JP2006244869A - プラズマディスプレイパネルの検査装置、プラズマディスプレイパネルの製造方法、デバイスの検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 低コストで、検査効率がよく、大型のプラズマディスプレイパネルにも対応可能なプラズマディスプレイパネルの検査装置を提供する。
【解決手段】 ＰＤＰの製造ラインの搬送路１１に沿って、検査装置５を設ける。検査装置５においては、搬送路１１の上方及び下方に、夫々照明装置２ａ及び２ｂを設ける。また、搬送路１１の上方及び下方に、夫々カメラ３ａ及び３ｂを設ける。カメラ３ａ及び３ｂは、パネル１が搬送路１１の検査位置１２にあるときに、パネル１を撮像して画像データを得るものである。更に、カメラ３ａ及び３ｂからパネル１の画像データが入力され、この画像データを画像処理してパネル１の欠陥を検出する画像処理装置４を設ける。
【選択図】 図２

Description

本発明は、プラズマディスプレイパネルの欠陥を検出する検査装置、この検査装置を使用するプラズマディスプレイパネルの製造方法、及び２枚の基板を張り合わせたデバイスの検査方法に関する。

一般に、プラズマディスプレイパネル、液晶パネル等の平面型ディスプレイパネルは、ガラス基板上にパターンを形成して作製される。しかしながら、ガラス基板には、割れ、欠け及び傷等の欠陥が生じることがあり、このような欠陥が生じたガラス基板を使用して平面型ディスプレイパネルを製造すると、この平面型ディスプレイパネルの強度が低下したり、安全性が損なわれたりする。このため、平面型ディスプレイパネルの製造途中及び製造後において外観検査を行い、ガラス基板の割れ、欠け及び傷等の欠陥が生じているガラス基板を除くことが必要となる。

例えば、特許文献１（特開２００３−２４７９５３号公報）には、液晶パネルの外観検査方法及び検査装置が開示されている。以下、この従来の外観検査方法について説明する。先ず、その内形が液晶パネルの外形よりも大きいリング照明灯を３つ用意する。次に、液晶パネルを透明なパネル支持台上に載置し、第１のリング照明灯を液晶パネルの上方に配置し、第２のリング照明灯を液晶パネルの外周に配置し、第３のリング照明灯を液晶パネルの下方に配置する。また、液晶パネルの上方にはカメラを設置する。そして、第１乃至第３のリング照明灯を１つずつ順次点灯しながら、カメラにより液晶パネルを撮像し、その画像データを画像処理することにより、液晶パネルのガラス基板の欠陥を検出する。

特開２００３−２４７９５３号公報

しかしながら、上述の従来の技術には、例えば以下に示すような問題点がある。近時、プラズマディスプレイパネルは大型化が進んでいる。そのため、特許文献１に記載の検査方法を大型のプラズマディスプレイパネルに対して適用しようとすると、極めて大きなリング照明灯が必要となる。また、カメラを固定して使用する場合には必要なカメラの台数が多くなり、少数のカメラを移動させながら検査を行う場合にはカメラ移動装置が必要となるため、検査装置のコストが増大する。また、検査対象となるプラズマディスプレイパネルを１台ずつパネル支持台上まで運搬しなくてはならず、検査効率が低い。更に、プラズマディスプレイパネルが大型化すると、この運搬自体のコストが増大する。

本願請求項１に係るプラズマディスプレイパネルの検査装置は、プラズマディスプレイパネルの搬送路の上方又は下方に設けられプラズマディスプレイパネルが前記搬送路における検査位置にあるときに前記プラズマディスプレイパネルを照明する照明装置と、前記搬送路の上方及び下方のうち前記照明装置が配置されている側に配置されプラズマディスプレイパネルが前記検査位置にあるときに前記プラズマディスプレイパネルを撮像するカメラと、このカメラが撮像した前記プラズマディスプレイパネルの画像データに基づいて前記プラズマディスプレイパネルの欠陥を検出する画像処理装置と、を有することを特徴とする。

本願請求項７に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法は、搬送路に沿ってプラズマディスプレイパネルを搬送しながら、前記搬送路の上方又は下方に設けられた照明装置により前記プラズマディスプレイパネルにおける検査位置に位置している部分を照明し、前記搬送路の上方及び下方のうち前記照明装置が配置されている側に配置されたカメラにより前記部分を撮像して画像データを取得する工程と、前記画像データに基づいて前記プラズマディスプレイパネルの欠陥を検出する工程と、を有することを特徴とする。

本願請求項１１に係るデバイスの検査方法は、夫々パターンを形成した２枚の基板を組み合わせたデバイスを搬送路に沿って搬送しながら、前記搬送路の上方又は下方に設けられた照明装置により前記デバイスにおける検査位置に位置している部分を照明し、前記搬送路の上方及び下方のうち前記照明装置が配置されている側に配置されたカメラにより前記部分を撮像して画像データを取得する工程と、前記画像データに基づいて前記デバイスの欠陥を検出する工程と、を有することを特徴とする。

以下、本発明の実施形態について添付の図面を参照して具体的に説明する。図１は、本実施形態に係るプラズマディスプレイパネル（以下、単にパネルともいう）の検査装置を示す側面図である。図１に示すように、プラズマディスプレイパネルの製造ライン（図示せず）には搬送コンベア１０が設けられており、この搬送コンベア１０により、搬送路１１が形成されている。検査対象となるプラズマディスプレイパネル１は、製造ラインにより製造される途中及び製造された後に、この搬送路１１に沿って搬送されるようになっており、搬送路１１の途中には、パネル１の外観検査を行うための検査位置１２が設定されている。

搬送路１１の上方及び下方には、夫々照明装置２ａ及び２ｂが設けられている。照明装置２ａ及び２ｂは、搬送路１１に関して相互に対称な位置に配置されている。照明装置２ａ及び２ｂは、パネル１が搬送路１１における検査位置１２にあるときに、パネル１を照明するものである。照明装置２ａ及び２ｂは、搬送路１１の搬送方向に直交する方向に延び、その両端がパネル１の両端の外側に位置している線状の照明装置である。

また、搬送路１１の上方及び下方には、夫々カメラ３ａ及び３ｂが設けられている。カメラ３ａは、搬送路１１の上方、即ち搬送路１１から見て照明装置２ａが配置されている側に配置されており、カメラ３ｂは、搬送路１１の下方、即ち搬送路１１から見て照明装置２ｂが配置されている側に配置されている。カメラ３ａ及び３ｂは、搬送路１１に関して相互に対称な位置に配置されている。カメラ３ａ及び３ｂは、パネル１が搬送路１１の検査位置１２にあるときに、パネル１を撮像して画像データを得るものである。

カメラ３ａは、パネル１が検査位置１２にないときに、照明装置２ａ及び２ｂから出射した光が入射されず、且つ、パネル１が検査位置１２にあるときに、照明装置２ａから出射されパネル１の非欠陥部分により反射された光が直接入射されないような位置に配置されている。また、カメラ３ｂは、パネル１が検査位置１２にないときに、照明装置２ａ及び２ｂから出射した光が入射されず、且つ、パネル１が検査位置１２にあるときに、照明装置２ｂから出射されパネル１の非欠陥部分により反射された光が直接入射されないような位置に配置されている。

更に、カメラ３ａ及び３ｂからパネル１の画像データが入力され、この画像データに基づいてパネル１の欠陥を検出する画像処理装置４が設けられている。また、画像処理装置４は、カメラ３ａ及び３ｂから入力された画像データの幅方向の輝度分布に基づいて、パネル１のサイズを判別し、且つ、画像データの時間的な輝度変化に基づいて、パネル１の検査開始時点及び検査終了時点を決定するものである。照明装置２ａ及び２ｂ、カメラ３ａ及び３ｂ、並びに画像処理装置４により、本実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの検査装置が構成されている。

次に、上述の如く構成された本実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの検査装置の動作、即ち、本実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの検査方法について説明する。本実施形態の検査は、プラズマディスプレイパネルの製造工程の一部として行われるものであり、従って、本実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの検査方法は、本実施形態のプラズマディスプレイパネルの製造方法の一部である。

図１に示すように、予め、照明装置２ａ及び２ｂを点灯させ、カメラ３ａ及び３ｂ並びに画像処理装置４を作動させておく。この状態で、搬送コンベア１０により、製造途中又は製造後のパネル１を搬送路１１に沿って検査位置１２に向かって搬送する。これにより、パネル１が照明装置２ａ及び２ｂ並びにカメラ３ａ及び３ｂに対して相対的に移動する。パネル１は、ガラス基板からなる前面基板と、他のガラス基板からなる背面基板を重ね合わせて形成したものである。

パネル１の搬送方向前方側の先端部が検査位置１２に到達すると、照明装置２ａから出射した光がパネル１の先端部に照射されて反射され、この反射光がカメラ３ａに入射するため、カメラ３ａが撮像する画像の輝度が増加する。これにより、画像処理装置４が、検査位置１２にパネル１の先端部が到達したことを検知する。また、画像処理装置４は、搬送路１１の搬送方向に直交する方向（幅方向）における画像データの輝度分布によりパネル１のサイズを判別し、検査範囲を決定する。

そして、画像処理装置４は、パネル１の先端部が検査位置１２に到達し、パネル１の検査範囲を決定した後、パネル１の検査を開始する。このとき、照明装置２ａから出射した光は、パネル１の上面を照射し、上側に配置されたガラス基板により反射されて、カメラ３ａに入射する。一方、照明装置２ｂから出射した光は、パネル１の下面を照射し、下側に配置されたガラス基板により反射されて、カメラ３ｂに入射する。カメラ３ａ及び３ｂは夫々パネル１を上面側及び下面側から撮像し、画像データを取得する。その画像データを画像処理装置４に対して出力し、画像処理装置４は、この画像データに対して２値化処理を施す。

このとき、カメラ３ａは、照明装置２ａから出射されパネル１により反射された光が直接入射されないような位置に配置されており、カメラ３ｂは、照明装置２ｂから出射されパネル１により反射された光が直接入射されないような位置に配置されているため、パネル１に割れ、欠け及び傷等の欠陥がなければ、画像処理装置４が２値化した画像データは全面が黒色の黒画像となる。これに対して、パネル１における上側に配置されたガラス基板に割れ等の欠陥が存在する場合は、照明装置２ａから出射した光がこの欠陥により散乱され、カメラ３ａに直接入射するため、２値化後の画像データにおいて、この欠陥に相当する部分のみが白色部分となる。これにより、上側に配置されたガラス基板の欠陥を検出することができる。同様に、パネル１における下側に配置されたガラス基板に割れ等の欠陥が存在する場合は、照明装置２ｂから出射した光がこの欠陥により散乱され、カメラ３ｂに直接入射するため、２値化後の画像データにおいて、この欠陥に相当する部分のみが白色部分となる。これにより、下側に配置されたガラス基板の欠陥を検出することができる。

そして、パネル１の搬送方向後端部が検査位置１２から離脱すると、照明装置２ａから出射した光がパネル１により反射されなくなり、カメラ３ａが撮像する画像の輝度が減少する。これにより、画像処理装置４が、パネル１の後端部が検査位置１２を通過したことを検知し、検査を終了する。

次に、本実施形態の効果について説明する。本実施形態においては、パネル１の搬送路１１に沿って検査装置を設けることにより、パネル１を搬送路１１に沿って搬送しながら、検査を行うことができる。これにより、パネル１を照明装置及びカメラに対して相対的に移動させることにより、固定された少数のカメラを使用して、パネル１の全体を検査することができる。このため、検査装置のコストが低い。

また、本実施形態においては、パネル１を、パネル１の製造ラインの搬送路に沿って移動させながら検査を行うため、パネル１をわざわざ検査位置まで運搬する必要がない。このため、検査を効率的に行うことができる。このように、本実施形態によれば、極めて低コストで、検査効率がよく、大型のプラズマディスプレイパネルにも対応可能なプラズマディスプレイパネルの検査装置を得ることができる。

また、本実施形態においては、搬送路１１の上方及び下方の双方に照明装置及びカメラを配置しているため、パネル１を上方側及び下方側の双方から検査することができる。これにより、パネル１の上側に配置されたガラス基板及び下側に配置されたガラス基板を独立して検査することができる。

なお、本実施形態においては、プラズマディスプレイパネルを検査する例を示したが、本発明はこれに限定されず、夫々パターンを形成した２枚の基板を組み合わせたデバイスであれば、プラズマディスプレイパネルと同様に検査を行うことができる。

以下、本発明の実施例について添付の図面を参照して具体的に説明する。図２は、本実施例に係るプラズマディスプレイパネルの検査装置を示す斜視図であり、図３はその側面図である。図２及び図３に示す本実施例に係る検査装置において、前述の本発明の実施形態と同じ構成要素には同じ符号を付す。

図２に示すように、本実施例に係る検査装置５は、ＰＤＰの製造ライン（図示せず）における各加工設備間又は最後段の加工設備の後方に、搬送路１１に沿って設けられている。搬送路１１には、搬送コンベア１０（図１参照）が設けられている。搬送コンベア１０は、パネル１に複数の加工設備を経由させるための搬送方法として一般的に用いられているものである。搬送路１１における検査装置５に相当する位置に、ＰＤＰの検査位置１２が設定されている。検査装置５には、２台の照明装置２ａ、２台の照明装置２ｂ、１台のカメラ３ａ、１台のカメラ３ｂ、カメラ３ａ及び３ｂに接続された画像処理装置４が設けられている。

照明装置２ａ及び２ｂは、搬送路１１に関して相互に対称な位置に、相互に対向して配置されている。照明装置２ａ及び２ｂは、パネル１が搬送路１１における検査位置１２にあるときに、パネル１を照明するものである。即ち、少なくとも検査位置１２に、光を照射できるようになっている。照明装置２ａ及び２ｂは、搬送路１１の搬送方向に直交する方向（幅方向）に延びている線状の照明装置であり、その幅方向の長さは、例えば、パネル１の幅方向の長さと略等しい。照明装置２ａ及び２ｂの照度は、外部環境、カメラの性能等に応じて、検査に必要な光量が確保できるものを選定する。

また、図３に示すように、２台のカメラ３ａは、搬送路１１の上方において、幅方向に沿って配列されている。また、２台のカメラ３ｂは、搬送路１１の下方において、幅方向に沿って配列されている。カメラ３ａ及び３ｂは、夫々搬送路１１の上方及び下方に、搬送路１１に関して相互に対称な位置に、相互に対向して配置されている。カメラ３ａ及び３ｂは、パネル１が搬送路１１の検査位置１２にあるときに、パネル１を撮像して画像データを得るものである。従って、カメラ３ａ及び３ｂは、少なくとも検査位置１２を視野範囲内に収めている。但し、カメラ３ａは、パネル１が検査位置１２にあるときに、照明装置２ａから出射されパネル１の非欠陥部分により反射された光が直接入射されないような位置に配置されている。また、カメラ３ｂは、パネル１が検査位置１２にあるときに、照明装置２ｂから出射されパネル１の非欠陥部分により反射された光が直接入射されないような位置に配置されている。更に、カメラ３ａは、パネル１が検査位置１２にないときに、照明装置２ａ及び２ｂから出射した光が入射されない位置に配置されており、カメラ３ｂも、パネル１が検査位置１２にないときに、照明装置２ａ及び２ｂから出射した光が入射されない位置に配置されている。

更に、画像処理装置４は、カメラ３ａ及び３ｂから入力された画像データを２値化することにより、パネル１のガラス基板における割れ、欠け及び傷等の欠陥を検出するものである。また、画像処理装置４は、幅方向における画像データの輝度分布に基づいて、パネル１のサイズを判別し、且つ、画像データの時間的な輝度変化に基づいて、パネル１の検査開始時点及び検査終了時点を決定するようにプログラムされている。

更にまた、搬送路１１における検出装置５の近傍には、欠陥が検出されたパネル１を搬送路１１から取り除く搬送装置（図示せず）が設けられている。

次に、上述の如く構成された本実施例に係るプラズマディスプレイパネルの動作、即ち、本実施例に係るプラズマディスプレイパネルの検査方法について説明する。このプラズマディスプレイパネルの検査は、プラズマディスプレイパネルの製造工程の一部として行われるものである。図４は、本実施例に係るプラズマディスプレイパネルの検査方法を示す図である。図４は、１枚のパネルが移動していく様子を示しており、図の上段から下段に向かって、時間が経過している。以下、主に図２乃至図４を参照して説明する。

先ず、搬送路１１の検査位置１２にパネル１がないときに、照明装置２ａ及び２ｂを点灯させ、カメラ３ａ及び３ｂ並びに画像処理装置４を作動させる。このとき、照明装置２ａ及び２ｂから出射した光は、カメラ３ａ及び３ｂには到達しないため、カメラ３ａ及び３ｂが撮像する画像は、全体的に暗い画像となる。そして、この画像の画像データを画像処理装置４により２値化処理すると、全面が黒色の黒画像となる。

この状態で、搬送コンベア１０（図１参照）により、製造途中又は製造後のパネル１を搬送路１１に沿って検査位置１２に向かって搬送する。パネル１は、ガラス基板からなる前面基板と、他のガラス基板からなる背面基板を重ね合わせて形成したものであり、その形状は略長方形であり、一辺の長さは５００乃至１５００ｍｍである。

そして、パネル１の搬送方向前方側の先端部が検査位置１２に到達すると、照明装置２ａから出射した光がパネル１の先端部に照射されて反射され、この反射光がカメラ３ａに入射する。これにより、カメラ３ａが撮像する画像の輝度が増加し、画像処理装置４が、検査位置１２にパネル１の先端部が到達したことを検知する。また、パネル１には何種類かのサイズがあるため、画像処理装置４は、画像データにおける幅方向の輝度分布によりパネル１のサイズを判別し、予め定められたプログラムに従って検査範囲を決定する。

そして、画像処理装置４は、パネル１の先端部が検査位置１２に到達し、パネル１の検査範囲を決定した後、パネル１の検査を開始する。検査は以下のように行う。照明装置２ａから出射した光は、パネル１の上面を照射し、上側に配置されたガラス基板により反射されて、カメラ３ａに入射する。一方、照明装置２ｂから出射した光は、パネル１の下面を照射し、下側に配置されたガラス基板により反射されて、カメラ３ｂに入射する。カメラ３ａ及び３ｂは夫々パネル１を上面側及び下面側から撮像し、その画像データを画像処理装置４に対して出力する。画像処理装置４は、カメラ３ａ及び３ｂから入力された画像データを２値化する。

このとき、カメラ３ａは、照明装置２ａから出射されパネル１により反射された光が直接入射されないような位置に配置されており、カメラ３ｂは、照明装置２ｂから出射されパネル１により反射された光が直接入射されないような位置に配置されているため、パネル１に割れ、欠け及び傷等の欠陥がなければ、画像処理装置４が２値化した画像データは全面が黒色の黒画像となる。これに対して、パネル１における上側に配置されたガラス基板に割れ等の欠陥が存在する場合は、照明装置２ａから出射した光がこの欠陥により散乱され、カメラ３ａに直接入射するため、２値化後の画像データにおいて、この欠陥に相当する部分のみが白色部分となる。これにより、上側に配置されたガラス基板の欠陥を検出することができる。また同様に、パネル１における下側に配置されたガラス基板に割れ等の欠陥が存在する場合は、照明装置２ｂから出射した光がこの欠陥により散乱され、カメラ３ｂに直接入射するため、２値化後の画像データにおいて、この欠陥に相当する部分のみが白色部分となる。これにより、下側に配置されたガラス基板の欠陥を検出することができる。このとき、白色部分の形状により、欠陥の種類を判別することができる。また、白色部分の大きさにより、欠陥の大きさを検出することができる。

そして、図４に示すように、上述の欠陥の検出は、搬送コンベア１０によりパネル１を移動させながら行う。即ち、パネル１を移動させることにより、パネル１における検査位置１２に位置している検査領域１ａを、パネル１内において相対的に搬送方向後方に移動させつつ、この検査領域１ａを連続的に検査していく。例えば、パネル１の上側のガラス基板に割れＣがある場合、パネル１が移動し、割れＣが検査位置１２に到達して検査領域１ａに入ると、この割れＣが画像検出装置４により白色部分として検出される。

そして、パネル１の後端部が検査位置１２から離脱すると、照明装置２ａから出射した光がパネル１により反射されなくなり、カメラ３ａが撮像する画像の輝度が減少する。これにより、画像処理装置４が、パネル１の後端部が検査位置１２を通過したことを検知する。このとき、画像処理装置４は、予め定められたプログラムに従って、検査を終了する。

画像検出装置４は、パネル１において割れを検出した場合には、搬送装置（図示せず）に対してアラーム報知を行い、この搬送装置がそのパネル１を搬送路１１から取り除く。一方、パネル１全体に渡って欠陥を検出しなかった場合には、前述のように自動で検査を終了する。そして、検査位置１２に新たなパネルが到達したら、上述の動作を繰り返し行う。一方、欠陥が検出されなかったパネル１は、その後必要に応じて残りの加工を施され、完成したプラズマディスプレイパネルとなる。

次に、本実施例の効果について説明する。本実施例においては、パネル１の搬送路１１に沿って検査装置を設けることにより、パネル１を搬送路１１に沿って搬送しながら、検査を行うことができる。これにより、パネル１を照明装置及びカメラに対して相対的に移動させることにより、搬送路１１に対して固定された４台のカメラを使用して、パネル１の全体を上側及び下側の双方から検査することができる。この結果、パネル１として大型のパネルを検査する場合でも、このパネルの外周を囲むような大型のリング照明を使用する必要がない。また、多数の固定されたカメラを使用したり、少数のカメラを移動させながら使用したりする必要がない。このため、本実施例の検査装置はコストが低い。

また、本実施例においては、パネル１を、パネル１の製造ラインの搬送路に沿って移動させながら検査を行うため、パネル１をわざわざ検査位置まで運搬する必要がない。このため、検査を効率的に行うことができる。近時、プラズマディスプレイパネルの製造ラインは自動化が進んでおり、自動化された製造ラインには搬送コンベアが必要不可欠である。本実施例に係る検査装置は、このような製造ラインの搬送コンベアを利用することにより、極めて低コストで、検査効率がよく、大型のプラズマディスプレイパネルにも対応可能なプラズマディスプレイパネルの検査装置を得ることができる。

また、本実施例においては、搬送路１１の上方及び下方の双方に照明装置及びカメラを配置しているため、パネル１を上方側及び下方側の双方から検査することができる。これにより、パネル１の上側に配置されたガラス基板及び下側に配置されたガラス基板を独立して検査することができる。これに対して、例えば特許文献１に記載された従来の検査装置においては、片方の基板しか検査することができない。液晶パネルの場合は、薄膜トランジスタ等のパターンが形成されたＴＦＴ基板の割れ検出の方が、対向基板の割れ検出よりも重要であるため、片方の基板しか検査できない検査装置でもある程度有用である。しかしながら、プラズマディスプレイパネルは、前面基板及び背面基板の双方に微細なパターンを形成しているため、両方の基板を検査することが特に重要である。なお、片方の基板しか検査できない検査装置を使用して、プラズマディスプレイパネルを検査する場合には、パネルの表裏を反転させる反転装置等が必要となる。しかしながら、本実施例においては、このような反転装置を設ける必要がなく、検査装置のコストを低く抑えることができる。

更に、本実施例においては、画像データの時間的な輝度変化に基づいて、検査の開始時点及び終了時点を決定し、また、画像データの幅方向の輝度分布に基づいて、パネルのサイズを判別している。このため、パネルの位置を検知するセンサ、パネルのサイズを検知するセンサ、外部からパネルのサイズを入力するためのデータ通信装置が不要である。このため、検査装置のコストが低い。

本発明の実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの検査装置を示す側面図である。 本発明の実施例に係るプラズマディスプレイパネルの検査装置を示す斜視図である。 図２に示す検査装置の側面図である。 本実施例に係るプラズマディスプレイパネルの検査方法を示す図である。

符号の説明

１；プラズマディスプレイパネル
２ａ、２ｂ；照明装置
３ａ、３ｂ；カメラ
４；画像処理装置
５；検査装置
１０；搬送コンベア
１１；搬送路
１２；検査位置
Ｃ；割れ

Claims (12)

1. プラズマディスプレイパネルの搬送路の上方又は下方に設けられプラズマディスプレイパネルが前記搬送路における検査位置にあるときに前記プラズマディスプレイパネルを照明する照明装置と、前記搬送路の上方及び下方のうち前記照明装置が配置されている側に配置されプラズマディスプレイパネルが前記検査位置にあるときに前記プラズマディスプレイパネルを撮像するカメラと、このカメラが撮像した前記プラズマディスプレイパネルの画像データに基づいて前記プラズマディスプレイパネルの欠陥を検出する画像処理装置と、を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの検査装置。
2. 前記搬送路の上方及び下方のうち前記照明装置が配置されていない側に設けられプラズマディスプレイパネルが前記検査位置にあるときに前記プラズマディスプレイパネルを照明する他の照明装置と、前記搬送路の上方及び下方のうち前記他の照明装置が配置されている側に配置されプラズマディスプレイパネルが前記検査位置にあるときに前記プラズマディスプレイパネルを撮像しその画像データを前記画像処理装置に入力する他のカメラと、を有し、前記画像処理装置は、前記カメラ及び前記他のカメラから入力された画像データに基づいて前記欠陥を検出するものであることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの検査装置。
3. 前記カメラは、プラズマディスプレイパネルが前記検査位置にないときに、前記照明装置及び前記他の照明装置から出射した光が入射されない位置に配置されており、前記他のカメラは、プラズマディスプレイパネルが前記検査位置にないときに、前記照明装置及び前記他の照明装置から出射した光が入射されない位置に配置されていることを特徴とする請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの検査装置。
4. 前記カメラは、プラズマディスプレイパネルが前記検査位置にあるときに、前記照明装置から出射し前記プラズマディスプレイパネルの非欠陥部分により反射された光が入射されない位置に配置されており、前記画像処理装置は、前記画像データを２値化処理し、前記欠陥を白色部分として検出するものであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネルの検査装置。
5. 前記画像処理装置は、前記画像データの時間的な輝度変化に基づいて前記プラズマディスプレイパネルの検査開始時点及び検査終了時点を決定するものであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネルの検査装置。
6. 前記画像処理装置は、前記搬送路の搬送方向に直交する方向における前記画像データの輝度分布に基づいて前記プラズマディスプレイパネルのサイズを判別するものであることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネルの検査装置。
7. 搬送路に沿ってプラズマディスプレイパネルを搬送しながら、前記搬送路の上方又は下方に設けられた照明装置により前記プラズマディスプレイパネルにおける検査位置に位置している部分を照明し、前記搬送路の上方及び下方のうち前記照明装置が配置されている側に配置されたカメラにより前記部分を撮像して画像データを取得する工程と、前記画像データに基づいて前記プラズマディスプレイパネルの欠陥を検出する工程と、を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
8. 前記画像データを取得する工程において、前記搬送路の上方及び下方のうち前記照明装置が配置されていない側に設けられた他の照明装置により前記部分を照明し、前記搬送路の上方及び下方のうち前記他の照明装置が配置されている側に配置された他のカメラにより前記部分を撮像して他の画像データを取得し、前記欠陥を検出する工程は、前記画像データ及び前記他の画像データの双方に基づいて前記プラズマディスプレイパネルの欠陥を検出する工程であることを特徴とする請求項７に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
9. 前記画像データの時間的な輝度変化に基づいて前記画像データを取得する工程の開始時点及び終了時点を決定することを特徴とする請求項７又は８に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
10. 前記プラズマディスプレイパネルの搬送方向に直交する方向における前記画像データの輝度分布に基づいて前記プラズマディスプレイパネルのサイズを判別する工程を有することを特徴とする請求項７乃至９のいずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
11. 夫々パターンを形成した２枚の基板を組み合わせたデバイスを搬送路に沿って搬送しながら、前記搬送路の上方又は下方に設けられた照明装置により前記デバイスにおける検査位置に位置している部分を照明し、前記搬送路の上方及び下方のうち前記照明装置が配置されている側に配置されたカメラにより前記部分を撮像して画像データを取得する工程と、前記画像データに基づいて前記デバイスの欠陥を検出する工程と、を有することを特徴とするデバイスの検査方法。
12. 前記画像データを取得する工程において、前記搬送路の上方及び下方のうち前記照明装置が配置されていない側に設けられた他の照明装置により前記部分を照明し、前記搬送路の上方及び下方のうち前記他の照明装置が配置されている側に配置された他のカメラにより前記部分を撮像して他の画像データを取得し、前記欠陥を検出する工程は、前記画像データ及び前記他の画像データの双方に基づいて前記デバイスの欠陥を検出する工程であることを特徴とする請求項１１に記載のデバイスの検査方法。

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