TWI486578B - Plate glass inspection unit and manufacturing equipment - Google Patents

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TWI486578B
TWI486578B TW101142122A TW101142122A TWI486578B TW I486578 B TWI486578 B TW I486578B TW 101142122 A TW101142122 A TW 101142122A TW 101142122 A TW101142122 A TW 101142122A TW I486578 B TWI486578 B TW I486578B
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orthogonal
glass
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TW101142122A
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Inventor
Takanori Kiritoshi
Makoto Sato
Keiji Tsujita
Original Assignee
Kawasaki Heavy Ind Ltd
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    • G01MEASURING; TESTING
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    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G01N21/896Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod

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Description

板玻璃之檢查單元及製造設備
本發明係關於一種於製造線上進行板玻璃之檢查之板玻璃之檢查單元。又,係關於一種包含該檢查單元之板玻璃之製造設備。
板玻璃係於製造後接受各種檢查,確認滿足一定基準後才進行出貨。關於板玻璃之檢查,例如,於專利文獻1中揭示有「玻璃基板之形狀測定裝置及測定方法」,於專利文獻2中揭示有「異物檢查裝置及檢查方法」,於專利文獻3中揭示有「板狀透明體之缺陷檢查裝置及其方法」,於專利文獻4中揭示有「透光性矩形物之端面檢查方法及端面檢查裝置」。如此,於大量文獻中揭示有進行板玻璃之檢查之裝置及方法。
先前技術文獻 專利文獻
專利文獻1:日本特開2007-205724號公報
專利文獻2:日本特開2010-169453號公報
專利文獻3:日本特開2012-007993號公報
專利文獻4:日本特開2011-227049號公報
然而,文獻中所記載之技術之任一種均係著眼於複數個檢查項目中之1個者,對於如何組合進行各自之檢查之 裝置及方法方面並未進行充分之研究。進一步而言,文獻中甚至連以什麼為基準來配置各裝置才會有效率等暗示亦未記載。此處,發明者等人著眼於如下情況:具有「成形方向」之板玻璃、即以沿製造線上之某方向送出之方式而成形的板玻璃之脈紋(存在於光學玻璃中之條紋狀或層狀之光學性不均質部分)或刮痕等缺陷具有方向性(指向性)。
本發明係鑒於如上情況而完成者,其目的在於提供一種可高效地檢查具有成形方向之板玻璃之檢查單元。
本發明之某一形態之檢查單元係將具有成形方向之矩形狀之板玻璃一面向下游搬送一面進行檢查者;且具備:平行邊檢查裝置,其檢查通過之上述板玻璃之於成形方向上延伸之邊;旋轉裝置,其以使成形方向與搬送方向正交之方式使上述板玻璃旋轉;正交邊檢查裝置,其檢查通過之上述板玻璃之與成形方向正交之邊;面檢查裝置,其檢查通過之上述板玻璃之整個面;及線上檢查裝置,其於與成形方向正交之線上檢查通過之上述板玻璃之面;且以上述旋轉裝置為基準,於其上游及下游中之一方側配置有上述平行邊檢查裝置,於另一方側配置有上述正交邊檢查裝置、上述面檢查裝置、及上述線上檢查裝置。
此處,具有成形方向之板玻璃易於在成形方向上產生刮痕或脈紋等缺陷。因此,若面檢查裝置及線上檢查裝置於與成形方向正交之方向上對板玻璃進行檢查,則可精度良好地進行。而且,根據上述構成,由於使該等兩檢查裝 置成為一群組而配置於旋轉裝置之下游或上游,故而無需重複進行板玻璃之方向轉換,而可高效地進行高精度之檢查。
又,於上述檢查單元中,亦可以如下方式構成:上述平行邊檢查裝置檢測上述板玻璃之於成形方向上延伸之兩邊之缺陷,並且基於該兩邊之位置算出上述板玻璃之與成形方向正交之方向上之尺寸,上述正交邊檢查裝置檢測上述板玻璃之與成形方向正交之兩邊之缺陷,並且基於該兩邊之位置算出上述板玻璃之成形方向上之尺寸,上述面檢查裝置檢測上述板玻璃之表面及內部之缺陷,上述線上檢查裝置測定上述板玻璃之厚度,並且檢測上述板玻璃之脈紋。
又,於上述檢查單元中,亦可以如下方式構成:上述檢查單元進而具備離線(off-line)檢查裝置,上述離線檢查裝置具有:板厚感測器,其用以測定板玻璃之板厚;應力測定感測器,其用以測定板玻璃之殘留應力;及驅動部,其相對於板玻璃平行地移動;且上述板厚感測器及上述應力測定感測器之任一者均係設置於上述驅動部並同時移動。
若精度良好地進行板厚測定與應力測定,則均會花費相對較長之時間,但根據上述構成,可同時進行該等檢查,故而檢查時間縮短,而且非常高精度且高效率地進行,從而使板玻璃之品質管理亦變得容易。
進而,本發明之板玻璃之製造設備具備上述檢查單元 及清掃單元,該清掃單元位於上述檢查單元之上游側,且具有對通過之板玻璃吹送空氣之吹出口,且上述吹出口於相對於與板玻璃之搬送方向正交之方向傾斜之方向上延伸。
根據上述構成,可防止於板玻璃靠近吹出口時空氣之力瞬間施加至板玻璃上,而可將空氣之力緩慢地施加至板玻璃。因此,可防止於板玻璃通過吹出口時可能產生之板玻璃於鉛垂方向上之晃動。
本發明之另一形態之檢查單元係將具有成形方向之矩形狀之板玻璃沿該成形方向搬入,並一面向下游搬送一面進行檢查者;且具備:旋轉裝置,其以使成形方向與搬送方向正交之方式使上述板玻璃旋轉;全邊檢查裝置,其係暫時地停止搬送而檢查上述板玻璃之四邊;面檢查裝置,其檢查通過之上述板玻璃之整個面;及線上檢查裝置,其檢查通過之上述板玻璃之面中之與成形方向正交之線上;且於上述旋轉裝置之下游側配置有上述面檢查裝置及上述線上檢查裝置。
根據上述構成,雖然採用全邊檢查裝置代替平行邊檢查裝置及正交邊檢查裝置,但由於面檢查裝置及線上檢查裝置係集中配置於旋轉裝置之下游側,故而即便於此情形時亦可高效地檢查板玻璃。
本發明之另一形態之檢查單元係將具有成形方向之矩形狀之板玻璃沿與該成形方向正交之方向搬入,並一面向下游搬送一面進行檢查者;且具備:全邊檢查裝置,其係 暫時地停止搬送而檢查上述板玻璃之四邊;面檢查裝置,其檢查通過之上述板玻璃之整個面;及線上檢查裝置,其檢查通過之上述板玻璃之面中之與成形方向正交之線上。
又,於上述檢查單元中,亦可以如下方式構成:上述全邊檢查裝置檢測上述板玻璃之四邊之缺陷,並且基於各邊之位置算出上述板玻璃之成形方向上之尺寸、及與成形方向正交之方向上之尺寸,上述面檢查裝置檢測上述板玻璃之表面及內部之缺陷,上述線上檢查裝置測定上述板玻璃之厚度,並且檢測上述板玻璃之脈紋。
如上所述,根據本發明,可提供一種能夠高效地進行具有成形方向之板玻璃之檢查的檢查單元。
以下,一面參照圖式一面對本發明之實施形態進行說明。以下,所有圖式對相同或相當之要素標註相同符號,而省略重複之說明。
(第1實施形態)
首先,參照圖1及圖2,對本發明之第1實施形態之板玻璃之製造設備100進行說明。圖1係表示本實施形態之製造設備100之主要部分的概略平面圖。圖中,板玻璃101係藉由搬送輥等而自紙面右側向左側搬送。圖中標註有A至H之符號之板玻璃101係表示隨著時間經過之板玻璃101之朝向及位置。以下,將圖中標註有A至H之符號之板玻璃101之位置例如稱為「位置A」等而進行說明。又,本實施 形態之板玻璃101係以自位於製造線之上游側之熔解爐(未圖示)送出之方式而成形,且具有「成形方向」。板玻璃101係形成為長方形狀(矩形狀),且其長邊與成形方向存在平行關係。如圖1所示,本實施形態之製造設備100具備清掃單元10與檢查單元20。
清掃單元10係清掃通過之板玻璃101之單元。板玻璃101係於未圖示之前步驟中被切割成任意之大小後而搬入至清掃單元10。於清掃單元10中,將切割板玻璃101時所附著之碎片等去除,並將板玻璃101搬送至位於下游側之檢查單元20。又,於本實施形態中,板玻璃101係沿成形方向被搬入至清掃單元10。亦即,板玻璃101係以使長邊與搬入方向一致之方式被搬入至清掃單元10。
又,清掃單元10具有對通過之板玻璃101吹送空氣之吹出口11。於圖1中,板玻璃101於自位置A向位置B移動時通過該吹出口11。吹出口11並非於與板玻璃101之搬送方向正交之方向上延伸,而係於相對於與搬送方向正交之方向傾斜之方向上延伸。根據上述構成,可防止於板玻璃101靠近吹出口11時空氣之力瞬間施加至板玻璃101,而可使空氣之力緩慢地施加至板玻璃101。因此,可防止於板玻璃101通過吹出口11時可能產生之板玻璃101於鉛垂方向上之晃動。
檢查單元20係一面將板玻璃101向下游搬送一面對板玻璃101進行檢查之單元。於圖1中,板玻璃101於自位置B向位置H移動期間藉由檢查單元20進行檢查。於本實 施形態中,板玻璃101並未自上述清掃單元10旋轉而直接被搬入至檢查單元20。亦即,板玻璃101係以使成形方向與搬送方向一致之方式搬送至檢查單元20。又,如圖1所示,檢查單元20具備平行邊檢查裝置30、旋轉裝置40、正交邊檢查裝置50、面檢查裝置60、線上檢查裝置70、高速應力測定裝置80、及離線檢查裝置90。該等裝置係除離線檢查裝置90以外均配置於直線上。
平行邊檢查裝置30係檢查通過之板玻璃101中之於成形方向上延伸之邊(長邊)有無缺陷之裝置。平行邊檢查裝置30具有2台CCD(Charge Coupled Device,電荷耦合器件)相機31。各CCD相機31係配置於板玻璃101之上方且與板玻璃101之兩長邊相對應之位置。藉由該CCD相機31,而於板玻璃101自位置B向位置C移動時拍攝板玻璃101之長邊。而且,平行邊檢查裝置30基於藉由CCD相機31之拍攝所獲得之圖像資料而判斷長邊有無缺陷(欠缺、裂痕、研磨不均、及污垢)。又,由於可根據圖像資料而測定板玻璃101之長邊之位置,故而可基於該長邊之位置算出自一長邊至另一長邊之距離、即短邊之尺寸。再者,為了提高檢查品質,亦可於板玻璃101之上方、下方及側方之3個部位同時設置CCD相機31。
旋轉裝置40係使板玻璃101水平地旋轉之裝置。於本實施形態中,使板玻璃101旋轉90度,而使長邊與搬送方向正交。藉此,於較旋轉裝置40更靠下游側,板玻璃101係沿與成形方向正交之方向被搬送。於本實施形態中,旋 轉裝置40係利用具有吸盤之臂41於位置C上吸附板玻璃101並將其提昇,使其旋轉後降至位置D。然而,旋轉裝置40之具體構成並不限定於此,亦可利用任何方法使板玻璃旋轉。
此處,若將旋轉裝置40之位置設為基準,則構成檢查單元20之各裝置之排列如下所示。即,於旋轉裝置40之上游側配置有平行邊檢查裝置30。又,於旋轉裝置40之下游側配置有正交邊檢查裝置50、面檢查裝置60、線上檢查裝置70、及高速應力測定裝置80。再者,高速應力測定裝置80之位置並無特別限定。又,正交邊檢查裝置50、面檢查裝置60、及線上檢查裝置70係只要位於旋轉裝置40之下游側即可,亦可將該等3個裝置之位置調換。
正交邊檢查裝50係檢查通過之板玻璃101之與成形方向正交之邊(短邊)有無缺陷的裝置。正交邊檢查裝置50具有2台CCD相機51。CCD相機51係配置於板玻璃101之上方、且與板玻璃101之短邊相對應之位置。藉由該CCD相機51,而於板玻璃101自位置D向位置E移動時拍攝板玻璃101之短邊。而且,基於藉由拍攝而獲得之圖像資料判斷短邊有無缺陷。又,由於可根據圖像資料測定板玻璃101之短邊之位置,故而亦可基於該短邊之位置一併算出自一短邊至另一短邊之距離、即長邊之尺寸。再者,為了提高檢查品質,亦可於板玻璃101之上方、下方及側方之3個部位同時設置CCD相機51。
面檢查裝60係檢查通過之板玻璃101之整個面之裝 置。面檢查裝置60具有複數個CCD相機61。CCD相機61係於板玻璃101之上方、且與搬送方向正交之方向上並排配置。藉由該等CCD相機61,而於板玻璃101自位置E向位置F移動時拍攝板玻璃101之整個面。而且,基於藉由拍攝而獲得之圖像資料,判斷板玻璃101之表面有無缺陷(刮痕、異物之附著)及內部有無缺陷(氣泡、異物之混入)。再者,板玻璃101之表面之刮痕易於以在成形方向上延伸之方式形成。因此,藉由朝向與成形方向正交之方向觀測表面,而於存在刮痕之情形時圖像資料中易於產生變化,從而易於檢測出刮痕。亦即,根據上述構成,可提高表面之檢查精度。
線上檢查裝置70係於與成形方向正交之線上(一面於與成形方向正交之方向上相對地移動一面)檢查通過之板玻璃101之面的裝置。線上檢查裝置70具有厚度測定感測器71與脈紋檢查感測器72。厚度測定感測器71觀測自板玻璃101之上方照射而於板玻璃101之上表面及下表面反射之光。線上檢查裝置70可基於該觀測結果而測定檢查位置上之板玻璃101之厚度。又,脈紋檢查感測器72觀測通過板玻璃101內之光。線上檢查裝置70可基於該觀測結果而檢測板玻璃101內之脈紋。圖1中,於板玻璃101自位置F向位置G移動時,測定板玻璃101之厚度並且檢查脈紋之有無。此處,具有成形方向之板玻璃101易於在相對於成形方向正交之方向上產生厚度之變化。又,脈紋係以於成形方向上延伸之方式形成。因此,如本實施形態般藉 由一面向與成形方向正交之方向相對地移動一面檢查厚度及脈紋,而可精度良好地檢測出板玻璃之異常之厚度及脈紋。
高速應力測定裝置80係以高速測定板玻璃101內之殘留應力之裝置。高速應力測定裝置80具有複數個應力測定感測器81。應力測定感測器81係於板玻璃101之上方、且與搬送方向正交之方向上並排配置。高速應力測定裝置80具有位於板玻璃101之下方之發光部(未圖示)。發光部朝向板玻璃101之下表面照射雷射光。雷射光通過該板玻璃101內,且由應力測定感測器81接收。之後,高速應力測定裝置80基於入射至應力測定感測器81之雷射光之角度算出殘留應力。圖1中,於板玻璃自位置G向位置H移動時,測定該板玻璃101之殘留應力。通常,為了精度良好地測定殘留應力會花費相對較長之時間,但於本實施形態之高速應力測定裝置80中,藉由配置複數個應力測定感測器81及發光部,並且減少測定數量,而實現測定之高速化。
離線檢查裝置90係對自製造線取出之板玻璃101進行檢查之裝置。板玻璃101之取出既可自動進行,亦可手動進行。再者,於本實施形態中,利用離線檢查裝置90進行檢查之板玻璃101係以自位置G取出之方式構成。於本實施形態之離線檢查裝置90中,同時進行板玻璃101所產生之殘留應力之測定與板厚之測定。此處,圖2係離線檢查裝置90之概略立體圖。於離線檢查裝置90中,於其上載 置板玻璃101而進行檢查,以下,將與該板玻璃之長邊平行之方向(紙面右上、左下方向)設為「X方向」,將與板玻璃101之短邊平行之方向(紙面左上、右下方向)設為「Y方向」。
如圖2所示,離線檢查裝置90具有平台91、驅動部92、板厚感測器93、及應力測定感測器94。平台91係水平地載置板玻璃101之台,且係以可於X方向上滑動之方式構成。又,於平台91上有規則地形成有複數個於相對於表面垂直之方向上貫通之貫通孔(未圖示)。於平台91之下方配置有發光部(未圖示),若自該發光部發出雷射光,則雷射光通過貫通孔而照射至板玻璃101。驅動部92位於平台91之上方,且沿於Y方向上延伸之軌道95於Y方向上驅動。於驅動部92上設置有板厚感測器93及應力測定感測器94。亦即,板厚感測器93及應力測定感測器94係相鄰接而配置,且係以與驅動部92一併同時地於Y方向上移動之方式構成。再者,伴隨著應力測定感測器94於Y方向上之移動,上述發光部亦於Y方向上移動。
板厚感測器93可檢查板玻璃101之翹曲,且接收反射至板玻璃101之光。而且,基於板厚感測器93所接收之光之角度而檢測板玻璃101之翹曲。進而,可根據該檢測資料算出板玻璃101之板厚。應力測定感測器94與上述高速應力測定裝置80之應力測定感測器81基本相同。然而,離線檢查裝置90之應力測定感測器94之檢測精度高於高速應力測定裝置80之應力測定感測器81。進而,於本實施 形態中,不僅基於由應力測定感測器94所接收之來自發光部之雷射光之角度,而且基於板厚感測器93所算出之實際之板玻璃101之板厚,而算出(測定)殘留應力。
例如,即便應力測定感測器94接收之雷射光之角度相同,若板玻璃101之板厚不同,則殘留應力會不同。亦即,為了準確地測定殘留應力,必需板玻璃101之板厚之資訊。然而,先前,測定板玻璃101之殘留應力之裝置係獨立於可測定板玻璃101之板厚之裝置而設置。因此,殘留應力係假定板玻璃101之板厚固定而算出,其結果,產生有10%左右之誤差。相對於此,本實施形態之離線檢查裝置90具備板厚感測器93及應力測定感測器94之兩者,因此,可基於實際之板玻璃101之板厚而算出殘留應力,其結果,能以高精度測定殘留應力,且品質管理亦變得容易。
具備以上構成之離線檢查裝置90係以如下方式對板玻璃101進行檢查。首先,調整平台91之X方向位置,而使板厚感測器93及應力測定感測器94可測定板玻璃101之一短邊附近。其次,保持平台91之位置固定,而使驅動部92自板玻璃101之一長邊起至另一長邊為止略微於Y方向逐漸改變位置,從而進行板玻璃101之板厚測定及應力測定。而且,若驅動部92到達至板玻璃101之另一長邊,則此次使平台91於X方向上略微移動,以相同之方式自板玻璃101之另一長邊起至一長邊為止一面略微逐漸改變驅動部92之位置一面進行板厚測定與應力測定。重複進行以上作業,於遍及板玻璃101之整體而進行檢查後結束離線檢 查。再者,若精度良好地進行板厚測定與應力測定,則均會花費相對較長之時間,但於本實施形態之離線檢查裝置90中,可同時進行該等檢查,故而測定時間縮短,而且非常高精度且有效率地進行。
以上為本實施形態之板玻璃之製造設備100之說明。本實施形態之檢查單元20具備面檢查裝置60及線上檢查裝置70,該面檢查裝置60及線上檢查裝置70係若自與成形方向正交之方向進行檢查,則能以高精度檢測出缺陷。而且,由於該等裝置係集中配置於旋轉裝置40之下游,故而無需重複進行板玻璃101之方向轉換,而可高效地進行檢查。再者,於本實施形態中,檢查單元20具備高速應力測定裝置80,但由於離線檢查裝置90亦可測定板玻璃101之殘留應力,故而檢查單元20亦可不具備離線檢查裝置90。
(第2實施形態)
其次,參照圖3,對本發明之第2實施形態之板玻璃101之製造設備200進行說明。圖3係表示本實施形態之製造設備200之主要部分之概略平面圖。若將本實施形態與第1實施形態進行對比,則本實施形態之製造設備200於板玻璃101之搬入方向、及構成檢查單元20之裝置之配置順序方面與第1實施形態之製造設備100不同。對於除此以外之方面,兩設備具有基本相同之構成。
具體而言,於本實施形態中,以與成形方向正交之方向將板玻璃101搬入至清掃單元10及檢查單元20。又,構成檢查單元20之裝置之配置順序係若以旋轉裝置40為基 準則如下所示。亦即,於旋轉裝置40之上游側配置有正交邊檢查裝置50、面檢查裝置60、及線上檢查裝置70。又,於旋轉裝置40之下游側配置有平行邊檢查裝置30及高速應力測定裝置80。如此,於本實施形態之情形時,由於將面檢查裝置60及線上檢查裝置70等集中配置於旋轉裝置40之上游,故而與第1實施形態之情形同樣地,無需重複進行板玻璃101之方向轉換,而可高效地進行高精度之檢查。
(第3實施形態)
其次,參照圖4,對本發明之第3實施形態之板玻璃101之製造設備300進行說明。圖4係表示本實施形態之製造設備300之主要部分之概略平面圖。若將本實施形態與第1實施形態進行對比,則本實施形態之製造設備300於如下方面與第1實施形態之製造設備100構成不同:檢查單元20不具備平行邊檢查裝置30及正交邊檢查裝置50,而具備全邊檢查裝置35來代替。對於除此以外之方面,兩設備具有基本相同之構成。因此,此處以全邊檢查裝置35為中心進行說明。
本實施形態之全邊檢查裝置35係檢查板玻璃101之四邊之裝置。全邊檢查裝置35具有4台CCD相機36。各CCD相機36位於板玻璃101之上方,且分別配置於與板玻璃101之四邊相對應之位置。搬入至全邊檢查裝置35之板玻璃101係暫時地停止搬送,於該狀態下各CCD相機36沿所對應之邊移動。而且,於各CCD相機36沿所對應之邊移動期間, 拍攝該邊。繼而,全邊檢查裝置35基於藉由各CCD相機36之拍攝而獲得之圖像資料,判斷各邊有無缺陷。再者,以上對全邊檢查裝置35具有4台CCD相機36之情形進行了說明,但並不限定於此種構成。例如,亦可以將CCD相機36設為1台,且使其沿板玻璃101之全部四邊移動之方式構成。再者,為了提高檢查品質,亦可於板玻璃101之各邊之上方、下方及側方之3個部位同時設置CCD相機36。
又,可根據圖像資料測定板玻璃101之短邊及長邊之位置,且可基於該等測定結果而算出板玻璃101之長邊之尺寸及短邊之尺寸。再者,於本實施形態中,全邊檢查裝置35係配置於旋轉裝置40之下游側,但亦可配置於旋轉裝置40之上游側。於本實施形態中,雖採用全邊檢查裝置35來代替平行邊檢查裝置30及正交邊檢查裝置50,但仍將面檢查裝置60及線上檢查裝置70集中配置於旋轉裝置40之下游側,於本實施形態之情形時亦可高效地檢查板玻璃101。
(第4實施形態)
其次,參照圖5,對本發明之第4實施形態之板玻璃101之製造設備400進行說明。圖5係表示本實施形態之製造設備400之主要部分之概略平面圖。若將本實施形態與第2實施形態進行對比,則本實施形態之製造設備400於如下方面與第2實施形態之製造設備200構成不同:檢查單元20不具備平行邊檢查裝置30及正交邊檢查裝置50,而具備全邊檢查裝置35來代替,進而,不具備旋轉裝置40。 對於除此以外之方面,兩設備具有基本相同之構成。
再者,本實施形態之全邊檢查裝置35與第3實施形態中所說明之全邊檢查裝置35相同。於本實施形態中,板玻璃101係以與成形方向正交之方向被搬入至檢查單元20,故而即便不使板玻璃101旋轉而改變朝向,亦可藉由面檢查裝置60及線上檢查裝置70進行精度良好之檢查。因此,於本實施形態之檢查單元20中可省略旋轉裝置40。於本實施形態之情形時亦將面檢查裝置60及線上檢查裝置70集中配置,與其他實施形態同樣地可高效地檢查板玻璃101。
以上,參照圖式對本發明之實施形態進行了說明,但具體構成並不限定於該等實施形態,即便存在於不脫離本發明之主旨之範圍內之設計之變更等,亦包含於本發明中。
[產業上之可利用性]
根據本發明,可提供一種能夠高效地對具有成形方向之板玻璃進行檢查之檢查單元。由此,本發明於包含檢查單元之板玻璃之製造設備之技術領域中有益。
10‧‧‧清掃單元
11‧‧‧吹出口
20‧‧‧檢查單元
30‧‧‧平行邊檢查裝置
35‧‧‧全邊檢查裝置
40‧‧‧旋轉裝置
50‧‧‧正交邊檢查裝置
60‧‧‧面檢查裝置
70‧‧‧線上檢查裝置
71‧‧‧厚度測定感測器
72‧‧‧脈紋檢查感測器
80‧‧‧高速應力測定裝置
81、94‧‧‧應力測定感測器
90‧‧‧離線檢查裝置
92‧‧‧驅動部
93‧‧‧板厚感測器
100、200、300、400‧‧‧製造設備
圖1係表示本發明之第1實施形態之製造設備之主要部分的概略平面圖。
圖2係圖1所示之離線檢查裝置之概略立體圖。
圖3係表示本發明之第2實施形態之製造設備之主要部分的概略平面圖。
圖4係表示本發明之第3實施形態之製造設備之主要部分的概略平面圖。
圖5係表示本發明之第4實施形態之製造設備之主要部分的概略平面圖。
10‧‧‧清掃單元
11‧‧‧吹出口
20‧‧‧檢查單元
30‧‧‧平行邊檢查裝置
31、51、61‧‧‧CCD相機
40‧‧‧旋轉裝置
41‧‧‧臂
50‧‧‧正交邊檢查裝置
60‧‧‧面檢查裝置
70‧‧‧線上檢查裝置
71‧‧‧厚度測定感測器
72‧‧‧脈紋檢查感測器
80‧‧‧高速應力測定裝置
81‧‧‧應力測定感測器
90‧‧‧離線檢查裝置
100‧‧‧製造設備
101‧‧‧板玻璃
A~H‧‧‧板玻璃之朝向及位置

Claims (7)

  1. 一種檢查單元,係將具有成形方向之矩形狀之板玻璃一面向下游搬送一面進行檢查者,其具備:平行邊檢查裝置,其檢查通過之上述板玻璃之於成形方向上延伸之邊;旋轉裝置,其以使成形方向與搬送方向正交或成形方向成為搬送方向之方式使上述板玻璃旋轉;正交邊檢查裝置,其檢查通過之上述板玻璃之與成形方向正交之邊;面檢查裝置,其檢查通過之上述板玻璃之整個面;及線上檢查裝置,其於與成形方向正交之線上檢查通過之上述板玻璃之面;以上述旋轉裝置為基準,於其上游及下游中之一方側配置有上述平行邊檢查裝置,於另一方側配置有上述正交邊檢查裝置、上述面檢查裝置、及上述線上檢查裝置。
  2. 如申請專利範圍第1項之檢查單元,其中上述平行邊檢查裝置檢測上述板玻璃之於成形方向上延伸之兩邊之缺陷,並且基於該兩邊之位置而算出上述板玻璃之與成形方向正交之方向上之尺寸;上述正交邊檢查裝置檢測上述板玻璃之與成形方向正交之兩邊之缺陷,並且基於該兩邊之位置而算出上述板玻璃之成形方向上之尺寸;上述面檢查裝置檢測上述板玻璃之表面及內部之缺陷; 上述線上檢查裝置測定上述板玻璃之厚度,並且檢測上述板玻璃之脈紋。
  3. 一種檢查單元,具備離線檢查裝置;上述離線檢查裝置具有:板厚感測器,其用以測定板玻璃之板厚;應力測定感測器,其用以測定板玻璃之殘留應力;及驅動部,其相對於板玻璃平行地移動;且上述板厚感測器及上述應力測定感測器之任一者均係設置於上述驅動部並同時移動。
  4. 一種板玻璃之製造設備,其具備:如申請專利範圍第3項之檢查單元;及清掃單元,其位於上述檢查單元之上游側,且具有對通過之板玻璃吹送空氣之吹出口;上述吹出口於相對於與板玻璃之搬送方向正交之方向傾斜之方向上延伸。
  5. 一種檢查單元,係將具有成形方向之矩形狀之板玻璃沿該成形方向搬入,並一面向下游搬送一面進行檢查者,其具備:旋轉裝置,其以使成形方向與搬送方向正交之方式使上述板玻璃旋轉;全邊檢查裝置,其係暫時地停止搬送而檢查上述板玻璃之四邊;面檢查裝置,其檢查通過之上述板玻璃之整個面;及線上檢查裝置,其於與成形方向正交之線上檢查通過 之上述板玻璃之面;於上述旋轉裝置之下游側配置有上述面檢查裝置及上述線上檢查裝置。
  6. 一種檢查單元,係將具有成形方向之矩形狀之板玻璃沿與該成形方向正交之方向搬入,並一面向下游搬送一面進行檢查者,其具備:全邊檢查裝置,其係暫時地停止搬送而檢查上述板玻璃之四邊;面檢查裝置,其檢查通過之上述板玻璃之整個面;及線上檢查裝置,其於與成形方向正交之線上檢查通過之上述板玻璃之面。
  7. 如申請專利範圍第5項或第6項之檢查單元,其中上述全邊檢查裝置檢測上述板玻璃之四邊之缺陷,並且基於各邊之位置算出上述板玻璃之成形方向上之尺寸、及與成形方向正交之方向上之尺寸;上述面檢查裝置檢測上述板玻璃之表面及內部之缺陷;上述線上檢查裝置測定上述板玻璃之厚度,並且檢測上述板玻璃之脈紋。
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5923172B2 (ja) * 2012-08-13 2016-05-24 川崎重工業株式会社 板ガラスの検査ユニット及び製造設備
JP2017032523A (ja) * 2015-08-06 2017-02-09 株式会社オハラ 光学ガラス母材欠陥検査装置及び光学ガラス母材欠陥検査方法
KR102205582B1 (ko) * 2017-02-28 2021-01-21 도요 가라스 가부시키가이샤 용기 검사장치 및 용기 검사방법
CN109746188A (zh) * 2017-11-01 2019-05-14 湖南海擎智能科技有限责任公司 流水线玻璃板厚度检测系统
CN108106996B (zh) * 2017-12-25 2024-05-28 通彩智能科技集团有限公司 一种玻璃检测盛放平台
CN108287167A (zh) * 2018-01-04 2018-07-17 芜湖东旭光电科技有限公司 液晶玻璃边缘检测方法和装置
CN108716935A (zh) * 2018-08-27 2018-10-30 陈富威 汽车挡风玻璃检测设备
CN109580659A (zh) * 2018-10-23 2019-04-05 彩虹(合肥)液晶玻璃有限公司 一种玻璃检测系统及玻璃生产系统
CN109406538B (zh) * 2018-12-27 2024-09-27 银河水滴科技(北京)有限公司 手机外观检测系统
CN112782197A (zh) * 2021-01-06 2021-05-11 蚌埠凯盛工程技术有限公司 退火窑炸板在线监测装置
JPWO2023100892A1 (zh) * 2021-12-03 2023-06-08
JP2023082982A (ja) * 2021-12-03 2023-06-15 日本電気硝子株式会社 ガラス物品の製造方法
CN117553701B (zh) * 2024-01-12 2024-03-22 山东晟昌新材料有限公司 一种木质板材翘曲的在线检测装置及方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200723431A (en) * 2005-04-26 2007-06-16 Dainippon Screen Mfg Substrate processing apparatus
CN101346624A (zh) * 2005-10-21 2009-01-14 伊斯拉视像系统股份公司 用于光学检查玻璃板的系统和方法
JP2010019834A (ja) * 2008-06-13 2010-01-28 Nippon Electric Glass Co Ltd 板ガラス欠陥検査装置及びフラットパネルディスプレイ用板ガラスの製造方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2585594Y2 (ja) * 1993-03-10 1998-11-18 株式会社イナックス 表面凹凸検査システム
JP3746433B2 (ja) * 2001-03-02 2006-02-15 日本板硝子株式会社 ガラス製品の製造方法及び製造装置
JP2003098122A (ja) * 2001-09-21 2003-04-03 Toshiba Ceramics Co Ltd ガラス基板の外観検査装置
JP4626982B2 (ja) * 2005-02-10 2011-02-09 セントラル硝子株式会社 ガラス板の端面の欠陥検出装置および検出方法
CN101175986B (zh) * 2005-04-06 2010-10-13 康宁股份有限公司 玻璃检测系统及其使用方法
JP2006300663A (ja) * 2005-04-19 2006-11-02 Asahi Glass Co Ltd 欠点検出システム
JP2007205724A (ja) 2006-01-30 2007-08-16 Central Glass Co Ltd ガラス基板の形状測定装置および測定方法
JP2008076171A (ja) * 2006-09-20 2008-04-03 Olympus Corp 基板検査装置
US20100028567A1 (en) * 2006-12-14 2010-02-04 Hidemi Suizu Glass sheet defect detection device, glass sheet manufacturing method, glass sheet, glass sheet quality judging device, and glass sheet inspection method
JP4964176B2 (ja) * 2008-03-13 2012-06-27 AvanStrate株式会社 ガラス板の厚さ測定装置およびガラス板の厚さ測定方法
JP5596925B2 (ja) 2009-01-20 2014-09-24 株式会社山梨技術工房 異物検査装置及び検査方法
JP2011227049A (ja) 2010-03-31 2011-11-10 Asahi Glass Co Ltd 光透過性矩形板状物の端面検査方法及び端面検査装置
JP2012007993A (ja) 2010-06-24 2012-01-12 Asahi Glass Co Ltd 板状透明体の欠陥検査装置及びその方法
CN102445168A (zh) * 2010-09-30 2012-05-09 旭硝子株式会社 表面形状的检查方法及检查装置
KR101170928B1 (ko) * 2010-11-05 2012-08-03 (주)미래컴퍼니 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법
JP5923172B2 (ja) * 2012-08-13 2016-05-24 川崎重工業株式会社 板ガラスの検査ユニット及び製造設備

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200723431A (en) * 2005-04-26 2007-06-16 Dainippon Screen Mfg Substrate processing apparatus
CN101346624A (zh) * 2005-10-21 2009-01-14 伊斯拉视像系统股份公司 用于光学检查玻璃板的系统和方法
JP2010019834A (ja) * 2008-06-13 2010-01-28 Nippon Electric Glass Co Ltd 板ガラス欠陥検査装置及びフラットパネルディスプレイ用板ガラスの製造方法

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