JP2011208941A - 欠陥検査装置およびその方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
入射光の角度を変化させて対象物の一定の領域を照射する照射手段と、入射光が対象物に照射されたときの画像を撮像素子で取得する撮像手段と、撮像手段によって取得した画像から欠陥候補を抽出し、該欠陥候補の特性に基づいてブツと塗装後の塵埃とを区別する欠陥種別を判定する欠陥判定手段を有することを特徴とする欠陥検査装置に関する。
【選択図】図1
Description
2 照明コントローラ
3 カラー撮像素子
4 撮像素子コントローラ
5 対象物
6 試料ステージ
7 ステージコントローラ
8 制御手段
9 出力手段
Claims (5)
- 入射光の角度を変化させて対象物の一定の領域を照射する照射手段と、
前記入射光が前記対象物に照射されたときの画像を撮像素子で取得する撮像手段と、
前記撮像手段によって取得した画像から欠陥候補を抽出し、該欠陥候補の特性に基づいて欠陥の種別を判定する欠陥判定手段と、
を有することを特徴とする欠陥検査装置。 - 前記照射手段は、RGB各色の光が前記対象物の一定領域を照射可能に所定の幅で一体に配置されたRGBパターン照明であり、前記撮像手段は、カラー撮像素子を用いることによって前記対象物からのRGB各色の反射画像を一括して取得することを特徴とする請求項1に記載の欠陥検査装置。
- 前記RGBパターン照明は、RGB各色の光を発光する発光素子を有する構造体、または白色光源とRGBフィルタを有する構造体によって形成されたことを特徴とする請求項2に記載の欠陥検査装置。
- 前記欠陥候補の特性は、該欠陥候補に入射光が照射されたときに得られる反射光の反射方向であり、前記判定手段は、該反射光の反射方向に基づいて欠陥種別を判定する請求項1乃至3のいずれかに記載の欠陥検査装置。
- 塗装面の欠陥を検査する欠陥検査方法であって、
入射光の角度を変化させて対象物の一定の領域を照射する照射工程と、
前記入射光が前記対象物に照射されたときの画像を撮像素子で取得する撮像工程と、
前記撮像ステップによって取得した画像から欠陥候補を抽出し、該欠陥候補の特性に基づいて欠陥の種別を判定する欠陥判定工程と、
を有することを特徴とする欠陥検査方法。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014092477A (ja) * | 2012-11-05 | 2014-05-19 | Ricoh Elemex Corp | 検査装置 |
JP2014145599A (ja) * | 2013-01-25 | 2014-08-14 | Ricoh Elemex Corp | 検査装置 |
JP2014238292A (ja) * | 2013-06-06 | 2014-12-18 | 株式会社ブリヂストン | 外観検査装置及び外観検査方法 |
JP2018091770A (ja) * | 2016-12-06 | 2018-06-14 | 株式会社マクシスエンジニアリング | 検査対象物の表面の凹凸を検査する方法及びその表面検査装置 |
WO2017171221A3 (ko) * | 2016-04-01 | 2018-08-02 | 엘지전자 주식회사 | 부유물 측정장치와, 그 제어방법 및 부유물 측정장치를 포함하는 공기 청정기 |
CN110702035A (zh) * | 2019-10-25 | 2020-01-17 | 四川大学青岛研究院 | 一种基于面结构光的家电喷涂质量检测系统及方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63218847A (ja) * | 1987-03-09 | 1988-09-12 | Nok Corp | 表面欠陥検査方法 |
JPH095253A (ja) * | 1995-06-21 | 1997-01-10 | N T T Fuanetsuto Syst Kk | 欠陥検査装置 |
JPH09196859A (ja) * | 1996-01-23 | 1997-07-31 | Nec Corp | 表面欠陥検査装置 |
JP2010019657A (ja) * | 2008-07-10 | 2010-01-28 | Rozefu Technol:Kk | カラー照明を用いた検査装置 |
JP2010112941A (ja) * | 2008-10-10 | 2010-05-20 | Toyota Motor Corp | 表面検査装置 |
-
2010
- 2010-03-26 JP JP2010073811A patent/JP2011208941A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63218847A (ja) * | 1987-03-09 | 1988-09-12 | Nok Corp | 表面欠陥検査方法 |
JPH095253A (ja) * | 1995-06-21 | 1997-01-10 | N T T Fuanetsuto Syst Kk | 欠陥検査装置 |
JPH09196859A (ja) * | 1996-01-23 | 1997-07-31 | Nec Corp | 表面欠陥検査装置 |
JP2010019657A (ja) * | 2008-07-10 | 2010-01-28 | Rozefu Technol:Kk | カラー照明を用いた検査装置 |
JP2010112941A (ja) * | 2008-10-10 | 2010-05-20 | Toyota Motor Corp | 表面検査装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014092477A (ja) * | 2012-11-05 | 2014-05-19 | Ricoh Elemex Corp | 検査装置 |
JP2014145599A (ja) * | 2013-01-25 | 2014-08-14 | Ricoh Elemex Corp | 検査装置 |
JP2014238292A (ja) * | 2013-06-06 | 2014-12-18 | 株式会社ブリヂストン | 外観検査装置及び外観検査方法 |
WO2017171221A3 (ko) * | 2016-04-01 | 2018-08-02 | 엘지전자 주식회사 | 부유물 측정장치와, 그 제어방법 및 부유물 측정장치를 포함하는 공기 청정기 |
JP2018091770A (ja) * | 2016-12-06 | 2018-06-14 | 株式会社マクシスエンジニアリング | 検査対象物の表面の凹凸を検査する方法及びその表面検査装置 |
CN110702035A (zh) * | 2019-10-25 | 2020-01-17 | 四川大学青岛研究院 | 一种基于面结构光的家电喷涂质量检测系统及方法 |
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