KR20160032576A - 고속 카메라 및 적외선 광학계를 이용한 이미지 분석 시스템 및 방법 - Google Patents

고속 카메라 및 적외선 광학계를 이용한 이미지 분석 시스템 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 고속 적외선 광학계를 이용한 이미지 분석 시스템 및 방법에 관한 것으로서, 유리 기판을 수평 방향으로 촬영하여 유리 기판 표면에 대한 제1 영상 신호를 획득하는 제1 영상 획득부와, 상기 제1 영상 획득부의 제1 영상 신호로부터 불량이 포착되어 사각 프레임이 생성되면, 상기 사각 프레임에 복수의 파장을 일시에 조사하고 상기 유리 기판 표면 불량에 대한 제2 영상 신호를 획득하는 제2 영상 획득부와, 상기 제1 영상 획득부 측으로 조명을 제공하는 조명부와, 상기 제1 영상 획득부 및 제2 영상 획득부로부터 2 가지로 제공되는 영상 신호를 입력 받아 유리 기판 표면의 불량 유무 및 외곽선을 검출하는 처리부를 포함함으로써, 일반 스캔 방식에 비해 높은 검출력을 보장할 수 있으면서 이물질의 판별 기능도 함께 구현할 수 있어 검사 집중도를 극대화할 수 있는 효과가 있다.

Description

고속 카메라 및 적외선 광학계를 이용한 이미지 분석 시스템 및 방법{System and Method for Analyzing Image Using High-Speed Camera and Infrared Optical System}
본 발명은 이미지 분석 시스템 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 디 스플레이 패널의 표면 불량을 검출하는 고속 적외선 광학계를 이용한 이미지 분석 시스템 및 방법에 관한 것이다.
디스플레이를 제조하는 공정을 보면, 디스플레이에 사용되는 유리 기판은 한쪽 면에 마이크로 회로 패턴을 증착하는 공정을 거치면서 그 면상에 이물 부착, 번짐, 공정 불량 및 표면 흠집 등의 결함이 발생할 수 있다. 이러한 유리 기판의 이물이나 번짐(얼룩) 및 표면 흠집 등은 디스플레이의 성능에 악영향을 끼치므로 사전 검사를 통해 철저히 검출 및 제거되어야 한다. 참고로, 이하에서 사용하는 용어 "불량"이라 함은 스크래치(scratch) 발생, 이물질 부착, 표면 돌출, 기포 발생과 같은 다양한 형태의 표면 결함을 지칭한다.
이러한 결함을 검출하기 위한 종래 기술에 따르면, 광의 산란을 이용하여 디스플레이 패널의 이물을 검출할 수 있다. 즉, 종래의 검사 장치는 디스플레이 패널로 특정 시야각을 주어 빛을 가하고 디스플레이 패널로부터 반사되는 빛을 검출하여 디스플레이 패널 표면상에 존재하는 이물을 검출한다. 이 경우 결함 검출 장치는 광의 검출여부에 따라 디스플레이 패널 이물을 검출할 수 있다.
그러나, 이러한 음영과 형상을 통한 종래 이물 검사 장치는 이미지 분석으로 불량 여부를 판단하므로 형상이 유사한 스크래치와 이물의 구분, 얼룩과 기포의 구분 등 정확도가 떨어진다는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허공보 제10-2009-0115997호(공개일 2009.11.11.)
따라서, 본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 본 발명의 목적은 동일한 유리 기판 표면 불량에 대해 복합 영상을 통해 불량 유무 및 외곽선을 분석하는 고속 적외선 광학계를 이용한 이미지 분석 시스템 및 방법을 제공하는데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 고속 적외선 광학계를 이용한 이미지 분석 시스템은, 유리 기판을 수평 방향으로 촬영하여 유리 기판 표면에 대한 제1 영상 신호를 획득하는 제1 영상 획득부와, 상기 제1 영상 획득부의 제1 영상 신호로부터 불량이 포착되어 사각 프레임이 생성되면, 상기 사각 프레임에 복수의 파장을 일시에 조사하고 상기 유리 기판 표면 불량에 대한 제2 영상 신호를 획득하는 제2 영상 획득부와, 상기 제1 영상 획득부 측으로 조명을 제공하는 조명부와, 상기 제1 영상 획득부 및 제2 영상 획득부로부터 2 가지로 제공되는 영상 신호를 입력 받아 유리 기판 표면의 불량 유무 및 외곽선을 검출하는 처리부를 포함한다.
바람직하게는, 상기 처리부는, 상기 제1 영상 신호의 반사 또는 투과광으로부터 유리 기판의 표면 불량을 검출하면 사각 프레임을 생성하고, 상기 제2 영상 신호의 반사 또는 투과 파장으로부터 상기 사각 프레임 상의 불량의 외곽선을 추출한다.
한편, 본 발명의 고속 적외선 광학계를 이용한 이미지 분석 방법은, 조명부에 전원을 인가하는 단계와, 제1 영상 획득부를 이용하여 유리 기판을 수평 방향으로 촬영하여 유리 기판 표면에 대한 제1 영상 신호를 획득하는 단계와, 상기 제1 영상 획득부의 제1 영상 신호로부터 유리 기판 표면의 불량이 포착되면 처리부가 사각 프레임을 생성하는 단계와, 제2 영상 획득부를 이용하여 상기 사각 프레임에 복수의 파장을 일시에 조사하여 상기 유리 기판 표면 불량에 대한 제2 영상 신호를 획득하는 단계와, 상기 처리부가 상기 제2 영상 획득부로부터 상기 제2 영상 신호를 입력 받아 유리 기판 표면 불량의 외곽선을 검출하는 단계를 포함한다.
바람직하게는, 상기 외곽선을 검출하는 단계는, 상기 처리부가 불량 물질이 흡수하지 않은 상기 제2 영상 신호의 반사 또는 투과 파장으로부터 상기 사각 프레임 상의 불량의 외곽선을 추출한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 의한 고속 적외선 광학계를 이용한 이미지 분석 시스템 및 방법에 따르면, 동일한 유리 기판 표면 불량에 대해 복합 영상을 획득을 통해 이미지를 분석함으로써 일반 스캔 방식에 비해 높은 검출력을 보장할 수 있으면서 이물질의 판별 기능도 함께 구현할 수 있어, 검사 집중도를 극대화할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 고속 적외선 광학계를 이용한 이미지 분석 시스템의 기본적인 구성을 개략적으로 도시한 장치 구성도이다.
도 2는 검사 과정에서 획득된 제1 영상 및 제2 영상을 보여주는 실험 데이터이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 이미지 분석 방법이 이루어지는 과정을 나타낸 흐름도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 및/또는 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
이하, 본 발명의 고속 적외선 광학계를 이용한 이미지 분석 시스템에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 고속 적외선 광학계를 이용한 이미지 분석 시스템의 기본적인 구성을 개략적으로 도시한 장치 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 이미지 분석 시스템은, 유리 기판을 수평 방향으로 촬영하여 유리 기판 표면에 대한 제1 영상 신호를 획득하는 제1 영상 획득부(10)와, 제1 영상 획득부(10)의 영상 신호로부터 불량이 포착되어 사각 프레임이 생성되면, 상기 사각 프레임에 복수의 파장을 일시에 조사하고 상기 유리 기판 표면 불량에 대한 제2 영상 신호를 획득하는 제2 영상 획득부(20)와, 상기 제1 영상 획득부(10) 측으로 조명을 제공하는 조명부(30)와, 상기 제1 영상 획득부(10) 및 제2 영상 획득부(20)로부터 영상 신호를 입력 받아 유리 기판 표면의 불량 유무 및 외곽선을 검출하는 처리부(40)를 포함하여 구성된다.
본 발명의 검사 대상에 해당하는 유리 기판(1)은 LCD, PDP와 같은 평판 디스플레이 장치의 패널에 사용되는 얇은 유리 재질의 기판을 의미한다. 기호 'P'는 제1 영상 획득부(10)에 의한 촬영 영역(주사 영역)을 표시하는 것이다.
도 1의 바람직한 실시예에 따르면, 제1 영상 획득부(10)는 빠른 이미지 검출을 위한 고속 카메라로서, 검사하고자 하는 유리 기판(1)을 겨냥하여 유리 기판(1)의 상부에 구비되고, 해당 유리 기판 표면에 대한 제1 영상 신호를 획득한 후 이를 처리부(40)로 전송한다. 구체적으로, 제1 영상 획득부(10)는 유리 기판(1)의 이송 방향(Y)에 평행하지 않은 촬영 영역을 형성하도록 구성되어 유리 기판(1)을 수평선 시야로 포착하고, 반송 롤러 등을 통해 이송되는 유리 기판(1)을 연속적으로 촬영하여 이를 영상 신호로서 출력한다.
그리고, 제1 영상 획득부(10)로부터의 영상 신호는 처리부(40)에 보내지고 영상 처리가 행해져 유리 기판(10)에 기포나 이물이 혼입되어 있는지 여부가 판정된다. 이에, 처리부(40)를 통해 제1 영상 신호로부터 유리 기판(1) 표면에 공기 또는 이물질 등의 불량이 있는 것으로 판정되면 사각 프레임을 생성하여 제1 영상이 획득된다. 본 발명에 따르면, 이것에 의해 불량이 검사 영역으로부터 벗어나 공기로 인식되거나 인식하지 못하는 것이 방지될 수 있다.
이러한 제1 영상 획득부(10)는 입사된 광을 전기 신호로 변환하여 해당 유리 기판(1) 표면에 대한 이미지 정보를 제공하는 전하결합소자(CCD; Charge Coupled Device) 방식의 복수 개 라인 CCD 카메라로 구성하는 것이 바람직하나 반드시 이에 한정하지는 않는다. 이에, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 제1 영상 획득부(10)는 센서의 픽셀들이 가로로만 배열되도록 구성되어 라인 스캔(line scan) 방식으로 유리 기판(1) 표면을 연속 촬영해 나가도록 구성될 수 있다. 즉, 촬상 장치의 센서를 구성하는 픽셀은 유리 기판(1)의 폭을 가로지르며 나열되고, 이에 따라 제1 영상 획득부(10)는 유리 표면의 폭을 평행하게 또는 비스듬히 가로지르는 라인 형태의 촬영 영역(P)을 형성하게 된다. 또한, 유리 기판(1)의 폭이 상기 촬영 영역(P)의 라인 범위 내에 포함될 수 있도록 구성하여 유리 기판(1)의 전면(全面)에 대해 빠짐없이 검사가 수행될 수 있도록 한다.
또한, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 제2 영상 획득부(20)는 정밀한 불량 분석을 위한 적외선 광학계 등으로서, 검사하고자 하는 유리 기판(1)을 겨냥하여 유리 기판(1)의 상부에 구비되고, 제1 영상 획득부(10)에 의해 사각 프레임이 생성되면, 상기 사각 프레임에 복수의 전자기파 파장을 일시에 조사하고 상기 유리 기판 표면 불량에 대한 제2 영상 신호를 획득한 후, 이를 처리부(40)로 전송한다.
구체적으로, 모든 물질은 정해진 파장의 에너지를 흡수하며 에너지를 흡수하지 않는 물질은 하나도 없다. 그리고, 물질에 따라 흡수할 수 있는 전자기파의 파장이 다르며, 흡수하지 않은 파장은 반사 또는 투과가 될 것이다. 예를 들어, 잎에 있는 클로로필의 경우, 빛(가시광선) 중에서 적색 부분과 청색 부분은 흡수하고 녹색 부분은 반사하기 때문에 우리 눈에 잎이 녹색으로 보이는 것이다.
이에, 대기의 경우, 전자기파의 파장에 따라 그 흡수량이 달라지는데, 파장이 0.4μm보다 짧은 자외선은 대기 중에서 거의 모두 흡수되는 반면, 파장이 0.4~0.7μm인 가시광선과 0.1cm 이상인 레이더파ㅇ초단파 및 라디오파 등은 대기에서 흡수되지 않아 투과율이 매우 높다. 또한, 수증기의 경우, 8~11μm의 적외선의 경우는 대기 중의 수증기에 의해서 흡수되지 않는다.
이와 같이, 본 발명의 제2 영상 획득부(20)에 따르면, 유리 기판(1)의 표면에 불량이 존재하여 획득된 제1 영상 정보 즉, 사각 프레임에 복수의 전자기파 파장을 일시에 조사하고, 불량 물질에 의해 흡수되지 않은 반사 또는 투과되는 파장 등을 담은 제2 영상 신호를 출력한다.
그리고, 제2 영상 획득부(20)로부터의 제2 영상 신호는 처리부(40)에 보내지고 처리부(40)를 통해 반사 또는 투과된 광의 파장 분석이 행해져 제1 영상 획득부(10)에 의해 생성된 사각 프레임에 존재하는 기포 또는 이물질의 외곽선이 검출되며 제2 영상 정보가 생성된다.
다음으로, 본 발명의 조명부(30)는 유리 기판의 상부 또는 하부에 배치되어 제1 영상 획득부(10)의 촬영 시에 지속적인 조명을 제공한다. 즉, 조명부(30)는 상기 유리 기판(10)으로부터 제1 영상 획득부(10) 측으로 반사 또는 투과하는 조명으로 작용하고, 상기 제1 영상 획득부(10)는 이러한 반사 또는 투과광을 이용하여 표면 불량 이미지를 촬영하게 된다.
즉, 본 발명의 이미지 분석 시스템은 투명한 유리 기판을 반사 또는 투과한 빔들을 수집함으로써 유리 표면에 존재하는 불량을 검출하게 된다. 따라서, 설치되는 조명 장치의 개수는 중요하지 않지만 조명부(30)로부터 출사되는 조명은 적어도 유리 기판 상면에 형성되는 촬영 영역(P)를 모두 비추도록 구성되어야 한다. 이때, 조명 부(30)로는 여러 개 할로겐 램프 또는 레이저 광에서 조사되는 광을 광섬유를 이용하여 유리 기판 폭 방향으로 조사하는 라인 라이트(line light)를 사용할 수 있다.
마지막으로, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 처리부(40)는 동일한 유리 기판(1) 표면 불량에 대해 제1 영상 획득부(10) 및 제2 영상 획득부(20)로부터 2가지로 제공되는 영상 신호를 입력 받아, 유리 기판 표면의 불량 유무를 검출하고 그 외곽선을 추출하는 역할을 한다.
구체적으로, 처리부(40)는 먼저 제1 영상 획득부(10)로부터 조명부(30)에서 조사되어 유리 기판(1)에 반사 또는 투과된 광 정보를 담은 제1 영상 신호를 수신 받아 유리 기판(1) 표면에 불량이 있는지 여부를 판별하고, 유리 기판(1) 표면에 불량이 있는 것으로 판단되면 그러한 불량을 기준으로 사각 프레임 즉, 제1 영상 정보를 생성하며, 이를 제2 영상 획득부(20)로 보내어 제2 영상 획득부(20)가 상기 사각 프레임에 복수의 파장을 조사하도록 한다.
다음으로, 처리부(40)는 제2 영상 획득부(20)로부터 조사된 복수의 파장 중 흡수되지 않고 반사 또는 투과된 파장 정보를 담은 제2 영상 신호를 수신 받아 상기 사각 프레임 상의 기포 또는 이물의 외곽선을 추출하여 제2 영상 정보를 생성하며, 또한 상기 제2 영상 신호를 통해 불량의 종류를 판별할 수도 있다.
도 2는 검사 과정에서 획득된 제1 영상 및 제2 영상을 보여주는 실험 데이터이다.
도 2를 참조하여, 유리 기판의 표면 불량을 판단하는 방법을 보다 상세히 설명하도록 한다. 참고로, 부호 '2'는 유리 기판 표면에 발생된 불량(공기 내지 이물질)에 해당한다.
유리 기판 표면의 상면에 발생된 특정 불량(2)이 유리 기판과 함께 이송되며 촬영 영역(P) 범위 내로 진입하게 되면, 이때 처리부(40)는 제1 영상 획득부(10)의 영상 신호로부터 상기 특정 불량(2)에 대한 이미지를 포착하여 사각 프레임을 생성하고, 그 후 제2 영상 획득부(20)는 복수의 파장을 상기 사각 프레임에 조사하고 반사 또는 투과되는 파장으로부터 제2 영상을 생성한다.
도 2a는 제1 영상 획득부(10)가 불량을 포착하여 생성한 제1 영상 즉, 사각 프레임을 보여주고 있다. 도 2b는 제2 영상 획득부(20)가 상기 사각 프레임에 복수의 파장을 조사하고 반사된 파장으로 생성한 제2 영상을 보여주고 있다. 도 2b에서 알 수 있듯이, 전술한 바와 같은 본 발명의 이미지 분석 시스템에 의하면, 동일한 유리 기판 표면 불량에 대해 복합 영상(즉, 제1 영상 획득부(10)를 통해 획득된 제1 영상 정보와 제2 영상 획득부(20)를 통해 획득된 제2 영상 정보)을 획득하게 되는데, 만약 제1 영상 정보만 획득되고 제2 영상 정보가 획득되지 않는다면 처리부(40)는 에러가 발생된 것으로 판별할 수 있게 된다. 이때, 이러한 복합 이미지를 통한 본 발명의 이미지 분석 시스템은 일반 스캔 방식에 비해 높은 검출력을 보장할 수 있으면서 이물질의 판별 기능도 함께 구현할 수 있어, 검사 집중도를 극대화할 수 있는 효과가 있다.
그러면, 여기서 상기와 같이 구성된 시스템을 이용한 본 발명의 고속 적외선 광학계를 이용한 이미지 분석 방법에 대해 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 이미지 분석 방법이 이루어지는 과정을 나타낸 흐름도이다.
먼저, 유리 기판(1)의 표면을 검사하기 위해 조명부(30)에 전원이 인가된다(S301). 그리고, 제1 영상 획득부(10)는 상기 유리 기판(1)을 수평 방향으로 촬영하여 유리 기판 표면에 대한 제1 영상 신호를 획득하고(S302), 다음 단계 S303로 진행한다.
다음 단계 S303에서는, 처리부가 상기 제1 영상 획득부의 제1 영상 신호로부터 유리 기판 표면의 불량 유무를 판단하고(S303), 불량이 있는 것으로 판단되면 그 불량을 기준으로 사각 프레임을 생성하며(S304), 다음 단계 S305로 진행한다. 이때, 단계 S303의 판단 결과 제1 영상 획득부(10)가 유리 기판(1) 표면에서 아무런 불량을 검출하지 못하면 이미지 분석을 종료한다.
단계 S305에서는, 제2 영상 획득부(20)를 이용하여 상기 사각 프레임에 복수의 파장을 일시에 조사한 후(S305), 상기 유리 기판 표면 불량에 대한 제2 영상 신호를 획득하고(S306), 다음 단계 S307로 진행한다.
단계 S307에서, 처리부(40)는 상기 제2 영상 획득부(20)로부터 제공되는 상기 제2 영상 신호를 입력 받아 유리 기판 표면 불량의 외곽선 즉, 제2 영상 정보를 검출한다. 이때, 처리부(40)는 불량 물질이 흡수하지 않은 상기 제2 영상 신호의 반사 또는 투과 파장으로부터 상기 사각 프레임 상의 불량의 외곽선을 추출하게 된다. 다만, 단계 S307에서 제2 영상 획득부(20)가 상기 사각 프레임으로부터 제2 영상 정보를 획득하지 못하면 처리부(40)는 이를 에러로 판단하고 단계 S305를 다시 진행한다.
이상에서 몇 가지 실시예를 들어 본 발명을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예로 국한되는 것이 아니고 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형실시될 수 있다.
1 : 유리 기판 2 : 불량
10 : 제1 영상 획득부 20 : 제2 영상 획득부
30 : 조명부 40 : 처리부
P : 촬영 영역

Claims (4)

  1. 유리 기판을 수평 방향으로 촬영하여 유리 기판 표면에 대한 제1 영상 신호를 획득하는 제1 영상 획득부,
    상기 제1 영상 획득부의 제1 영상 신호로부터 불량이 포착되어 사각 프레임이 생성되면, 상기 사각 프레임에 복수의 파장을 일시에 조사하고 상기 유리 기판 표면 불량에 대한 제2 영상 신호를 획득하는 제2 영상 획득부,
    상기 제1 영상 획득부 측으로 조명을 제공하는 조명부 및
    상기 제1 영상 획득부 및 제2 영상 획득부로부터 2 가지로 제공되는 영상 신호를 입력 받아 유리 기판 표면의 불량 유무 및 외곽선을 검출하는 처리부를 포함하는 이미지 분석 시스템.
  2. 청구항 제1항에서,
    상기 처리부는,
    상기 제1 영상 신호의 반사 또는 투과광으로부터 유리 기판의 표면 불량을 검출하면 사각 프레임을 생성하고, 상기 제2 영상 신호의 반사 또는 투과 파장으로부터 상기 사각 프레임 상의 불량의 외곽선을 추출하는, 이미지 분석 시스템.
  3. 조명부에 전원을 인가하는 단계,
    제1 영상 획득부를 이용하여 유리 기판을 수평 방향으로 촬영하여 유리 기판 표면에 대한 제1 영상 신호를 획득하는 단계,
    상기 제1 영상 획득부의 제1 영상 신호로부터 유리 기판 표면의 불량이 포착되면 처리부가 사각 프레임을 생성하는 단계,
    제2 영상 획득부를 이용하여 상기 사각 프레임에 복수의 파장을 일시에 조사하여 상기 유리 기판 표면 불량에 대한 제2 영상 신호를 획득하는 단계,
    상기 처리부가 상기 제2 영상 획득부로부터 상기 제2 영상 신호를 입력 받아 유리 기판 표면 불량의 외곽선을 검출하는 단계를 포함하는 이미지 분석 방법.
  4. 청구항 제3항에서,
    상기 외곽선을 검출하는 단계는,
    상기 처리부가 불량 물질이 흡수하지 않은 상기 제2 영상 신호의 반사 또는 투과 파장으로부터 상기 사각 프레임 상의 불량의 외곽선을 추출하는, 이미지 분석 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN112067631A (zh) * 2020-08-13 2020-12-11 德州职业技术学院(德州市技师学院) 玻璃质量检测装置
KR20230072689A (ko) * 2021-11-18 2023-05-25 (주)우림아이씨티 대상 물건의 재질 검출 방법

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