CN111610461A - 用于检查玻璃基板的开路/短路检查机及其检查方法 - Google Patents

Abstract

本公开涉及用于检查玻璃基板的开路/短路检查机及其检查方法。一种检查玻璃基板的检查机，其中所述玻璃基板包括分别具有面板电路的多个面板，且各个所述面板电路的至少其中之一为具有短路和/或开路的缺陷电路，包含位置扫描装置，设置于所述玻璃基板上方，以及发光装置，设置于所述玻璃基板下方，且发出反向光照射所述缺陷电路，以使所述位置扫描装置进行第一位置扫描，其中当所述位置扫描装置发出正向光与侧向光照射所述缺陷电路时，所述位置扫描装置进行第二位置扫描，将所述第一位置扫描与所述第二位置扫描的结果相加，以获得各个所述缺陷电路的各个所述短路和和/或各个所述开路的确切位置。

Description

用于检查玻璃基板的开路/短路检查机及其检查方法

技术领域

本发明涉及一种用于检查包含分别具有电路的多个面板的玻璃基板的开路/短路检查机及其检查方法，尤指一种包含一发出一正向光与一侧向光以同时照射一包含各具有一电路的多个面板的玻璃基板的具有一短路和/或一开路的各所述电路的位置扫描装置以及一发出一反向光以照射具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的发光装置的开路/短路检查机。

背景技术

目前用于检查玻璃基板的开路/短路检查机，其检出开路/短路的精确度仍有待提升，以便能进一步地减少瑕疵与降低生产成本。如何改善现有的用于检查玻璃基板的开路/短路检查机的功能，使得玻璃基板上电路的开路/短路的检出率能被提高，是一值得深思的问题。

鉴于此，发明人鉴于现有技术的缺失，乃思及改良发明的意念，终能发明出本案的“用于检查玻璃基板的开路/短路检查机及其检查方法”。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种开路/短路检查机，用于一包括分别具有一电路的多个面板的玻璃基板，包括多个线扫描传感器、一具有一位置检查传感器及一自动光学检测(AOI)装置的位置扫描装置以及一发光装置，当各所述电路的至少其中之一具有一短路和/或一开路时，所述多个线扫描传感器用以找出具有所述开路和/或所述短路的各所述电路，所述位置检查传感器用于侦测所述开路，所述AOI装置用于侦测所述短路，所述发光装置发出一反向光以自所述玻璃基板下方照射具有所述开路和/或所述短路的各所述电路并对具有所述开路和/或所述短路的各所述电路进行一第一位置扫描以确定具有所述开路和/或所述短路的各所述电路的所述开路和/或所述短路的第一位置，所述位置扫描装置发出一正向光与一侧向光以分别自所述玻璃基板上方及侧上方同时照射具有所述开路和/或所述短路的各所述电路并对具有所述开路和/或所述短路的各所述电路进行一第二位置扫描，以确定具有所述开路和/或所述短路的各所述电路的所述开路和/或所述短路的第二位置，并将所述第一与所述第二位置相加以找出具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的各所述开路和/或各所述短路的确切位置，以提升各所述开路和/或各所述短路的检出率。

本案的又一主要目的在于提供一种开路/短路检查机，用于一包括分别具有一电路的多个面板的玻璃基板，包括一气浮平台，一测量平台，一凹槽，设置于所述气浮平台与所述测量平台间，一发光装置，设置于所述凹槽中，且沿着所述凹槽水平移动，用于发出一反向光，以及一位置扫描装置，设置于所述凹槽上方，用于当各所述电路的至少其中之一具有一短路和/或一开路时，使所述反向光沿着所述凹槽照射位于所述凹槽上方的具有所述短路和/或所述开路的各所述电路，并沿着所述凹槽上方进行一第一位置扫描以确认具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的各所述短路和/或各所述开路的第一位置。

本案的下一主要目的在于提供一种开路/短路检查机，用于一包括分别具有一电路的多个面板的玻璃基板，包括一凹槽，一发光装置，设置于所述凹槽中，且用于发出一反向光，以及一位置扫描装置，用于当各所述电路的至少其中之一具有一短路和/或一开路时，使所述反向光照射位于所述凹槽上方的具有所述短路和/或所述开路的各所述电路，并沿着所述凹槽上方进行一第一位置扫描以确认具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的所述短路和/或所述开路的第一位置，且用于发射一正向光与一侧向光，当所述正向光与所述侧向光同时照射位于所述凹槽上方具有所述短路和/或所述开路的各所述电路时，沿着所述凹槽上方进行一第二位置扫描以确认具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的所述短路和/或所述开路的第二位置，且将所述第一位置与所述第二位置相加，以获得各所述短路和/或各所述开路的确切位置。

本案的另一主要目的在于提供一种开路/短路检查机的检查方法，用于一包括分别具有一电路的多个面板的玻璃基板，其中所述开路/短路检查机包括一凹槽、一用于发出一反向光的发光装置和用于发出一正向光与一侧向光的位置扫描装置，包含：(a)当各所述电路的至少其中之一具有一短路和/或一开路时，使所述反向光照射位于所述凹槽上方的具有所述短路和/或所述开路的各所述电路，并以所述位置扫描装置对位于所述凹槽上方的具有所述短路和/或所述开路的各所述电路进行一第一位置扫描以确认具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的所述短路和/或所述开路的第一位置。

本案的再一主要目的在于提供一种检查一玻璃基板的方法，其中所述玻璃基板包括分别具有一电路的多个面板，包含：(a)当各所述电路的至少其中之一具有一短路和/或一开路时，提供一反向光照射具有所述短路和/或所述开路的各所述电路以对具有所述短路和/或所述开路的各所述电路进行一第一位置扫描，以确认具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的所述短路和/或所述开路的第一位置；(b)提供一正向光和一侧向光同时照射具有所述短路和/或所述开路的各所述电路以对具有所述短路和/或所述开路的各所述电路进行一第二位置扫描，以确认具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的所述短路和/或所述开路的第二位置；以及(c)将所述第一与所述第二位置相加，以找到具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的各所述短路和/或各所述开路的确切位置。

本案的又一主要目的在于提供一种检查一玻璃基板的检查机，其中所述玻璃基板包括各具有一电路的多个面板，包含一位置扫描装置，设置于所述玻璃基板上方，以及一发光装置，设置于所述玻璃基板下方，且当各所述电路的至少其中之一具有一短路和/或一开路时，发出一反向光照射具有所述短路和/或所述开路的各所述电路，以便所述位置扫描装置对具有所述短路和/或所述开路的各所述电路进行一第一位置扫描，其中当所述位置扫描装置发出一正向光与一侧向光照射具有所述短路和/或所述开路的各所述电路时，使所述位置扫描装置对具有所述短路和/或所述开路的各所述电路进行一第二位置扫描，加总所述第一与所述第二位置扫描的二结果，以获得具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的各所述短路和/或各所述开路的确切位置。

附图说明

图1是显示一依据本发明构思的优选实施例的开路/短路检查机的俯视图。

图2是显示一依据本发明构思的优选实施例的开路/短路检查机的发光装置的立体图。

图3是显示一依据本发明构思的优选实施例的开路/短路检查机的右侧视图。

图4是显示一依据本发明构思的优选实施例的开路/短路检查机的检查方法的流程图。

图5(a)是显示一具有一电路的面板的一部分在受到一正向光照射时的灰度俯视图。

图5(b)是显示一具有一电路的面板的一部分在受到一正向光和一侧向光同时照射时的灰度俯视图。

图5(c)是显示一具有一电路的面板的一部分在受到一反向光照射时的灰度俯视图。

图6是显示一依据本发明构思的优选实施例的玻璃基板在进行线扫描时的第一与第二定位标志、一第一至一第四线传感器扫描启始位置及一线扫描移动方向等的示意图。

具体实施方式

图1是显示一依据本发明构思的优选实施例的开路/短路检查机的俯视图。在图1中，一开路/短路检查机1，用于一包括各具有一电路231(见图5(b))的多个面板23的玻璃基板2(见图6)，包括一气浮平台11、一测量平台12、一设置于所述气浮平台11与所述测量平台12间的凹槽13、一发光装置14，设置于所述凹槽13中，且沿着所述凹槽13水平移动(所述发光装置14是沿着一发光装置移动方向143水平移动)，用于发出一反向光，以及一位置扫描装置15，设置于所述凹槽13上方，用于当各所述电路231的至少其中之一具有一短路2314和/或一开路2313时，使所述反向光沿着所述凹槽13照射位于所述凹槽13上方的具有所述短路2314和/或所述开路2313的各所述电路231(所述反向光自下方照射于所述玻璃基板的示意图，请参见图5(c))，并沿着所述凹槽13上方进行一第一位置扫描以确认具有所述短路2314和/或所述开路2313的各所述电路231的所述短路2314和/或所述开路2313的第一位置(见图5(b))。

在图1中，所述位置扫描装置15具有一位置检查传感器151及一自动光学检测(AOI)装置152，所述位置检查传感器151用于侦测所述开路(见图5(b)的所述开路2313)，所述AOI装置152用于侦测所述短路(见图5(b)的所述短路2314)，且所述位置扫描装置15是沿着一位置扫描装置移动方向153而移动。

图2是显示一依据本发明构思的优选实施例的开路/短路检查机的发光装置的立体图。在图2中，所述发光装置14包括一具有一滑轨1411的装置支架141与一点光源142，所述点光源142用于发出所述反向光，且设置于所述滑轨1411上以使所述点光源142沿着所述凹槽13水平移动。所述AOI装置152发出一正向光与一侧向光，所述正向光自所述AOI装置152竖直向一特定面板23的具有所述短路和/或所述开路的所述电路231照射，所述侧向光自所述玻璃基板2的一侧上方向所述电路231照射(见图1，而所述正向光与所述侧向光照射于所述玻璃基板上时的示意图，请参见图5(b))。当所述正向光与所述侧向光同时照射所述电路231时，使所述位置扫描装置15沿着实质与所述凹槽13平行的方向对所述特定面板23的具有所述短路和/或所述开路的所述电路231进行一第二位置扫描以确认所述电路231具有所述短路和/或所述开路的第二位置(见图5(b)的所述开路2313与所述短路2314)，加总所述第一位置与所述第二位置，以获得各所述短路和/或各所述开路的确切位置。

上述的所述反向光包括多个均匀的平行光束。在图1中，所述反向光自所述凹槽13中向所述玻璃基板2上的多个面板23的至少其中之一的具有所述短路和/或所述开路的所述电路231(参看图5(c))照射，且当所述发光装置14设置于所述凹槽13中时，所述点光源142与所述玻璃基板2间的工作距离24相距100mm(见图2)。当所述发光装置14发出所述反向光时，所述AOI装置152不发出所述正向光与侧向光，而当所述AOI装置152发出所述正向光与所述侧向光时，所述发光装置14则不发出所述反向光。

在图1中，所述开路/短路检查机1还包括一第一至一第四线传感器16、一第一与一第二对位照相机17与一龙门机构18，其中所述龙门机构18具有一第一龙门移动滑轨181与一第二龙门移动滑轨182和一横梁183。所述第一龙门移动滑轨181与所述第二龙门移动滑轨182是分别设置于所述测量平台12的第一侧121的外缘与一第二侧122的外缘，且所述第一龙门移动滑轨181与所述第二龙门移动滑轨182是实质上竖直于所述凹槽13。所述横梁183设置于所述第一龙门移动滑轨181与所述第二龙门移动滑轨182上，且位于所述测量平台12上方。所述第一至所述第四线传感器16、所述第一与所述第二对准相机17、所述位置检查传感器151及所述AOI装置152是设置于所述横梁183的不同高度和/或位置上。所述玻璃基板2的右上角与右下角分别具有一第一定位标志21与一第二定位标志22，所述玻璃基板2具有多个面板23，所述多个面板23分为m列，每列具有n个面板，m与n为正整数(见图6，m＝2,n＝4)。当所述开路/短路检查机1开始一第一次线扫描时，所述第一对准相机17对准所述第一定位标志21，所述第二对准相机17对准所述第二定位标志22。所述第一与所述第二线传感器16分别依据一第一线传感器间距调整方向161与一第二线传感器间距调整方向162移动至所述第一列的第一个面板23上的第一线传感器扫描启始位置166与一第二线传感器扫描启始位置167，同时，所述第三与所述第四线传感器16则分别依据一第三线传感器间距调整方向163与一第四线传感器间距调整方向164移动至邻接所述第一列的第二列的第一个面板23上的第三线传感器扫描启始位置168与一第四线传感器扫描启始位置169，以进行所述第一次线扫描(依据一线扫描移动方向165，参见图6)，以此类推，直至所述多个面板23全部被扫描完毕；而后使具有所述开路2313和/或所述短路2314的各所述电路231(见图5(b))逐一被移动至位于所述凹槽13上方的位置，以进行所述第一位置扫描与所述第二位置扫描。

如图1所示的所述开路/短路检查机1还包括多个吹气孔19(见图3，气体是沿一吹气方向191吹出，以使所述玻璃基板2与所述测量平台12或所述气浮平台11间有一气浮距离25)、一装卸端116、两个第一夹具110、一第一至一第四第二夹具111、一第一至一第四第三夹具112、一第四夹具113与一旋转平台114。其中，所述多个吹气孔19位于所述测量平台12下方一隅，用于向所述玻璃基板2吹气，以使所述玻璃基板2上的多个微粒被吹走，且当所述多个吹气孔19进行吹气时，使所述玻璃基板2悬浮于所述气浮平台11或所述测量平台12上方，且使所述玻璃基板2与所述气浮平台11或所述测量平台12间相距20-30微米。所述玻璃基板2是沿着实质竖直于所述凹槽13的装载方向L，经由所述装卸端116被装载至所述气浮平台11上，或沿着一卸除方向UL，经由所述装卸端116自所述气浮平台11上卸除下来。所述两个第一夹具110是位于所述气浮平台11的平行于所述装载方向L或所述卸除方向UL的第一侧115外缘，用于当所述玻璃基板2装载至所述气浮平台11上时，夹紧所述玻璃基板2。而所述第一与所述第二第二夹具111和所述第一与所述第二第三夹具112是位于所述气浮平台11的第二侧/所述装卸端116，所述第三第二夹具111和所述第三第三夹具112是位于所述气浮平台11的第三侧117，所述第四第二夹具111和所述第四第三夹具112是位于所述气浮平台11的第四侧118。当所述玻璃基板2与所述装载方向L或所述卸除方向UL间具有一0度或180度的夹角时，所述第一至所述第四第二夹具111用于夹紧所述玻璃基板2于所述气浮平台11上。所述第一至所述第四第三夹具112是当所述玻璃基板2与所述装载方向L或所述卸除方向UL有一90度或270度的夹角时，用于夹紧所述玻璃基板2于所述气浮平台11上；使所述旋转平台114经由抽真空而紧密吸附于所述玻璃基板2，并通过旋转所述旋转平台114以一旋转角度θ旋转所述玻璃基板。所述第四夹具113位于所述气浮平台11的所述第一侧115外缘或所述量测平台12的第一侧121外缘，用于经抽真空以紧密吸附于所述玻璃基板2，并协同所述紧密吸附于所述玻璃基板2的旋转平台114将所述玻璃基板2自所述气浮平台11移动至所述测量平台12、自所述测量平台12移动至所述凹槽13上方，或自所述凹槽13上方移动至所述装卸端116。

在图1中，所述开路/短路检查机1的各所述第一夹具110、各所述第二夹具111与各所述第三夹具112均呈一圆形，而所述第四夹具113呈一长条形。当使用各所述第一至各所述第三夹具110～112时，各所述第一至各所述第三夹具110～112首先向上伸起，而后朝向所述玻璃基板2移动(参看图1中：第一夹具移动方向1101，沿实质竖直于凹槽方向的第二/第三夹具移动方向1111与沿实质平行于凹槽方向的第二/第三夹具移动方向1121)，夹紧于所述玻璃基板2，以使所述玻璃基板2被固定；当使用所述第四夹具113时，所述第四夹具113首先向上伸起贴合于所述玻璃基板2，而后使所述第四夹具113藉由抽真空而紧密地吸附于所述玻璃基板2；当停止使用各所述第一至各所述第三夹具110～112或所述第四夹具113时，使各所述第一至各所述第三夹具110～112自所述玻璃基板2松开，或停止抽真空而使所述第四夹具113自所述玻璃基板2松开，而后使各所述第一至各所述第三夹具110～112或所述第四夹具113自所述玻璃基板2向外移动且向下降，以回归其未被使用时的原位；其中所述玻璃基板2为一显示屏的数组基板。

图4是显示一依据本发明构思的优选实施例的开路/短路检查机的检查方法的流程图。在图4中，所述检查方法包括步骤S1～S18。步骤S1包括：装载玻璃基板；步骤S2包括：第一至第四夹具上升；步骤S3包括：向气浮平台吹气和将第一与第二夹具向玻璃基板移动；(如玻璃基板需旋转90度时，则进入步骤S4～S5)，步骤S4包括：将玻璃基板旋转马达向上升和开启吸真空电源；步骤S5包括：将玻璃基板旋转90度和关闭吸真空电源；步骤S6包括：开启第四夹具的吸真空电源；步骤S7包括：将玻璃基板传送至测量平台；步骤S8包括：进行一光学对位(第四夹具的轴向调整)、开启第四夹具的吸真空电源，及将第四夹具向下降；步骤S9包括：将线传感器移动至量测起点；步骤S10包括：进行线扫描并量测短路/断路；步骤S11包括：判断是否发现瑕疵，如是则进行步骤S12，如否则进行步骤S16；步骤S12包括：将第四夹具上升及对测量平台吹气；步骤S13包括：以第四夹具将玻璃基板传送至位置扫描区；步骤S14包括：进行位置扫描；步骤S15包括：确认缺陷位置；步骤S16包括：以第四夹具将玻璃基板传送至卸除位置；步骤S17包括：停止吹气、关闭第四夹具的吸真空电源及将第四夹具向下降；步骤S18包括：卸除玻璃基板。其中步骤14的位置扫描是由位置扫描装置15的位置检查传感器151和/或AOI装置152来进行的(参见图1)。

图5(a)是显示一具有一电路的面板的一部分在受到一正向光照射时的灰度俯视图。在图5(a)中，所述面板23具有一电路231。所述电路231具有多个闸极线2311与多个公用线2312。因为所述面板23下方的气浮平台11/测量平台12的材质是不反光的，因此没有电路处呈现黑色，且因正向光由上向下照射，故公用线(Com)的灰度图不明显；因闸极线2311会反光，故闸极线2311上的开路易检出；但是闸极线2311与公用线2312间的短路(GCS)，因Com的灰度图不明显不易检出。

图5(b)是显示一具有一电路的面板的一部分在受到一正向光和一侧向光同时照射时的灰度俯视图。如图5(b)所示，所述面板23具有多个闸极线2311及多个公用线2312，还显示了一开路2313与一短路2314。在图5(b)中因有侧向光从玻璃基板2的侧上方照射，玻璃基板2的玻璃部分会反光，故其灰度图比图5(a)的明亮。因为图5(b)的灰度明显，所以GCS(例如2314)和闸极线2311上的开路及公用线2312上的开路(例如2313)理论上都能检出。

图5(c)是显示一具有一电路的面板的一部分在受到一反向光照射时的灰度俯视图。如图5(c)所示，所述面板23的电路231具有多个闸极线2311与多个公用线2312。在图5(c)中因是反向光从所述特定面板23的一部分的下方而向上照射，因此多个闸极线2311的不反光部分颜色比图5(b)的深。因为图5(c)的灰度也明显，所以GCS易检出。但因反向光是从所述特定面板23的一部分的下方而向上照射，故在所述特定面板23上方的另一侧的闸极线的开路与公用线的开路无法检出。

上述图5(a)至图5(c)是分别在三个工作点(A1840/A1850/A1855)以正向光/正向光+侧向光/反向光检测某一特定面板23的一部分的电路231的GCS。其中，上述三种不同方式总共检测到42点GCS(含A1840的误检出)，其中A1840共检出34点GCS(含其误检出的数量)，A1850共检出32点GCS，A1855共检出34点GCS。因此，反向光在GCS检出上略优于正向光+侧向光。因此，在本发明中以反向光检出的GCS位置/结果加总正向光+侧向光检出的GCS位置/结果，将会优于仅以反向光检出的GCS位置/结果或仅以正向光+侧向光检出的GCS位置/结果。

图6是显示一依据本发明构思的优选实施例的玻璃基板在进行线扫描时的第一与一第二定位标志、一第一至一第四线传感器扫描启始位置、一面板上半部、一面板下半部及一线扫描移动方向等的示意图。在图6中，其显示了所述玻璃基板2具有多个面板23(在图6中，其显示为2列4行，共12个面板)，且所述玻璃基板2具有一第一定位标志21与一第二定位标志22；进行一第一至一第四线扫描时的第一线传感器扫描启始位置166、一第二线传感器扫描启始位置167、一第三线传感器扫描启始位置168与一第四线传感器扫描启始位置169；以及一线扫描移动方向165。

实施例：

1.一种开路/短路检查机，用于一包括分别具有一电路的多个面板的玻璃基板，包括：

一气浮平台；

一测量平台；

一凹槽，设置于所述气浮平台与所述测量平台间；

一发光装置，设置于所述凹槽中，且沿着所述凹槽水平移动，用于发出一反向光；以及

一位置扫描装置，设置于所述凹槽上方，用于当各所述电路的至少其中之一具有一短路和/或一开路时，使所述反向光沿着所述凹槽照射位于所述凹槽上方的具有所述短路和/或所述开路的各所述电路，并沿着所述凹槽上方进行一第一位置扫描以确认具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的所述短路和/或所述开路的第一位置。

2.根据实施例1所述的开路/短路检查机，其中所述位置扫描装置具有一位置检查传感器及一自动光学检测AOI装置，所述位置检查传感器用于侦测所述开路，所述AOI装置用于侦测所述短路，所述发光装置包括一具有一滑轨的装置支架与一点光源，所述点光源用于发出所述反向光，且设置于所述滑轨上以使所述点光源沿着所述凹槽水平移动，所述AOI装置发出一正向光与一侧向光，所述正向光自所述AOI装置竖直向具有所述短路和/或所述开路的各所述电路照射，所述侧向光自所述玻璃基板的一侧上方向具有所述短路和/或所述开路的各所述电路照射，当所述正向光与所述侧向光同时照射具有所述短路和/或所述开路的各所述电路时，使所述位置扫描装置沿着所述凹槽上方进行一第二位置扫描以确认具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的所述短路和/或所述开路的第二位置，加总所述第一位置与所述第二位置，以获得具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的各所述短路和/或各所述开路的确切位置。

3.根据实施例1或2所述的开路/短路检查机，其中所述反向光自所述凹槽中向所述玻璃基板照射，且当所述发光装置设置于所述凹槽中时，所述点光源与所述玻璃基板间的工作距离相距100mm，当所述发光装置发出所述反向光时，所述AOI不发出所述正向光与侧向光，而当所述AOI装置发出所述正向光与所述侧向光时，所述发光装置则不发出所述反向光。

4.根据实施例1或2所述的开路/短路检查机，还包括一第一至一第四线传感器、一第一与一第二对位照相机与一龙门机构，其中所述龙门机构具有一第一与一第二龙门移动滑轨和一横梁，所述第一与所述第二龙门移动滑轨是分别设置于所述测量平台的第一侧的外缘与一第二侧的外缘，且所述第一与所述第二龙门移动滑轨实质上竖直于所述凹槽，所述横梁设置于所述第一龙门移动滑轨与所述第二龙门移动滑轨上，且位于所述测量平台上方，所述第一至所述第四线传感器、所述第一与所述第二对准相机、所述位置检查传感器及所述AOI装置设置于所述横梁的不同高度和/或位置上，所述玻璃基板的右上角与右下角分别具有一第一定位标志与一第二定位标志，所述多个面板分为m列，每列具有n个面板，m与n为正整数，当所述开路/短路检查机开始一第一次线扫描时，所述第一对准相机对准所述第一定位标志，所述第二对准相机对准所述第二定位标志，所述第一与所述第二线传感器分别依据一第一线传感器间距调整方向与一第二线传感器间距调整方向移动至一第一列的第一个面板上的第一与一第二线传感器扫描启始位置，同时，所述第三与所述第四线传感器则分别依据一第三线传感器间距调整方向与一第四线传感器间距调整方向移动至邻接所述第一列的第二列的第一个面板上的第三与一第四线传感器扫描启始位置，以依据一线扫描移动方向进行所述第一次线扫描，以此类推，直至所述多个面板全部被扫描完毕；而后使具有所述开路和/或所述短路的各所述电路逐一被移动至位于所述凹槽上方的位置，以进行所述第一位置扫描与所述第二位置扫描。

5.根据实施例1或2所述的开路/短路检查机，还包括多个吹气孔、一装卸端、两个第一夹具、一第一至一第四第二夹具、一第一至一第四第三夹具、一第四夹具与一旋转平台，其中所述多个吹气孔位于所述测量平台下方一隅，用于向所述玻璃基板吹气，以使所述玻璃基板上的多个微粒被吹走，且当所述多个吹气孔进行吹气时，使所述玻璃基板悬浮于所述气浮平台或所述测量平台上方，且使所述玻璃基板与所述气浮平台或所述测量平台间相距20-30微米，所述玻璃基板是沿着实质竖直于所述凹槽的装载方向，经由所述装卸端被装载至所述气浮平台上，或沿着一卸除方向，经由所述装卸端自所述气浮平台上卸除下来，所述两个第一夹具是位于所述气浮平台的平行于所述装载方向或所述卸除方向的第一侧外缘，用于当所述玻璃基板装载至所述气浮平台上时，夹紧所述玻璃基板，而所述第一与所述第二第二夹具和所述第一与所述第二第三夹具位于所述气浮平台的第二侧，所述第三第二夹具和所述第三第三夹具位于所述气浮平台的第三侧，所述第四第二夹具和所述第四第三夹具位于所述气浮平台的第四侧，当所述玻璃基板与所述装载方向或所述卸除方向间具有一0度或180度的夹角时，所述第一至所述第四第二夹具用于夹紧所述玻璃基板于所述气浮平台上，所述第一至所述第四第三夹具当所述玻璃基板与所述装载方向或所述卸除方向间具有一90度或270度的夹角时，用于夹紧所述玻璃基板于所述气浮平台上，使所述旋转平台经由抽真空而紧密吸附于所述玻璃基板，并通过旋转所述旋转平台以旋转所述玻璃基板，所述第四夹具位于所述气浮平台的所述第一侧外缘或所述测量平台的第一侧外缘，用于经抽真空以紧密吸附于所述玻璃基板，并协同所述紧密吸附于所述玻璃基板的旋转平台将所述玻璃基板自所述气浮平台移动至所述测量平台、自所述测量平台移动至所述凹槽上方，或自所述凹槽上方移动至所述装卸端。

6.根据以上任一实施例所述的开路/短路检查机，其中各所述第一至各所述第三夹具呈一圆形，所述第四夹具呈一长条形，当使用各所述第一至各所述第三夹具时，各所述第一至各所述第三夹具先向上伸起，而后朝向所述玻璃基板移动，夹紧于所述玻璃基板，以使所述玻璃基板被固定；当使用所述第四夹具时，所述第四夹具先向上伸起贴合于所述玻璃基板，而后使所述第四夹具经由抽真空而紧密地吸附于所述玻璃基板；当停止使用各所述第一至各所述第三夹具或所述第四夹具时，使各所述第一至各所述第三夹具自所述玻璃基板松开，或停止抽真空而使所述第四夹具自所述玻璃基板松开，而后使各所述第一至各所述第三夹具或所述第四夹具自所述玻璃基板向外移动且向下降，以回归其未被使用时的原位，其中所述玻璃基板为一显示屏的数组基板。

7.一种开路/短路检查机，用于一包括各具有一电路的多个面板的玻璃基板，包括：

一凹槽；

一发光装置，设置于所述凹槽中，且用于发出一反向光；以及

一位置扫描装置，用于当各所述电路的至少其中之一具有一短路和/或一开路时，使所述反向光照射位于所述凹槽上方的具有所述短路和/或所述开路的各所述电路，并沿着所述凹槽上方进行一第一位置扫描以确认各所述电路具有所述短路和/或所述开路的第一位置，且用于发射一正向光与一侧向光，当所述正向光与所述侧向光同时照射位于所述凹槽上方具有所述短路和/或所述开路的各所述电路时，沿着所述凹槽上方进行一第二位置扫描以确认具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的所述短路和/或各所述开路的第二位置，且将所述第一位置与所述第二位置相加，以获得具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的各所述短路和/或各所述开路的确切位置。

8.一种开路/短路检查机的检查方法，用于一包括各具有一电路的多个面板的玻璃基板，其中所述开路/短路检查机包括一凹槽、一用于发出一反向光的发光装置和用于发出一正向光与一侧向光的位置扫描装置，包含：

(a)当各所述电路的至少其中之一具有一短路和/或一开路时，使所述反向光照射位于所述凹槽上方的具有所述短路和/或所述开路的各所述电路，并以所述位置扫描装置对位于所述凹槽上方的具有所述短路和/或所述开路的各所述电路进行一第一位置扫描，以确认具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的所述短路和/或所述开路的第一位置。

9.根据实施例8所述的开路/短路检查机的检查方法，其中所述开路/短路检查机还包括一气浮平台、一测量平台、一第一至一第四线传感器、一第一与一第二对位照相机与一龙门机构，所述凹槽位于所述气浮平台与所述测量平台间，所述龙门机构具有一第一与一第二龙门移动滑轨和一横梁，所述第一与所述第二龙门移动滑轨是分别设置于所述测量平台的第一侧的外缘与一第二侧的外缘，所述第一与所述第二龙门移动滑轨实质上竖直于所述凹槽，所述横梁设置于所述第一龙门移动滑轨与所述第二龙门移动滑轨上且位于所述测量平台上方，所述位置扫描装置具有用于侦测所述开路的位置检查传感器，与用于侦测所述短路的自动光学检测(AOI)装置，所述第一至所述第四线传感器、所述第一与所述第二对准相机、所述位置检查传感器及所述AOI装置是设置于所述横梁的不同高度和/或位置上，所述玻璃基板的右上角与右下角分别具有一第一定位标志与一第二定位标志，所述多个面板分为m列，每列具有n个面板，m与n为正整数，且还包括：

(a1)当所述开路/短路检查机开始一第一次线扫描时，使所述第一对准相机对准所述第一定位标志，且使所述第二对准相机对准所述第二定位标志；

(a2)使所述第一与所述第二线传感器分别移动至所述第一列的第一个面板上的第一与一第二线传感器扫描启始位置，同时，使所述第三与所述第四线传感器分别移动至邻接所述第一列的第二列的第一个面板上的第三与一第四线传感器扫描启始位置，以进行所述第一次线扫描；

(a3)重复步骤(a1)至(a2)直至所述多个面板全部被扫描完毕；

(a4)当所述多个面板全部被扫描完毕后，若所述开路和/或所述短路被侦测到时，则使具有所述开路和/或所述短路的各所述电路被逐一依序移动至位于所述凹槽上方的位置；

(a5)使所述位置扫描装置在沿所述凹槽移动的所述反向光的照射下，针对位于所述凹槽上方的具有所述短路和/或所述开路的各所述电路进行所述第一位置扫描，以找到具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的所述短路和/或所述开路的第一位置；

(a6)当所述正向光与所述侧向光同时照射位于所述凹槽上方的具有所述短路和/或所述开路的各所述电路时，以所述位置扫描装置对位于所述凹槽上方的具有所述短路和/或所述开路的各所述电路进行一第二位置扫描，以找到具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的所述短路和/或所述开路的第二位置；以及

(a7)加总所述第一位置与所述第二位置，以获得具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的各所述短路和/或各所述开路的确切位置。

10.一种检查一玻璃基板的方法，其中所述玻璃基板包括各具有一电路的多个面板，包含：

(a)当各所述电路的至少其中之一具有一短路和/或一开路时，提供一反向光照射具有所述短路和/或所述开路的各所述电路以对具有所述短路和/或所述开路的各所述电路进行一第一位置扫描，以确认具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的所述短路和/或所述开路的第一位置；

(b)提供一正向光和一侧向光同时照射具有所述短路和/或所述开路的各所述电路以对具有所述短路和/或所述开路的各所述电路进行一第二位置扫描，以确认具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的所述短路和/或所述开路的第二位置；以及

(c)加总所述第一与所述第二位置，以找到具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的各所述短路和/或各所述开路的确切位置。

11.根据实施例10所述的检查所述玻璃基板的方法，还包括提供具有一位置检查传感器及一自动光学检测(AOI)装置的位置扫描装置与设置于一凹槽中的发光装置；其中所述正向光与所述侧向光是由所述AOI装置所发出，所述反向光是由所述发光装置所发出，所述正向光与所述侧向光是分别自所述玻璃基板的上方与侧上方向具有所述短路和/或所述开路的各所述电路照射，且所述反向光自所述玻璃基板的下方而向上照射，所述第一与所述第二位置扫描是由所述位置扫描装置所进行，所述位置检查传感器用于侦测各所述开路，且所述AOI装置用于侦测各所述短路。

12.一种检查一玻璃基板的检查机，其中所述玻璃基板包括各具有一电路的多个面板，包含：

一位置扫描装置，设置于所述玻璃基板上方；以及

一发光装置，设置于所述玻璃基板下方，且当各所述电路的至少其中之一具有一短路和/或一开路时，发出一反向光照射具有所述短路和/或所述开路的各所述电路，以便所述位置扫描装置对具有所述短路和/或所述开路的各所述电路进行一第一位置扫描，其中当所述位置扫描装置发出一正向光与一侧向光照射具有所述短路和/或所述开路的各所述电路时，使所述位置扫描装置对具有所述短路和/或所述开路的各所述电路进行一第二位置扫描，加总所述第一与所述第二位置扫描的二结果，以获得具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的各所述短路和/或各所述开路的确切位置。

13.根据实施例12所述的检查机，其中所述位置扫描装置包括一位置检查传感器与一自动光学检测(AOI)装置，其中所述反向光自所述玻璃基板下方而向上照射，所述AOI装置发射所述正向光与所述侧向光，所述正向光自所述玻璃基板上方而向下照射，所述侧向光自所述玻璃基板的侧上方向具有所述短路和/或所述开路的各所述电路照射，所述AOI装置用于侦测所述短路，所述位置检查传感器用于侦测所述开路。

综上所述，本发明提供一种开路/短路检查机，用于一包括各具有一电路的多个面板的玻璃基板，包括多个线扫描传感器、一具有一位置检查传感器及一自动光学检测(AOI)装置的位置扫描装置以及一发光装置，当各所述电路的至少其中之一具有一短路和/或一开路时，所述多个线扫描传感器用以找出具有所述开路和/或所述短路的各所述电路，所述位置检查传感器用于侦测所述开路，所述AOI装置用于侦测所述短路，所述发光装置发出一反向光以自所述玻璃基板下方照射具有所述开路和/或所述短路的各所述电路并对具有所述开路和/或所述短路的各所述电路进行一第一位置扫描以确定具有所述开路和/或所述短路的各所述电路的所述开路和/或所述短路的第一位置，所述位置扫描装置发出一正向光与一侧向光以分别自所述玻璃基板上方及侧上方同时照射具有所述开路和/或所述短路的各所述电路并对具有所述开路和/或所述短路的各所述电路进行一第二位置扫描，以确定具有所述开路和/或所述短路的各所述电路的所述开路和/或所述短路的第二位置，并加总所述第一与所述第二位置以找出具有所述开路和/或所述短路的各所述电路的各所述开路和/或各所述短路的确切位置，以提升各所述开路和/或各所述短路的检出率，故其确实具有新颖性与进步性。

是以，纵使本案已由上述的实施例所详细叙述而可由熟悉本技艺的人士任施匠思而为诸般修饰，然皆不脱如附权利要求所欲保护者。

符号说明

1：开路/短路检查机

11：气浮平台

110：第一夹具

1101：第一夹具移动方向

111：第一/第二/第三/第四第二夹具

1111：沿实质竖直于凹槽方向的第二/第三夹具移动方向

112：第一/第二/第三/第四第三夹具

1121：沿实质平行于凹槽方向的第二/第三夹具移动方向

113：第四夹具

1131：第四夹具移动方向

1132：第四夹具补正方向

114：旋转平台

115：气浮平台第一侧

116：气浮平台第二侧/装卸端

117：气浮平台第三侧

118：气浮平台第四侧

12：测量平台

121：测量平台第一侧

122：测量平台第二侧

13：凹槽

14：发光装置

141：装置支架

1411：滑轨

142：点光源

143：发光装置移动方向

15：位置扫描装置

151：位置检查传感器

152：自动光学检测装置

153：位置扫描装置移动方向

16：第一/第二/第三/第四线传感器

161：第一线传感器间距调整方向

162：第二线传感器间距调整方向

163：第三线传感器间距调整方向

164：第四线传感器间距调整方向

165：线扫描移动方向

166：第一线传感器扫描启始位置

167：第二线传感器扫描启始位置

168：第三线传感器扫描启始位置

169：第四线传感器扫描启始位置

17：第一/第二对位照相机

18：龙门机构

181：第一龙门移动滑轨

182：第二龙门移动滑轨

183：横梁

184：横梁移动方向

19：吹气孔

191：吹气方向

2：玻璃基板

21：第一定位标志

22：第二定位标志

23：面板

231：电路

2311：闸极线

2312：公用线

2313：开路

2314：短路

24：工作距离

25：玻璃基板气浮距离

θ：旋转角度

L：装载方向

UL：卸除方向

Claims (13)

1.一种开路/短路检查机，用于包括分别具有电路的多个面板的玻璃基板，包括：

气浮平台；

测量平台；

凹槽，设置于所述气浮平台与所述测量平台之间；

发光装置，设置于所述凹槽中，且沿着所述凹槽水平地移动，用于发出反向光；以及

位置扫描装置，设置于所述凹槽上方，用于当各所述电路的至少其中之一具有短路和和/或开路时，使所述反向光沿着所述凹槽照射位于所述凹槽上方的具有所述短路和和/或所述开路的各所述电路，并沿着所述凹槽上方进行第一位置扫描以确认具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的所述短路和和/或所述开路的第一位置。

2.根据权利要求1所述的开路/短路检查机，其中所述位置扫描装置具有位置检查传感器及自动光学检测AOI装置，所述位置检查传感器用于侦测所述开路，所述AOI装置用于侦测所述短路，所述发光装置包括具有滑轨的装置支架与点光源，所述点光源用于发出所述反向光，且设置于所述滑轨上以使所述点光源沿着所述凹槽水平移动，所述AOI装置发出正向光与侧向光，所述正向光自所述AOI装置竖直向具有所述短路和/或所述开路的各所述电路照射，所述侧向光自所述玻璃基板的一侧上方向具有所述短路和/或所述开路的各所述电路照射，当所述正向光与所述侧向光同时照射具有所述短路和/或所述开路的各所述电路时，使所述位置扫描装置沿着所述凹槽上方进行第二位置扫描以确认具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的所述短路和/或所述开路的第二位置，将所述第一位置与所述第二位置相加，以获得具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的各所述短路和/或各所述开路的确切位置。

3.根据权利要求2所述的开路/短路检查机，其中所述反向光自所述凹槽中向所述玻璃基板照射，且当所述发光装置设置于所述凹槽中时，所述点光源与所述玻璃基板间的工作距离是相距100mm，当所述发光装置发出所述反向光时，所述AOI不发出所述正向光与侧向光，而当所述AOI装置发出所述正向光与所述侧向光时，所述发光装置则不发出所述反向光。

4.根据权利要求2所述的开路/短路检查机，还包括第一至第四线传感器、第一与第二对准相机与龙门机构，其中所述龙门机构具有第一与一第二龙门移动滑轨和横梁，所述第一与所述第二龙门移动滑轨分别设置于所述测量平台的第一侧的外缘与第二侧的外缘，且所述第一与所述第二龙门移动滑轨实质上竖直于所述凹槽，所述横梁设置于所述第一龙门移动滑轨与所述第二龙门移动滑轨上，且位于所述测量平台上方，所述第一至所述第四线传感器、所述第一与所述第二对准相机、所述位置检查传感器及所述AOI装置设置于所述横梁的不同高度和/或位置上，所述玻璃基板的右上角与右下角分别具有第一定位标志与第二定位标志，所述多个面板分为m列，每列具有n个面板，m与n为正整数，当所述开路/短路检查机开始第一次线扫描时，所述第一对准相机对准所述第一定位标志，所述第二对准相机对准所述第二定位标志，所述第一与所述第二线传感器分别依据第一线传感器间距调整方向与第二线传感器间距调整方向移动至所述第一列的第一个面板上的第一与第二线传感器扫描启始位置，同时，所述第三与所述第四线传感器则分别依据第三线传感器间距调整方向与第四线传感器间距调整方向移动至邻接所述第一列的第二列的第一个面板上的第三与第四线传感器扫描启始位置，以依据线扫描移动方向进行所述第一次线扫描，以此类推，直至所述多个面板全部被扫描完毕；而后使具有所述开路和/或所述短路的各所述电路逐一被移动至位于所述凹槽上方的位置，以进行所述第一位置扫描与所述第二位置扫描。

5.根据权利要求2所述的开路/短路检查机，还包括多个吹气孔、装卸端、两个第一夹具、第一至第四第二夹具、第一至第四第三夹具、第四夹具与旋转平台，其中所述多个吹气孔位于所述测量平台下方一隅，用于向所述玻璃基板吹气，以使所述玻璃基板上的多个微粒被吹走，且当所述多个吹气孔进行吹气时，使所述玻璃基板悬浮于所述气浮平台或所述测量平台上方，且使所述玻璃基板与所述气浮平台或所述测量平台间相距20-30微米，所述玻璃基板是沿着实质竖直于所述凹槽的装载方向，经由所述装卸端被装载至所述气浮平台上，或沿着卸除方向，经由所述装卸端自所述气浮平台上卸除下来，所述两个第一夹具是位于所述气浮平台的平行于所述装载方向或所述卸除方向的第一侧外缘，用于当所述玻璃基板装载至所述气浮平台上时，夹紧所述玻璃基板，而所述第一与所述第二第二夹具和所述第一与所述第二第三夹具位于所述气浮平台的第二侧，所述第三第二夹具和所述第三第三夹是位于所述气浮平台的第三侧，所述第四第二夹具和所述第四第三夹具位于所述气浮平台的第四侧，当所述玻璃基板与所述装载方向或所述卸除方向间具有0度或180度的夹角时，所述第一至所述第四第二夹具用于夹紧所述玻璃基板于所述气浮平台上，所述第一至所述第四第三夹具在所述玻璃基板与所述装载方向或所述卸除方向之间具有90度或270度的夹角时，用于夹紧所述玻璃基板于所述气浮平台上，使所述旋转平台经由抽真空而紧密吸附于所述玻璃基板，并通过旋转所述旋转平台以旋转所述玻璃基板，所述第四夹具位于所述气浮平台的所述第一侧外缘或所述测量平台的第一侧外缘，用于通过抽真空以紧密吸附于所述玻璃基板，并协同所述紧密吸附于所述玻璃基板的旋转平台将所述玻璃基板自所述气浮平台移动至所述测量平台、自所述测量平台移动至所述凹槽上方，或自所述凹槽上方移动至所述装卸端。

6.根据权利要求5所述的开路/短路检查机，其中各所述第一至各所述第三夹具呈圆形，所述第四夹具呈长条形，当使用各所述第一至各所述第三夹具时，各所述第一至各所述第三夹具先向上伸起，而后朝向所述玻璃基板移动，夹紧于所述玻璃基板，以使所述玻璃基板被固定；当使用所述第四夹具时，所述第四夹具首先向上伸起贴合于所述玻璃基板，而后使所述第四夹具经由抽真空而紧密地吸附于所述玻璃基板；当停止使用各所述第一至各所述第三夹具或所述第四夹具时，使各所述第一至各所述第三夹具自所述玻璃基板松开，或停止抽真空而使所述第四夹具自所述玻璃基板松开，而后使各所述第一至各所述第三夹具或所述第四夹具自所述玻璃基板向外移动且向下降，以回归其未被使用时的原位，其中所述玻璃基板为显示屏的数组基板。

7.一种开路/短路检查机，用于包括分别具有电路的多个面板的玻璃基板，包括：

凹槽；

发光装置，设置于所述凹槽中，且用于发出反向光；以及

位置扫描装置，用于当各所述电路的至少其中之一具有短路和/或开路时，使所述反向光照射位于所述凹槽上方的具有所述短路和/或所述开路的各所述电路，并沿所述凹槽上方进行第一位置扫描以确认具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的所述短路和/或所述开路的第一位置，且用于发射正向光与侧向光，当所述正向光与所述侧向光同时照射位于所述凹槽上方具有所述短路和/或所述开路的各所述电路时，沿着所述凹槽上方进行第二位置扫描以确认具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的所述短路和/或所述开路的第二位置，且将所述第一位置与所述第二位置相加，以获得具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的各所述短路和/或各所述开路的确切位置。

8.一种开路/短路检查机的检查方法，用于包括分别具有电路的多个面板的玻璃基板，其中所述开路/短路检查机包括凹槽、用于发出反向光的发光装置和用于发出正向光与侧向光的位置扫描装置，包含：

(a)当各所述电路的至少其中之一具有短路和/或开路时，使所述反向光照射位于所述凹槽上方的具有所述短路和/或所述开路的各所述电路，并以所述位置扫描装置对位于所述凹槽上方的具有所述短路和/或所述开路的各所述电路进行第一位置扫描，以确认具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的所述短路和/或所述开路的第一位置。

9.根据权利要求8所述的开路/短路检查机的检查方法，其中所述开路/短路检查机还包括气浮平台、测量平台、第一至第四线传感器、第一与第二对位照相机与龙门机构，所述凹槽位于所述气浮平台与所述测量平台间，所述龙门机构具有第一与第二龙门移动滑轨和横梁，所述第一与所述第二龙门移动滑轨分别设置于所述测量平台的第一侧的外缘与第二侧的外缘，所述第一与所述第二龙门移动滑轨实质上竖直于所述凹槽，所述横梁设置于所述第一龙门移动滑轨与所述第二龙门移动滑轨上且位于所述测量平台上方，所述位置扫描装置具有用于侦测所述开路的位置检查传感器，与用于侦测所述短路的自动光学检测AOI装置，所述第一至所述第四线传感器、所述第一与所述第二对准相机、所述位置检查传感器及所述AOI装置是设置于所述横梁的不同高度和/或位置上，所述玻璃基板的右上角与右下角分别具有第一定位标志与第二定位标志，所述多个面板分为m列，每列具有n个面板，m与n为正整数，且还包括：

(a1)当所述开路/短路检查机开始第一次线扫描时，使所述第一对准相机对准所述第一定位标志，且使所述第二对准相机对准所述第二定位标志；

(a2)使所述第一与所述第二线传感器分别移动至所述第一列的第一个面板上的第一与第二线传感器扫描启始位置，同时，使所述第三与所述第四线传感器分别移动至邻接所述第一列的第二列的第一个面板上的第三与第四线传感器扫描启始位置，以进行所述线扫描；

(a3)重复步骤(a1)至(a2)直至所述多个面板全部被扫描完毕；

(a4)当所述多个面板全部被扫描完毕后，若所述开路和/或所述短路被侦测到时，则使具有所述开路和/或所述短路的各所述电路被逐一依序移动至位于所述凹槽上方的位置；

(a5)使所述位置扫描装置在沿所述凹槽移动的所述反向光的照射下，针对位于所述凹槽上方的具有所述短路和/或所述开路的各所述电路进行所述第一位置扫描，以找到具有所述开路和/或所述短路的各所述电路的所述短路和/或所述开路的第一位置；

(a6)当所述正向光与所述侧向光同时照射位于所述凹槽上方的具有所述短路和/或所述开路的各所述电路时，以所述位置扫描装置对位于所述凹槽上方的具有所述短路和/或所述开路的各所述电路进行第二位置扫描，以找到具有所述开路和/或所述短路的各所述电路的所述短路和/或所述开路的第二位置；以及

(a7)将所述第一位置与所述第二位置相加，以获得具有所述开路和/或所述短路的各所述电路的各所述短路和/或各所述开路的确切位置。

10.一种检查玻璃基板的方法，其中所述玻璃基板包括分别具有电路的多个面板，包含：

(a)当各所述电路的至少其中之一具有短路和/或开路时，提供反向光照射具有所述短路和/或所述开路的各所述电路以对具有所述短路和/或所述开路的各所述电路进行第一位置扫描，以确认具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的所述短路和/或所述开路的第一位置；

(b)提供正向光和侧向光同时照射具有所述短路和/或所述开路的各所述电路以对具有所述短路和/或所述开路的各所述电路进行第二位置扫描，以确认具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的所述短路和/或所述开路的第二位置；以及

(c)将所述第一与所述第二位置相加，以找到具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的各所述短路和/或各所述开路的确切位置。

11.根据权利要求10所述的检查所述玻璃基板的方法，还包括提供具有位置检查传感器及自动光学检测AOI装置的位置扫描装置与设置于凹槽中的发光装置；其中所述正向光与所述侧向光是由所述AOI装置所发出，所述反向光是由所述发光装置所发出，所述正向光与所述侧向光是分别自所述玻璃基板的上方与侧上方向具有所述短路和/或所述开路的各所述电路照射，且所述反向光自所述玻璃基板的下方而向上照射，所述第一与所述第二位置扫描由所述位置扫描装置所进行，所述位置检查传感器用于侦测各所述开路，且所述AOI装置用于侦测各所述短路。

12.一种检查玻璃基板的检查机，其中所述玻璃基板包括分别具有电路的多个面板，包含：

位置扫描装置，设置于所述玻璃基板上方；以及

发光装置，设置于所述玻璃基板下方，且当各所述电路的至少其中之一具有短路和/或开路时，发出反向光照射具有所述短路和/或所述开路的各所述电路，并使所述位置扫描装置对具有所述短路和/或所述开路的各所述电路进行第一位置扫描，其中当所述位置扫描装置发出正向光与侧向光照射具有所述短路和/或所述开路的各所述电路时，使所述位置扫描装置对具有所述短路和/或所述开路的各所述电路进行第二位置扫描，将所述第一与所述第二位置扫描的结果相加，以获得具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的各所述短路和/或各所述开路的确切位置。

13.根据权利要求12所述的检查机，其中所述位置扫描装置包括位置检查传感器与自动光学检测AOI装置，其中所述反向光自所述玻璃基板的下方而向上照射，所述AOI装置发射所述正向光与所述侧向光，所述正向光自所述玻璃基板上方而向下照射，所述侧向光自所述玻璃基板的侧上方向具有所述短路和/或所述开路的各所述电路照射，所述AOI装置用于侦测所述短路，所述位置检查传感器用于侦测所述开路。

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