JP2017032523A - 光学ガラス母材欠陥検査装置及び光学ガラス母材欠陥検査方法 - Google Patents
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Abstract
Description
なお、「欠陥」とは、光学ガラス母材の表面と内部との少なくとも一方において、例えば、泡、異物(混入物など)、傷、失透等をいう。さらに、「品質検査」とは、このような欠陥を検出し、その検出結果に基づいて品質を判定することをいう。
(1)24時間、全数検査すること
(2)作業者による、抜き取り官能検査ではなく、全数を検査すること
(3)検査時間を迅速化すること、検査結果のばらつきを低減すること
これにより、検査結果の早期フィードバック、不良品流出防止、正確な検査結果による品質の向上、人件費低減が実現できる。
なお、以下、光学ガラス母材に関して単に「内部」という場合でも、光学ガラス母材の表面、裏面、内部の少なくともいずれか一つを含むことを適宜意味する。
また、光学ガラス母材のうちでも、特に板状の母材の品質を検査することに適している。
具体的には、本発明は以下のようなものを提供する。
前記検査ユニットは、
前記光学ガラス母材に対して、切断面とは異なる、表面と裏面との少なくとも何れか一方の面から光を照射する光源部と、
前記光源部から照射された光により照射された前記光学ガラス母材を前記切断面から撮像する撮像部と、
前記撮像部からの画像信号に基づいて前記光学ガラス母材の少なくとも内部の欠陥に関する情報を判定する判定制御部と、を有することを特徴とする光学ガラス母材欠陥検査装置。
前記切断ユニットから送出された前記光学ガラス母材を、送出される方向に対して所定角度だけ回転させる回転部を有する回転ユニットと、
前記回転ユニットから送出された前記光学ガラス母材を、ガラス送り部により前記検査ユニットへ搬送する搬送ユニットを有することを特徴とする(1)に記載の光学ガラス母材欠陥検査装置。
前記光源部の移動に応じて前記撮像部を前記光学ガラス母材に対して相対的に移動する撮像用駆動部と、を有することを特徴とする(1)〜(3)のいずれかに記載の光学ガラス母材欠陥検査装置。
前記検査工程において、
前記光学ガラス母材に対して、切断面とは異なる、表面と裏面との少なくとも何れか一方の面から光を照射する光照射工程と、
照射された前記光学ガラス母材を前記切断面から撮像する撮像工程と、
前記撮像工程からの画像信号に基づいて前記光学ガラス母材の少なくとも内部の欠陥に関する情報を判定する判定制御工程と、を有することを特徴とする光学ガラス母材欠陥検査方法。
図1は、第1実施形態に係る光学ガラス母材欠陥検査装置100の外観構成を示す図である。光学ガラス母材欠陥検査装置100は、検査ユニット10を有する。検査する対象は、所定の長さLに切断された平板形状を有する光学ガラス母材GLである。光学ガラス母材GLは、予め他の切断ユニット(不図示)により所定の長さLに切断されている。これにより、平板形状の光学ガラス母材GLは、表面GLa、裏面GLb、2つの切断面GLcを有する。
(1)光学ガラス母材GLの表面状態に影響されることなく、高精度な検査を行うことができる。
(2)検査時間を迅速化することができる。
(3)人手による官能検査と異なるため、検査結果のばらつきを低減できる。
図2は、第2実施形態に係る光学ガラス母材欠陥検査装置200を上面から見た構成を示している。光学ガラス母材欠陥検査装置200は、切断ユニット20、回転ユニット30、搬送ユニット40、検査ユニット50、搬出ユニット60、収納箱70を有する。不図示の作業者は、キーボード、タッチパネル等の入力部15を用いて、検査対象である光学ガラス母材GLの製品番号などのガラス情報を入力する。
次に、各ユニットに関して説明する。図3(a)、(b)は、第2実施形態における切断ユニット20の構成を示す斜視図である。
図4(a)、(b)は、回転ユニット30の構成を示す斜視図である。回転ユニット30は、切断ユニット20から送出された光学ガラス母材GLを、送出される方向x1に対して所定角度、例えば90°だけ回転させる回転部を有する。
(a)切断ユニット20で切断された光学ガラス母材GLの両側面をチャック部32ではさみ把持する。
(b)移動部33は、光学ガラス母材GLをz軸上方向へ持ち上げる。
(c)移動部33は、光学ガラス母材GLを搬送方向x1に対して90度回転する。
(d)回転後、移動部33は、光学ガラス母材GLをy軸方向へ移動させ、不図示のセンサにより切断面GLcの一辺を原点位置ORGに合わせる。
(e)位置合わせ後、上下移動部34は、光学ガラス母材GLをz軸下方向へ下げ、コンベア31上に載置する。
図5は、検査ユニット50近傍の構成を示す斜視図である。搬送ユニット40は、回転ユニット30から送出された光学ガラス母材GLを、ガラス送り部である搬送ユニット40により検査ユニット50へ搬送する。検査ユニット50は、光学ガラス母材GLの検査ユニット50上の位置を検出し、出力信号を出力する到着感知センサ53を有する。到着感知センサ53からの出力信号により、光学ガラス母材GLは、検査ユニット50における検査位置へ搬送される。
例えば、欠陥が大量に検出された場合は、工程異常発生として警報を上げ、関連部門へ即座に通知する事も可能である。
ここで、本明細書中において、フィードバックとは、ガラス母材の欠陥についてのモニタリング結果、及び場合によってはそれらを統計化したデータを検証し、ガラス母材の熔解段階における各種パラメータの調整に反映させることを意図している。
また、従来の抜き取り官能検査とは異なり、全数について確実な検査をできる。この結果、欠陥の見逃しによる品質不良流出を防止できる。加えて、人件費を削減でき、品質不良流出による検査者増員の必要がなくなる。
次に、第3実施形態に係る光学ガラス母材欠陥検査方法について説明する。図3は、本実施形態の手順を説明するフローチャートである。
また、従来の抜き取り官能検査とは異なり、全数について確実な検査をできる。この結果、欠陥の見逃しによる品質不良流出を防止できる。加えて、人件費を削減でき、品質不良流出による検査者増員の必要がなくなる。
10 検査ユニット
11 光源部
12 光源駆動部
13 撮像センサ
14 撮像用駆動部
15 入力部
16 判定制御部
17 モニター
18 コンピュータ
19 ステージ
GL、GLM 光学ガラス母材
GLa 表面
GLb 裏面
GLc 切断面
20 切断ユニット
21 エアーコンプレッサー
22 切り込み駆動部
23 制御部
24 切り込み治具
25 ノズル
27 切り込み部分
28 コンベア
30 回転ユニット
31 コンベア
32 チャック部
33 移動部
40 搬送ユニット
50 検査ユニット
51a、51b 撮像センサ
52a、52b 照明部
53 到着感知センサ
60 搬出ユニット
70 収納箱
Claims (11)
- 所定の長さに切断された平板形状を有する光学ガラス母材を載置する検査ユニットを少なくとも有し、
前記検査ユニットは、
前記光学ガラス母材に対して、切断面とは異なる、表面と裏面との少なくとも何れか一方の面から光を照射する光源部と、
前記光源部から照射された光により照射された前記光学ガラス母材を前記切断面から撮像する撮像部と、
前記撮像部からの画像信号に基づいて前記光学ガラス母材の少なくとも内部の欠陥に関する情報を判定する判定制御部と、を有することを特徴とする光学ガラス母材欠陥検査装置。 - さらに、光学ガラス母材製造ユニットのレヤーエンド部から送出された前記光学ガラス母材を所定の長さに切断する切断ユニットと、
前記切断ユニットから送出された前記光学ガラス母材を、送出される方向に対して所定角度だけ回転させる回転部を有する回転ユニットと、
前記回転ユニットから送出された前記光学ガラス母材を、ガラス送り部により前記検査ユニットへ搬送する搬送ユニットを有することを特徴とする請求項1に記載の光学ガラス母材欠陥検査装置。 - 前記検査ユニットは、前記光学ガラス母材の前記検査ユニット上の位置を検出し、出力信号を出力する到着感知センサを有することを特徴とする請求項1または2に記載の光学ガラス母材欠陥検査装置。
- 前記検査ユニットは、前記光源部を前記光学ガラス母材に対して相対的に移動する光源駆動部と、
前記光源部の移動に応じて前記撮像部を前記光学ガラス母材に対して相対的に移動する撮像用駆動部を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の光学ガラス母材欠陥検査装置。 - 前記撮像部は、前記光源部により照射されている前記光学ガラス母材の前記切断面を所定の領域にわたって、走査し撮像することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の光学ガラス母材欠陥検査装置。
- 前記検査ユニットは、前記光学ガラス母材を覆うように配置された遮光部材を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の光学ガラス母材欠陥検査装置。
- 前記判定制御部により判定された欠陥に関する情報は、前記光学ガラス母材の製造に関連する装置へフィードバック可能であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の光学ガラス母材欠陥検査装置。
- 前記光源部は、電球、蛍光灯、発光ダイオード、レーザ光源のうちの何れか1つであり、射出する光は、紫外光、可視光、赤外光のうちの何れか1つであることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の光学ガラス母材欠陥検査装置。
- さらに、前記検査ユニットに隣接して、欠陥検査が終了した前記光学ガラス母材を搬出する搬出ユニットを有することを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の光学ガラス母材欠陥検査装置。
- 所定の長さに切断された平板形状を有する光学ガラス母材を検査する検査工程を少なくとも有し、
前記検査工程において、
前記光学ガラス母材に対して、切断面とは異なる、表面と裏面との少なくとも何れか一方の面から光を照射する光照射工程と、
照射された前記光学ガラス母材を前記切断面から撮像する撮像工程と、
前記撮像工程からの画像信号に基づいて前記光学ガラス母材の少なくとも内部の欠陥に関する情報を判定する判定制御工程と、を有することを特徴とする光学ガラス母材欠陥検査方法。 - 前記検査工程の前に、前記光学ガラス母材を所定の長さに切断する切断工程を有することを特徴とする請求項10に記載の光学ガラス母材欠陥検査方法。
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---|---|---|---|---|
CN117871402A (zh) * | 2022-09-11 | 2024-04-12 | 湖北季原检测科技有限公司 | 一种光学镜片检测装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07103904A (ja) * | 1993-10-04 | 1995-04-21 | Asahi Glass Co Ltd | 透光性物体内部の欠点検出方法 |
US20070003843A1 (en) * | 2005-06-10 | 2007-01-04 | Hoya Corporation | Defect inspection method for a glass substrate for a mask blank, glass substrate for a mask blank, mask blank, exposure mask, method of producing a glass substrate for a mask blank, method of producing a mask blank, and method of producing an exposure mask |
JP2012163358A (ja) * | 2011-02-03 | 2012-08-30 | Nippon Electric Glass Co Ltd | ガラス板の端面撮像装置およびその撮像方法 |
WO2014027375A1 (ja) * | 2012-08-13 | 2014-02-20 | 川崎重工業株式会社 | 板ガラスの検査ユニット及び製造設備 |
JP2014092373A (ja) * | 2012-10-31 | 2014-05-19 | Ohara Inc | 光学ガラス母材の自動品質検査装置及び光学ガラス母材の自動品質検査方法 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07103904A (ja) * | 1993-10-04 | 1995-04-21 | Asahi Glass Co Ltd | 透光性物体内部の欠点検出方法 |
US20070003843A1 (en) * | 2005-06-10 | 2007-01-04 | Hoya Corporation | Defect inspection method for a glass substrate for a mask blank, glass substrate for a mask blank, mask blank, exposure mask, method of producing a glass substrate for a mask blank, method of producing a mask blank, and method of producing an exposure mask |
JP2012163358A (ja) * | 2011-02-03 | 2012-08-30 | Nippon Electric Glass Co Ltd | ガラス板の端面撮像装置およびその撮像方法 |
WO2014027375A1 (ja) * | 2012-08-13 | 2014-02-20 | 川崎重工業株式会社 | 板ガラスの検査ユニット及び製造設備 |
JP2014092373A (ja) * | 2012-10-31 | 2014-05-19 | Ohara Inc | 光学ガラス母材の自動品質検査装置及び光学ガラス母材の自動品質検査方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117871402A (zh) * | 2022-09-11 | 2024-04-12 | 湖北季原检测科技有限公司 | 一种光学镜片检测装置 |
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