单元10提供照明;
控制盘40,用于控制扫描单元10的移动、光源系统30的调节、以及显示终端20的图像处理。
该实施例采用一台专用的缺陷确认机对缺陷位置进行确认,相比于现有技术的修复机上进行缺陷的具体位置确认,本实施例显然能够提高生产效率和产品的良品率。
现有技术也尝试通过增加修复机数量来提高生产效率和产品的良品率,但这会大大增加设备成本。而且,修复机在进行缺陷位置确认过程中,其激光修复系统、浆料涂敷系统、激光烧结系统等都处于闲置状态,设备的利用率很低。
另一方面,利用激光修复机来确认缺陷位置,效果也并不理想,因为它对于ITO电极缺陷和Ag电极缺陷的区别不明显。对于寻找ITO小面积短路和黑BUS完好白BUS断开这两类缺陷,存在较大困难。
相关技术中还提供了一种方案,在通断检查机上增加一项缺陷位置确认功能。但此功能只能针对断路缺陷,对短路缺陷没有解决办法,并不能从根本上解决此问题。断路缺陷位置确认采用的方法是在通断检查完成后,多进行一次扫描。将专用探针移动到缺陷存在的电极线一侧,对位后使探针沿着电极线扫描,接收探头在电极线另一侧用于接收信号并分析结果。采用此方法可以找到断路缺陷的确切位置,但需在设备上增加一个专用探针,同时会增加通断检查的节拍时间,对通断检查设备的对位精度也提出了更高的要求。而且在接触式探针沿着电极线扫描的过程中,还可能损坏电极。
目前的通断检查后缺陷修复方法有三项不足:
1)在进行缺陷修复前,修复机需花费大量时间进行缺陷位置确认工作,增加了修复的节拍时间;在进行缺陷确认时,修复机利用效率很低。
2)利用修复机来确认缺陷位置时,对ITO电极缺陷和Ag电极缺陷的区别不明显。
3)通断后断路缺陷位置确认方法容易损坏电极,且对设备的对位精度要求更高,还需在设备上增加一个专用探针,增加了设备的成本和通断检查的节拍时间。
针对上述不足,本实施例采用一台结构和功能比较简单的缺陷确认装置来专门进行通断检查后缺陷位置的确认。采用此缺陷确认装置后,使得修复机不用再花时间查找缺陷位置,通断检查机也不用再增加断路缺陷查找功能。
可选的,在上述的缺陷确认装置中,扫描单元10包括:移动机构,用于移动;探头,用于照相。这样的构造简单易行。
可选的,在上述的缺陷确认装置中,移动机构包括:横梁,用于安装固定扫描探头与光源系统,并用于滑块滑动的导轨;滑块,其可沿横梁移动,用于安装探头和光源系统;驱动装置,用于在控制盘的控制下驱动滑块;连动装置,其连接滑块与驱动装置。这样的构造简单易行。
图2示出了根据本发明一个优选实施例的缺陷确认装置的结构图,包括以下装置:
横梁1,用于安装滑块2、驱动装置5及连动装置6,也可作滑块2横向移动时的导轨;
滑块2,用于安装探头3及光源系统4,并与驱动装置5连接,带动探头3及光源系统4在横梁1上移动;
扫描探头3,用于对基板表面图像进行扫描,并获取图像的表面信息;
光源系统4,用于缺陷确认时的照明;
驱动装置5,用于驱动滑块2沿着横梁方向运动;
连动装置6,用于连接滑块2和驱动装置5;
图像输入模块7,用于传递获取的图像信息;
显示终端8,用于实时显示扫描的电极图像,以此来确定缺陷位置;
控制盘9,用于对整个装置和缺陷确认工作的控制,该控制盘分别与滑块2、驱动装置5、显示终端8连接。
光源系统可以对入射光强度和对比度进行调节。可选的,在上述的缺陷确认装置中,光源系统包括:落射照明单元,用于对扫描单元提供落射照明;反射照明单元,用于对扫描单元提供反射照明。这就可以包含两种照明方式,分别用于ITO电极缺陷确认及Ag电极缺陷确认的照明。
图3示出了图1的缺陷确认装置的操作方法的流程图,包括以下步骤:
步骤S10,扫描单元10在移动过程中对玻璃基板表面进行照相,以获取电极图像,其中,光源系统30对扫描单元10提供照明;
步骤S20,显示终端20实时显示电极图像;
步骤S30,通过观察显示终端20上的电极图像来确定缺陷位置。
本实施例采用一台结构和功能比较简单的缺陷确认装置来专门进行通断检查后缺陷位置的确认。采用此缺陷确认装置后,使得修复机不用再花时间查找缺陷位置,通断检查机也不用再增加断路缺陷查找功能。
可选的,在上述的操作方法中,步骤S10具体包括:
接收通断检查机传过来的缺陷信息,缺陷信息包含:缺陷类别、数量、X坐标;
依据此缺陷信息,找到缺陷所在的端子区域;
依X坐标将扫描单元移动到缺陷所在的电极线上;扫描单元延电极线移动照相。
如果缺陷为断路缺陷,依X坐标将扫描单元移动到缺陷所在的电极线上具体可包括:电极线位置取X坐标数据的一半。
如果缺陷为短路缺陷,依X坐标将扫描单元移动到缺陷所在的电极线上具体可包括:
处于同一个放电单元两侧的两根电极以相同的序数计数,则第n根电极与第n根电极发生的短路,则确定短路缺陷是在放电单元两侧的电极发生;
第n根电极与第n+1根电极发生的短路,则确定短路缺陷是在非放电侧的电极发生;
连续短路发生,则确定短路缺陷是在图形区发生;
若发生第n根与第n+1根、第n+1根与第n+2根的连续短路缺陷,则确定短路缺陷是在端子部发生;根据以上判断,将扫描单元移动到缺陷所在的电极线上。
例如,图2所示的缺陷确定装置的操作方法包括:扫描探头3在移动过程中对玻璃基板表面进行照相,并将电极图像信息实时在显示终端8上显示出来;光源系统4主要包括落射照明和反射照明两种照明方式,在查找ITO短路缺陷时需关掉反射照明,在查找Ag电极短路和断路缺陷时需关掉落射照明;显示终端8用来实时显示扫描的电极图像,通过观察显示终端上的图像来确定缺陷位置;控制盘9用来控制扫描探头的移动、光源系统的调节及图像处理等操作。在检查开始前,由通断检查机传过来的缺陷信息已对缺陷类别、数量、X坐标等做了明确标识。依据此缺陷信息,找到缺陷所在的端子区域,并依X坐标将扫描探头3移动到缺陷所在的电极线上。因BUS电极扫描端和维持端都有引出端,故短路和断路的表示方式有所不同。断路电极线位置只能取X坐标数据的一半,而短路缺陷情况比较复杂。处于同一个放电单元两侧的两根电极以相同的序数计数,则第n根电极与第n根电极发生的短路,是放电单元两侧的电极发生;第n根电极与第n+1根电极发生的短路,是非放电侧的电极发生;连续短路多以第n根与第n根、第n根与第n+1根的形式发生,此类连续短路发生在图形区;若发生第n根与第n+1根、第n+1根与第n+2根的连续短路缺陷,则可以确定是端子部的短路。在找到缺陷具体位置后,将其坐标记录下来,传给修复机,修复机即可依据此缺陷坐标直接对缺陷进行修复。
可选的,在上述的操作方法中,光源系统包括:落射照明单元,用于对扫描单元提供落射照明;反射照明单元,用于对扫描单元提供反射照明;光源系统对扫描单元提供照明具体包括:在查找ITO短路缺陷时关掉反射照明单元,在查找Ag电极短路和断路缺陷时关掉落射照明单元。
可选的,在上述的操作方法中,步骤S30具体包括:
对于单根电极线上只存在一个缺陷的情况,在找到缺陷位置后,将缺陷坐标记录下来,结束此根电极线的扫描;
对于单根电极线存在多个缺陷的情况,则进一步判定是连续缺陷还是非连续缺陷,如果是连续缺陷,则在找到缺陷后与通断后缺陷数据分析结果进行比对,只有在完全符合的情况下才终止此根电极线的扫描;如果是非连续缺陷,则在找到一处缺陷并记录其坐标后继续对电极线扫描,直到找到此根电极线上的所有缺陷为止;完成基板上所有电极线的缺陷确认后,将确认的缺陷坐标传给修复机。
图4示出了根据本发明一个实施例的缺陷确认及修复过程,步骤如下:
1)在通断检查后,对缺陷信息数据进行分析,对缺陷的种类、单根电极线包含的缺陷数量、缺陷的端子区域序数及X坐标进行确认;
2)用装载小车将基板投入缺陷确认机,进行居中和原点复归操作后,依据通断后缺陷数据分析结果,将扫描探头3移动到缺陷所在的端子区域及X坐标。调节光源系统4,选择合适的照明方式及入射光强度,开始对电极线条进行扫描。扫描探头移动的速度由控制盘9控制。扫描的图像经过图像输入模块7传给显示终端8,使得在显示终端8上可以实时地观察到获取的图像信息,并依此确定缺陷位置;
3)对于单根电极线上只存在一个缺陷的情况,在找到缺陷位置后会将缺陷坐标记录下来,即完成了此根电极线的扫描;
4)对于单根电极线存在多个缺陷的情况,则需判定是连续缺陷还是非连续缺陷。如果是连续缺陷,则在找到缺陷后需与通断后缺陷数据分析结果进行比对,只有在完全符合的情况下才能终止此根电极线的扫描;如果是非连续缺陷,则需在找到一处缺陷并记录其坐标后继续对电极线扫描,直到找到此根电极线上的所有缺陷为止;
5)完成基板上所有电极线的缺陷确认后,将确认的缺陷坐标传给修复机,修复机即可依此坐标快速对缺陷进行修复。
上述实施例的缺陷确定装置及其操作方法,解决了修复机在进行缺陷位置确认时效率不高的问题,减少了缺陷检查修复的整体节拍时间,具体来说,优点如下:
1)提高了修复机的利用效率,减少了整个生产线的节拍时间;
2)针对不同类的缺陷位置确认,采用不同的照明方式,提高了缺陷确认的准确度和速度;
3)采用一台比较简单的表面检查机来进行缺陷确认工作,无需为了降低节拍而增加一台激光修复机,降低了设备成本;
4)避免了通断检查后断路缺陷位置确认时会对电极造成损伤的风险,提高了产品的良品率。
显然,本领域的技术人员应该明白,上述的本发明的各模块或各步骤可以用通用的计算装置来实现,它们可以集中在单个的计算装置上,或者分布在多个计算装置所组成的网络上,可选地,它们可以用计算装置可执行的程序代码来实现,从而可以将它们存储在存储装置中由计算装置来执行,或者将它们分别制作成各个集成电路模块,或者将它们中的多个模块或步骤制作成单个集成电路模块来实现。这样,本发明不限制于任何特定的硬件和软件结合。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种用于平板显示器的缺陷确认装置,其特征在于,包括:
通断检查机,用于检测并发送缺陷信息至扫描单元,所述缺陷信息包含:缺陷类别、数量、X坐标;
扫描单元,用于按照所述X坐标移动到缺陷所在的电极线上,并在沿所述电极线移动过程中对玻璃基板表面进行照相,以获取电极图像;
显示终端,用于显示所述电极图像;
光源系统,包括对所述扫描单元提供照明;
控制盘,用于控制所述扫描单元的移动、所述光源系统的调节、以及所述显示终端的图像处理。
2.根据权利要求1所述的缺陷确认装置,其特征在于,所述扫描单元包括:
移动机构,用于移动;
探头,用于照相。
3.根据权利要求2所述的缺陷确认装置,其特征在于,所述移动机构包括:
横梁,用于安装固定扫描探头与光源系统,并用于滑块滑动的导轨;
滑块,其可沿所述横梁移动,用于安装所述探头和所述光源系统;
驱动装置,用于在所述控制盘的控制下驱动所述滑块;
连动装置,其连接所述滑块与所述驱动装置。
4.根据权利要求1所述的缺陷确认装置,其特征在于,所述光源系统包括:
落射照明单元,用于对所述扫描单元提供落射照明;
反射照明单元,用于对所述扫描单元提供反射照明。
5.一种根据权利要求1所述的缺陷确认装置的缺陷确认方法,其特征在于,包括以下步骤:
所述扫描单元在移动过程中对玻璃基板表面进行照相,以获取电极图像,该步骤包括:接收通断检查机传过来的缺陷信息,所述缺陷信息包含:缺陷类别、数量、X坐标;依据此缺陷信息,找到缺陷所在的端子区域;依X坐标将所述扫描单元移动到缺陷所在的电极线上;所述扫描单元沿所述电极线移动照相。其中,所述光源系统对所述扫描单元提供照明;
所述显示终端实时显示所述电极图像;
通过观察所述显示终端上的所述电极图像来确定缺陷位置。
6.根据权利要求5所述的缺陷确认方法,其特征在于,所述缺陷为断路缺陷,依X坐标将所述扫描单元移动到缺陷所在的电极线上具体包括:
所述电极线位置取X坐标数据的一半。
7.根据权利要求5所述的缺陷确认方法,其特征在于,所述缺陷为短路缺陷,依X坐标将所述扫描单元移动到缺陷所在的电极线上具体包括:
处于同一个放电单元两侧的两根电极以相同的序数计数,则
第n根电极与第n根电极发生的短路,则确定短路缺陷是在放电单元两侧的电极发生;
第n根电极与第n+1根电极发生的短路,则确定短路缺陷是在非放电侧的电极发生;
连续短路发生,则确定短路缺陷是在图形区发生;
若发生第n根与第n+1根、第n+1根与第n+2根的连续短路缺陷,则确定短路缺陷是在端子部发生;
根据以上判断,将所述扫描单元移动到缺陷所在的电极线上。
8.根据权利要求5所述的缺陷确认方法,其特征在于,所述光源系统包括:落射照明单元,用于对所述扫描单元提供落射照明;反射照明单元,用于对所述扫描单元提供反射照明;所述光源系统对所述扫描单元提供照明具体包括:
在查找ITO短路缺陷时关掉所述反射照明单元,在查找Ag电极短路和断路缺陷时关掉所述落射照明单元。
9.根据权利要求5所述的缺陷确认方法,其特征在于,通过观察所述显示终端上的所述电极图像来确定缺陷位置具体包括:
对于单根电极线上只存在一个缺陷的情况,在找到缺陷位置后,将缺陷坐标记录下来,结束此根电极线的扫描;
对于单根电极线存在多个缺陷的情况,则进一步判定是连续缺陷还是非连续缺陷,
如果是连续缺陷,则在找到缺陷后与通断后缺陷数据分析结果进行比对,只有在完全符合的情况下才终止此根电极线的扫描;
如果是非连续缺陷,则在找到一处缺陷并记录其坐
标后继续对电极线扫描,直到找到此根电极线上的所有缺陷为止;
完成基板上所有电极线的缺陷确认后,将确认的缺陷坐标传给修复机。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2008102410005A CN101718828B (zh) | 2008-12-24 | 2008-12-24 | 用于平板显示器的缺陷确认装置及其操作方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2008102410005A CN101718828B (zh) | 2008-12-24 | 2008-12-24 | 用于平板显示器的缺陷确认装置及其操作方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101718828A CN101718828A (zh) | 2010-06-02 |
CN101718828B true CN101718828B (zh) | 2012-08-08 |
Family
ID=42433432
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2008102410005A Expired - Fee Related CN101718828B (zh) | 2008-12-24 | 2008-12-24 | 用于平板显示器的缺陷确认装置及其操作方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN101718828B (zh) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107346641B (zh) * | 2017-06-05 | 2020-05-12 | 莱特泰克(昆山)光电科技有限公司 | 一种大型显示屏光电玻璃制造方法 |
TWI712317B (zh) * | 2019-02-22 | 2020-12-01 | 興城科技股份有限公司 | 用於檢查玻璃基板的開路/短路檢查機及其檢查方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1354362A (zh) * | 2000-11-17 | 2002-06-19 | 巴斯勒公开股份有限公司 | 显示器制造中的平板玻璃的检查系统 |
CN1464969A (zh) * | 2001-06-29 | 2003-12-31 | 奥林巴斯光学工业株式会社 | 坐标检测装置 |
CN1493870A (zh) * | 2002-09-26 | 2004-05-05 | 株式会社日立国际电气 | 图形缺陷检查装置及图形缺陷检查方法 |
CN1627059A (zh) * | 2003-12-09 | 2005-06-15 | 三星康宁精密琉璃株式会社 | 玻璃基板的检查装置及检查方法 |
CN1637409A (zh) * | 2003-12-23 | 2005-07-13 | De&T株式会社 | 平板显示器的检验装置 |
CN1948955A (zh) * | 2005-10-12 | 2007-04-18 | 奥林巴斯株式会社 | 基板检查装置 |
CN101049022A (zh) * | 2004-10-28 | 2007-10-03 | 康宁股份有限公司 | 用于识别玻璃板表面缺陷和体缺陷的检查系统和方法 |
CN201060837Y (zh) * | 2007-04-26 | 2008-05-14 | 南京华显高科有限公司 | Al膜电极缺陷检测装置 |
CN101256213A (zh) * | 2008-03-28 | 2008-09-03 | 南京华显高科有限公司 | 平板显示面板电极线缺陷检测装置 |
-
2008
- 2008-12-24 CN CN2008102410005A patent/CN101718828B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1354362A (zh) * | 2000-11-17 | 2002-06-19 | 巴斯勒公开股份有限公司 | 显示器制造中的平板玻璃的检查系统 |
CN1464969A (zh) * | 2001-06-29 | 2003-12-31 | 奥林巴斯光学工业株式会社 | 坐标检测装置 |
CN1493870A (zh) * | 2002-09-26 | 2004-05-05 | 株式会社日立国际电气 | 图形缺陷检查装置及图形缺陷检查方法 |
CN1627059A (zh) * | 2003-12-09 | 2005-06-15 | 三星康宁精密琉璃株式会社 | 玻璃基板的检查装置及检查方法 |
CN1637409A (zh) * | 2003-12-23 | 2005-07-13 | De&T株式会社 | 平板显示器的检验装置 |
CN101049022A (zh) * | 2004-10-28 | 2007-10-03 | 康宁股份有限公司 | 用于识别玻璃板表面缺陷和体缺陷的检查系统和方法 |
CN1948955A (zh) * | 2005-10-12 | 2007-04-18 | 奥林巴斯株式会社 | 基板检查装置 |
CN201060837Y (zh) * | 2007-04-26 | 2008-05-14 | 南京华显高科有限公司 | Al膜电极缺陷检测装置 |
CN101256213A (zh) * | 2008-03-28 | 2008-09-03 | 南京华显高科有限公司 | 平板显示面板电极线缺陷检测装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101718828A (zh) | 2010-06-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6798231B2 (en) | Inspection device for liquid crystal driving substrate | |
CN200941096Y (zh) | 小型扣件检测装置 | |
CN106404796A (zh) | 电路板在线检测修复设备和电路板在线检测修复方法 | |
CN102122478B (zh) | 显示器及其接合阻抗的检测系统以及检测方法 | |
CN108267460A (zh) | 用于透明材料缺陷检测的矩阵式视觉检测系统和方法 | |
CN101883979B (zh) | 基板表面检查装置以及基板表面检查方法 | |
JP3378795B2 (ja) | 表示装置の検査装置および検査方法 | |
CN101718828B (zh) | 用于平板显示器的缺陷确认装置及其操作方法 | |
CN105259684B (zh) | 一种双工位液晶面板离线检测系统及方法 | |
CN103389308A (zh) | 光学复检系统及其检测方法 | |
CN1337576A (zh) | 扫描头及可用该扫描头的外观检查方法和装置 | |
CN109633948A (zh) | 显示面板检测方法及显示面板检测装置 | |
CN207866734U (zh) | 用于透明材料缺陷检测的矩阵式视觉检测系统 | |
CN102100135A (zh) | 组件安装系统 | |
CN109084709A (zh) | 一种自动检测装置 | |
CN105823780A (zh) | 面板检测装置与方法 | |
CN101408520A (zh) | 一种判别内外层瑕疵的检测方法与系统 | |
KR100879007B1 (ko) | 기판의 광학검사기능을 구비한 리페어장치 | |
CN100360998C (zh) | 面板裂片后缺陷检测装置以及检测方法 | |
CN210775269U (zh) | 一种检测设备 | |
CN2727784Y (zh) | 平面显示器的线路缺陷检测及激光修补设备 | |
CN1673765A (zh) | 线路缺陷检测维修设备及方法 | |
CN110243822A (zh) | 显示面板检查系统以及显示面板检查方法 | |
CN2864893Y (zh) | 具精密定位单元的平面显示面板检测仪 | |
CN102721703A (zh) | 一种在线检测的照明装置与成像方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20120808 Termination date: 20161224 |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |