KR101514409B1 - 비전검사장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 비전검사장치에 관한 것으로써, 검사대상물을 안착시키는 지그부; 상기 지그부를 지지하며 촬영 지점으로 이동시키는 스테이지부; 상기 검사대상물의 수직 상방에 위치하며, 상기 검사대상물의 장방향 표면을 촬영하는 제1라인스캔 카메라; 상기 제1라인스캔 카메라로부터 검사대상물 이송방향으로 소정의 간격으로 설치되어, 상기 검사대상물의 단방향 표면을 촬영하는 제2라인스캔 카메라; 상기 제2라인스캔 카메라로부터 검사대상물 이송방향으로 소정의 간격으로 설치되어, 상기 검사대상물 전체를 스캔하여 결함을 검출하는 에어리어 카메라; 상기 제2라인스캔 카메라와 상기 에어리어 카메라 사이에 위치하며, 상기 제2라인스캔 카메라의 검사 영역을 통과한 지그부 또는 검사대상물이 안착되는 검사 대기부; 상기 제1라인스캔 카메라, 상기 제2라인스캔 카메라, 상기 에어리어 카메라로부터 얻은 촬영이미지를 분석하여 검사대상물 표면에 결함이 존재하는지 여부를 판단하는 제어부; 를 포함하며, 상기 지그부는, 상기 제1라인스캔 카메라와 상기 제2라인스캔 카메라 영역내에서 90도 회전이 가능하게 마련되고, 상기 제어부는 상기 제1라인스캔 카메라, 상기 제2라인스캔 카메라 및 상기 에어리어 카메라의 공정을 동시에 수행하도록 상기 3개의 카메라를 제어한다.
본 발명에 따르면, 검사대상물을 검사하는 공정 중 라인스캔 카메라 검사공정과 에어리어 카메라 검사공정이 분리되므로, 검사대상물의 검사 소요시간을 단축시켜 작업생산성을 높이며, 검사대상물의 검사위치에 상관없이 조명의 각도를 다양하게 조절할 수 있어, 기존 고정된 각도만을 제공하는 검사장치에서 필요한 부가 장비 설치에 드는 비용을 절감시키며, 검사대상물에 순차적으로 다각도로 광원을 조사시키면서 검사대상물의 표면을 촬영함으로써 상부면, 하부면, 측면에 대한 결함 검출의 정확성을 향상시킨다.

Description

비전검사장치{VISION INSPECTION APPARATUS}
본 발명은 비전검사장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 검사대상물 표면의 결함 유무를 검사하기 위한 장치이다.
컴퓨터 모니터나 휴대폰 등에 장착되어 화상을 형성하는 스크린에는 유리기판이 사용되며, 최근에는 PDP(Plasma Display Panel), LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diode)의 판매가 증가함에 따라 유리기판의 사용도 급속하게 증가 되고 있는 실정이다.
유리기판은 성형공정부터 최종적인 제품을 만드는 공정을 거치는 과정에서 여러 요인에 인해 유리기판에는 결함이 발생된다.
여기서, 결함은 유리기판에 발생된 스크래치, 얼룩, 점, 이물질, 크랙등을 말한다.
유리기판에 결함이 존재하게 되면 전체 디스플레이 성능이 저하되는 문제점이 있다.
종래에는 유리기판의 검사를 작업자의 육안에 의한 외관검사를 실시하였고, 이는 검사대상물의 표면을 검사한 후 검사대상물을 뒤집어서 이면을 검사해야하므로 자동으로 이동시키면서 검사를 수행하지 못하는 문제점이 있었다.
또한, 작업자의 육안에 의한 검사는 정확하지 못하며, 유리기판의 불량을 판별하는데 많은 검사시간이 걸리는 문제가 있었다.
전술한 종래의 검사방법을 개선한 방법으로 카메라를 이용하여 결함을 검사하는 기술이 개시되었다.
보다 상세하게는 컨베이어를 통해 검사대상물을 이송시키면서 라인스캔 카메라와 에어리어 카메라를 통해 결함 여부를 판단하는 장치가 종래 기술로 개시되었다.
다만, 종래기술은 라인스캔 카메라의 검사공정과 에어리어 카메라 검사공정이 분리가 안되고 일체의 과정으로 이루어져 있어 검사를 위한 공정시간이 길어져서 작업효율이 떨어지는 문제점이 있다..
또한, 검사대상물의 검사위치의 상관없이 조명이 고정되어 획일적인 각도의 조명만 제공하여 특정위치의 검사를 위해서는 부가장치를 추가해야 하는 문제점이 있다.
본 발명은 상기 문제점을 개선하기 위하여 창작된 것으로써, 본 발명의 목적은, 검사대상물을 검사하는 공정중 라인스캔 카메라 검사공정과 에어리어 카메라 검사공정이 분리되는 비전검사장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 검사대상물의 검사위치에 따라 다양한 각도의 조명을 제공할 수 있는 비전검사장치를 제공하는데 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 검사대상물을 안착시키는 지그부; 상기 지그부를 지지하며 촬영 지점으로 이동시키는 스테이지부; 상기 검사대상물의 수직 상방에 위치하며, 상기 검사대상물의 장방향 표면을 촬영하는 제1라인스캔 카메라; 상기 제1라인스캔 카메라로부터 검사대상물 이송방향으로 소정의 간격으로 설치되어, 상기 검사대상물의 단방향 표면을 촬영하는 제2라인스캔 카메라; 상기 제2라인스캔 카메라로부터 검사대상물 이송방향으로 소정의 간격으로 설치되어, 상기 검사대상물 전체를 스캔하여 결함을 검출하는 에어리어 카메라; 상기 제2라인스캔 카메라와 상기 에어리어 카메라 사이에 위치하며, 상기 제2라인스캔 카메라의 검사 영역을 통과한 지그부 또는 검사대상물이 안착되는 검사 대기부; 상기 제1라인스캔 카메라, 상기 제2라인스캔 카메라, 상기 에어리어 카메라로부터 얻은 촬영이미지를 분석하여 검사대상물 표면에 결함이 존재하는지 여부를 판단하는 제어부; 를 포함하며, 상기 지그부는, 상기 제1라인스캔 카메라와 상기 제2라인스캔 카메라 영역내에서 90도 회전이 가능하게 마련되고, 상기 제어부는 상기 제1라인스캔 카메라, 상기 제2라인스캔 카메라 및 상기 에어리어 카메라의 공정을 동시에 수행하도록 상기 3개의 카메라를 제어한다.
삭제
또한, 상기 지그부는, 상기 제1라인스캔 카메라 및 상기 제2라인스캔 카메라의 하방에 위치한 제1스테이지부와 상기 에어리어 카메라의 하방에 위치한 제2스테이지부로 구분되며, 각 스테이지부가 독립적으로 이동된다.
그리고, 상기 제1스테이지부 상면에는 제1지그부가 이송되게 구비되고, 상기 제2스테이지부 상면에는 제2지그부가 이송되게 구비된다.
여기서, 상기 제1지그부는, 상기 제1라인스캔 카메라와 상기 제2라인스캔 카메라 영역내에서 90도 회전이 가능하게 마련된다.
한편, 조명부는 상기 에어리어 카메라 하방에 위치하며, 육면체형태로 마련되는 제1하우징; 및 상기 제1하우징 하방에 위치하며, 절두사각뿔 형태로 마련되는 제2하우징;을 포함하며, 상기 제1하우징은 내측의 한 면에 제1램프가 배치되고 상기 제1램프와 소정거리 이격되어 사선으로 반반사거울이 배치되며, 상기 제2하우징은 내측면을 둘러싸며 배치된 제2램프를 구비한다.
이때, 제2하우징은, 내측면을 둘러싸는 램프들이 두 개 이상의 적층 구조로 이루어져 있다.
또한, 상기 제2하우징은, 소정의 각도로 광원 입사각을 수동으로 조절 가능한 수동조절유닛을 포함하며, 상기 제2램프는 상기 수동조절유닛에 의해 각 층의 램프들의 각도를 각각 조절된다.
그리고, 상기 제2하우징은, 소정의 각도로 광원 입사각을 자동으로 조절가능한 모터부와 모터제어부로 마련된 자동조절유닛을 포함하며, 상기 제2램프는, 상기 자동조절유닛에 의해 각 층의 램프들의 각도를 각각 조절된다.
한편, 상기 에어리어 카메라 수직 하방에 위치하며, 중심부가 열리고 닫히는 구조로 마련된 개폐부; 를 포함한다.
이때, 상기 개폐부의 표면은 검정색으로 마련된다.
여기서, 상기 개폐부의 하방에는 하부조명부를 포함한다.
또한, 에어리어 카메라 하방에는 경사진 방향으로 빛을 조사하는 사이드조명부; 를 포함한다.
본 발명에 따른 비전검사장치는 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 검사대상물을 검사하는 공정 중 라인스캔 카메라 검사공정과 에어리어 카메라 검사공정이 분리되므로, 검사대상물의 검사 소요시간을 단축시켜 작업생산성을 높인다.
둘째, 검사대상물의 검사위치에 상관없이 조명의 각도를 다양하게 조절할 수 있어, 기존 고정된 각도만을 제공하는 검사장치에서 필요한 부가장비 설치에 드는 비용을 절감시킨다.
백라이트유닛의 표면에 표면상태가 불량상태인지를 판단
셋째, 검사대상물에 순차적으로 다각도로 광원을 조사시키면서 검사대상물의 표면을 촬영함으로써 상부면, 하부면, 측면에 대한 결함 검출의 정확성을 향상시킨다.
도 1은, 본 발명에 따른 비전검사장치를 개략적으로 도시한 장치도이다.
도 2는, 본 발명에 의한 스테이지부 및 검사대기부를 개략적으로 도시한 참고도이다.
도 3은, 본 발명에 의한 지그부의 이동 및 회전을 나타내는 평면도이다.
도 4는, 본 발명에 의한 조명부를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 5는, 본 발명에 의한 제2하우징의 구성을 나타낸 장치도이다.
도 6은, 본 발명에 의한 개폐부 및 하부조명부를 도시한 참고도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세히 설명하기로 한다.
이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어는 사전적인 의미로 한정 해석되어서는 아니되며, 발명자는 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절히 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예 및 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 표현하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 존재할 수 있음을 이해하여야 한다.
본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 더 구체적으로 설명하되, 이미 주지되어 진 기술적 부분에 대해서는 설명의 간결함을 위해 생략하거나 압축하기로 한다.
도 1은, 본 발명에 따른 비전검사장치를 개략적으로 도시한 장치도이며, 도 2는, 본 발명에 의한 스테이지부 및 검사대기부를 개략적으로 도시한 참고도이며, 도 3은, 본 발명에 의한 지그부의 이동 및 회전을 나타내는 평면도이며, 도 4는, 본 발명에 의한 조명부를 개략적으로 도시한 단면도이며, 도 5는, 본 발명에 의한 제2하우징의 구성을 나타낸 장치도이며, 도 6은, 본 발명에 의한 개폐부 및 하부조명부를 도시한 참고도이다.
본 실시예에 따른 비전검사장치는 도1을 참조하면, 검사대상물을 안착시키는 지그부(100); 상기 지그부(100)를 지지하며 이동시키는 스테이지부(200); 상기 검사대상물의 수직 상방에 위치하며, 상기 검사대상물의 장방향 영상을 촬영하는 제1라인스캔 카메라(300); 상기 제1라인스캔 카메라(300)로부터 검사대상물 이송방향으로 소정의 간격으로 설치되어, 상기 검사대상물의 단방향 영상을 촬영하는 제2라인스캔 카메라(400); 상기 제2라인스캔 카메라(400)로부터 검사대상물 이송방향으로 소정의 간격으로 설치되어, 상기 검사대상물 전체를 스캔하여 결함을 검출하는 에어리어 카메라(500); 상기 제2라인스캔 카메라(400)와 상기 에어리어 카메라(500) 사이에 위치한 검사대기부(600); 상기 제1라인스캔 카메라(300), 상기 제2라인스캔 카메라(400), 상기 에어리어 카메라(500)로부터 얻은 촬영이미지를 분석하여 검사대상물 표면에 결함이 존재하는지 여부를 판단하는 제어부(700); 를 포함한다.
여기서, 지그부(100)는 검사대상물을 작업자 또는 로봇암(미도시)이나 이송롤러(미도시) 등의 이송 수단에 의해 공급받아 상기 검사대상물을 수납하기 위한 공간을 제공하는 역할을 수행한다.
또한, 지그부(100)는 스테이지부(200) 상면에 위치하여 검사대상물을 제1라인스캔 카메라(300), 제2라인스캔 카메라(400), 에어리어 카메라(500)가 촬영할 수 있는 위치로 이동하는데 보조 역할을 수행한다.
이때, 지그부(100)는 검사대상물의 이송방향을 기준으로 좌우로 이동한다.
또한, 도3을 참조하면, 지그부(100)는 제1라인스캔 카메라(300)와 제2라인스캔 카메라(400) 영역내에서 90도 회전이 가능하게 마련된다.
이것은, 제2라인스캔 카메라(400)가 단방향 영상을 촬영하는 것을 용이하게 하기위해 장방향 영상을 촬영하는 제1라인스캔 카메라(300) 영역을 지나면, 90도 회전을 하는 것이다.
이때, 지그부(100)는 검사될 검사대상물이 착좌되는 위치를 가이드 하는 위치조절부(미도시) 및 회로기판이 지그부에 안전하게 안착되게 하는 고정부(미도시)를 포함할 수 있다.
스테이지부(200)는 지그부(100)의 하방에 위치하여, 상기 지그부(100)를 지지하며 이동시키는 역할을 수행한다.
이때, 스테이지부(200)는 바람직하게는 컨베이어 형태로 마련되지만, 이에 한정되는 것은 아니다.
또한, 스테이지부(200)는 하나의 제조 라인만을 운영하는 것이 아니라, 동일한 2개 이상의 제조 라인이 나란히 마련되어 검사 작업시간을 단축시킬 수 있다.
한편, 도2를 참조하면, 스테이지부(200)는 제1라인스캔 카메라(300) 및 제2라인스캔 카메라(400)의 하방에 위치한 제1스테이지부(210)와 에어리어 카메라(500)의 하방에 위치한 제2스테이지부(220)로 구분될 수 있다.
이때, 제1스테이지부(210)와 제2스테이지부(220)는 독립적으로 이동되고, 제1스테이지부(210) 상면에는 제1지그부(110)가 구비되며 제2스테이지부(220) 상면에는 제2지그부(120)가 구비된다.
여기서, 제1지그부(110)는 제1라인스캔 카메라(300)와 제2라인스캔 카메라(400) 영역내에서 90도 회전이 가능하게 마련된다.
이것은, 상기 지그부(100)에서 설명한 이유와 동일하므로 상기 지그부(100)의 90도 회전에 관한 설명으로 대체하기로 한다.
덧붙여, 제1스테이지부(210)에 검사대상물을 공급하는 공급유닛(미도시), 제2스테이지부(220)에서 검사대상물을 배출시키는 배출유닛(미도시)이 마련될 수 있다.
이때, 상기 공급유닛(미도시) 및 상기 배출유닛(미도시)은 일 실시예로 로봇암을 통해 구현될 수 있다.
이하에서는 도1을 참조하여, 제1라인스캔 카메라(300), 제2라인스캔 카메라(400), 에어리어 카메라(500)에 관해 설명한다.
제1라인스캔 카메라(300)는 지그부(100)의 수직 상방에 위치하며, 검사대상물의 장방향 영상을 촬영하는 역할을 수행한다.
보다 상세하게는, 제1라인스캔 카메라(300)는 긁힘, 덴트, 인쇄 번짐, 이물, 실오라기 등을 검사한다.
제2라인스캔 카메라(400)는 제1라인스캔 카메라(300)로부터 검사대상물 이송방향으로 소정의 간격으로 설치되어, 검사대상물의 단방향 영상을 촬영하는 역할을 수행한다.
보다 상세하게는, 제2라인스캔 카메라(400)는 깨짐 및 파손, 눌림, 기포 등을 검사한다.
에어리어 카메라(500)는 제2라인스캔 카메라(400)로부터 검사대상물 이송방향으로 소정의 간격으로 설치되어, 상기 검사대상물 전체를 스캔하여 결함을 검출하는 역할을 수행한다.
보다 상세하게는, 에어리어 카메라(500)는 인쇄 번짐, 백점, 흑점, 깨짐, 파손, 얼룩 등을 검사한다.
덧붙여, 에어리어 카메라(500)는 검사체를 일정 면적별로 스캔할 수 있는 카메라이다.
제1라인스캔 카메라(300), 제2라인스캔 카메라(400) 및 에어리어 카메라(500)는 검사장치와 기타 용도로 널리 사용되므로 그 구성에 대한 자세한 설명은 생략한다.
도1을 참조하면, 제1라인스캔 카메라(300), 제2라인스캔 카메라(400), 에어리어 카메라(500)의 위치를 보면 나란히 수평배치되는 관계이다.
검사대기부(600)는 제2라인스캔 카메라(400)와 상기 에어리어 카메라(500) 사이에 위치하여, 제1라인스캔 카메라(300) 및 제2라인스캔 카메라(400)의 검사 공정과 에어리어 카메라(500)의 검사 공정을 분리 시키는 역할을 수행한다.
보다 상세하게는, 도3을 참조하면, 제1라인스캔 카메라(300) 및 제2라인스캔 카메라(400)의 검사 공정을 마친 검사대상물은 소정의 시간동안 검사대기부(600)로 이동시키고, 이후 에어리어 카메라(500)의 검사 공정을 시작할 때 검사대기부(600) 위에 있는 검사대상물을 에어리어 카메라(500) 검사 영역으로 이동시킨다.
이때, 제1라인스캔 카메라(300) 및 제2라인스캔 카메라(400)에서 검사대기부(600)로, 검사대기부(600)에서 에어리어 카메라(500)로 이동시키는 역할은 로봇암(미도시)을 통해 구현될 수 있다.
즉, 제2라인스캔 카메라(400)와 상기 에어리어 카메라(500) 사이에 위치한 검사대기부(600)가 구비됨으로써 제1라인스캔 카메라(300) 및 제2라인스캔 카메라(400)의 검사 공정과 에어리어 카메라(500)의 검사 공정을 구분될 수 있다.
제어부(700)는 제1라인스캔 카메라(300), 제2라인스캔 카메라(400), 에어리어 카메라(500)로부터 얻은 촬영 이미지를 분석하여 검사대상물 표면에 결함이 존재하는지 여부를 판단하는 역할을 수행한다.
이때, 제어부(700)는 제1라인스캔 카메라(300) 및 제2라인스캔 카메라(400)의 영역과 에어리어 카메라(500) 영역의 검사 공정을 동시에 수행하도록 상기 3개의 카메라를 제어한다.
즉, 제어부(700)는 제1라인스캔 카메라(300) 및 제2라인스캔 카메라(400), 에어리어 카메라(500)의 수평방향, 수직방향 이동시 구동을 제어하는 역할을 수행한다.
또한, 제어부(700)는 상기 3개의 카메라에서 검사 공정이 마치면, 각 카메라를 통해 검사대상물 검사 이미지를 수집하여, 미리 프로그램화된 결함이미지 판별 로직에 따라 검사대상물의 결함 여부를 판단한다.
이하에서는 도 4를 참조하여, 조명부(800)에 관해 설명한다.
조명부(800)는, 에어리어 카메라(500) 하방에 위치하며, 육면체형태로 마련되는 제1하우징(810); 및 제1하우징(810) 하방에 위치하며, 절두사각뿔 형태로 마련되는 제2하우징(820);을 포함한다.
이때, 제1하우징(810)은 내측의 한 면에 제1램프(830)가 배치되고 제1램프(830)와 소정거리 이격되어 사선으로 반반사거울(835)이 배치되며, 제2하우징(820)은 내측면을 둘러싸며 배치된 제2램프(840)가 배치된다.
이때, 제1램프(830) 및 제2램프(840)는 빛을 균일하게 직진하게 조사하는 LED소자로 이루어지는게 바람직하지만 이에 한정되는 것은 아니다.
제1하우징(810)에 설치된 제1램프(830)가 광원을 제공하면 반반사거울(835)는 검사대상물을 향해 수직으로 입사되는 광원을 제공할 수 있도록 방향을 바꾸는 역할을 수행한다.
즉, 제1하우징(810)의 제1램프(830)와 반반사거울(835)은 검사대상물에 대해 수직으로 향한 광원을 제공하는 역할을 수행한다.
또한, 제2하우징(820)은 제1하우징(810) 하부에 설치되며, 제2하우징(820)에 배치된 제2램프(840)는 90도 이하의 각으로 입사되는 광원을 검사대상물을 향해 제공하는 역할을 수행한다.
이를 위해, 제2램프(840)는 제2하우징(820)에 소정의 일정 각도로 기울어져 내측면에 배치된다.
이하에서는 도5를 참조하여 제2램프(840), 수동조절유닛(850), 모터부(861)와 모터제어부(862)를 포함하는 자동조절유닛(860)에 관하여 설명한다.
제2램프(840)는 제2하우징(820)의 내측면을 둘러싸는 램프들로 두 개 이상의 적층 구조로 이루어져 있다.
각 층을 이루는 램프들은 개별적으로 램프의 각도 조절이 가능하다.
덧붙여 설명하면, 광원 입사각을 수동으로 조절 가능한 수동조절유닛(850)에 의해, 제2램프(840) 각 층의 램프들은 각도 조절이 각 층 별로 구현된다.
또한, 제2램프(840)는, 소정의 각도로 광원 입사각을 자동으로 조절가능한 모터부(861)와 모터제어부(862)로 마련된 자동조절유닛(860)에 의해 각 층의 램프들의 각도 조절이 구현된다.
이때, 모터제어부(862)는 모터부(861)가 제2램프(840)의 각도 조절을 구동하는 것을 제어하는 역할을 수행한다.
모터제어부(862)의 제어에 의해 모터부(861)는 제2램프(840)의 각도를 각 측별로 조절하게 된다.
이하에서는 도6 및 도7을 참조하여 개폐부(900)와 하부조명부(910)에 관해 설명한다.
개폐부(900)는 에어리어 카메라(500) 수직 하방에 위치하며, 중심부가 열리고 닫히는 구조로 마련된다.
도7은 개폐부(900)가 닫혀진 상태와 열린 상태를 도시한 참고도이며, 도7은 본 발명의 일 실시예에 불과하므로 개폐부(900)의 형상와 모양은 다양하게 마련될 수 있다.
이때, 개폐부(900)의 표면은 검정색으로 마련된다. 이는 램프의 광원으로부터 빛의 굴절 및 난반사 등이 일어나는 것을 최소화하기 위한 것이다.
또한, 도6을 참조하면, 개폐부(900)의 하방에는 하부조명부(910)를 포함한다.
하부조명부(910)는, 일 측면에 램프들이 배치되며, 검사대상물의 하부면에 광원을 제공하여 검사대상물 하부면의 결함을 검출하는 역할을 수행한다.
보다상세하게는, 하부조명부(910)는 백 라이트(back light) 조명으로 이물, 깨짐, 파손 등을 검출한다.
개폐부(900)가 존재함으로써, 하부조명부(910)의 백색 빛의 반사를 차단할 수 있다.
도8을 참조하면, 에어리어 카메라(500) 하방에 경사진 방향으로 빛을 조사하는 사이드조명부(920)가 마련된다.
사이드조명부(920)는, 검사대상물의 미세한 결함인 덴트(dent)를 검출하는 역할을 수행한다.
보다 상세히 설명하면, 조명부를 통해 광원이 검사대상물에 대해 평면으로 비춰지면 검사대상물의 표면 결함 중 덴트(dent)를 검사하기 어렵다.
즉, 정면에서 보는 것과 다르게 비스듬히 검사시 덴트(dent)를 용이하게 검출 할 수 있다.
사이드조명부(920)는, 음영차와 굴절율을 통해 검사대상물의 표면 결함 중 덴트(dent)를 검출하게 된다.
100 : 지그부
110 : 제1지그부
120 : 제2지그부
200 : 스테이지부
210 : 제1스테이지부
220 : 제2스테이지부
300 : 제1라인스캔 카메라
400 : 제2라인스캔 카메라
500 : 에어리어 카메라
600 : 검사대기부
700 : 제어부
800 : 조명부
810 : 제1하우징
820 : 제2하우징
830 : 제1램프
835 : 반반사거울
840 : 제2램프
850 : 수동조절유닛
860 : 자동조절유닛
861 : 모터부
862 : 모터제어부
900 : 개폐부
910 : 하부조명부
920 : 사이드조명부

Claims (13)

  1. 검사대상물을 안착시키는 지그부;
    상기 지그부를 지지하며 촬영 지점으로 이동시키는 스테이지부;
    상기 검사대상물의 수직 상방에 위치하며, 상기 검사대상물의 장방향 표면을 촬영하는 제1라인스캔 카메라;
    상기 제1라인스캔 카메라로부터 검사대상물 이송방향으로 소정의 간격으로 설치되어, 상기 검사대상물의 단방향 표면을 촬영하는 제2라인스캔 카메라;
    상기 제2라인스캔 카메라로부터 검사대상물 이송방향으로 소정의 간격으로 설치되어, 상기 검사대상물 전체를 스캔하여 결함을 검출하는 에어리어 카메라;
    상기 제2라인스캔 카메라와 상기 에어리어 카메라 사이에 위치하며, 상기 제2라인스캔 카메라의 검사 영역을 통과한 지그부 또는 검사대상물이 안착되는 검사 대기부;
    상기 제1라인스캔 카메라, 상기 제2라인스캔 카메라, 상기 에어리어 카메라로부터 얻은 촬영이미지를 분석하여 검사대상물 표면에 결함이 존재하는지 여부를 판단하는 제어부; 를 포함하며,
    상기 지그부는, 상기 제1라인스캔 카메라와 상기 제2라인스캔 카메라 영역내에서 90도 회전이 가능하게 마련되고,
    상기 제어부는 상기 제1라인스캔 카메라, 상기 제2라인스캔 카메라 및 상기 에어리어 카메라의 공정을 동시에 수행하도록 상기 3개의 카메라를 제어하는 것을 특징으로 하는
    비전검사장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 스테이지부는, 상기 제1라인스캔 카메라 및 상기 제2라인스캔 카메라의 하방에 위치한 제1스테이지부와 상기 에어리어 카메라의 하방에 위치한 제2스테이지부로 구분되며, 각 스테이지부가 독립적으로 이동되는 것을 특징으로 하는
    비전검사장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1스테이지부 상면에는 제1지그부가 이송되게 구비되고, 상기 제2스테이지부 상면에는 제2지그부가 이송되게 구비되는 것을 특징으로 하는
    비전검사장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1지그부는, 상기 제1라인스캔 카메라와 상기 제2라인스캔 카메라 영역내에서 90도 회전이 가능하게 마련되는 것을 특징으로 하는
    비전검사장치.
  6. 제1항 또는 제3항 중 어느 한항에 있어서,
    조명부는 상기 에어리어 카메라 하방에 위치하며, 육면체형태로 마련되는 제1하우징; 및 상기 제1하우징 하방에 위치하며, 절두사각뿔 형태로 마련되는 제2하우징;을 포함하며, 상기 제1하우징은 내측의 한 면에 제1램프가 배치되고 상기 제1램프와 소정거리 이격되어 사선으로 반반사거울이 배치되며, 상기 제2하우징은 내측면을 둘러싸며 배치된 제2램프를 구비한 것을 특징으로 하는
    비전검사장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제2하우징은, 내측면을 둘러싸는 램프들이 두 개 이상의 적층 구조로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는
    비전검사장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제2하우징은, 소정의 각도로 광원 입사각을 수동으로 조절 가능한 수동조절유닛을 포함하며, 상기 제2램프는 상기 수동조절유닛에 의해 각 층의 램프들의 각도를 각각 조절되는 것을 특징으로 하는
    비전검사장치.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 제2하우징은, 소정의 각도로 광원 입사각을 자동으로 조절가능한 모터부와 모터제어부로 마련된 자동조절유닛을 포함하며, 상기 제2램프는, 상기 자동조절유닛에 의해 각 층의 램프들의 각도를 각각 조절되는 것을 특징으로 하는
    비전검사장치.
  10. 제1항 또는 제3항 중 어느 한항에 있어서,
    상기 에어리어 카메라 수직 하방에 위치하며, 중심부가 열리고 닫히는 구조로 마련된 개폐부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
    비전검사장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 개폐부의 표면은 검정색으로 마련되는 것을 특징으로 하는
    비전검사장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 개폐부의 하방에는 하부조명부를 포함하는 것을 특징으로 하는
    비전검사장치.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 에어리어 카메라 하방에는 경사진 방향으로 빛을 조사하는 사이드조명부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
    비전검사장치.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210067480A (ko) 2019-11-29 2021-06-08 (주)유한엔씨아이 저면조사방식의 라벨부착시스템
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101720008B1 (ko) * 2015-07-03 2017-03-27 (주)소닉스 제품의 분류 장치
KR101720007B1 (ko) * 2015-07-03 2017-03-27 (주)소닉스 글라스 검사장치
KR102409966B1 (ko) 2015-09-17 2022-06-16 삼성전자주식회사 광원 모듈의 제조방법
KR101972517B1 (ko) * 2017-09-05 2019-05-02 주식회사 에이치비테크놀러지 검사대상체 표면 검사를 위한 듀얼 라인 광학 검사 시스템
KR20220106028A (ko) 2021-10-31 2022-07-28 손명성 북스토퍼

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101192331B1 (ko) 2012-08-23 2012-10-17 함상민 에어리어 카메라를 이용한 렌즈의 비전 검사장치 및 검사방법

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101192331B1 (ko) 2012-08-23 2012-10-17 함상민 에어리어 카메라를 이용한 렌즈의 비전 검사장치 및 검사방법

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210067480A (ko) 2019-11-29 2021-06-08 (주)유한엔씨아이 저면조사방식의 라벨부착시스템
KR20230029091A (ko) 2021-08-23 2023-03-03 (주)인스케이프 용기형 물체의 다각도 촬영 장치

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