CN210775269U - 一种检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于检测设备领域，涉及一种检测设备，包括移动平台、检测模组，移动平台包括承载面，承载面用于承载待测物，移动平台用于带动待测物沿第一方向移动；检测模组用于对待测物表面指定缺陷进行检测，检测模组被配置为沿第二方向移动，第一方向与第二方向之间呈角度设置。本申请通过检测模组的检测，能够有效提高检测的速度及精度；另外，移动平台、检测模组的移动方向相互独立，运动过程能够独立控制，从而能够简化控制方法，降低设备操作的复杂性。

Description

一种检测设备

技术领域

本实用新型属于检测设备领域，具体涉及一种检测设备。

背景技术

OLED(Organic Light Emitting Display)，有机电致发光显示器，因其具有低功耗、宽视角、主动发光、易实现柔性制造等优点，大量应用于各行各业。但由于其复杂的制造工艺，使得面板不可避免地会出现微小的缺陷，这些缺陷对OLED面板的显示效果造成极大地影响。为了提高面板的显示质量和成品率，必须在OLED面板制造中加入缺陷检测环节。统计显示在OLED面板制造过程中产生的缺陷主要包括：电路短路、断路，外部粒子、特征尺寸问题、过刻蚀和欠刻蚀等。为了提高OLED面板的质量和成品率，需要对产生的缺陷进行检测、分类以及对部分的缺陷进行修复。修复的决定根据缺陷的类型做出，根据在“致命的”、“可修复的”和“过程”缺陷之间的区分。

在OLED面板生产和检测领域，随着面板生产工艺的改进，检测精度要求越来越高，对整个工艺中的面板检测覆盖率要求越来越高，这样导致现有设备不能满足所有面板的全部检测覆盖率，而单纯地增加设备数量会大幅地提高检测成本。为了提升检测速度，缩短检测时间，降低成本，需要提高检测设备的检测速度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术的不足，提供一种检测设备，通过各运动组件的移动相互独立，使得各部件的运动过程能够独立控制，从而简化控制方法，降低设备操作的复杂性，并且提升检测速度，缩短检测时间，从而有效降低成本。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种检测设备，该设备可以实现各模组同时实时运动检测，包括：移动平台、检测模组，移动平台包括承载面，承载面用于承载待测物，移动平台用于带动待测物沿第一方向移动；检测模组用于对待测物表面指定缺陷进行检测，检测模组被配置为沿第二方向移动，第一方向与第二方向之间呈角度设置。

进一步地，检测设备还包括：基座，移动平台设置于基座，且与基座沿第一方向滑动连接；与基座固定连接的第一龙门，第一龙门包括沿第二方向横跨承载面的第一横梁，检测模组与第一横梁滑动连接。

进一步地，每个第一龙门设置多个检测模组；多个检测模组总检测范围在沿第一方向上覆盖承载面。

进一步地，第一龙门的个数为多个，多个第一龙门沿着第一方向依次布置；各龙门设置一个检测模组，多个检测模组总检测范围在沿第一方向上覆盖承载面。

进一步地，检测模组包括复检模组，检测设备还包括：全检模组，用于对待测物表面进行扫描检测，并确定指定缺陷，复检模组用于对全检模组指定的缺陷进行复检；与基座固定连接的第二龙门，第二龙门包括沿第二方向横跨承载面的第二横梁，全检模组与第二横梁滑动连接。

进一步地，第一龙门的个数为两个，两个第一龙门分别位于第二龙门两侧。

进一步地，基座上设有对准模块，对准模块包括两个成像组件，分别位于基座的两侧，用于拍摄待测物上的对准标记，并根据对准标记的位置对进行对准。

进一步地，第二龙门上设有聚焦调节导轨，全检模组设置在聚焦调节导轨上，便于全检模组在检测缺陷前进行手动聚焦调。

进一步地，基座上设有平台导轨，移动平台设置在平台导轨上；平台导轨沿着第一方向设置。

进一步地，第一方向与第二方向垂直。

本申请的有益效果在于：本申请提供一种检测设备，通过移动平台带动待测物沿第一方向移动，检测模组沿着第二方向移动，并在移动过程中通过检测模组对待测物的缺陷进行检测，有效提高检测的速度及精度；另外，移动平台、检测模组的移动方向相互独立，运动过程能够独立控制，从而能够简化控制方法，降低设备操作的复杂性。

附图说明

附图1是检测设备的结构示意图；

附图2是检测设备的后视图；

图中标识：1-基座、2-检测模组、201-全检模组、202-复检模组、3-移动平台、4-第一龙门、5-第一横梁、6-第二龙门、7-第二横梁、8-对准模块、9-聚焦调节导轨。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型实施例中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型实施例提供了一种检测设备，可实现各模组同时实时运动检测，且有效地提高缺陷分类、定位能力。

为使得本实用新型的发明目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而非全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。

参考附图1至2，本申请提供的一种检测设备，其包括：移动平台3、检测模组；移动平台1包括承载面，承载面用于承载待测物，移动平台3用于带动待测物沿第一方向移动；检测模组2用于对待测物表面指定缺陷进行检测，检测模组被配置为沿第二方向移动，第一方向与第二方向之间呈角度设置；实施例中，第一方向与第二方向垂直。

实施例中，检测设备还包括基座1与第一龙门4；实施例中，基座1上设有平台导轨101，移动平台3设置在平台导轨101上，平台导轨101沿着第一方向设置，并且移动平台3在平台导轨101上滑动；实施例中，基座1上设有对准模块8，对准模块8包括两个成像装置，并且两个成像装置相互对称的分别位于基座1的两侧，用于拍摄待测物上的对准标记，并根据对准标记的位置对待测物进行对准；实施例中，第一龙门4包括沿第二方向横跨承载面的第一横梁5，检测模组与第一横梁5滑动连接；实施例中，每个第一龙门4设置多个检测模组，多个检测模组2总检测范围在沿第一方向上覆盖承载面；实施例中，第一龙门4的个数为多个，多个第一龙门4沿着第一方向依次布置；各龙门设置一个检测模组，多个检测模组总检测范围在沿第一方向上覆盖承载面。

实施例中，基座1主要用于检测模组及待测物的支撑和高精度运动，是待测物检测过程高精度定位的基准；实施例中，由于待测物的缺陷检测精度在微米级，所以基座1的运动精度也应该在微米级，如此才能保证待测物缺陷检测过程中对缺陷进行精确定位。

实施例中，基座1与第二龙门6固定连接，第二龙门6包括沿第二方向横跨承载面的第二横梁7，检测模组与第二横梁7滑动连接；实施例中，第一龙门4的个数为两个，两个第一龙门4分别位于第二龙门6两侧。

实施例中，检测模组包括全检模组201；检测设备还包括复检模组202；全检模组201用于对待测物表面进行扫描检测，并确定指定缺陷，复检模组202用于对全检模组201指定的缺陷进行复检；全检模组201在第二龙门6上的滑动为直线往复运动，复检模组202在第一龙门4上的滑动为直线往复运动。

实施例中，龙门的数量为多个，本申请中共有三个龙门结构；本申请中的三个龙门固定设置于基座1上并垂直于基座1，并且三个相互以平行的形式布置；三个龙门结构为固定结构，该结构形式有效地减少了运动部分的质量，确保了高精度运动定位的易实现，使得整个设备的能耗降低，降低了成本；作为优选，第二龙门6的用于布置全检模组201，可以有效地减少移动平台3的运动行程，减少整个基座1的尺寸，降低成本；设有全检模组201的第二龙门6上还设有聚焦调节导轨9；实施例中，聚焦调节导轨9，主要用于全检模组201在检测缺陷前对待测物的手动聚焦调节，而在检测缺陷待测物运动过程中全检模组201的位置保持不变，不进行实时聚焦。

实施例中，全检模组201采用较低分辨率和大视场设计，能够快速地对待测物的缺陷进行检测和定位；本申请设有八个全检模组对待测物进行检测，每组全检模组201相互独立，可以覆盖了待测物的较大区域，使得检测过程中待测物移动的次数减少，极大地提高整片待测物的缺陷定位和检测工作时间。作为优选，可以采用大于八组全检模组201，这样更能极大地提高检测速度，但是需要综合考虑检测速度的提高比率和成本的提高比率；全检模组201能实时对待测物缺陷进行定位，并实时地将数据反馈给复检模组202，复检模组202与全检模组201配合执行缺陷的高分辨率成像和分类；作为优选，运动反馈组件可以采用光栅尺的闭环反馈，实现微米级的定位，或者采用伺服电机编码器和光栅尺的组合闭环反馈实现。

实施例中，八个全检模组201中，每个全检模组201负责待测物一定区域的检测，由于每个全检模组201的检测范围大小有限，即使采用八个全检模组201也不能一次就覆盖整个待测物的长度，所以全检模组201需要经过多次运动扫描才能对待测物进行完整检测；当第一次扫描完成后，全检模组201会对第一次扫描出的待测物进行缺陷检测，并且会对所检测到的缺陷定位进行及分类，并根据缺陷的不同产生缺陷优先级列表，然后对这些缺陷按优先级排序，使得当全检模组201在第二次扫描过程中，复检模组202可以对全检模组201第一次分类的缺陷进行复测。

实施例中，复检模组202为两组；作为优选，两个第一龙门4上分别设置复检模组202，用于对全检模组201指定的缺陷进行复检。

实施例中，本申请采用个并行的高分辨率复检模组202，分别位于基座1的不同位置，两者之间不会产生影响，并且通过最优路径规划算法，两个复检模组202同时进行缺陷复检，能有效地提高缺陷成像复检的效率；实施例中，由于高分辨率的复检模组202具有较小的景深，且待测物的整个平面度不能达到复检模组202的景深范围，同时基座1的平台导轨101的运动平面度也不能达到复检模组202的景深范围，所以在全检模组201对缺陷位置定位后，需要对缺陷位置进行重新聚焦成像，并且这种重新聚焦成像需要在缺陷扫描过程中进行，这就要求复检模组202具有实时聚焦成像的功能；复检模组202中包含的快速自动聚焦功能，用于在检测运动过程中，实时快速地使复检模组202能高分辨率的清晰地对缺陷进行成像，使得复检模组202快速运动到全检模组201分类的缺陷位置成为可能，并且提高了缺陷的复检效率。

实施例中，每个复检模组202可以完成待测物尺寸2/3区域的复测，这种结构布局形式，使得两个复检模组202可以同时并行工作，并且两个复检模组202相互不影响对方，从而可以有效地完成对待测物2/3的区域的复测，大大地提高了复测的效率，而且也能完成对整个待测物的复测，并减小整个移动平台3的行程，减小了基座1和整个设备的尺寸，有效降低了设备的成本。

以上所述的实施例，只是本实用新型的较优选的具体方式之一，本领域的技术员在本实用新型技术方案范围内进行的通常变化和替换都应包含在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种检测设备，其特征在于，包括移动平台、检测模组，所述移动平台包括承载面，所述承载面用于承载待测物，所述移动平台用于带动待测物沿第一方向移动；所述检测模组用于对待测物表面指定缺陷进行检测，所述检测模组被配置为沿第二方向移动，所述第一方向与第二方向之间呈角度设置。

2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于：所述检测设备还包括：

基座，所述移动平台设置于基座，且与所述基座沿第一方向滑动连接；

与基座固定连接的第一龙门，所述第一龙门包括沿第二方向横跨所述承载面的第一横梁，所述检测模组与所述第一横梁滑动连接。

3.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于：每个第一龙门设置多个检测模组；多个检测模组总检测范围在沿第一方向上覆盖所述承载面。

4.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于：所述第一龙门的个数为多个，多个所述第一龙门沿着所述第一方向依次布置；各龙门设置一个检测模组，多个检测模组总检测范围在沿第一方向上覆盖所述承载面。

5.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于：所述检测模组包括复检模组，所述复检设置于所述第一龙门上，所述检测设备还包括：

全检模组，用于对待测物表面进行扫描检测，并确定所述指定缺陷，所述复检模组，用于对全检模组指定的缺陷进行复检；

与基座固定连接的第二龙门，所述第二龙门包括沿第二方向横跨所述承载面的第二横梁，所述全检模组与所述第二横梁滑动连接。

6.根据权利要求5所述的检测设备，其特征在于：所述第一龙门的个数为两个，两个所述第一龙门分别位于所述第二龙门两侧。

7.根据权利要求5所述的检测设备，其特征在于：所述基座上设有对准模块，所述对准模块包括两个成像组件，分别位于所述基座的两侧，用于拍摄待测物上的对准标记，并根据对准标记的位置对进行对准。

8.根据权利要求5所述的检测设备，其特征在于：所述第二龙门上设有聚焦调节导轨，所述全检模组设置在所述聚焦调节导轨上，便于所述全检模组在检测缺陷前进行手动聚焦调。

9.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于：所述基座上设有平台导轨，所述移动平台设置在所述平台导轨上；所述平台导轨沿着所述第一方向设置。

10.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于：所述第一方向与第二方向垂直。

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