JP2021056166A - 検査装置、検査システム及び検査装置の検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】被検査体の検査時間及び検査にかかるコストを削減する。【解決手段】検査装置（１）は、少なくとも一部が透過材料から構成される被検査体（Ｔ１）を検査し、被検査体（Ｔ１）を搬送する搬送部（１６）について、被検査体（Ｔ１）が載置される搬送部（１６）の搬送面（１６ｓ）に対向し、かつ、搬送面（１６ｓ）から所定距離だけ離れた位置に配置される高精細カメラ（１２）と、高精細カメラ（１２）によって撮像される被検査体（Ｔ１）に対して光を照射する第１光源（１３）と、を備える。【選択図】図１

Description

本発明は、検査装置、検査システム及び検査装置の検査方法に関する。

従来、例えば、少なくとも一部がタッチパネルのような、光を透過させる透過材料から構成される被検査体の汚れを検査することができる検査装置は、存在しなかった。したがって、被検査体の検査が行われる際、人間が目視によって被検査体の検査を行うしかなかった。

前述した通り、人間が目視によって被検査体の検査を行うため、検査を行う多くの検査員が必要になる。このため、検査時間が長くなると共に、検査にかかるコストが高くなる。本発明の一態様は、被検査体の検査時間及び検査にかかるコストを削減することを目的とする。

前記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る検査装置は、少なくとも一部が光を透過させる透過材料から構成される被検査体を検査する検査装置であって、前記被検査体を搬送する搬送部について、前記被検査体が載置される当該搬送部の搬送面に対向し、かつ、当該搬送面から所定距離だけ離れた位置に配置されると共に、前記被検査体を撮像する高精細カメラと、前記高精細カメラによって撮像される前記被検査体に対して光を照射する光源と、を備える。

前記構成によれば、検査装置は、被検査体の検査を自動的に行うため、検査を行う検査員の人数を大幅に減らすことができ、検査時間及び検査にかかるコストも削減することができると共に、生産性を向上させることができる。また、検査員が目視で検査を行う時間を大幅に減らすことができ、検査員の目にかかる負担を軽減することができる。検査結果が、検査員の能力や体調に依存することもないため、被検査体の品質に係る均一性を維持することができる。検査装置は、様々な被検査体に対応することができる。

また、検査装置では、従来のカメラによって撮像される画像よりも高精細の画像を撮像可能な高精細カメラが用いられる。これにより、従来のカメラが用いられる場合におけるカメラと搬送面との間の距離よりも大きい所定距離について、搬送面から当該所定距離だけ離れた位置に高精細カメラを配置することができる。よって、高精細カメラの状態が接写に近い状態にはならず、被検査体の画像がぼやけることもないため、被検査体の表面及び被検査体の内部の欠陥を明確に検出することができる。

前記光源は、前記搬送部に関して、前記高精細カメラとは反対側に配置されると共に、前記被検査体が成す平面に対して傾斜する方向から光を照射してもよい。前記構成によれば、高精細カメラを用いることに加えて、光源が、被検査体が成す平面に対して傾斜する方向から光を照射することにより、被検査体に汚れがあった場合、被検査体の汚れ部分で光が散乱するため、被検査体の汚れを明確に検出することができる。

前記光源は、前記搬送部に関して、前記高精細カメラとは反対側に配置されると共に、前記被検査体が成す平面に対して直交する方向から光を照射してもよい。前記構成によれば、光源が、被検査体が成す平面に対して直交する方向から光を照射することにより、被検査体に異物が付着していた場合、被検査体に付着した異物を明確に検出することができる。

具体的には、透過材料の表面で光が反射することを低減することにより、異物を検出しにくくなることを防ぐことができる。また、被検査体が成す平面に対して直交する方向からの、透過材料を透過する透過光で異物を検出すると、異物が影となり、はっきりとしたコントラストで表れるため、異物の検出精度が向上する。

前記光源は、前記搬送部に関して、前記高精細カメラが配置されている側と同一の側から前記被検査体に対して光を照射してもよい。前記構成によれば、光源が、高精細カメラが配置されている側と同一の側から被検査体に対して光を照射することにより、被検査体の割れ、欠けやキズを検出することができる。被検査体の検査の基準として、被検査体における高精細カメラが配置されている側の表面から検出可能な欠陥について基準が設けられる場合がある。この場合、高精細カメラが配置されている側と同一の側から出射される光で被検査体の割れ、欠けやキズを検出できるか否かを判断することが好ましい。

前記検査装置は、前記被検査体に対して複数の方向から光を照射するために、前記光源を移動させる移動部をさらに備えてもよい。前記構成によれば、複数の光源を設けることなく、被検査体に対して複数の方向から光を照射することができる。これにより、被検査体の汚れを検出し、被検査体の割れ、欠けやキズを検出すると共に、被検査体に付着した異物を検出することができる。

前記光源が複数設けられており、それぞれの前記光源が、異なる方向から前記被検査体に対して光を照射してもよい。前記構成によれば、１つの光源を移動させることなく、被検査体に対して複数の方向から光を照射することができる。これにより、被検査体の汚れを検出し、被検査体の割れ、欠けやキズを検出すると共に、被検査体に付着した異物を検出することができる。また、光源を移動させるための機構が不要となる。

本発明の一態様に係る検査システムは、少なくとも１つの前記検査装置と、前記搬送部と、を備え、前記搬送部は、前記被検査体が前記搬送面における前記高精細カメラに対向する位置を複数回通過するように、前記被検査体を往復させて搬送する。

前記構成によれば、検査システムは、被検査体に対して様々な種類の欠陥を検出することができる。また、検査システムが少なくとも１つの検査装置を備えるだけでよいため、設備コストを低減することができ、設備に要する面積を小さくすることができる。

本発明の一態様に係る検査装置の検査方法は、少なくとも一部が光を透過させる透過材料から構成される被検査体を検査すると共に、高精細カメラと、光源と、を備える検査装置の検査方法であって、前記被検査体を搬送する搬送部について、前記被検査体が載置される当該搬送部の搬送面に対向して配置される前記高精細カメラにより前記被検査体を撮像する撮像工程と、前記光源により、前記撮像工程にて撮像される前記被検査体に対して光を照射する照射工程と、を含む。

本発明の一態様によれば、被検査体の検査時間及び検査にかかるコストを削減することができる。

本発明の実施形態１に係る検査システムを示す正面図である。 図１に示す検査システムが備える検査装置の構成を示すブロック図である。 図１に示す検査システムが備える検査装置において、高精細カメラ、第１光源、第２光源及び搬送部の位置関係を示す図である。 図１に示す検査システムが備える検査装置の変形例である検査装置において、高精細カメラ、第１光源、第２光源、第３光源及び搬送部の位置関係を示す図である。 図１に示す検査システムが備える検査装置の表示部によって表示される検査結果の表示の一例を示す図である。 図１に示す検査システムが備える検査装置の検査対象である被検査体に付着した繊維系の異物及び固形の異物の一例を示す図である。 図１に示す検査システムが備える検査装置の検査対象である被検査体の汚れ及びキズの一例を示す図である。 図１に示す検査システムが備える検査装置の検査対象である被検査体の欠けを示す図である。 本発明の実施形態２に係る検査システムを示す正面図である。

〔実施形態１〕
（検査装置１の構成）
図１は、本発明の実施形態１に係る検査システム１００を示す正面図である。図２は、図１に示す検査システム１００が備える検査装置１の構成を示すブロック図である。図１及び図２に示すように、検査システム１００は、検査装置１と、搬送部１６と、を備える。また、検査装置１は、収容部１０と、表示部１１と、高精細カメラ１２と、第１光源１３と、移動部１４と、第２光源１５と、第１電源１７と、第２電源１８と、処理装置１９と、記録部２０と、を備える。

検査装置１は、被検査体Ｔ１を検査する。被検査体Ｔ１の少なくとも一部は、光を透過させる透過材料から構成される。当該透過材料は、例えば、透明または半透明であり、かつ、ガラスまたは合成樹脂である。また、例えば、検査装置１は、板状のタッチパネルを検査する。当該タッチパネルのサイズは、例えば、５００ｍｍ×８００ｍｍである。

ただし、本発明は、タッチパネルを検査する検査装置に適用範囲が限定されるものではない。本発明は、タッチパネル以外の被検査体Ｔ１として、例えば、レンズ、窓ガラス、フィルム、複数のガラス及び複数のフィルムのうち少なくとも２枚のものを貼り合わせたもの等を検査する検査装置にも適用されるものである。また、当該少なくとも２枚のものを貼り合わせたものとしては、前記少なくとも２枚のものを貼り合わせたものが所定の間隔で切り離された枚葉であってもよく、ロール状のものであってもよい。

なお、被検査体Ｔ１は、ロール状に巻き取られたフィルムであってもよく、当該フィルムは、単層フィルム、または、複数の単層フィルムが貼り合わされて積層された積層フィルムである。また、この場合、搬送部１６の搬送面１６ｓに、ロール状に巻き取られた前記フィルムのうち巻き出された部分が載置される。搬送面１６ｓが移動することにより、ロール状に巻き取られた前記フィルムが巻き出される。

検査装置１は、被検査体Ｔ１の製造ラインの一部に組み込まれてもよく、単体の検査装置として構成されてもよい。図１において、検査装置１の中心から右側面側に向かう方向をＸ方向、検査装置１の正面から裏面に向かう方向をＹ方向、検査装置１の底面から上面に向かう方向をＺ方向とする。

収容部１０は、高精細カメラ１２と、第１光源１３と、移動部１４と、第２光源１５と、第１電源１７と、第２電源１８と、処理装置１９と、記録部２０と、を収容している。収容部１０は、中央部１０ａと２つの側部１０ｂとから構成される。２つの側部１０ｂは、中央部１０ａに接続されている。収容部１０には、表示部１１が取り付けられている。表示部１１は、後述する検査部１９５による被検査体Ｔ１の検査結果を表示する。

高精細カメラ１２は、例えば、Ｙ方向に細長い領域（ライン）に被検査体Ｔ１を撮像していくラインスキャンカメラであることが好ましい。ラインスキャンカメラは、高精細カメラの中でも、被検査体Ｔ１を全画面で撮像するものと比べて安価であるため、検査装置１の製造コストを低減することができる。被検査体Ｔ１が搬送部１６により搬送されるため、高精細カメラ１２は、被検査体Ｔ１の全体を撮像することができる。

また、高精細カメラ１２と被検査体Ｔ１との間の距離が大きい場合であっても、被検査体Ｔ１が鮮明に撮像されるように、高精細カメラ１２は、例えば、高精細の画像である４Ｋ画像または８Ｋ画像の撮像が可能なカメラであることが好ましい。高精細カメラ１２は、被検査体Ｔ１が載置される搬送面１６ｓに対向し、かつ、搬送面１６ｓから第３所定距離だけ離れた位置に配置されると共に、被検査体Ｔ１を撮像する。高精細カメラ１２と搬送面１６ｓとの間の前記第３所定距離は、例えば、４００ｍｍである。また、前記第３所定距離は、搬送面１６ｓに直交する方向（Ｚ方向）に沿った距離である。

検査対象のサイズの最大値を３２インチ（８１２．８ｍｍ）と決定したことから、２つの高精細カメラ１２で同時に撮像可能な距離（焦点深度）を加味して、前記第３所定距離の設計値を４００ｍｍと決定した。なお、高精細カメラ１２のピント合わせは、オートフォーカスではなく、高精細カメラ１２の絞りが固定されることによって行われ、焦点距離が一度決定されると、当該焦点距離は固定される。高精細カメラ１２のピント合わせがオートフォーカスで行われない理由としては、オートフォーカスの場合、検査対象が透明であることからピントを合わせにくくなるためである。高精細カメラ１２の絞りが固定されることによって当該ピント合わせが行われることにより、ピント位置が固定され、安定した測定結果が得られると共に測定スピードを向上することができる。

前記第３所定距離は、高精細カメラ１２によって被検査体Ｔ１の表面（表裏両面）及び被検査体Ｔ１の内部の欠陥が検出されることが可能な程度の距離であることが好ましい。検査装置１では、従来のカメラによって撮像される画像よりも高精細の画像を撮像可能な高精細カメラ１２が用いられる。これにより、従来のカメラが用いられる場合におけるカメラと搬送面との間の距離よりも大きい前記第３所定距離について、搬送面１６ｓから前記第３所定距離だけ離れた位置に高精細カメラ１２を配置することができる。よって、高精細カメラ１２の状態が接写に近い状態にはならず、被検査体Ｔ１の画像がぼやけることもないため、被検査体Ｔ１の表面及び被検査体Ｔ１の内部の欠陥を明確に検出することができる。

また、前記第３所定距離は、高精細カメラ１２が被検査体Ｔ１に対して、Ｚ方向とは反対方向に深く撮像することが可能な程度、つまり、被検査体Ｔ１の全体を撮像することが可能な程度の距離であることが好ましい。これにより、高精細カメラ１２と被検査体Ｔ１との間の距離が大きくなり、必要な高精細カメラ１２の数を減らすことができる。

搬送部１６によって被検査体Ｔ１が搬送され、被検査体Ｔ１が中央部１０ａを通過する場合を考える。この場合、高精細カメラ１２は、ラインごとに被検査体Ｔ１の画像を撮像する、つまり、複数回の被検査体Ｔ１の静止画像を撮像する。このように、高精細カメラ１２は、被検査体Ｔ１の全体をスキャンすると、ラインごとの被検査体Ｔ１の画像を合成することにより被検査体Ｔ１の全体の画像を生成する。

高精細カメラ１２の数は、被検査体Ｔ１におけるＹ方向の幅、及び、高精細カメラ１２の撮像可能な範囲（Ｙ方向の幅）に依存して、１個または複数個となる。なお、高精細カメラ１２は、複数回の被検査体Ｔ１の静止画像を撮像するのではなく、被検査体Ｔ１の動画を撮像してもよい。

例えば、図３に示すように、２つの高精細カメラ１２が、搬送部１６による被検査体Ｔ１の搬送方向に直交する方向（Ｙ方向）に沿って並んで配置されてもよい。つまり、複数の高精細カメラ１２が、前記搬送方向に直交する方向に沿って並んで配置されてもよい。

これにより、被検査体Ｔ１における前記搬送方向に直交する方向に沿った幅が大きい場合であっても、複数の高精細カメラ１２によって被検査体Ｔ１を撮像することができる。前記搬送方向は、Ｘ方向またはＸ方向とは反対方向であるものとする。また、一方の高精細カメラ１２の中心と、他方の高精細カメラ１２の中心と、の間の距離は、例えば、２４０ｍｍである。

図３は、図１に示す検査システム１００が備える検査装置１において、高精細カメラ１２、第１光源１３、第２光源１５及び搬送部１６の位置関係を示す図である。また、図３は、検査装置１をＸ方向側から見た場合を示している。

第１光源１３は、搬送部１６に関して、高精細カメラ１２とは反対側に配置されると共に、高精細カメラ１２によって撮像される被検査体Ｔ１に対して光を照射する。第１光源１３及び第２光源１５は、例えば、少なくとも１つの白色ＬＥＤ（Light Emitting Diode）を有する照明であり、高精細カメラ１２のラインセンサと並行に配置されている。第１光源１３は、移動部１４に固定されている。移動部１４は、１つの第１光源１３によって被検査体Ｔ１に対して複数の方向から光を照射するために、第１光源１３を移動させる。

具体的には、移動部１４は、前記搬送方向に移動する。より具体的には、移動部１４は、搬送部１６を介して高精細カメラ１２に対向する位置に対して、前記搬送方向に沿って第１所定距離だけずれた位置と、搬送部１６を介して高精細カメラ１２に対向する位置と、の間を第１光源１３に移動させる。なお、検査装置１が第２光源１５を備えずに、移動部１４が第２光源１５の位置まで、第１光源１３を移動させてもよい。

前記構成によれば、複数の光源を設けることなく、被検査体Ｔ１に対して複数の方向から光を照射することができる。これにより、被検査体Ｔ１の汚れを検出し、被検査体Ｔ１の割れ、欠けやキズを検出すると共に、被検査体Ｔ１に付着した異物を検出することができる。なお、当該異物の種類としては、例えば、繊維系のもの、ダンボールの紙粉や糊系のものが挙げられる。

また、第１光源１３は、被検査体Ｔ１が成す平面Ｔ２に対して傾斜する方向Ｄ１から光を照射してもよい。この場合、例えば、移動部１４は、搬送部１６を介して高精細カメラ１２に対向する位置に対して、前記搬送方向に沿って第１所定距離だけずれた位置に、第１光源１３を位置させる。また、第１光源１３によって出射された光は、被検査体Ｔ１を通過することにより、拡散透過光となって、高精細カメラ１２に入射する。

前記構成によれば、高精細カメラ１２を用いることに加えて、第１光源１３が、被検査体Ｔ１が成す平面Ｔ２に対して傾斜する方向Ｄ１から光を照射することにより、被検査体Ｔ１に汚れがあった場合、被検査体Ｔ１の汚れ部分で光が散乱する。このため、被検査体Ｔ１の汚れを明確に検出することができる。具体的には、検査装置１は、被検査体Ｔ１の表面及び被検査体Ｔ１の内部の汚れを明確に検出することができる。

また、被検査体Ｔ１の汚れについては、高精細カメラ１２が配置されている側と同一の側から光が出射される場合よりも、高精細カメラ１２とは反対側かつ被検査体Ｔ１が成す平面Ｔ２に対して傾斜する方向Ｄ１から光が出射される場合の方が確認しやすい。このため、被検査体Ｔ１の汚れを検出する場合、被検査体Ｔ１の汚れを発見できることが重要であり、被検査体Ｔ１の汚れの判断は、場合によって汚れが発見された部分の人による目視で行われてもよい。

一方、従来の検査装置には、透過材料から構成される物の表面や内部の汚れを検出する機能がない。従来のカメラの解像度が低いため、被検査体とカメラとの間の距離が大きくなるように、カメラを配置することができない。カメラの状態が接写に近い状態である場合、従来の検査装置は、被検査体の汚れの画像はぼやけて、被検査体の汚れを検出することができなかった。

これに対して、本発明の一態様に係る検査装置１では、高精細カメラ１２が用いられる。また、従来のカメラが用いられる場合におけるカメラと搬送面との間の距離よりも大きい前記第３所定距離について、搬送面１６ｓから前記第３所定距離だけ離れた位置に高精細カメラ１２が配置される。その上、第１光源１３が、被検査体Ｔ１が成す平面Ｔ２に対して傾斜する方向Ｄ１から光を照射することにより、被検査体Ｔ１の汚れを明確に検出することができる。

前記第１所定距離は、例えば、被検査体Ｔ１がグレア（光沢）のタッチパネルである場合、２０ｍｍであることが好ましく、被検査体Ｔ１がノングレア（非光沢）のタッチパネルである場合、４０ｍｍであることが好ましい。よって、移動部１４は、被検査体Ｔ１の種類、つまり、被検査体Ｔ１の透過材料の透明度に応じて、第１光源１３の位置を変更してもよい。また、検査装置１は、移動部１４を備えずに、複数の種類の被検査体Ｔ１を検査するために、複数の第１光源１３を備えていてもよい。当該複数の第１光源１３は、それぞれ、各種類の被検査体Ｔ１を検査するために用いられる。

なお、第１光源１３が、搬送部１６を介して高精細カメラ１２に対向する位置に対して、前記搬送方向に沿って第１所定距離だけずれた位置に配置される場合を考える。この場合、第１光源１３の光出射面が、搬送面１６ｓにおける高精細カメラ１２に対向する部分に向かうように、第１光源１３が前記搬送方向に沿って傾斜して配置されてもよい。これにより、被検査体Ｔ１に照射される光の量を増やすことができる。

さらに、第１光源１３は、被検査体Ｔ１が成す平面Ｔ２に対して直交する方向Ｄ２から光を照射してもよい。この場合、例えば、移動部１４は、搬送部１６を介して高精細カメラ１２に対向する位置に、第１光源１３を位置させる。また、この状態では、第１光源１３と搬送面１６ｓとの間の距離は、２００ｍｍである。

前記構成によれば、第１光源１３が、被検査体Ｔ１が成す平面Ｔ２に対して直交する方向Ｄ２から光を照射することにより、被検査体Ｔ１に異物が付着していた場合、被検査体Ｔ１に付着した異物を明確に検出することができる。具体的には、透過材料の表面で光が反射することを低減することにより、異物を検出しにくくなることを防ぐことができる。また、被検査体Ｔ１が成す平面Ｔ２に対して直交する方向Ｄ２からの、透過材料を透過する透過光で異物を検出すると、異物が影となり、はっきりとしたコントラストで表れるため、異物の検出精度が向上する。また、高精細カメラ１２を用いることにより、カメラの状態が接写の状態でなくても、被検査体Ｔ１に付着した異物を検出することができる。

また、第１光源１３と被検査体Ｔ１との間にミラーやレンズ等の光路変更部材を介在させて、第１光源１３が、被検査体Ｔ１が成す平面Ｔ２に対して傾斜する方向Ｄ１から光を照射できるようにしてもよい。

第２光源１５は、搬送部１６に関して、高精細カメラ１２が配置されている側と同一の側から被検査体Ｔ１に対して光を照射する。つまり、第２光源１５は、搬送部１６に関して、搬送面１６ｓに対向する側から被検査体Ｔ１に対して光を照射する。この場合、第２光源１５は、搬送面１６ｓに対向して配置される。また、高精細カメラ１２による被検査体Ｔ１の撮像が、第２光源１５によって妨げられないように、第２光源１５は、高精細カメラ１２に対向する位置に対して、前記搬送方向に沿って第２所定距離だけずれた位置に配置される。第２光源１５と、搬送面１６ｓのうち中央部１０ａ内にある部分の中心と、の間の距離は、例えば、２００ｍｍである。

前記構成によれば、第２光源１５が、高精細カメラ１２が配置されている側と同一の側から被検査体Ｔ１に対して光を照射することにより、被検査体Ｔ１の割れ、欠けやキズを検出することができる。なお、第２光源１５と被検査体Ｔ１との間に前記光路変更部材を介在させて、第２光源１５が、被検査体Ｔ１が成す平面Ｔ３に対して直交する方向から光を照射できるようにしてもよい。

被検査体Ｔ１の検査の基準として、被検査体Ｔ１における高精細カメラ１２が配置されている側の表面から検出可能な欠陥について基準が設けられる場合がある。この場合、高精細カメラ１２が配置されている側と同一の側から出射される光で被検査体Ｔ１の割れ、欠けやキズを検出できるか否かを判断することが好ましい。

搬送部１６は、Ｘ方向またはＸ方向とは反対方向に被検査体Ｔ１を搬送する。搬送部１６は、２つの側部１０ｂの上側に配置されると共に、中央部１０ａを貫通している。搬送部１６に関して、搬送面１６ｓは、Ｘ方向またはＸ方向とは反対方向に移動する機構上に固定された搬送台（図示せず）の上面であってもよい。当該搬送台は、被検査体Ｔ１が載置されるフレームのサイズを変更することが可能な機構を有する。

第１電源１７は、第１光源１３及び第２光源１５に光を出射させるための電源である。第１電源１７は、第１光源１３及び第２光源１５に電力を供給する。また、第１電源１７は、２つ存在していてもよく、２つの第１電源１７は、それぞれ、第１光源１３及び第２光源１５に電力を供給する。第２電源１８は、表示部１１、高精細カメラ１２、搬送部１６及び処理装置１９を駆動させるための電源である。第２電源１８は、表示部１１、高精細カメラ１２、搬送部１６及び処理装置１９に電力を供給する。

（処理装置１９の構成）
処理装置１９は、表示制御部１９１と、カメラ制御部１９２と、光源制御部１９３と、搬送制御部１９４と、検査部１９５と、を備える。処理装置１９は、検査装置１の各部を制御する装置である。

表示制御部１９１は、ユーザによる表示部１１に対するタッチ操作に応じて、表示部１１を制御する。カメラ制御部１９２は、高精細カメラ１２を制御する。光源制御部１９３は、第１光源１３及び第２光源１５のそれぞれのＯＮ／ＯＦＦを制御する。搬送制御部１９４は、搬送部１６を制御する。

検査部１９５は、高精細カメラ１２による被検査体Ｔ１の撮像結果を参照して被検査体Ｔ１の検査の処理を行う。具体的には、検査部１９５は、高精細カメラ１２による被検査体Ｔ１の撮像結果として、被検査体Ｔ１の全体画像を参照し、被検査体Ｔ１の表面及び被検査体Ｔ１の内部の欠陥を検出する。検査部１９５は、公知の画像認識の技術や画像処理の技術を用いて、被検査体Ｔ１の欠陥を検出する。被検査体Ｔ１の欠陥としては、被検査体Ｔ１に付着した異物、被検査体Ｔ１の汚れ、被検査体Ｔ１の割れ、欠けやキズが挙げられる。

また、処理装置１９には、ニューラルネットワークが設けられていてもよい。処理装置１９は、被検査体Ｔ１の全体画像を入力し、被検査体Ｔ１の全体画像から特徴を抽出すると共に、その特徴を前記ニューラルネットワークに入力する。前記ニューラルネットワークは、入力した特徴に基づいて被検査体Ｔ１の欠陥を検出する。前記ニューラルネットワークによって検出された欠陥を検査結果として検査部１９５が生成してもよい。

この場合、前記ニューラルネットワークは、被検査体Ｔ１の欠陥に関連付けられる欠陥条件を学習する。具体的には、前記ニューラルネットワークは、入力した特徴と、検出した被検査体Ｔ１の欠陥と、の組み合わせに基づいて作成されるデータに従って、入力した特徴と、検出した被検査体Ｔ１の欠陥と、の関連性としての前記欠陥条件を学習する。前記ニューラルネットワークは、前記欠陥条件を学習すると共に、学習した内容に応じて前記欠陥条件を更新する。

さらに、前記ニューラルネットワークは、入力した特徴に基づいて被検査体Ｔ１の欠陥のサイズや面積を算出してもよく、前記ニューラルネットワークによって算出された欠陥のサイズや面積を算出結果として検査部１９５が生成してもよい。この場合、前記ニューラルネットワークは、前記欠陥条件の学習と同様に、被検査体Ｔ１の欠陥のサイズや面積に関連付けられる算出条件を学習すると共に、学習した内容に応じて前記算出条件を更新する。

記録部２０は、検査部１９５による検査結果を記録する。記録部２０に記録された情報は、有線ＬＡＮ（Local Area Network）、無線ＬＡＮ、ＷｉＦｉ（登録商標）、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）メモリまたはＵＳＢケーブル等で、外部のＰＣ（Personal Computer）等に移動させることが可能である。この場合、検査装置１には、検査装置１と外部のＰＣ等とを接続するためのインターフェース（図示せず）が設けられていてもよい。

また、被検査体Ｔ１には、被検査体番号、型番やＩＤ等の被検査体Ｔ１固有の情報が、印刷またはレーザ等の刻印によるバーコードで記載されていてもよい。この場合、検査装置１は、高精細カメラ１２で当該バーコードを読み取り、被検査体Ｔ１の固有の情報ごとに、被検査体Ｔ１の欠陥に関する情報を記録部２０に記録しておくことができ、後工程で各被検査体Ｔ１を分別することができる。

（検査装置１の検査方法）
次に、検査装置１の検査方法について説明する。当該検査方法では、例えば、被検査体Ｔ１が１往復するごとに、高精細カメラ１２により１枚の被検査体Ｔ１の画像が撮像される。なお、以下に説明する被検査体Ｔ１の異物の検査、被検査体Ｔ１の汚れの検査、及び、被検査体Ｔ１の割れ、欠けやキズの検査が行われる順番は、適宜変更されてもよい。

まず、被検査体Ｔ１の表面の汚れを除去するために、被検査体Ｔ１の表面を洗浄する。被検査体Ｔ１の表面を洗浄する方法としては、例えば、アルコールまたは水で被検査体Ｔ１の表面を洗浄してもよいし、布等で被検査体Ｔ１の表面を拭いてもよい。被検査体Ｔ１の表面を洗浄する作業は、手作業で行われる。

被検査体Ｔ１の表面を洗浄した後、少なくとも１つの被検査体Ｔ１を搬送面１６ｓに載置する。なお、被検査体Ｔ１が、携帯用のタッチパネル等の小さいものである場合、被検査体Ｔ１がＸ方向及びＹ方向の両方の方向に複数並ぶように、複数の被検査体Ｔ１を搬送面１６ｓに載置してもよい。これにより、高精細カメラ１２により複数の被検査体Ｔ１を一度に撮像することができる。複数の被検査体Ｔ１は、それらの寸法、または、それらに記載されたバーコードで検査装置１によって認識される。

搬送制御部１９４は、搬送部１６を動作させる。これにより、搬送部１６は、例えば、被検査体Ｔ１をＸ方向に搬送する。被検査体Ｔ１が中央部１０ａをＸ方向に通過する間、カメラ制御部１９２が高精細カメラ１２を動作させると共に、光源制御部１９３が第１光源１３をＯＮにする。被検査体Ｔ１は、中央部１０ａを通過するとき、搬送面１６ｓにおける高精細カメラ１２に対向する位置も通過する。

（被検査体Ｔ１の異物の検査）
これにより、被検査体Ｔ１が中央部１０ａをＸ方向に通過する間、高精細カメラ１２が被検査体Ｔ１を撮像すると共に（撮像工程）、第１光源１３が被検査体Ｔ１に対して光を照射する（照射工程）。このとき、第１光源１３は、搬送部１６を介して高精細カメラ１２に対向する位置に配置されている。検査部１９５は、高精細カメラ１２による被検査体Ｔ１の撮像結果として、被検査体Ｔ１の全体画像を参照し、被検査体Ｔ１に異物が付着しているか否かを検査する。検査部１９５は、検査結果を記録部２０に記録する。

被検査体Ｔ１が中央部１０ａをＸ方向に通過した後、搬送制御部１９４は、搬送部１６の動作を変更し、搬送部１６は、被検査体Ｔ１をＸ方向とは反対方向に搬送する。また、このとき、光源制御部１９３が移動部１４を制御することにより、移動部１４は、搬送部１６を介して高精細カメラ１２に対向する位置に対して、前記搬送方向に沿って第１所定距離だけずれた位置に、第１光源１３を位置させる。

なお、移動部１４による第１光源１３の移動の処理は、１回目の検査と２回目の検査との間に行われればよく、つまり、次の検査より前に行われればよい。被検査体Ｔ１が中央部１０ａをＸ方向とは反対方向に通過した後、搬送制御部１９４は、搬送部１６の動作を変更し、搬送部１６は、被検査体Ｔ１をＸ方向に再度搬送する。

（被検査体Ｔ１の汚れの検査）
被検査体Ｔ１が中央部１０ａをＸ方向に通過する間、カメラ制御部１９２が高精細カメラ１２を動作させる。これにより、被検査体Ｔ１が中央部１０ａをＸ方向に通過する間、高精細カメラ１２が被検査体Ｔ１を撮像すると共に（撮像工程）、第１光源１３が被検査体Ｔ１に対して光を照射する（照射工程）。検査部１９５は、高精細カメラ１２による被検査体Ｔ１の撮像結果として、被検査体Ｔ１の全体画像を参照し、被検査体Ｔ１に汚れがあるか否かを検査する。検査部１９５は、検査結果を記録部２０に記録する。

被検査体Ｔ１が中央部１０ａをＸ方向に通過した後、搬送制御部１９４は、搬送部１６の動作を変更し、搬送部１６は、被検査体Ｔ１をＸ方向とは反対方向に搬送する。また、このとき、光源制御部１９３は、第１光源１３をＯＦＦにする。これに加えて、光源制御部１９３は、移動部１４を制御することにより、移動部１４は、搬送部１６を介して高精細カメラ１２に対向する位置に、第１光源１３を位置させる。

なお、光源制御部１９３による第１光源１３をＯＦＦにする処理、及び、移動部１４による第１光源１３の移動の処理は、２回目の検査と３回目の検査との間に行われればよく、つまり、次の検査より前に行われればよい。被検査体Ｔ１が中央部１０ａをＸ方向とは反対方向に通過した後、搬送制御部１９４は、搬送部１６の動作を変更し、搬送部１６は、被検査体Ｔ１をＸ方向に再度搬送する。

（被検査体Ｔ１の割れ、欠けやキズの検査）
被検査体Ｔ１が中央部１０ａをＸ方向に通過する間、カメラ制御部１９２が高精細カメラ１２を動作させると共に、光源制御部１９３が第２光源１５をＯＮにする。これにより、被検査体Ｔ１が中央部１０ａをＸ方向に通過する間、高精細カメラ１２が被検査体Ｔ１を撮像すると共に（撮像工程）、第２光源１５が被検査体Ｔ１に対して光を照射する（照射工程）。検査部１９５は、高精細カメラ１２による被検査体Ｔ１の撮像結果として、被検査体Ｔ１の全体画像を参照し、被検査体Ｔ１に割れ、欠けやキズがあるか否かを検査する。検査部１９５は、検査結果を記録部２０に記録する。

このように、搬送部１６は、被検査体Ｔ１が搬送面１６ｓにおける高精細カメラ１２に対向する位置を複数回通過するように、被検査体Ｔ１を往復させて搬送する。前記構成によれば、検査システム１００は、被検査体Ｔ１に対して様々な種類の欠陥を検出することができる。また、検査システム１００が少なくとも１つの検査装置１を備えるだけでよいため、設備コストを低減することができ、設備に要する面積を小さくすることができる。

以上により、検査装置１の構成によれば、検査装置１は、被検査体Ｔ１の検査を自動的に行うため、検査を行う検査員の人数を大幅に減らすことができ、検査時間及び検査にかかるコストも削減することができると共に、生産性を向上させることができる。また、検査員が目視で検査を行う時間を大幅に減らすことができ、検査員の目にかかる負担を軽減することができる。検査結果が、検査員の能力や体調に依存することもないため、被検査体Ｔ１の品質に係る均一性を維持することができる。検査装置１は、様々な被検査体Ｔ１に対応することができる。

さらに、従来、被検査体Ｔ１に付着した異物や被検査体Ｔ１の割れ、欠けやキズの検出は、カメラの接写で行われることが可能であるが、その場合、多くのカメラが必要となる。これに対して、検査装置１では、高精細カメラ１２を用いているため、高精細カメラ１２が搬送面１６ｓから離れた位置に配置される場合、１台あたりの高精細カメラ１２の撮影範囲が広くなり、被検査体Ｔ１の汚れを検出することができる。

これにより、被検査体Ｔ１の撮影を１台または少ない数の高精細カメラ１２で対応することができる。よって、検査装置１の製造コストを削減することができると共に、検査装置１のメンテナンスにかかる費用を低減することができ、検査装置１の軽量化を実現することができる。

（変形例１）
図４は、図１に示す検査システム１００が備える検査装置１の変形例である検査装置１Ａにおいて、高精細カメラ１２、第１光源１３、第２光源１５、第３光源２１及び搬送部１６の位置関係を示す図である。図４は、検査装置１Ａの構成のうち、高精細カメラ１２、第１光源１３、第２光源１５、第３光源２１及び搬送部１６以外の構成を省略している。

検査装置１Ａは、検査装置１と比べて、第３光源２１を備えている点と、移動部１４を備えていない点と、が異なる。検査装置１Ａの第１光源１３は、被検査体Ｔ１が成す平面Ｔ２に対して傾斜する方向Ｄ１から光を照射する。検査装置１Ａの第１光源１３は、搬送部１６を介して高精細カメラ１２に対向する位置に対して、前記搬送方向に沿って第１所定距離だけずれた位置に配置されている。

第３光源２１は、被検査体Ｔ１が成す平面Ｔ２に対して直交する方向Ｄ２から光を照射する。第３光源２１は、搬送部１６を介して高精細カメラ１２に対向する位置に配置されている。また、第３光源２１は、例えば、少なくとも１つの白色ＬＥＤを有する照明であり、高精細カメラ１２のラインセンサと並行に配置されている。このように、検査装置１Ａには、３つの光源として、第１光源１３、第２光源１５及び第３光源２１が設けられており、第１光源１３、第２光源１５及び第３光源２１のそれぞれが、異なる方向から被検査体Ｔ１に対して光を照射する。

検査装置１Ａの検査方法は、検査装置１の検査方法と比べて、被検査体Ｔ１に汚れがあるか否かを検査する場合、第１光源１３が被検査体Ｔ１に対して光を照射するのではなく、第３光源２１が被検査体Ｔ１に対して光を照射する点が異なる。

換言すると、検査装置１Ａには、光源が複数設けられており、それぞれの当該光源が、異なる方向から被検査体Ｔ１に対して光を照射する。前記構成によれば、１つの光源を移動させることなく、被検査体Ｔ１に対して複数の方向から光を照射することができる。これにより、被検査体Ｔ１の汚れを検出し、被検査体Ｔ１の割れ、欠けやキズを検出すると共に、被検査体Ｔ１に付着した異物を検出することができる。また、光源を移動させるための機構が不要となる。

なお、本発明は、第１光源１３及び第２光源１５を備える検査装置、または、第１光源１３、第２光源１５及び第３光源２１を備える検査装置に適用範囲が限定されるものではない。本発明は、第１光源１３、第２光源１５及び第３光源２１の３つの光源のうち１つの光源を備える検査装置にも適用されるものである。

（検査結果の表示の一例）
図５は、図１に示す検査システム１００が備える検査装置１の表示部１１によって表示される検査結果の表示の一例を示す図である。図５に示すように、表示部１１は、記録部２０に記録されている検査部１９５による検査結果を表示する。図５において、マップ画面Ｍ１には、被検査体Ｔ１上の欠陥分布が表示される。マップ画面Ｍ１には、欠陥部分の大きさに応じて、異なる印が表示される。マップ画面Ｍ１の欠陥部分をタッチすると、当該欠陥部分に対応する被検査体Ｔ１の欠陥画像が欠陥表示画面Ｂ１に表示される。

欠陥データＤＡには、検査部１９５によって検出された欠陥のＩＤ、座標位置、幅・長さ等のサイズ、面積、合否の判定結果が表示される。検査部１９５によって検出された欠陥画像及び欠陥データＤＡは、記録部２０に記録される。欠陥表示画面Ｂ１には、検査中の最新の欠陥画像が表示される。欠陥表示画面Ｂ１に表示される欠陥画像は、検査部１９５によって欠陥が検出された時点で、自動的に最新の欠陥画像に更新される。

種類ＳＰ１は、記録部２０に予め記録された被検査体Ｔ１の種類のうち、ユーザによって選択された被検査体Ｔ１の種類を示す。各種ボタンＢ２は、欠陥画面表示ボタン、検査開始ボタン、生産履歴ボタン及び終了ボタンである。特に、生産履歴ボタンは、タッチされることにより、検査中であっても、過去の検査結果のデータを表示するためのボタンである。

（被検査体Ｔ１の画像の一例）
図６は、図１に示す検査システム１００が備える検査装置１の検査対象である被検査体Ｔ１に付着した繊維系の異物及び固形の異物の一例を示す図である。図６におけるＰ１で示された図は、デジタルマイクロスコープによって撮像された繊維系の異物の画像の一例を示す図である。図６におけるＰ２で示された３つの図は、それぞれ、高精細カメラ１２によって撮像された繊維系の異物の画像の一例を示す図である。図６におけるＰ２で示された３つの図に示すように、高精細カメラ１２によって被検査体Ｔ１を撮像することにより、被検査体Ｔ１に付着した繊維系の異物を検出することができる。

図６におけるＰ３で示された図は、デジタルマイクロスコープによって撮像された固形の異物の画像の一例を示す図である。図６におけるＰ４で示された３つの図は、それぞれ、高精細カメラ１２によって撮像された固形の異物の画像の一例を示す図である。図６におけるＰ４で示された３つの図に示すように、高精細カメラ１２によって被検査体Ｔ１を撮像することにより、被検査体Ｔ１に付着した固形の異物を検出することができる。

図７は、図１に示す検査システム１００が備える検査装置１の検査対象である被検査体Ｔ１の汚れ及びキズの一例を示す図である。図７におけるＰ５で示された図は、デジタルマイクロスコープによって撮像された汚れの画像の一例を示す図である。図７におけるＰ６で示された３つの図は、それぞれ、高精細カメラ１２によって撮像された汚れの画像の一例を示す図である。図７におけるＰ６で示された３つの図に示すように、高精細カメラ１２によって被検査体Ｔ１を撮像することにより、被検査体Ｔ１の汚れを検出することができる。

図７におけるＰ７で示された図は、デジタルマイクロスコープによって撮像されたキズの画像の一例を示す図である。図７におけるＰ８で示された３つの図は、それぞれ、高精細カメラ１２によって撮像されたキズの画像の一例を示す図である。図７におけるＰ８で示された３つの図に示すように、高精細カメラ１２によって被検査体Ｔ１を撮像することにより、被検査体Ｔ１のキズを検出することができる。

図８は、図１に示す検査システム１００が備える検査装置１の検査対象である被検査体Ｔ１の欠けを示す図である。図８におけるＰ９で示された図は、デジタルマイクロスコープによって撮像された欠けの画像の一例を示す図である。図８におけるＰ１０で示された図は、高精細カメラ１２によって撮像された欠けの画像の一例を示す図である。図８におけるＰ１０で示された図に示すように、高精細カメラ１２によって被検査体Ｔ１を撮像することにより、被検査体Ｔ１の欠けを検出することができる。

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、実施形態１にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。図９は、本発明の実施形態２に係る検査システム１０１を示す正面図である。図９に示すように、検査システム１０１は、検査装置１Ｂと、検査装置１Ｃと、検査装置１Ｄと、搬送部１６と、を備える。

検査装置１Ｂ、検査装置１Ｃ及び検査装置１Ｄは、直列に接続されている。具体的には、検査装置１Ｂの正面右側の側部１０ｂと、検査装置１Ｃの正面左側の側部１０ｂと、が接続され、検査装置１Ｃの正面右側の側部１０ｂと、検査装置１Ｄの正面左側の側部１０ｂと、が接続される。なお、検査装置１Ｂ、検査装置１Ｃ及び検査装置１Ｄが接続される順番は、適宜変更されてもよい。

搬送部１６は、検査装置１Ｂの中央部１０ａ、検査装置１Ｃの中央部１０ａ、及び、検査装置１Ｄの中央部１０ａを貫通している。搬送部１６は、検査装置１Ｂの２つの側部１０ｂ、検査装置１Ｃの２つの側部１０ｂ、及び、検査装置１Ｄの２つの側部１０ｂの上に配置されている。

図９に示すように、搬送面１６ｓには、複数の被検査体Ｔ１が、前記搬送方向に並んで載置され、搬送部１６は、複数の被検査体Ｔ１を連続的に搬送する。この場合、各被検査体Ｔ１の間に隙間が存在しない、または、各被検査体Ｔ１の間に隙間が小さくなるように、複数の被検査体Ｔ１が搬送面１６ｓに載置されることが好ましい。これにより、多くの被検査体Ｔ１を検査することができ、被検査体Ｔ１の検査時間を短縮することができる。

なお、各被検査体Ｔ１の間に隙間が存在するように、複数の被検査体Ｔ１が搬送面１６ｓに載置されてもよい。この場合、記録部２０に被検査体Ｔ１の寸法を予め記録しておくことにより、検査装置１は、記録部２０から被検査体Ｔ１の寸法を参照して、各被検査体Ｔ１間の境界を認識することができる。

検査装置１Ｂ、検査装置１Ｃ及び検査装置１Ｄは、それぞれ、高精細カメラ１２を備える。また、検査装置１Ｂ及び検査装置１Ｃは、それぞれ、第１光源１３を備え、検査装置１Ｄは、第２光源１５を備える。

検査装置１Ｂの第１光源１３は、被検査体Ｔ１が成す平面Ｔ２に対して直交する方向Ｄ２から光を照射する。この場合、例えば、検査装置１Ｂの第１光源１３は、搬送部１６を介して検査装置１Ｂの高精細カメラ１２に対向する位置に配置される。これにより、被検査体Ｔ１に異物が付着していた場合、検査装置１Ｂは、被検査体Ｔ１に付着した異物を明確に検出することができる。

検査装置１Ｃの第１光源１３は、被検査体Ｔ１が成す平面Ｔ２に対して傾斜する方向Ｄ１から光を照射する。この場合、例えば、検査装置１Ｃの第１光源１３は、搬送部１６を介して検査装置１Ｃの高精細カメラ１２に対向する位置に対して、前記搬送方向に沿って第１所定距離だけずれた位置に配置される。これにより、被検査体Ｔ１に汚れがあった場合、検査装置１Ｃは、被検査体Ｔ１の汚れを明確に検出することができる。

なお、検査装置１Ｃは、前述した移動部１４を備える。この場合、検査装置１Ｃの第１光源１３は、検査装置１Ｃの移動部１４に固定される。検査装置１Ｃの移動部１４は、被検査体Ｔ１の種類に応じて、第１光源１３の位置を変更する。また、検査装置１Ｃは、移動部１４を備えずに、複数の種類の被検査体Ｔ１を検査するために、複数の第１光源１３を備えていてもよい。当該複数の第１光源１３は、それぞれ、各種類の被検査体Ｔ１を検査するために用いられる。

検査装置１Ｃの第１光源１３の光出射面が、搬送面１６ｓにおける検査装置１Ｃの高精細カメラ１２に対向する部分に向かうように、検査装置１Ｃの第１光源１３が前記搬送方向に沿って傾斜して配置されてもよい。これにより、被検査体Ｔ１に照射される光の量を増やすことができる。

検査装置１Ｄの第２光源１５は、搬送部１６に関して、検査装置１Ｄの高精細カメラ１２が配置されている側と同一の側から被検査体Ｔ１に対して光を照射する。この場合、検査装置１Ｄの第２光源１５は、搬送面１６ｓに対向して配置される。

また、検査装置１Ｄの高精細カメラ１２による被検査体Ｔ１の撮像が、検査装置１Ｄの第２光源１５によって妨げられないようにする必要がある。このため、検査装置１Ｄの第２光源１５は、検査装置１Ｄの高精細カメラ１２に対向する位置に対して、前記搬送方向に沿って第２所定距離だけずれた位置に配置される。これにより、検査装置１Ｄは、被検査体Ｔ１の割れ、欠けやキズを検出することができる。

以上により、検査システム１０１では、被検査体Ｔ１が３つの検査装置によって検査されるため、被検査体Ｔ１の検査時間を短縮することができ、生産性を向上させることができる。なお、検査装置１Ｂ，１Ｃ，１Ｄのそれぞれの光源が、他の検査装置に対する影響や干渉を防ぐために、検査装置１Ｂ，１Ｃ，１Ｄのそれぞれの間には、不透明な板が配置されてもよい。

また、搬送部１６は、被検査体Ｔ１が３つの検査装置１Ｂ，１Ｃ，１Ｄを複数回通過するように、被検査体Ｔ１を往復させて搬送してもよい。具体的には、搬送部１６は、検査装置１Ｂの正面左側の側部１０ｂと、検査装置１Ｄの正面右側の側部１０ｂと、の間で被検査体Ｔ１を往復させて搬送してもよい。

〔ソフトウェアによる実現例〕
処理装置１９の制御ブロック（特に表示制御部１９１、カメラ制御部１９２、光源制御部１９３、搬送制御部１９４及び検査部１９５）は、集積回路（ＩＣチップ）等に形成された論理回路（ハードウェア）によって実現してもよいし、ソフトウェアによって実現してもよい。

後者の場合、処理装置１９は、各機能を実現するソフトウェアであるプログラムの命令を実行するコンピュータを備えている。このコンピュータは、例えば１つ以上のプロセッサを備えていると共に、前記プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記録媒体を備えている。そして、前記コンピュータにおいて、前記プロセッサが前記プログラムを前記記録媒体から読み取って実行することにより、本発明の目的が達成される。前記プロセッサとしては、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）を用いることができる。前記記録媒体としては、「一時的でない有形の媒体」、例えば、ＲＯＭ（Read Only Memory）等の他、テープ、ディスク、カード、半導体メモリ、プログラマブルな論理回路などを用いることができる。また、前記プログラムを展開するＲＡＭ（Random Access Memory）などをさらに備えていてもよい。また、前記プログラムは、該プログラムを伝送可能な任意の伝送媒体（通信ネットワークや放送波等）を介して前記コンピュータに供給されてもよい。なお、本発明の一態様は、前記プログラムが電子的な伝送によって具現化された、搬送波に埋め込まれたデータ信号の形態でも実現され得る。

本発明は前述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ 検査装置
１２ 高精細カメラ
１３ 第１光源（光源）
１４ 移動部
１５ 第２光源（光源）
１６ 搬送部
１６ｓ 搬送面
２１ 第３光源（光源）
１００、１０１ 検査システム
Ｔ１ 被検査体

Claims (8)

1. 少なくとも一部が光を透過させる透過材料から構成される被検査体を検査する検査装置であって、
   前記被検査体を搬送する搬送部について、前記被検査体が載置される当該搬送部の搬送面に対向し、かつ、当該搬送面から所定距離だけ離れた位置に配置されると共に、前記被検査体を撮像する高精細カメラと、
   前記高精細カメラによって撮像される前記被検査体に対して光を照射する光源と、を備えることを特徴とする検査装置。
2. 前記光源は、前記搬送部に関して、前記高精細カメラとは反対側に配置されると共に、前記被検査体が成す平面に対して傾斜する方向から光を照射することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
3. 前記光源は、前記搬送部に関して、前記高精細カメラとは反対側に配置されると共に、前記被検査体が成す平面に対して直交する方向から光を照射することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
4. 前記光源は、前記搬送部に関して、前記高精細カメラが配置されている側と同一の側から前記被検査体に対して光を照射することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
5. 前記被検査体に対して複数の方向から光を照射するために、前記光源を移動させる移動部をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
6. 前記光源が複数設けられており、それぞれの前記光源が、異なる方向から前記被検査体に対して光を照射することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
7. 請求項１から６のいずれか１項に記載の少なくとも１つの検査装置と、
   前記搬送部と、を備え、
   前記搬送部は、前記被検査体が前記搬送面における前記高精細カメラに対向する位置を複数回通過するように、前記被検査体を往復させて搬送することを特徴とする検査システム。
8. 少なくとも一部が光を透過させる透過材料から構成される被検査体を検査すると共に、高精細カメラと、光源と、を備える検査装置の検査方法であって、
   前記被検査体を搬送する搬送部について、前記被検査体が載置される当該搬送部の搬送面に対向して配置される前記高精細カメラにより前記被検査体を撮像する撮像工程と、
   前記光源により、前記撮像工程にて撮像される前記被検査体に対して光を照射する照射工程と、を含むことを特徴とする検査装置の検査方法。

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