JP7125576B2 - 異物検査装置及び異物検査方法 - Google Patents
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Description
XYZ軸からなる直交座標系において、XY平面に表面を位置させた検査対象に付着した異物を検査する異物検査装置であって、
、前記検査対象の表面にコヒーレント光をXY平面上、Y軸方向に照射する光源部と、
前記検査対象を撮影する撮像部と、
前記撮像部で撮像された画像に基づいて異物を検出する検出部を備え、
前記撮像部の撮像軸は、YZ平面で観察したときに、前記検査対象と前記撮像軸が交わる箇所を境として、前記光源部から離れた位置の表面と鋭角の仰角を形成し、XY平面で観察したときに、前記光源部の光軸と前記撮像軸が交わる箇所を境として、前記光源部から離れた位置の前記光軸と鋭角の傾斜角を形成するように位置し、
前記検出部は、撮影された画像中、異物の検出対象から除外する不感帯領域を指定するマスクを使用して異物を検出し、
前記不感帯領域の外側の輪郭は、前記検査対象の裏面に位置する構造物、あるいは、検査対象に設けられた孔の外側の輪郭の内側に位置する。
前記光源部から照射されるコヒーレント光は、前記検査対象の端部を照明する。
前記仰角は、5度以上、50度以下である。
前記傾斜角の絶対値は、10度以上、50度以下である。
前記光源部は、前記コヒーレント光を前記検査対象側に傾ける見下ろし角を有するように配置されている。
前記見下ろし角は、10度以下である。
前記検査対象には、微細パターンが形成されている。
前記検査対象が配置される台座と、
前記検査対象を前記台座の上方から、配置する搬送部を備える。
前記光源部と、前記撮像部は、測定ユニットに固定されている。
XYZ軸からなる直交座標系において、XY平面に表面を位置させた検査対象に付着した異物を撮像部で撮像して検査する異物検査方法であって、
前記検査対象の側方から、前記検査対象の表面に光源部からのコヒーレント光をXY平面上、Y軸方向に照射し、
前記撮像部の撮像軸は、YZ平面で観察したときに、前記検査対象と前記撮像軸が交わる箇所を境として、前記光源部から離れた位置の表面と鋭角の仰角を形成し、XY平面で観察したときに、前記光源部の光軸と前記撮像軸が交わる箇所を境として、前記光源部から離れた位置の前記光軸と鋭角の傾斜角を形成するように位置し、
前記撮像部で撮影された画像に基づいて、検出部で異物を検出し、
前記検出部は、撮影された画像中、異物の検出対象から除外する不感帯領域を指定するマスクを使用して異物を検出し、
前記不感帯領域の外側の輪郭は、前記検査対象の裏面に位置する構造物、あるいは、検査対象に設けられた孔の外側の輪郭の内側に位置する。
(2)第2の効果は、レーザー光源12からの直接光、あるいは、一次反射光が入射することが可能となり、照明光Lを乱反射した異物を撮影することが可能となる。
(3)第3の効果は、傾斜角θ1、仰角θ2の何れか一方が、指定された角度の範囲よりも小さい場合、カラーフィルタに設けられた微細パターンにより生じる干渉縞が撮影されることがある。干渉縞が生じた状態では、異物を適切に観察することが困難となる。本実施形態では、傾斜角θ1、仰角θ2を、干渉縞が観察されない適切な範囲としている。
(4)第4の効果は、検査対象4の側方から照明光Lを入射させるとともに、撮像部11aを傾斜させて配置することで、検査対象4に設けられた孔、あるいは、台座30の表面に設けられた孔、構造物、あるいは、台座30の表面に生じた傷を実物よりも小さく観察することが可能となる。このような孔、構造物、傷等は、検査対象4の表面に付着する異物では無いため、異物と間違えないように、撮影した画像にマスク(検査対象としない部分とする)する必要がある。従来の観察法では、マスクの大きさは、孔、構造物、傷等と同じ大きさ、もしくは、余裕をみてそれ以上の大きさとする必要があった。マスクを設けることで、検査対象としない不感帯領域が大きくなり、マスク部分に異物が付着した場合、検査漏れとなることが考えられる。本実施形態では、孔、構造物、傷等が実際の大きさよりも小さく観察されるため、マスクを小さくすることが可能となる。したがって、不感帯領域の大きさを抑え、検査範囲を拡大することが可能となる。
4:検査対象
5:フレーム
6a、6b:マスク
10:測定ユニット
11a、11b:撮像部
11b:撮像部
12:レーザー光源(光源部)
12a:光軸
20:搬送部
21:昇降部
22:伸縮部
23:アーム
23b:電極像
25:撮像画像
30:台座
30a:台座孔
31:支持針
32:移動レール
41:透明基板
42:ブラックマトリックス
43B、43G、43R:カラーレジスト
44:フォトマスク
44a:開口
45a:孔
45b:電極
61a、61b、61b’:不感帯領域
110a、110b:撮像軸
Claims (2)
- XYZ軸からなる直交座標系において、XY平面に表面を位置させた検査対象に付着した異物を検査する異物検査装置であって、
、前記検査対象の表面にコヒーレント光をXY平面上、Y軸方向に照射する光源部と、
前記検査対象を撮影する撮像部と、
前記撮像部で撮像された画像に基づいて異物を検出する検出部を備え、
前記撮像部の撮像軸は、YZ平面で観察したときに、前記検査対象と前記撮像軸が交わる箇所を境として、前記光源部から離れた位置の表面と鋭角の仰角を形成し、XY平面で観察したときに、前記光源部の光軸と前記撮像軸が交わる箇所を境として、前記光源部から離れた位置の前記光軸と鋭角の傾斜角を形成するように位置し、
前記検出部は、撮影された画像中、異物の検出対象から除外する不感帯領域を指定するマスクを使用して異物を検出し、
前記不感帯領域の外側の輪郭は、前記検査対象の裏面に位置する構造物、あるいは、検査対象に設けられた孔の外側の輪郭の内側に位置する
異物検査装置。 - XYZ軸からなる直交座標系において、XY平面に表面を位置させた検査対象に付着した異物を撮像部で撮像して検査する異物検査方法であって、
前記検査対象の側方から、前記検査対象の表面に光源部からのコヒーレント光をXY平面上、Y軸方向に照射し、
前記撮像部の撮像軸は、YZ平面で観察したときに、前記検査対象と前記撮像軸が交わる箇所を境として、前記光源部から離れた位置の表面と鋭角の仰角を形成し、XY平面で観察したときに、前記光源部の光軸と前記撮像軸が交わる箇所を境として、前記光源部から離れた位置の前記光軸と鋭角の傾斜角を形成するように位置し、
前記撮像部で撮影された画像に基づいて、検出部で異物を検出し、
前記検出部は、撮影された画像中、異物の検出対象から除外する不感帯領域を指定するマスクを使用して異物を検出し、
前記不感帯領域の外側の輪郭は、前記検査対象の裏面に位置する構造物、あるいは、検査対象に設けられた孔の外側の輪郭の内側に位置する
異物検査方法。
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