JP6980241B2 - 異物検査装置及び異物検査方法 - Google Patents
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Description
検査対象の表面に付着した異物を検査する異物検査装置であって、
前記検査対象の表面色と補色関係にある照明光を前記検査対象に照射する光源部と、
前記検査対象を撮影する撮像部と、
前記撮像部で撮影された画像に基づいて異物を検出する検出部と、を備え、
前記検出部は、撮影された画像中、異物の検出対象から除外する不感帯領域を指定するマスクを使用して異物を検出し、
前記不感帯領域は、前記検査対象の裏面に位置する構造物、あるいは、検査対象に設けられた孔の大きさよりも小さい。
前記マスクは、前記検査対象の表面色と補色関係にある前記照明光を検査対象に照射して撮影された画像に基づいて形成されたものである。
前記検出部は、前記検査対象の前記表面色に応じてマスクを変更する。
前記光源部から照射される前記照明光は、インコヒーレント光である。
前記検査対象は、表面にカラーレジスト膜が塗布された基板であって、
前記照明光は、前記カラーレジスト膜の色と補色関係にある。
前記光源部は、前記検査対象の表面色に応じて前記照明光の色を変更する。
前記撮像部は、前記検査対象で反射した正反射光を受光しない位置であって、前記検査対象の表面に付着した異物の散乱光を受光する位置に配置されている。
検査対象の表面に付着した異物を検査する異物検査方法であって、
前記検査対象の表面色と補色関係にある照明光を前記検査対象に照射し、
前記検査対象を撮像部で撮影し、
前記撮像部で撮影された画像に基づいて、検出部で異物を検出し、
前記検出部は、撮影された画像中、異物の検出対象から除外する不感帯領域を指定するマスクを使用して異物を検出し、
前記不感帯領域は、前記検査対象の裏面に位置する構造物、あるいは、検査対象に設けられた孔の大きさよりも小さい。
2a〜2r:撮像部
3a、3b:LED線光源
4:検査対象
5:台座
6a、6b:マスク
21:撮像面
22:光学系
23:撮像画像
23b:電極像
41:透明基板
42:ブラックマトリックス
43R、43G、43B:カラーレジスト
44:フォトマスク
44a:開口
45a:孔
45b:電極
61a、61b、61b’:不感帯領域
C1:画像中心
C2:光軸
E:角度
L:照明光
P:撮像範囲
R1:有効検査領域
R2:無効検査領域
S(S1〜S6):球形微小粒子
T:撮像範囲
Claims (8)
- 検査対象の表面に付着した異物を検査する異物検査装置であって、
前記検査対象の表面色と補色関係にある照明光を前記検査対象に照射する光源部と、
前記検査対象を撮影する撮像部と、
前記撮像部で撮影された画像に基づいて異物を検出する検出部と、を備え、
前記検出部は、撮影された画像中、異物の検出対象から除外する不感帯領域を指定するマスクを使用して異物を検出し、
前記不感帯領域は、前記検査対象の裏面に位置する構造物、あるいは、検査対象に設けられた孔の大きさよりも小さい
異物検査装置。 - 前記マスクは、前記検査対象の表面色と補色関係にある前記照明光を検査対象に照射して撮影された画像に基づいて形成されたものである
請求項1に記載の異物検査装置。 - 前記検出部は、前記検査対象の前記表面色に応じてマスクを変更する
請求項2に記載の異物検査装置。 - 前記光源部から照射される前記照明光は、インコヒーレント光である
請求項1に記載の異物検査装置。 - 前記検査対象は、表面にカラーレジスト膜が塗布された基板であって、
前記照明光は、前記カラーレジスト膜の色と補色関係にある
請求項1に記載の異物検査装置。 - 前記光源部は、前記検査対象の表面色に応じて前記照明光の色を変更する
請求項1に記載の異物検査装置。 - 前記撮像部は、前記検査対象で反射した正反射光を受光しない位置であって、前記検査対象の表面に付着した異物の散乱光を受光する位置に配置されている
請求項1に記載の異物検出装置。 - 検査対象の表面に付着した異物を検査する異物検査方法であって、
前記検査対象の表面色と補色関係にある照明光を前記検査対象に照射し、
前記検査対象を撮像部で撮影し、
前記撮像部で撮影された画像に基づいて、検出部で異物を検出し、
前記検出部は、撮影された画像中、異物の検出対象から除外する不感帯領域を指定するマスクを使用して異物を検出し、
前記不感帯領域は、前記検査対象の裏面に位置する構造物、あるいは、検査対象に設けられた孔の大きさよりも小さい
異物検査方法。
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