KR20120136654A - 조명검사장치 및 조명검사방법 - Google Patents

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    • G01J2001/083—Testing response of detector

Abstract

본 발명은 조명검사장치 및 조명검사방법에 관한 것으로, 조명장치에서 발산된 빛을 반사하며 회전축을 구비하여 구동되는 반사부; 상기 반사부를 구동시키는 반사방향조정부; 상기 반사부에서 반사된 빛의 광도를 측정하는 측정부; 및 상기 반사방향조정부와 상기 측정부를 제어하는 제어부; 를 포함하며, 상기 제어부는 상기 회전축의 중심을 지나는 상기 반사부의 법선과, 상기 측정부로부터 상기 회전축 까지 연결되는 가상선이 이루는 각도 θ1을 변화시키면서 상기 측정부에서 측정되는 빛의 광도를 저장하는 것일 수 있다.

Description

조명검사장치 및 조명검사방법{INSPECTION DEVICE OF ILLUMINATION AND INSPECTION METHOD OF ILLUMINATION}
본 발명은 조명검사장치 및 조명검사방법에 관한 것이다.
다양한 제품들이 자동화된 공정을 통해 만들어지고 있다. 이러한 제품의 경우 적은 수준이나마 불량이 존재하게 되며, 이러한 불량을 수작업으로 하나씩 검사하는 것은 매우 비효율 적이다. 따라서, 이러한 대량생산 제품들의 불량여부를 검사하기 위하여 자동광 검사 방식이 도입되어, 기판, 전자칩, 인쇄물 등의 불량 검사 용도로 폭넓게 사용되고 있다.
상기와 같은 자동광 검사 방식에 사용되는 자동광 검사기는 도 1에서 예시한 바와 같이, 고성능 카메라와 렌즈, 그리고 적절한 조명으로 구성되는데, 이러한 광학계에서 얻어진 이미지를 화상 알고리즘을 이용해 계산하여 이물, 파손, 변형, 스크래치 등의 다양한 결함을 자동으로 검출할 수 있다.
한편, 자동광 검사 방식을 빠르고 정확하게 수행하기 위해서는 적절한 조명장치의 설계 및 배치가 무엇 보다 중요하다고 할 수 있다.
예를 들면, 표면에 결함이 있는 제품을 자동광 검사 방식으로 검사할 경우에, 조명장치에서 발산되는 빛의 특성에 따라 상기 결함이 명확하게 검출되거나 그렇지 않을 수 있는 것이다.
또한, 자동광 검사의 대상이 되는 제품은 그 종류가 다양할 뿐만 아니라, 특정 제품에서 검사하고자 하는 결함의 유형도 다양하다.
따라서, 조명장치는 검사대상인 제품의 종류 및 결함의 유형에 따라 요구되는 특성 내지는 조건이 달라져야 한다.
그러나, 종래에는 자동광 검사용 장비에 조명장치를 탑재함에 있어서, 탑재되는 조명장치가 발산하는 빛의 공간적인 밝기 분포, 검사대상물체의 표면에 입사되는 각도에 따른 밝기 분포 등을 측정하거나 검사할 수 있는 장비나 방법이 없었다.
또한, 조명장치를 설계 및 제작하는 과정에서 예상치 못한 요인으로 인하여 조명장치 자체에 불량이 발생하거나, 제작된 조명장치의 특성이 요구조건에 부합하지 못하는 문제가 발생하였지만, 이러한 불량 조명장치들을 효율적으로 선별해 낼 수 있는 장비나 방법도 없었다.
상기와 같은 문제점들을 해결하기 위하여 창안된 본 발명은, 다양한 조명장치들을 신속하고 정밀하게 검사할 수 있는 조명검사장치 및 조명검사방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 창안된 본 발명의 일실시예에 따른 조명검사장치는, 조명장치에서 발산된 빛을 반사하며 회전축을 구비하여 구동되는 반사부; 상기 반사부를 구동시키는 반사방향조정부; 상기 반사부에서 반사된 빛의 광도를 측정하는 측정부; 및 상기 반사방향조정부와 상기 측정부를 제어하는 제어부; 를 포함하며, 상기 제어부는 상기 회전축의 중심을 지나는 상기 반사부의 법선과, 상기 측정부로부터 상기 회전축까지 연결되는 가상선이 이루는 각도 θ1을 변화시키면서 상기 측정부에서 측정되는 빛의 광도를 저장하는 것일 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 조명검사장치는, 조명장치에서 발산된 빛을 반사하는 반사부; 상기 반사부에서 반사된 빛의 광도를 측정하며, 상기 반사부의 중심점을 축으로 구동되는 측정부; 상기 측정부를 구동시키는 측정방향조정부; 및 상기 측정부와 상기 측정방향조정부를 제어하는 제어부;를 포함하며, 상기 제어부는 상기 중심점을 지나는 상기 반사부의 법선과, 상기 측정부로부터 상기 중심점을 연결하는 가상선이 이루는 각도 θ2를 변화시키면서 상기 측정부에서 측정되는 빛의 광도를 저장하는 것일 수 있다.
이때, 상기 반사부와 상기 측정부 사이에 구비되어 상기 반사부 상의 한 점에서 반사되어 미리 정해진 방향으로 진행하는 빛이 상기 측정부에 결상되도록 하는 결상용 광학계를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 조명장치가 거치되며, 상기 조명장치의 위치를 조정하는 조명위치조정부;를 더 포함하며, 상기 제어부는 상기 조명위치조정부도 제어하는 것일 수 있다.
또한, 상기 측정부는, 빛을 수용하는 렌즈; 및 상기 렌즈를 통과한 빛을 전기적인 신호로 변환하는 이미지센서;를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제어부는, 상기 θ1과 상기 θ1에 따른 광도 정보를 매칭시키는 제1연산부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제어부는, 상기 θ2와 상기 θ2에 따른 광도 정보를 매칭시키는 제2연산부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 측정부의 상기 반사부쪽 표면에 기준선이 구비될 수 있다.
한편, 본 발명의 일실시예에 따른 조명검사방법은, (A) 상기 조명장치, 반사부 및 측정부를 정렬하는 단계; (B) 상기 θ1 또는 θ2를 변경시키면서 광도 정보를 측정하는 단계; 및 (C) 상기 (B) 단계에서 측정된 측정결과를 저장하는 단계;를 포함할 수 있다.
이때, 상기 (B) 단계와 상기 (C) 단계 사이에, (b1) 상기 조명장치를 이동시키는 단계; 및 (b2) 상기 조명장치가 미리 설정된 위치까지 이동되지 않았을 경우에만 상기 (B) 단계로 피드백하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 (C) 단계 이후에, (D) 상기 (C) 단계에서 저장된 측정결과를 정상상태값과 비교하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 일실시예에 따른 조명검사장치 및 조명검사방법은 조명장치의 광분포 특성을 측정함으로써, 조명장치의 불량여부를 판별하고, 조명장치의 조명각에 따른 광도의 분포 특성을 도출하여 추후 자동광 검사 과정에서 레퍼런스 데이터로 활용할 수 있다는 유용한 효과를 제공한다.
도 1은 종래의 자동광 검사장비의 구성을 개략적으로 예시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 조명검사장치를 개략적으로 예시한 도면이다.
도 3은 입사각의 변화에 따른 조명강도의 분포를 개략적으로 예시한 그래프이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 조명검사장치의 변형예를 개략적으로 예시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 조명검사장치를 개략적으로 예시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 조명검사장치의 주요부의 변형예를 개략적으로 예시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 조명검사방법을 예시한 순서도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 기술 등은 첨부되는 도면들과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있다. 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 함과 더불어, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공될 수 있다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
본 명세서에서 사용된 용어들은 실시예를 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprise)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성 및 작동을 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 조명검사장치(100)를 개략적으로 예시한 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 조명검사장치(100)는 반사부(110), 반사방향조정부, 측정부(120) 및 제어부(130)를 포함할 수 있다.
상기 반사부(110)는 회전축을 구비하여 구동되는 것일 수 있으며, 조명장치(1)에서 발산된 빛을 반사하는 기능을 수행할 수 있다.
상기 반사방향조정부(도시 않음)는 상기 반사부(110)를 구동시켜 조명장치(1)에서 발산된 빛의 반사방향을 조정하는 기능을 수행할 수 있다.
상기 반사방향조정부는 일반적인 모터와 기어 등으로 구현될 수 있다.
도시하지는 않았지만, 상기 반사부(110)와 반사방향조정부는 다양한 형상의 거치대에 구동 가능하게 고정될 수 있다.
상기 측정부(120)는 빛을 수용하는 렌즈(121)와 상기 렌즈(121)에 의하여 수용된 빛이 도달하며 광신호를 전기신호로 변환하는 통상의 이미지센서(122)를 포함할 수 있다.
또한, 상기 렌즈(121)는 복수의 군 및/또는 매로 이루어져 초점 조절이 가능할 수 있다.
이에 따라, 상기 측정부(120)는 반사부(110)에서 반사된 빛의 광도를 측정하는 기능을 수행할 수 있다.
도시하지 않았지만, 조명위치조정부가 더 구비될 수 있다.
상기 조명위치조정부에는 조명장치(1)가 거치되어 그 위치가 조정될 수 있다.
이때, 상기 제어부(130)가 조명위치조정부를 제어할 수 있다.
상기 제어부(130)는 반사부(110), 반사방향조정부 및 측정부(120)를 제어하는 기능을 수행할 수 있다.
특히, 상기 제어부(130)는 반사방향조정부에 제어신호를 인가하여 상기 반사부(110)를 구동시킬 수 있는데, 이에 따라, 반사부(110)의 회전축의 중심을 지나는 반사부(110)의 법선과 상기 측정부(120)로부터 상기 회전축까지 연결되는 가상선이 이루는 각도인 θ를 변화시키면서 빛의 광도를 측정하여 저장되도록 할 수 있다.
이때, 도면상의 φ는 상기 조명장치(1)에서 상기 반사부(110)의 회전축의 중심을 연결한 가상선과, 상기 측정부(120)로부터 상기 회전축까지 연결되는 가상선이 이루는 각도이다.
조명장치(1)에서 발생되는 빛은 반사부(110)의 표면에서 반사되어 측정부(120)로 입사되거나 측정부(120) 주변으로 진행되는데, 특히, Φ = 2θ의 관계가 성립되는 빛 만이 선택적으로 상기 측정부(120)로 입사된다.
한편, θ에 따른 광도분포를 보다 정밀하게 측정하기 위해서는 상기 측정부(120)에서 받아들이는 빛의 범위를 좁게 하는 것이 바람직하다. 이를 위하여 상기 측정부(120)에서 사용되는 렌즈의 F 값을 크게 하거나, 조리개를 최대로 닫는 방법을 사용할 수 있으며, 이미지센서(122)의 중심부에 해당하는 소정의 영역에서 센싱된 데이터만 활용하도록 소프트웨어적으로 처리될 수도 있다.
상기 제어부(130)는 연산부를 구비하여 상기 θ와 상기 θ에 따른 광도 정보를 매칭시킬 수 있다.
도 3에서 예시한 바와 같이 입사각에 따라 조명강도가 달라지게 되는데, 상기와 같이 θ를 달리하면서 빛의 광도를 측정함으로써 검사대상 조명장치(1)의 입사각에 따른 조명강도의 분포를 확인할 수 있다.
도 1에서 예시한 바와 같이, 자동광 검사장비에서는 렌즈(121)를 포함하는 카메라 등의 측정장치의 수직 하방에 검사대상시료를 위치시키고 소정의 거리 및 각도를 설정하여 조명을 가한 상태에서 검사를 수행한다.
이때, 검사대상시료의 표면에서 반사된 빛 중 카메라에 입사되는 빛의 광도분포를 이용하면 검사대상시료의 표면 기울기를 도출할 수 있으며, 이렇게 도출된 기울기를 이용하여 검사대상시료의 표면 형상을 연산할 수 있다.
또한, 상기 표면 형상에 따라 검사대상시료의 표면 결함여부를 판별할 수 있는 것이다.
한편, 카메라에 입사되는 빛의 광도 분포를 이용하여 검사대상시료의 표면 기울기를 도출하기 위해서는, 조명장치(1)에서 발산되는 빛이 소정의 기울기를 이루는 표면에 반사되어 측정부(120)에 도달할 때 광도가 어떻게 분포되는지를 알아야 한다.
예를 들어, 특정 조명장치(1)를 특정 위치에 고정하고 조명을 가했을 때, 표면 기울기가 10°인 면에서 반사되어 측정부(120)에 도달한 빛의 광도가 100 칸델라(candela)인 것을 알고 있다면, 시료를 위치시켜 측정된 광도가 100 칸델라인 지점에서의 표면 기울기가 10°인 것으로 판별할 수가 있는 것이다.
본 발명의 일실시예에 따른 조명검사장치(100)는, 특정 조명장치(1)에 대하여 반사부(110)의 각도(θ)에 따른 광도 분포를 측정할 수 있으므로, 이렇게 측정된 데이터를 레퍼런스로 활용함으로써 자동광 검사장치에서 시료의 표면 기울기를 도출하고 불량여부를 판별할 수 있게 되는 것이다.
한편, 육안식별 등의 방법으로 특정 조명장치(1)가 정상품임을 확인할 수 있는데, 이렇게 정상상태인 조명장치(1)에 대하여 θ에 따른 광도 분포를 측정하여 얻어진 데이터를 기준 데이터로 설정하고, 다른 조명장치(1)에 대하여 θ에 따른 광도 분포를 측정하여 얻어진 데이터를 상기 기준 데이터와 비교함으로써, 조명장치(1)의 불량여부를 판별할 수 있다.
한편, 상기 반사부(110)와 측정부(120) 사이에는 결상용 광학계(도시 않음)가 구비될 수 있다.
상기 결상용 광학계는 상기 반사부(110) 상의 한 점에서 반사되는 빛 가운데 특정 방향으로 진행하는 빛을 반사 또는 굴곡시켜 상기 측정부(120)의 렌즈(121)를 거쳐 이미지센서(122)에 결상되도록 하는 기능을 수행할 수 있다.
이때, 상기 결상용 광학계는 복수 개의 거울, 렌즈(121) 및/또는 프리즘 등을 이용하여 구현될 수 있다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 조명검사장치(100)의 변형예를 개략적으로 예시한 도면이다.
도 2에서는 상기 반사부(110)가 2차원적으로 구동되는 경우를 예시하였지만, 도 4에서 예시한 바와 같이 상기 반사부(110)가 3차원적으로 구동될 수도 있다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 조명검사장치(200)를 개략적으로 예시한 도면이다.
이하에서는 중복설명을 피하기 위하여 전술한 도 2에 예시한 실시예와 차이가 있는 사항을 중심으로 설명한다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 조명검사장치(200)는 반사부(210), 측정부(220), 측정방향조정부(도시 않음) 및 제어부(230)를 포함할 수 있다.
구체적으로 살펴보면, 상기 측정부(220)는 반사부(210)의 중심점을 축으로 구동될 수 있으며, 이때, 상기 측정방향조정부는 제어부(230)의 제어신호에 따라 측정부(220)를 구동시킬 수 있다.
이에 따라, 도 2에서 예시한 경우와 달리 반사부(210)는 고정되고 측정부(220)가 구동될 수 있는 것이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 조명검사장치의 주요부의 변형예를 개략적으로 예시한 도면이다.
도 6을 참조하면, 상기 측정부(120)의 반사부(110)쪽 표면에 십자형 기준선(123)이 구비될 수 있다. 이때, 도면에서는 십자형 기준선을 예시하였으나, 이와 같은 도시는 정렬을 위한 대표적인 기준선의 형태를 예시한 것으로써, 정렬에 도움이 될 수 있는 것이라면 어떠한 형태든지 적용될 수 있다.
상기 십자형 기준선(123)은 측정부(120)와 반사부(110)를 정렬할 때 활용될 수 있다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 조명검사방법을 예시한 순서도이다.
본 발명의 일실시예에 따른 조명검사방법은, 정렬, 측정 및 저장단계를 포함할 수 있다.
상기 정렬단계(S100)에서는 조명장치, 반사부 및 측정부를 정렬한다.
조명장치는 특정 위치에 고정되거나 조명위치조정부에 결합되어 추후 이동되도록 할 수 있다.
또한, 반사부와 측정부는 반사부의 법선과 측정부가 평행을 이루도록 정렬될 수 있다. 이때, 상기 반사부의 중심점 수직 상방에 측정부가 위치될 수 있다.
한편, 상기 도 6에서 예시한 바와 같이 측정부(120)에 십자형 기준선(123)을 구비하여 정렬과정에서 활용할 수 있다.
다음으로, 측정단계(S110)에서는 상기 θ를 변경시키면서 광도 정보를 측정한다.
이때, 반사부를 구동시키거나 측정부를 구동시킴으로써 θ를 변경시킬 수 있다.
다음으로, 저장단계(S140)에서는 측정단계(S110)에서 측정된 측정결과를 저장할 수 있다. 이때, 상기 θ와 θ에 따른 광도 정보가 제어부에 의하여 매칭되어 저장될 수 있다.
이렇게 저장된 정보는 조명장치가 자동광 검사장비에 적용되어 시료에 대한 검사를 진행할 때 레퍼런스 정보로 활용될 수 있다.
한편, 상기 측정단계(S110)와 저장단계(S140) 사이에, 상기 조명장치를 이동시키는 단계(S120) 및 상기 조명장치가 미리 설정된 위치까지 이동되지 않았을 경우에만 상기 측정단계(S110) 단계로 피드백하는 단계(S130)를 더 포함할 수 있다.
이에 따라, 조명위치조정부에 조명장치가 거치된 경우 조명의 위치를 변경하면서 광도 정보를 얻을 수 있다.
또한, 상기 저장단계(S140) 이후에, 저장된 측정결과를 정상상태값과 비교하는 단계를 더 포함할 수 있다. 이때, 정상상태값은 다른 방법에 의하여 정상상태인 것으로 판별된 조명장치에 대하여 θ와 θ에 따른 광도 정보를 매칭한 데이터일 수 있다.
이에 따라, 조명장치의 불량여부 판별을 효율적으로 수행할 수 있게 된다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내고 설명하는 것에 불과하며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉, 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예들은 본 발명을 실시하는데 있어 최선의 상태를 설명하기 위한 것이며, 본 발명과 같은 다른 발명을 이용하는데 당업계에 알려진 다른 상태로의 실시, 그리고 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서, 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
1 : 조명장치
100, 200 : 조명검사장치
110 : 반사부
120 : 측정부
121 : 렌즈
122 : 이미지센서
130 : 제어부

Claims (11)

  1. 조명장치에서 발산된 빛을 반사하며 회전축을 구비하여 구동되는 반사부;
    상기 반사부를 구동시키는 반사방향조정부;
    상기 반사부에서 반사된 빛의 광도를 측정하는 측정부; 및
    상기 반사방향조정부와 상기 측정부를 제어하는 제어부;
    를 포함하며,
    상기 제어부는 상기 회전축의 중심을 지나는 상기 반사부의 법선과, 상기 측정부로부터 상기 회전축 까지 연결되는 가상선이 이루는 각도 θ1을 변화시키면서 상기 측정부에서 측정되는 빛의 광도를 저장하는 것인
    조명검사장치.
  2. 조명장치에서 발산된 빛을 반사하는 반사부;
    상기 반사부에서 반사된 빛의 광도를 측정하며, 상기 반사부의 중심점을 축으로 구동되는 측정부;
    상기 측정부를 구동시키는 측정방향조정부; 및
    상기 측정부와 상기 측정방향조정부를 제어하는 제어부;
    를 포함하며,
    상기 제어부는 상기 중심점을 지나는 상기 반사부의 법선과, 상기 측정부로부터 상기 중심점을 연결하는 가상선이 이루는 각도 θ2를 변화시키면서 상기 측정부에서 측정되는 빛의 광도를 저장하는 것인
    조명검사장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 반사부와 상기 측정부 사이에 구비되어, 상기 반사부 상의 한 점에서 반사되어 미리 정해진 방향으로 진행하는 빛을 상기 측정부로 결상되도록 하는 결상용 광학계를 더 포함하는
    조명검사장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 조명장치가 거치되며, 상기 조명장치의 위치를 조정하는 조명위치조정부; 를 더 포함하고,
    상기 제어부는 상기 조명위치조정부도 제어하는 것인
    조명검사장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 측정부는
    빛을 수용하는 렌즈; 및
    상기 렌즈를 통과한 빛을 전기적인 신호로 변환하는 이미지센서;
    를 포함하는 것인
    조명검사장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 θ1과, 상기 θ1에 따른 광도 정보를 매칭시키는 제1연산부를 포함하는 것인
    조명검사장치.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 θ2와, 상기 θ2에 따른 광도 정보를 매칭시키는 제2연산부를 포함하는 것인
    조명검사장치.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 측정부의 상기 반사부쪽 표면에 기준선이 구비되는
    조명검사장치.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 따른 조명검사장치를 이용하여 조명을 검사하는 방법에 있어서,
    (A) 상기 조명장치, 반사부 및 측정부를 정렬하는 단계;
    (B) 상기 θ1 또는 θ2를 변경시키면서 광도 정보를 측정하는 단계; 및
    (C) 상기 (B) 단계에서 측정된 측정결과를 저장하는 단계;
    를 포함하는
    조명검사방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 (B) 단계와 상기 (C) 단계 사이에,
    (b1) 상기 조명장치를 이동시키는 단계; 및
    (b2) 상기 조명장치가 미리 설정된 위치까지 이동되지 않았을 경우에만 상기 (B) 단계로 피드백하는 단계;
    를 더 포함하는
    조명검사방법.
  11. 제9항 또는 제10항에 있어서,
    상기 (C) 단계 이후에,
    (D) 상기 (C) 단계에서 저장된 측정결과를 정상상태값과 비교하는 단계;
    를 더 포함하는
    조명검사방법.
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