JPS63165738A - 透明基板用欠陥検査装置 - Google Patents
透明基板用欠陥検査装置Info
- Publication number
- JPS63165738A JPS63165738A JP30930986A JP30930986A JPS63165738A JP S63165738 A JPS63165738 A JP S63165738A JP 30930986 A JP30930986 A JP 30930986A JP 30930986 A JP30930986 A JP 30930986A JP S63165738 A JPS63165738 A JP S63165738A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- flaw
- transparent substrate
- defect
- laser beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 69
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 45
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 206010040925 Skin striae Diseases 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/958—Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明はフォトマスク、カラーフィルタ、フラットディ
スプレイ等に用いられるガラスもしくは光学プラスラッ
クなど透明性を有する基板の欠陥検査装置に関する。
スプレイ等に用いられるガラスもしくは光学プラスラッ
クなど透明性を有する基板の欠陥検査装置に関する。
（従来の技術）
従来より、シュリーレン光学系を用いて透明性を有する
基板を目視で観察し、該基板内部の脈理、クランク、異
物、キズなどの欠陥の検査を行う手段、または透過暗視
野照明による顕微鏡観察によって基板の内部欠陥の検出
を行う手段、あるいは反射暗視野照明による顕微鏡観察
によって基板の表面のキズの検出を行う手段が知られて
いる。
基板を目視で観察し、該基板内部の脈理、クランク、異
物、キズなどの欠陥の検査を行う手段、または透過暗視
野照明による顕微鏡観察によって基板の内部欠陥の検出
を行う手段、あるいは反射暗視野照明による顕微鏡観察
によって基板の表面のキズの検出を行う手段が知られて
いる。
（発明が解決しようとする問題点）
上記の従来の技術によれば、検査用の照明光を被検査基
板の平面より照射するため、該照明光の通過したところ
全ての欠陥（屈折率変化、異物、キズなと）が検出され
ることになり、被検査基板の内部の欠陥もしくは該基板
の表面の欠陥と該基板の表面の付着物とを分離した検査
ができないという問題点がある。
板の平面より照射するため、該照明光の通過したところ
全ての欠陥（屈折率変化、異物、キズなと）が検出され
ることになり、被検査基板の内部の欠陥もしくは該基板
の表面の欠陥と該基板の表面の付着物とを分離した検査
ができないという問題点がある。
そこで本発明は透明性を有する基板の内部の欠陥と該基
板の表面の欠陥もしくは付着物とを分離して検査するこ
との出来る欠陥検査装置の提供を目的とする。
板の表面の欠陥もしくは付着物とを分離して検査するこ
との出来る欠陥検査装置の提供を目的とする。
（問題点を解決するための手段）
透明性を有する基板の側面より該基板の平面に対して垂
直方向に帯状に拡がりのある光を該基板の内部に照射す
る光照射手段と、該基板の内部で散乱した欠陥光を検出
する欠陥光検出手段とを具備した装置を構成し、該基板
の内部もしくは表面の欠陥と該基板の表面の付着物とを
分離して検査できることを見出し、上記の問題点を解決
したものである。
直方向に帯状に拡がりのある光を該基板の内部に照射す
る光照射手段と、該基板の内部で散乱した欠陥光を検出
する欠陥光検出手段とを具備した装置を構成し、該基板
の内部もしくは表面の欠陥と該基板の表面の付着物とを
分離して検査できることを見出し、上記の問題点を解決
したものである。
（作用）
本発明によれば、透明性を有する基板の側面より前記帯
状に拡がりのある光を該基板の内部に投射すると、この
光は該基板の内部において全反射して伝播するため、該
基板の内部の欠陥により散乱した光のみが該基板の平面
より検出されるという作用がある。
状に拡がりのある光を該基板の内部に投射すると、この
光は該基板の内部において全反射して伝播するため、該
基板の内部の欠陥により散乱した光のみが該基板の平面
より検出されるという作用がある。
（実施例）
本発明を図示する実施例に基づいて、さらにに詳しく説
明する。
明する。
第１図は本発明の透明基板用欠陥検査装置の実施例の概
要を示す構成図である。同図において、３はレーザ発振
器、４はレーザ発振器３からのレーザ光、２はレーザ光
４を帯状に拡げるためのシリンドリカルレンズ、１は検
査対象の透明基板、８は透明基板１を所定の位置に固定
し移動させるためのＸ−Ｙステージ、９は透明基板ｌの
内部もしくは表面の欠陥により散乱した欠陥光を検出す
るためのＴＶカメラ、１０はＴＶカメラ９からの映像信
号ＴＳを処理するための画像処理装置、１１は画像処理
装置ｌＯからの画像信号ＰＳを表示するためのモニタ装
置である。
要を示す構成図である。同図において、３はレーザ発振
器、４はレーザ発振器３からのレーザ光、２はレーザ光
４を帯状に拡げるためのシリンドリカルレンズ、１は検
査対象の透明基板、８は透明基板１を所定の位置に固定
し移動させるためのＸ−Ｙステージ、９は透明基板ｌの
内部もしくは表面の欠陥により散乱した欠陥光を検出す
るためのＴＶカメラ、１０はＴＶカメラ９からの映像信
号ＴＳを処理するための画像処理装置、１１は画像処理
装置ｌＯからの画像信号ＰＳを表示するためのモニタ装
置である。
こうして第１図に示した実施例の動作内容を説明すると
、まず、レーザ発振器３より発せられたレーザ光４はシ
リンドリカルレンズ１を介して透明基板１の平面に対し
て垂直方向に帯状に拡がりのあるレーザ光に変換されて
透明基板１に投射される。また、ｘ−ｙステージ８をレ
ーザ光４の照射方向と直行方向に順次移動させることに
より前記帯状に拡がりのあるレーザ光は透明基板１の全
体に投射される。そして、前記帯状に拡がりのあるレー
ザ光の伝播路の中に欠陥が存在すると、この欠陥により
散乱された欠陥光のみが透明基板１の平面より放出され
る。このようにして得られた前記欠陥光はＴＶ（テレビ
ジョン）カメラ１によって撮像され映像信号ＴＳに変換
されて画像処理装置１０に入力される０画像処理装置１
０では映像信号ＴＳのディジタル化された映像信号ＴＳ
に対応する画像データの画像メモリ装置への記憶、該画
像データに対するノイズ除去、二値化処理あるいは輪郭
協調などの画像処理が必要に応じて施される０画像処理
して得られた画像信号ＰＳをモニタ装置１１に入力され
、前記透明基板１の内部もしくは表面に存在する全ての
欠陥に対応する欠陥像がモニタ装置１１より映しだされ
る。
、まず、レーザ発振器３より発せられたレーザ光４はシ
リンドリカルレンズ１を介して透明基板１の平面に対し
て垂直方向に帯状に拡がりのあるレーザ光に変換されて
透明基板１に投射される。また、ｘ−ｙステージ８をレ
ーザ光４の照射方向と直行方向に順次移動させることに
より前記帯状に拡がりのあるレーザ光は透明基板１の全
体に投射される。そして、前記帯状に拡がりのあるレー
ザ光の伝播路の中に欠陥が存在すると、この欠陥により
散乱された欠陥光のみが透明基板１の平面より放出され
る。このようにして得られた前記欠陥光はＴＶ（テレビ
ジョン）カメラ１によって撮像され映像信号ＴＳに変換
されて画像処理装置１０に入力される０画像処理装置１
０では映像信号ＴＳのディジタル化された映像信号ＴＳ
に対応する画像データの画像メモリ装置への記憶、該画
像データに対するノイズ除去、二値化処理あるいは輪郭
協調などの画像処理が必要に応じて施される０画像処理
して得られた画像信号ＰＳをモニタ装置１１に入力され
、前記透明基板１の内部もしくは表面に存在する全ての
欠陥に対応する欠陥像がモニタ装置１１より映しだされ
る。
以上のような構成により、透明基板１の内部もしくは表
面の欠陥を透明基板１の全面にわたって均等な検出感度
で検査することができ、検査工程の作業効率の向上に寄
与するという効果がある。
面の欠陥を透明基板１の全面にわたって均等な検出感度
で検査することができ、検査工程の作業効率の向上に寄
与するという効果がある。
第２図は本発明の欠陥検査の原理を説明するために透明
基板用欠陥検査装置の光照射手段および透明基板ｌの平
面に対して垂直方向に帯状に拡がりのあるレーザ光の投
射された状態を示す側面図である。同図において、３は
レーザ発振器、４はレーザ発振器３からのレーザ光、２
はレーザ光４を透明基板１の平面に対して垂直方向に帯
状に拡げるためのシリンドリカルレンズ、２ａはシリン
ドリカルレンズ２の平坦部、２ｂはシリンドリカルレン
ズ２の湾曲部、１は検査対象の透明基板、ｌａは透明基
板ｌの側面部、ｌｂ、ｌｃは透明基板ｌの平面部、５は
透明基板１の異物欠陥、６は透明基板１のキズ欠陥、７
は透明基板ｌの泡欠陥、２０は透明基板ｌの表面に付着
した塵埃を示す。
基板用欠陥検査装置の光照射手段および透明基板ｌの平
面に対して垂直方向に帯状に拡がりのあるレーザ光の投
射された状態を示す側面図である。同図において、３は
レーザ発振器、４はレーザ発振器３からのレーザ光、２
はレーザ光４を透明基板１の平面に対して垂直方向に帯
状に拡げるためのシリンドリカルレンズ、２ａはシリン
ドリカルレンズ２の平坦部、２ｂはシリンドリカルレン
ズ２の湾曲部、１は検査対象の透明基板、ｌａは透明基
板ｌの側面部、ｌｂ、ｌｃは透明基板ｌの平面部、５は
透明基板１の異物欠陥、６は透明基板１のキズ欠陥、７
は透明基板ｌの泡欠陥、２０は透明基板ｌの表面に付着
した塵埃を示す。
同図において、まず、レーザ発振器３からのレーザ光４
はシリンドリカルレンズ２の湾曲部２ｂに入射され平坦
部２ａより帯状に拡がりのある光に変換されて、透明基
板１の側面部１ｂに投射される。そして、透明基板ｌの
側面部１ｂに投射された光は平面部１ｂ、ｌｃの基板内
面で全反射して透明基板１の内部を伝播する。
はシリンドリカルレンズ２の湾曲部２ｂに入射され平坦
部２ａより帯状に拡がりのある光に変換されて、透明基
板１の側面部１ｂに投射される。そして、透明基板ｌの
側面部１ｂに投射された光は平面部１ｂ、ｌｃの基板内
面で全反射して透明基板１の内部を伝播する。
この時、透明基板ｌの表面に塵埃２０が付着していても
前記伝播による光は何等の影響も受けない、ところが、
透明基板ｌに例えば図示のような異物欠陥５、キズ欠陥
６、泡欠陥７が存在すると、これらの欠陥によって前記
伝播による光が散乱し、この散乱した光（以下、欠陥光
という、）の一部が透明基板ｌの平面部１ｂ（またはＩ
ｃ）より外部に放射する。この外部に放射した光を捉え
ることにより透明基板１の前記欠陥のみが検出される。
前記伝播による光は何等の影響も受けない、ところが、
透明基板ｌに例えば図示のような異物欠陥５、キズ欠陥
６、泡欠陥７が存在すると、これらの欠陥によって前記
伝播による光が散乱し、この散乱した光（以下、欠陥光
という、）の一部が透明基板ｌの平面部１ｂ（またはＩ
ｃ）より外部に放射する。この外部に放射した光を捉え
ることにより透明基板１の前記欠陥のみが検出される。
なお、シリンドリカルレンズ２の平坦部２ａと透明基板
１の側面部１ｂとを離して配置した構成のものを示した
が、シリンドリカルレンズ２の平坦部２ａと透明基板１
の側面部１ｂとは接触するように配置してもよい。
１の側面部１ｂとを離して配置した構成のものを示した
が、シリンドリカルレンズ２の平坦部２ａと透明基板１
の側面部１ｂとは接触するように配置してもよい。
〔発明の効果］
本発明によれば透明性を有する基板の内部もしくは表面
の欠陥と該基板の表面の付着物とを分離して検査できる
という効果を奏する。
の欠陥と該基板の表面の付着物とを分離して検査できる
という効果を奏する。
第１図は本発明の透明基板用欠陥検査装置の実施例の概
要を示す構成図、第２図は本発明の欠陥検査の原理を説
明するために示した透明基板用欠陥検査装置の光照射手
段および透明基板の側面図である。 １・・・透明基板 ２・・・シリンドリカルレンズ ３・・・レーザ発振器 ４・・・レーザ光 ５・・・異物欠陥 ６・・・キズ欠陥 ７・・・泡欠陥 ８・・・Ｘ−Ｙステージ ９・・・ＴＶカメラ １０・・・画像処理装置 １１・・・モニタ装置 ＴＳ・・・映像信号 ｐｓ・・・画像信号 ２０・・・塵埃
要を示す構成図、第２図は本発明の欠陥検査の原理を説
明するために示した透明基板用欠陥検査装置の光照射手
段および透明基板の側面図である。 １・・・透明基板 ２・・・シリンドリカルレンズ ３・・・レーザ発振器 ４・・・レーザ光 ５・・・異物欠陥 ６・・・キズ欠陥 ７・・・泡欠陥 ８・・・Ｘ−Ｙステージ ９・・・ＴＶカメラ １０・・・画像処理装置 １１・・・モニタ装置 ＴＳ・・・映像信号 ｐｓ・・・画像信号 ２０・・・塵埃
Claims (1)
- 透明性を有する基板の内部もしくは表面の欠陥と該基板
の表面の付着物とを分離して検査する装置であって、該
基板の平面に対して垂直方向に帯状に拡がりのある光を
該基板の側面より該基板の内部に照射する光照射手段と
、該基板の内部で散乱した欠陥光を検出する欠陥光検出
手段とを具備したことを特徴とする透明基板用欠陥検査
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30930986A JPS63165738A (ja) | 1986-12-27 | 1986-12-27 | 透明基板用欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30930986A JPS63165738A (ja) | 1986-12-27 | 1986-12-27 | 透明基板用欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63165738A true JPS63165738A (ja) | 1988-07-09 |
Family
ID=17991459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30930986A Pending JPS63165738A (ja) | 1986-12-27 | 1986-12-27 | 透明基板用欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63165738A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11337496A (ja) * | 1998-03-24 | 1999-12-10 | Ngk Insulators Ltd | 透明体の欠陥検出方法及び透明体の製造方法 |
| JP2001201462A (ja) * | 2000-01-20 | 2001-07-27 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 透明材料または透明材料で包まれた物体の検査装置及び検査方法 |
| JP2002340804A (ja) * | 2002-02-15 | 2002-11-27 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | マークの観察方法及び観察装置 |
| KR20040034003A (ko) * | 2002-10-16 | 2004-04-28 | 주식회사 고영테크놀러지 | 기판 모듈 검사 장치 |
| JP2004150971A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Nitto Denko Corp | フィルムの検査方法および検査装置 |
| JP2004309481A (ja) * | 2003-04-04 | 2004-11-04 | Carl-Zeiss-Stiftung | 透明材料中の欠陥の検出方法及び装置 |
| JP2006214917A (ja) * | 2005-02-04 | 2006-08-17 | Sharp Corp | 基板の欠陥検出方法および欠陥検出装置 |
| WO2010079771A1 (ja) * | 2009-01-09 | 2010-07-15 | Hoya株式会社 | マスクブランク用ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法及び露光用フォトマスクの製造方法 |
| JP2010160450A (ja) * | 2009-01-09 | 2010-07-22 | Hoya Corp | マスクブランク用ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法及び露光用フォトマスクの製造方法 |
| JP2010175655A (ja) * | 2009-01-27 | 2010-08-12 | Hoya Corp | マスクブランク用ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法及び露光用フォトマスクの製造方法 |
| JP2012181135A (ja) * | 2011-03-02 | 2012-09-20 | Kobelco Kaken:Kk | 内部欠陥検査装置および内部欠陥検査方法 |
-
1986
- 1986-12-27 JP JP30930986A patent/JPS63165738A/ja active Pending
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11337496A (ja) * | 1998-03-24 | 1999-12-10 | Ngk Insulators Ltd | 透明体の欠陥検出方法及び透明体の製造方法 |
| JP2001201462A (ja) * | 2000-01-20 | 2001-07-27 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 透明材料または透明材料で包まれた物体の検査装置及び検査方法 |
| JP2002340804A (ja) * | 2002-02-15 | 2002-11-27 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | マークの観察方法及び観察装置 |
| KR20040034003A (ko) * | 2002-10-16 | 2004-04-28 | 주식회사 고영테크놀러지 | 기판 모듈 검사 장치 |
| JP2004150971A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Nitto Denko Corp | フィルムの検査方法および検査装置 |
| JP2012037538A (ja) * | 2003-04-04 | 2012-02-23 | Schott Ag | 透明材料中の欠陥の検出 |
| JP2004309481A (ja) * | 2003-04-04 | 2004-11-04 | Carl-Zeiss-Stiftung | 透明材料中の欠陥の検出方法及び装置 |
| JP2006214917A (ja) * | 2005-02-04 | 2006-08-17 | Sharp Corp | 基板の欠陥検出方法および欠陥検出装置 |
| JP2010160450A (ja) * | 2009-01-09 | 2010-07-22 | Hoya Corp | マスクブランク用ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法及び露光用フォトマスクの製造方法 |
| KR20110119689A (ko) * | 2009-01-09 | 2011-11-02 | 호야 가부시키가이샤 | 마스크 블랭크용 글래스 기판의 제조 방법, 마스크 블랭크의 제조 방법 및 노광용 포토마스크의 제조 방법 |
| WO2010079771A1 (ja) * | 2009-01-09 | 2010-07-15 | Hoya株式会社 | マスクブランク用ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法及び露光用フォトマスクの製造方法 |
| TWI461831B (zh) * | 2009-01-09 | 2014-11-21 | Hoya Corp | 光罩基底用玻璃基板之製造方法、光罩基底之製造方法及曝光用光罩之製造方法 |
| JP2010175655A (ja) * | 2009-01-27 | 2010-08-12 | Hoya Corp | マスクブランク用ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法及び露光用フォトマスクの製造方法 |
| JP2012181135A (ja) * | 2011-03-02 | 2012-09-20 | Kobelco Kaken:Kk | 内部欠陥検査装置および内部欠陥検査方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5355213A (en) | Inspection system for detecting surface flaws | |
| TW201625936A (zh) | 在工作件中用於缺陷偵測的裝置，方法及電腦程式產品 | |
| JPH08128959A (ja) | 光学的検査方法および光学的検査装置 | |
| JP2015040835A (ja) | 透明板状体の欠点検査装置及び欠点検査方法 | |
| JP2000009591A (ja) | 検査装置 | |
| JPS63165738A (ja) | 透明基板用欠陥検査装置 | |
| JP2006071284A (ja) | ガラス基板欠陥の表裏識別方法 | |
| JP2002214158A (ja) | 透明板状体の欠点検出方法および検出装置 | |
| JPH11316195A (ja) | 透明板の表面欠陥検出装置 | |
| JP7125576B2 (ja) | 異物検査装置及び異物検査方法 | |
| JPH0587739A (ja) | 透明体欠陥検査装置 | |
| JP2008039444A (ja) | 異物検査方法及び異物検査装置 | |
| CN110658207A (zh) | 一种区分非偏光膜内与膜外异物的检测方法及装置 | |
| JP2002214150A (ja) | 絶縁皮膜被覆鋼板の疵検査方法およびその装置 | |
| TW202018285A (zh) | 異物檢查裝置及異物檢查方法 | |
| JP2005274173A (ja) | ウエハー基板、液晶ディスプレイ用透明ガラス等の被検査物の表面上の異物・表面検査方法およびその装置 | |
| JPH08271436A (ja) | カラーフィルタ基板の検査装置 | |
| KR100943242B1 (ko) | 디스플레이 패널 검사 방법 및 그 장치 | |
| JP2002014058A (ja) | 検査方法及び装置 | |
| EP1126273A1 (en) | Method and arrangement for inspecting a transparent object for flaws | |
| TWM457889U (zh) | 面板瑕疵檢測之裝置 | |
| JPH0868767A (ja) | 壜胴部の欠陥検査装置 | |
| JP2948353B2 (ja) | ガラス板の表面欠陥検査方法および検査装置 | |
| JPH10185828A (ja) | 透明平面体表面の欠陥検査方法及びその装置 | |
| JPH05307007A (ja) | 表面検査方法 |