TW201531695A

TW201531695A - 自動外觀檢查裝置

Info

Publication number: TW201531695A
Application number: TW103145058A
Authority: TW
Inventors: Kohei Oka; Hidekazu Ohmi; Kenji Okubo
Original assignee: Toray Eng Co Ltd
Priority date: 2014-02-04
Filing date: 2014-12-23
Publication date: 2015-08-16
Also published as: JP2015148447A

Abstract

本發明之目的在於提供一種自動外觀檢查裝置，其係觀察排列形成於晶圓上之晶片之外觀而進行檢查之裝置，且即使於攝像亮度因每個檢查對象部位而異之情形時，亦不受檢查對象部位之攝像亮度不同之影響，而可針對多種異常模式進行正確之良否判定。本發明係一種晶圓外觀檢查裝置，其係觀察排列形成於晶圓上之晶片之外觀而進行檢查之裝置，且將觀察圖像之亮度平均值、亮度分散值、亮度CV值設為檢查參數。

Description

自動外觀檢查裝置

本發明係關於一種自動外觀檢查裝置，其係在半導體設備或LED晶片等之製造步驟中，基於拍攝到形成於晶圓等之基板上之微細電路圖案或構成LED晶片之發光部的材料之成長狀態等之外觀圖像，自動進行檢查。

於LED之製造步驟中，為了確認構成發光部之氮化銦鎵之成長狀態，而對該發光部照射He-Cd雷射，測定螢光發光波長(例如，專利文獻1)。

另一方面，於半導體設備之製造步驟中，於矽晶圓或玻璃基板等之基板上，形成微細之電路圖案等。該等圖案形成係經過成膜步驟、曝光/顯影步驟、蝕刻步驟等進行，且拍攝外觀進行是否進行期望之圖案形成之檢查(例如，專利文獻2)。

再者，曾提出一種技術，其係為了檢測出以成為同一圖案之方式形成於被檢查對象物上之電路圖案等之缺陷，對作為檢查對象之檢測圖案之亮度值與參照圖案之亮度值一邊進行亮度修正一邊進行比較(例如，專利文獻3)。

此外，曾提出一種技術，其拍攝產生圖案圖像後之晶圓上之區劃區域，並處理拍攝資料，針對各區劃圖像算出各像素之亮度值、亮度值之分散或標準偏差作為對比度資訊，並求得各區劃像素之光學特性(例如，專利文獻4)。

[先前技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本專利第3077781號公報

[專利文獻2]日本特公平5-26136號公報

[專利文獻3]日本特開2005-158780號公報

[專利文獻4]國際公開專利WO2007/43535號

於基板之製造過程中，在成膜步驟之特性上，有時膜厚自基板之中央朝向周邊或於基板之上下、左右方向，逐漸或週期性地發生變化。再者，由於該膜厚之變化係即使為同一批次亦因每個基板而異，因而即使為基板內之配置相同之部位彼此，亦於每個基板攝像圖像之亮度產生不同。

然而，即使該膜厚之變化對實際之最終製品之品質無影響之情形(所謂之正常品)時，有時亦導致自動外觀檢查之攝像圖像之亮度自身過度地變化。

因此，於自動外觀檢查中，藉由攝像圖像之亮度之變化，而可能引起將異常部位判定為正常，或將正常部位判定為異常之情況(所謂之誤檢測)。

再者，於檢查對象部位附著劃痕或污垢等之異物，或具有圖案脫落等之缺陷，又或具有其他異常(以下稱為具有異物、缺陷等)之情形時，以拍攝檢查對象部位且進行攝像圖像之明暗(所謂之亮度值)或分散值等之單一模式之檢查，難以對多樣之異常模式進行應用。

以下，例示LED晶片之製造步驟內之良否判定檢查，且說明應用先前技術之情形之問題點。

圖10係顯示檢查對象圖像之一例之影像圖。

圖10(a)係受檢查對象部位上之成膜之影響，拍攝為整體上攝像亮度較暗之圖像者。

圖10(b)係受檢查對象部位上之成膜之影響，拍攝為整體上攝像亮度較亮之圖像者。

圖10(c)係為了進行檢查對象部位之說明，而用以特定出作為檢查對象物之各晶片D(1，1)~D(6，7)之部位之配置圖。

另，為便於說明，圖10(a)、(b)之各晶片D(1，1)~D(6，7)係相同者，且採用成膜厚度有所不同(即，攝像亮度不同)者。此處，各晶片D(1，1)~D(6，7)內，晶片D(3，4)、晶片D(5，6)為發光不良之不良品，晶片D(4，2)~晶片D(4，5)為包含劃痕等之異物之不良品，其他晶片為正常發光之良品。

若對此種晶片基於拍攝之圖像之亮度資訊進行檢查，則各晶片之平均亮度值係如圖11所示。

圖11係顯示圖10所示之檢查對象圖像之一例的各晶片之平均亮度值之影像圖，圖11(a)係與圖10(a)對應者，圖11(b)係與圖10(b)對應者。

即，雖為良品但拍攝為稍暗之晶片D(1，1)、D(1，5)、D(3，2)、D(6，1)係因與正常發光但包含劃痕等之異物之晶片D(4，2)、D(4，4)、D(4，5)，平均亮度值為相同程度，故僅以平均亮度值進行良否判定，亦無法進行僅檢測出不良品晶片之亮度臨限值之設定，從而導致產生將不良品判定為良品(所謂之遺漏檢測)，或將良品判定為不良品(所謂之過檢測)之誤檢測。

再者，基於拍攝之圖像之亮度資訊進行亮度修正，且進行基於亮度修正後之亮度資訊之檢查之情形，亦因無法進行僅檢測出不良品晶片之亮度臨限值之設定，故不能避免誤檢測。

另一方面，關於圖10所示之各晶片D(1，1)~D(6，7)，若自拍攝之圖像算出平均亮度值，且算出該平均亮度值之分散值，並基於該分散值進行檢查，則各晶片之分散值係如圖12所示。

圖12係顯示圖10所示之檢查對象圖像之一例的各晶片之亮度分散值之影像圖，圖12(a)係與圖10(a)對應者，圖12(b)係與圖10(b)對應者。

即，正常發光但包含劃痕等之異物之晶片D(4，2)~D(4，5)係可基於分散值，將該部分作為不良品檢測出。然而，關於發光不良之晶片D(3，4)、D(5，6)，無法進行基於分散值之良否判定，且無法檢測出發光不良之不良品。再者，攝像圖像較暗之情形時，關於包含劃痕等之異物之不良(即，圖12(a)之晶片D(4，3))，因分散值變小，故發生遺漏檢測。

因此，本發明之目的在於提供一種自動外觀檢查裝置，其係即使攝像亮度因每個檢查對象部位而異之情形時，亦不受檢查對象部位之攝像亮度之不同之影響，可對多種異常模式進行正確之良否判定。

為了解決以上問題，第1發明係一種自動外觀檢查裝置，其包含：攝像部，其拍攝設定於檢查對象物之檢查對象部位；檢查圖像取得部，其取得上述攝像部所拍攝之圖像作為檢查對象圖像；檢查圖像處理部，其對上述檢查對象圖像進行圖像處理；判定基準登錄部，其登錄對於上述檢查對象部位之判定基準；及良否判定部，其針對上述檢查對象部位進行良否判定；且檢查圖像處理部係具備：平均亮度算出部，其基於上述檢查對象圖像算出檢查對象部位之平均亮度值；亮度分散算出部，其基於上述檢查對象圖像算出檢查對象部位之亮度分散值；亮度CV算出部，其基於上述檢查對象圖像算出檢查對象部位之亮度CV值；亮度差分算出部，其算出上述檢查對象部位之平均亮度值與預先設定之基準亮度值之差分；及亮度修正部，其算出為使上述檢查對象部位之平均亮度值成為與上述基準亮度值相同而修正之修正平均亮度值；上述判定基準登錄部係具備：亮度臨限值登錄部，其將對上述修正平均亮度值進行良否判定之臨限值，作為亮度臨限值登錄；分散臨限值登錄部，其將對上述亮度分散值進行良否判定之臨限值，作為分散臨限值登錄；CV臨限值登錄部，其將對上述亮度CV值進行良否判定之臨限值，作為CV臨限值登錄；及檢查項目設定部；上述良否判定部係具備：亮度檢查部，其比較上述修正平均亮度值與上述亮度臨限值而進行良否判定；分散檢查部，其比較上述亮度分散值與上述分散臨限值而進行良否判定；及CV檢查部，其比較上述亮度CV值與上述CV臨限值而進行良否判定；上述檢查項目設定部係如下者：選擇設定使用上述亮度檢查部、上述分散檢查部及上述CV檢查部內之哪個檢查部進行檢查；且基於上述檢查項目設定部所選擇設定之檢查部中之良否判定結果，進行上述檢查對象部位之良否判定。第2發明係如第1發明，其特徵在於，於上述檢查項目設定部中，包含：組合判定邏輯登錄部，其設定是否使用上述亮度檢查部、上述分散檢查部及上述CV檢查部內任意2個以上之檢查部進行良否判定，且設定是否對設定之該複數個檢查部中之判定結果，採用邏輯積或邏輯和之檢查結果。

第3發明係一種自動外觀檢查裝置，其包含：攝像部，其拍攝設定於上述檢查對象物之檢查對象部位；檢查圖像取得部，其取得上述攝像部所拍攝之圖像作為檢查對象圖像；平均亮度算出部，其基於上述檢查對象圖像算出檢查對象部位之平均亮度值；亮度分散算出部，其基於上述檢查對象圖像算出檢查對象部位之亮度分散值；亮度差分算出部，其算出上述檢查對象部位之平均亮度值與預先設定之基準亮度值之差分；亮度修正部，其算出為使上述檢查對象部位之平均亮度值成為與上述基準亮度值相同而修正之修正平均亮度值；亮度臨限值登錄部，其將對上述修正平均亮度值進行良否判定之臨限值，作為亮度臨限值登錄；分散臨限值登錄部，其將對上述亮度分散值進行良否判定之臨限值，作為分散臨限值登錄；亮度檢查部，其比較上述修正平均亮度值與上述亮度臨限值而進行良否判定；及分散檢查部，其比較上述亮度分散值與上述分散臨限值而進行良否判定；且基於上述亮度檢查部及上述分散檢查部中之良否判定結果，進行檢查對象部位之良否判定。

第4發明係一種自動外觀檢查裝置，其包含：攝像部，其拍攝設定於檢查對象物之檢查對象部位；檢查圖像取得部，其取得上述攝像部所拍攝之圖像作為檢查對象圖像；平均亮度算出部，其基於上述檢查對象圖像算出檢查對象部位之平均亮度值；亮度CV算出部，其基於上述檢查對象圖像算出檢查對象部位之亮度CV值；亮度差分算出部，其算出檢查對象部位之平均亮度值與預先設定之基準亮度值之差分；亮度修正部，其算出為使上述檢查對象部位之平均亮度值成為與上述基準亮度值相同而修正之修正平均亮度值；亮度臨限值登錄部，其將對上述修正平均亮度值進行良否判定之臨限值，作為亮度臨限值登錄；CV臨限值登錄部，其將對上述亮度CV值進行良否判定之臨限值，作為CV臨限值登錄；亮度檢查部，其比較上述修正平均亮度值與上述亮度臨限值而進行良否判定；及CV檢查部，其比較上述亮度CV值與上述CV臨限值而進行良否判定；且基於上述亮度檢查部及上述CV檢查部中之良否判定結果，進行檢查對象部位之良否判定。

第5發明係一種自動外觀檢查裝置，其包含：攝像部，其拍攝設定於檢查對象物之檢查對象部位；檢查圖像取得部，其取得上述攝像部所拍攝之圖像作為檢查對象圖像；亮度CV算出部，其基於上述檢查對象圖像算出檢查對象部位之亮度CV值；及CV臨限值登錄部，其將對上述亮度CV值進行良否判定之臨限值，作為CV臨限值登錄；且比較上述亮度CV值與上述CV臨限值而進行檢查對象部位之良否判定。

第6發明係如技術方案1~5之任一項所記述之自動外觀檢查裝置，該自動外觀檢查裝置係如第1~第5發明，其特徵在於，於上述攝像部中，一次拍攝複數個檢查對象部位；且於上述檢查圖像取得部所取得之檢查對象圖像中包含有複數個檢查對象部位，包含切出圖像產生部，其對包含有該複數個檢查對象部位之檢查對象圖像切出且加工，並產生與各個檢查對象部位對應之切出檢查對象圖像；並對切出之各個檢查對象部位進行良否判定。

第7發明係如第6發明，其特徵在於，包含：判定結果記憶部，其記憶上述複數個檢查對象部位之判定結果；鄰接不良部位擷取部，其擷取上述判定結果記憶部所記憶之各檢查對象部位中，與判定為不良品之檢查對象部位鄰接而存在之部位；及判定變更處理部，其將上述判定結果記憶部所記憶之各檢查對象部位中判定為良品之檢查對象部位，且為被鄰接之不良品所包圍之範圍之內側之檢查對象部位變更為不良判定。

第8發明係如第7發明，其特徵在於，包含：檢查除外區域登錄部，其將上述檢查對象部位中自檢查對象除外之區域，設定為檢查除外區域；及遮罩處理部，其實施自上述檢查圖像取得部所取得之檢查對象圖像將檢查除外區域除外之遮罩處理，且作為遮罩處理之圖像資料輸出；且基於上述遮罩處理之圖像資料進行上述檢查對象部位之良否判定。

第9發明係如第1~第7發明，其特徵在於：包含激發光照明部，其對上述檢查對象部位照射用以使該檢查對象部位螢光發光之激發光；且上述攝像部係拍攝自上述檢查對象部位螢光發光之波長之光者；上述檢查圖像取得部，係取得自上述檢查對象部位螢光發光之波長之檢查對象圖像者；上述良否判定部係基於自上述檢查對象部位螢光發光之波長之檢查對象圖像，進行良否判定者。

即使於攝像亮度因每個檢查對象部位而異之情形時，亦不受檢查對象部位之攝像亮度不同之影響，而可針對多種異常模式進行正確之良否判定。

1‧‧‧自動外觀檢查裝置

1B‧‧‧自動外觀檢查裝置

2‧‧‧移動載台部

3‧‧‧激發光照明部

4‧‧‧攝像部

5‧‧‧檢查圖像取得部

5A‧‧‧遮罩處理部

5B‧‧‧檢查除外區域登錄部

6‧‧‧檢查圖像處理部

7‧‧‧判定基準登錄部

8‧‧‧良否判定部

9A‧‧‧圖像產生部

9D‧‧‧判定結果記憶部

9E‧‧‧鄰接不良部位擷取部

9F‧‧‧判定變更處理部

10‧‧‧裝置框架

20‧‧‧載置台(基板保持部)

21‧‧‧X軸滑動器(相對移動部)

22‧‧‧Y軸滑動器(相對移動部)

23‧‧‧θ軸台

31‧‧‧光源部

32‧‧‧激發光

33‧‧‧斜光照明

35‧‧‧透射照明

40‧‧‧鏡筒

41‧‧‧半反射鏡

42‧‧‧反射光

42a‧‧‧物鏡

43‧‧‧鏡筒

44a‧‧‧物鏡

45‧‧‧攝像相機

46‧‧‧受光元件

61‧‧‧平均亮度算出部

62‧‧‧亮度分散算出部

63‧‧‧亮度CV算出部

64‧‧‧亮度差分算出部

65‧‧‧亮度修正部

71‧‧‧亮度臨限值登錄部

72‧‧‧分散臨限值登錄部

73‧‧‧CV臨限值登錄部

75‧‧‧檢查項目設定部

81‧‧‧亮度檢查部

82‧‧‧分散檢查部

83‧‧‧CV檢查部

D‧‧‧檢查對象(晶片)

D1~D4‧‧‧晶片

D(1，1)~D(6，7)‧‧‧晶片

V‧‧‧攝像區域(視野)

Vs‧‧‧箭頭(相對移動方向)

W‧‧‧作為檢查對象之基板

X‧‧‧軸

Y‧‧‧軸

Z‧‧‧軸

圖1係顯示使本發明具體化之形態之一例之概念圖。

圖2係顯示使本發明具體化之形態之一例的拍攝情況之概念圖。

圖3(a)-(c)係顯示檢查對象圖像之一例之影像圖。

圖4(a)、(b)係以每個檢查對象部位顯示檢查對象圖像之一例之平均亮度值之影像圖。

圖5(a)、(b)係顯示針對檢查對象圖像之一例進行亮度修正處理後之像素值之影像圖。

圖6(a)、(b)係以每個檢查對象部位顯示檢查對象圖像之一例之亮度分散值之影像圖。

圖7(a)、(b)係以每個檢查對象部位顯示檢查對象圖像之一例之亮度CV值之影像圖。

圖8A係顯示使本發明具體化之形態之另一例之主要部分之概念圖。

圖8B係顯示使本發明具體化之形態之進而另一例之主要部分之概念圖。

圖9A係適於使本發明具體化之形態之進而另一例之檢查對象部位之影像圖。

圖9B係使用使本發明具體化之一例對圖9A進行良否判定之結果之對應圖。

圖9C係使用使本發明具體化之形態之進而另一例對圖9A進行良否判定之結果之對應圖。

圖10(a)-(c)係顯示檢查對象圖像之一例之影像圖。

圖11(a)、(b)係顯示檢查對象圖像之一例的各晶片之平均亮度值之影像圖。

圖12(a)、(b)係顯示檢查對象圖像之一例的各晶片之亮度分散值之影像圖。

關於用以實施本發明之形態，使用圖予以說明。

圖1係顯示使本發明具體化之形態之一例之概念圖，複合地記述有為了取得檢查對象部位之外觀圖像而使用之機器之立體圖、及基於取得之外觀圖像之檢查所必要之構成之方塊圖。於圖1中，將正交坐標系之3軸設為X、Y、Z，且將XY平面設為水平面，將Z方向設為鉛直方向。尤其，對Z方向將箭頭方向設為上，且將其反方向表示為下。

再者，作為檢查對象物，例示矩陣狀地排列有複數個LED晶片之基板W。當該基板W之檢查對象部位受到波長365nm或385nm等(所謂之紫外線)之光時，若為良品部位則發出特定亮度下之可視光線區域(例如，黃色或橙色等)之光(即，螢光發光)；若為不良部位則完全不螢光發光或發光亮度較低。因此，例示並說明拍攝檢查對象部位，且以所拍攝圖像之亮度之強弱判定該部位為良品還是不良品之形態。

使本發明具體化之自動外觀檢查裝置1構成為包含載置台20、移動載台部2、激發光照明部3、攝像部4、檢查圖像取得部5、遮罩處理部5A、檢查除外區域登錄部5B、檢查圖像處理部6、判定基準登錄部7、及良否判定部8。

載置台20係載置作為檢查對象之基板W者，沿XY方向形成平坦面。載置台20係於供載置作為檢查對象之基板之部分形成有槽或細孔。再者，該槽或細孔係經由開關閥與真空源或壓縮空氣源連接。

移動載台部2係使載置台20移動於XY平面之任意位置者。移動載台部2構成為包含X軸滑動器21、Y軸滑動器22。X軸滑動器21安裝於裝置框架10上，可沿X方向以特定速度移動，並靜止於任意位置。Y軸滑動器22安裝於X軸滑動器21上，可沿Y方向以特定速度移動，並靜止於任意位置。載置台20安裝於Y軸滑動器22上。因此，移動載台部2可使載置台20沿X方向與Y方向單獨或連動地以特定速度移動，並靜止於任意之位置。

激發光照明部3係朝基板W之檢查對象部位照射用以使該檢查對象部位螢光發光之激發光32者。

具體而言，激發光照明部3構成為包含安裝於鏡筒40之光源部31。光源部31係照射激發光32者，激發光32係由配置於鏡筒40之半反射鏡41反射，且通過物鏡44a而照射至基板W。此時，激發光32係均勻地照射於基板W上之包含檢查對象部位之攝像區域V整體。

更具體而言，光源部31係可使用所謂之UV-LED照明，意即具備複數個照射將波長365nm或波長385nm設為中心波長之光作為激發光32之發光二極體。再者，光源部31亦可為閃光發光之照明。該閃光發光之照明係以與移動載台部2之X軸滑動器21或Y軸滑動器22之移動聯合，以每個特定之饋間距反復發光之方式構成。

另，激發光照明部3可為如上述之同軸外延方式之光源部31以外之形態，又可為安裝於基板W之斜上方之斜光照明33、或配置於載置台20之透射照明35。

攝像部4係拍攝作為檢查對象之基板W上之檢查對象部位者。

具體而言，攝像部4構成為包含鏡筒40、半反射鏡41、物鏡44a、及攝像相機45。攝像相機45具備受光元件46，且以拍攝攝像區域V之方式構成。且，在照射於基板W之光32中，位於攝像區域V內之基板W上之檢查對象部位所反射之光42係通過物鏡42a、半反射鏡41、鏡筒43而照射於受光元件46。以攝像相機45拍攝之圖像，係輸出至檢查圖像取得部。

更具體而言，攝像相機45係同步於上述閃光照明之發光而進行拍攝，且與移動載台部2聯合以每個特定之饋間距輸出攝像圖像。此時，因閃光照明之發光時間極短，故即使為移動中所拍攝之圖像，亦以如靜止圖像之狀態被拍攝。

再者，於攝像部4中，為了選擇性拍攝自基板W上之檢查對象部位螢光發光之波長之光，而設置有螢光觀察濾波器。該螢光觀察濾波器係使激發光32之波長成分衰減，且使基板W上之檢查對象部位所螢光發光之波長之光透射者(所謂之帶通濾波器)。

檢查圖像取得部5係取得以攝像相機45之受光元件46拍攝之包含於基板W上之觀察區域V之圖案作為檢查對象圖像者。具體而言，檢查圖像取得部5係可藉由稱為所謂圖像處理裝置之機器及其執行程式而構成。

使本發明具體化之外觀檢查裝置1係因採用上述般之構成，故可使載置有作為檢查對象之基板W之載置台20以特定速度移動且連續拍攝，並取得與檢查對象圖案對應之外觀圖像。進而取得之外觀圖像係以下述方式進行良否判定。

另，為於本形態中進行螢光檢查，檢查圖像取得部5取得自基板W上之檢查對象部位螢光發光之波長之檢查對象圖像，且良否判定部8係基於自該檢查對象部位螢光發光之波長之檢查對象圖像進行良否判定。

另，在連續拍攝基板W上之圖案時，於實際之基板W上圖案化之晶片圖案之位置存在偏差，或於移動載台部2之移動速度上產生偏差。因此，即使期望每次拍攝相同之部位，有時亦以位置略微偏離之狀態取得。因此，以攝像部5拍攝之觀察區域V之範圍係預先設定為較可觀察實際檢查所必要之晶片圖案之範圍稍廣。

圖2係顯示使本發明具體化之形態之一例的拍攝之情況之概念圖。

於圖2中顯示有攝像相機45沿箭頭Vs所示之方向相對移動，且依序持續拍攝排列於基板W上之N個晶片內的第1個晶片D1~第4個晶片D4之情況。於圖2所示之時刻，攝像相機45正拍攝第3個晶片D3。再者，於此時，對透鏡等之光學零件雖省略圖示，但於受光元件46，投影有設定為較該晶片D3稍廣之觀察區域V之範圍。

於檢查圖像取得部5，亦可採用具備有將檢查圖像取得部5所取得之檢查對象圖像中、至少一部分之區域作為檢查對象圖案圖像特定出之檢查圖案特定部之構成。具體而言，該檢查圖案特定部係與檢查圖像取得部5相同使用稱為圖像處理裝置之機器而構成，且自檢查圖像取得部5所取得之圖像資料中擷取外觀檢查所必要之特定之檢查圖案。

若使用圖2進行說明，則該檢查圖案特定部係進行將觀察區域V整體之區域所含之與第3個晶片D3對應之區域作為檢查對象圖案圖像特定出之處理。該特定之處理係基於設置於各晶片之周邊之對準標記、或周邊圖案、內部圖案之相對位置進行，且以使後述處理中作為比較對象之圖案彼此之對應位置一致之方式進行。

遮罩處理部5A係為了於檢查圖像取得部5所取得之檢查對象圖像(即，取得圖像)內擷取需要檢查之部位，而對不必檢查之部位進行稱為遮罩處理之圖像處理者。檢查除外區域登錄部5B係將檢查對象圖像所含之檢查對象部位中，自檢查對象除外之區域設定為檢查除外區域者。

具體而言，於檢查對象部位包含有配線圖案等之非發光部之情形時，預先將該非發光部作為檢查除外區域設定於檢查除外區域登錄部5B，且以遮罩處理部5A進行遮罩處理。藉此，可對檢查對象部位內僅發光部之圖像，進行後述般之圖像處理及良否判定。

檢查圖像處理部6係對檢查圖像取得部5取得，且以遮罩處理部5A進行特定之圖像處理之圖像，進而進行特定之圖像處理者。於檢查圖像處理部6，設置有平均亮度算出部61、亮度分散算出部62、亮度CV算出部63、亮度差分算出部64、亮度修正部65。

具體而言，遮罩處理部5A或檢查圖像處理部6係可藉由稱為所謂圖像處理裝置之機器及其執行程式而構成。

平均亮度算出部61係基於檢查對象圖像算出檢查對象部位之平均亮度值者。此處所言之平均亮度值係將拍攝有檢查對象部位(即，作為檢查對象之各個晶片)之攝像圖像之各像素之亮度值進行平均者。

亮度分散算出部62係基於檢查對象圖像算出檢查對象部位之亮度分散值者。此處所言之亮度分散值係根據拍攝有檢查對象部位(即，作為檢查對象之各個晶片)之攝像圖像之各像素之亮度值算出之分散值。

亮度CV算出部63係基於檢查對象圖像算出檢查對象部位之亮度CV值者。此處所言之亮度CV值係根據拍攝有檢查對象部位(即，作為檢查對象之各個晶片)之攝像圖像之各像素之亮度值算出之變動計數。

亮度差分算出部64係算出檢查對象部位之平均亮度值與預先設定之基準亮度值之差分者。

亮度修正部65係算出為使檢查對象部位之平均亮度值成為與基準亮度值相同而修正之修正平均亮度值者。

判定基準登錄部7係登錄基於檢查圖像處理部6所算出之結果對檢查對象部位進行良否判定時之判定基準者。於判定基準登錄部7，設置有亮度臨限值登錄部71、分散臨限值登錄部72、CV臨限值登錄部73、及檢查項目設定部75。具體而言，判定基準登錄部7係可藉由稱為所謂圖像處理裝置之機器與其執行程式、及記憶體構成。

亮度臨限值登錄部71係將對修正平均亮度值進行良否判定之臨限值，作為亮度臨限值登錄者。

分散臨限值登錄部72係將對亮度分散值進行良否判定之臨限值，作為分散臨限值登錄者。

CV臨限值登錄部73係將對亮度CV值進行良否判定之臨限值，作為CV臨限值登錄者。

檢查項目設定部75係選擇設定使用下述之良否判定部8之亮度檢查部81、分散檢查部82、CV檢查部83內之哪個檢查部進行檢查者。

以該檢查項目設定部75選擇設定之檢查部亦可採用上述3個內的至少1個或2個。再者，亦可根據情形採用全部3個。

良否判定部8係基於檢查圖像處理部6所算出之結果與登錄至判定基準登錄部7之判定基準值，進行檢查對象部位之良否判定者。

於良否判定部8，設置有亮度檢查部81、分散檢查部82、CV檢查部83。具體而言，良否判定部8可藉由稱為所謂圖像處理裝置之機器與其執行程式構成。且，使用於檢查圖像取得部5、檢查圖像處理部6、判定基準登錄部7、良否判定部8之圖像處理裝置係可例示具有圖像處理功能之單元型之形態者、或將稱為圖像處理板之基板配置於電腦或工作站等而使用之形態者。

亮度檢查部81係比較修正平均亮度值與亮度臨限值而進行良否判定者。

分散檢查部82係比較亮度分散值與分散臨限值而進行良否判定者。

CV檢查部83係比較亮度CV值與CV臨限值而進行良否判定者。

且，於自動外觀檢查裝置1中，基於檢查項目設定部75所設定之檢查部中之良否判定結果而進行檢查對象部位之良否判定。

具體而言，檢查圖像取得部5所取得之攝像圖像係在藉由遮罩處理部5A轉換處理成僅選擇性取得發光部位之圖像後，如下所示，在以檢查處理圖像處理部6進行圖像處理後，以良否判定部8之各檢查部81、82、83進行檢查對象部位之良否判定。

<亮度檢查部>

藉由亮度檢查部81進行之檢查係按以下順序進行。

圖3係顯示檢查對象圖像之一例之影像圖，顯示有於1個視野內拍攝有檢查對象物即複數個晶片之情況。

圖3(a)係受檢查對象部位上之成膜之影響，拍攝為整體上攝像亮度較暗之圖像者。

圖3(b)係受檢查對象部位上之成膜之影響，拍攝為整體上攝像亮度較亮之圖像者。

圖3(c)係為了進行檢查對象部位之說明，用以特定出作為檢查對象物之各晶片D(1，1)~D(6，7)之部位之配置圖。

另，為便於說明，圖10(a)、(b)之各晶片D(1，1)~D(6，7)係相同者，且採用成膜厚度有所不同(即，攝像亮度不同)者。此處，各晶片D(1，1)~D(6，7)內，晶片D(3，4)、晶片D(5，6)係發光不良之不良品，晶片D(4，2)~晶片D(4，5)係含有劃痕等之異物之不良品，其他晶片為正常發光之良品。

此種攝像圖像係以檢查圖像處理部6之平均亮度算出部61進行處理，算出各晶片D(1，1)~D(6，7)之平均亮度值。

圖4係以每個檢查對象部位顯示圖3所示之檢查對象圖像之一例之平均亮度值之影像圖，圖4(a)係與圖3(a)對應者，圖4(b)係與圖3(b)對應者。

繼而，藉由亮度修正部65，對亮度不同之圖像進行修正處理。作為亮度修正之具體例，如圖5所示。

即，若預先登錄之基準圖像之平均亮度值為「110」，則對圖4(a)所示之圖像(全部晶片之平均亮度值為「91.7」)，將平均亮度值之差「18.3」作為偏移量進行加算。於是，成為圖5(a)所示之修正後之平均亮度值。另一方面，對圖5(b)所示之圖像(全部晶片之平均亮度值「128.3」)，將平均亮度值之差「18.3」作為偏移量進行減算。於是，成為圖5(a)所示之修正後之平均亮度值。

另，於上文中，顯示針對與基準圖像之差分藉由加算、減算進行偏移修正之順序，亦可為此外之修正。例如，亦可對圖4(a)(b)所示之各晶片之平均亮度值，進行將與基準圖像之平均亮度值之比例作為係數予以乘算、除算之修正處理。

於進行此種修正處理後，於亮度檢查部81中，比較圖5(a)(b)所示之各晶片之亮度修正後之平均亮度值、與預先登錄之亮度臨限值，對各晶片進行良否判定。更具體而言，預先將亮度臨限值設為「75」登錄至亮度臨限值登錄部71，且將亮度修正後之平均亮度值為「75」以下之晶片判定為不良品，並將此外之晶片判定為良品。

藉此，亮度檢查部81係可無關拍攝之圖像之攝像亮度之明暗，將晶片D(3，4)、晶片D(4，3)、晶片D(5，6)判定為發光不良之不良品，且將此外之晶片判定為良品。

即，亮度檢查部81係可以說適於檢測發光不良等，且於亮度檢查部81中，因進行亮度修正處理，故可防止對原本正常發光之良品進行誤判定，正確判定為良品。另，於多種異常模式混雜之情形時，因無法僅於亮度檢查部81中，設定統一臨限值且進行正確之良否判定，故較佳為與下述之分散檢查部82或CV檢查部83之併用。

<分散檢查部>

藉由分散檢查部82進行之檢查係按以下順序進行。

圖3所示之攝像圖像係以檢查圖像處理部6之亮度分散算出部62處理，針對各晶片D(1，1)~D(6，7)分別算出亮度分散值。

圖6係以每個檢查對象部位顯示圖3所示之檢查對象圖像之一例之亮度分散值之影像圖，圖6(a)係與圖3(a)對應者，圖6(b)係與圖3(b)對應者。

該情形時，晶片D(3，4)、晶片D(5，6)係引起發光不良，但因發光部整體之亮度值相同，故分散值較小。然而，由於係包含有劃痕等之異物之圖像，故晶片D(4，2)~晶片D(4，5)分散值較大。因此，將對亮度分散值之良否判定之臨限值「300」作為分散臨限值預先登錄至分散臨限值登錄部72。且，於分散檢查部82中，將分散臨限值「300」以上之晶片判定為不良品，且將其以外之晶片判定為良品。

藉此，分散檢查部82係無關拍攝之圖像之攝像亮度之明暗，可將晶片D(4，2)、晶片D(4，4)、晶片D(4，5)判定為包含劃痕或污垢等之異物之不良品，且將其以外之晶片判定為良品。即，分散檢查部82係可以說適於檢測劃痕或污垢等之異物引起之不良。

另，於異常模式混雜之情形時，存在僅以分散檢查部82難以設定統一之臨限值進行正確之良否判定之情形。因此，較佳為組合亮度檢查部81與分散檢查部82之良否判定結果，進行綜合之良否判定。即，基於亮度檢查部81與分散檢查部82中之判定結果，將由任一者之檢查部判定為不良之部位判定為不良品，或將由兩者之檢查部判定為良品之部位判定為良品。藉此，基於亮度檢查部81與分散檢查部82中之判定結果，可將晶片D(3，4)、晶片D(4，2)~晶片D(4，5)、晶片D(5，6)判定為不良品，且將其以外者判定為良品。

<CV檢查部>

藉由CV檢查部83進行之檢查係按以下順序進行。

如圖3所示之攝像圖像係以檢查圖像處理部6之亮度CV算出部63進行處理，且對各晶片D(1，1)~D(6，7)，分別算出亮度CV值。

圖7係以每個檢查對象部位顯示圖3所示之檢查對象圖像之一例之亮度分散值之影像圖，圖7(a)係與圖3(a)對應者，圖7(b)係與圖3(b)對應者。

該情形時，晶片D(3，4)、晶片D(5，6)係引起發光不良，因而與無發光不良之晶片相比，CV值為稍高之值。再者，由於係包含有劃痕或污垢等之異物之圖像，故晶片D(4，2)~晶片D(4，5)CV值為更高之值。因此，預先將對亮度CV值之良否判定之臨限值「0.25」作為CV臨限值登錄至CV臨限值登錄部。且，於CV檢查部83中，將CV臨限值「0.25」以上之晶片判定為不良品，且將其以外之晶片判定為良品。藉此，於異常模式混雜之情形時，CV檢查部83亦無關拍攝之圖像之攝像亮度之明暗，可將晶片D(3，4)、晶片D(4，2)~晶片D(4，6)、晶片D(5，6)判定為不良品，且將其以外之晶片判定為良品。

即，CV檢查部83係適於檢測存在於難以由分散檢查部82檢測出之低亮度圖像之劃痕或污垢等之異物所引起之不良，攝像亮度因每個檢查對象部位而異之情形時，亦可僅以CV檢查部83，不受檢查對象部位之攝像亮度不同之影響，即使多種異常模式混雜，亦可進行正確之良否判定。

另，於異常模式混雜之情形時，亦可如上所述僅以CV檢查部83設定統一之臨限值，進行檢查對象部位之良否判定。然而，僅以CV檢查部83，難以對判定為不良之部位為何種異常模式之異常進行分類。藉此，在欲對該判定為不良之部位為何種異常模式進行特定(即，異常模式之分類)之情形時，較佳為組合使用亮度檢查部81與CV檢查部83之良否判定結果。

該情形時，具體而言，預先將對亮度CV值之良否判定之臨限值「0.35」作為CV臨限值登錄至CV臨限值登錄部73。且，於CV檢查部83中，將CV臨限值「0.35」以上之晶片判定為不良品，並將其以外之晶片判定為良品。藉此，CV檢查部83係將包含劃痕或污垢等之異物之晶片D(4，2)~晶片D(4，5)判定為不良品，且將其以外之晶片判定為良品。另一方面，亮度檢查部81係將發光不良之晶片D(3，4)、D(5、6)判定為不良品，且將其以外者判定為良品。

即，使本申請案發明具體化之自動外觀檢查裝置1係可組合使用亮度檢查部81與CV檢查部83，因而攝像亮度因每個檢查對象部位而異之情形時，亦不受檢查對象部位之攝像亮度不同之影響，且即使多種異常模式混雜，亦可進行正確之良否判定。再者，亦可對檢查對象部位為發光不良引起者、還是包含劃痕或污垢等之異物者，進行具體異常模式分類。

另，使本申請案發明具體化之自動外觀檢查裝置1較佳為具備：組合判定邏輯登錄部，其係於檢查項目設定部75所選擇設定之檢查部為上述3個內任意2個以上之情形時，於檢查項目設定部75，選擇設定對各個檢查部中之判定結果，藉由邏輯運算式中所說之邏輯積(AND邏輯)或邏輯和(OR邏輯)之何者進行良否判定。即，若選擇AND邏輯，則選擇設定之各檢查部中之判定全部為良品判定時，判定為良品，且將其以外者判定為不良品。另一方面，若選擇OR邏輯，則只要選擇設定之各檢查部中之判定之任一者判定為良品，即判定為良品，且將其以外者判定為不良品。

具體而言，檢查項目設定部75係採用可於自動外觀檢查裝置1之操作畫面中，設定選擇檢查部81、82、83之何者、設定何種臨限值、以何種邏輯運算對其等進行良否判定之構成。使本申請案發明具體化之自動外觀檢查裝置1係藉由採用此種構成，進行組合判定，藉此即使為於檢查對象部位混雜多種異常模式之情形，亦可進行正確之良否判定。

另，於上述之自動外觀檢查裝置1中，移動載台部2並非使本發明具體化所必需之構成要件，只要為可一次拍攝檢查對象物(即，不必使基板W沿水平方向移動)之形態，即可不設。然而，於一片晶圓上排列有多數晶片，對各個晶片放大拍攝，一面依序拍攝其等一面進行檢查之形態中，較佳為設置於使本發明具體化之自動外觀檢查裝置 1。

又，上述之檢查圖案特定部亦非使本發明具體化所必需之構成要件。然而，於一片晶圓上排列有多數晶片，且一邊依序拍攝其等一邊進行檢查之形態中，為了可使檢查對象部位不自攝像視野脫離，較佳為具備於使本發明具體化之自動外觀檢查裝置1。

[其他形態]

另，藉由採用將上述之自動外觀檢查裝置1之檢查圖像處理部6、判定基準登錄部7、良否判定部8設為下述之構成之自動外觀檢查裝置，可使本申請案發明之其他形態具體化。

即，一種自動外觀檢查裝置，其係於檢查圖像處理部中具備平均亮度算出部61、亮度分散算出部62、亮度差分算出部64、及亮度修正部65；且於判定基準登錄部中具備亮度臨限值登錄部71、分散臨限值登錄部72、及檢查項目設定部75；於良否判定部8中具備亮度檢查部81、及分散檢查部82，並基於亮度檢查部81及分散檢查部82中之良否判定結果，進行檢查對象部位之良否判定。

若使用該形態之自動外觀檢查裝置，則藉由設定適當之亮度臨限值及分散臨限值，可一次判別發光不良與異物所引起之發光不良。而且，亦可判定異常模式(即，分類)。

[其他形態]

即，一種自動外觀檢查裝置，其係於檢查圖像處理部中具備平均亮度算出部61、亮度CV算出部63、亮度差分算出部64、及亮度修正部65，於判定基準登錄部中具備亮度臨限值登錄部71、CV臨限值登錄部73、及檢查項目設定部75，於良否判定部8中具備亮度檢查部 81、及CV檢查部83，並基於亮度檢查部81及CV檢查部83中之良否判定結果，進行檢查對象部位之良否判定。

若使用該形態之自動外觀檢查裝置，藉由設定適當之亮度臨限值及CV臨限值，可一次判別發光不良與異物引起之發光不良。且，亦可判定異常模式(即，分類)。且，因使用了CV臨限值，故與使用分散臨限值之情形相比，可設定之臨限值之寬度(即，可正確判定之範圍)擴大，而可防止誤檢測。

[其他形態]

即，一種自動外觀檢查裝置，其係於檢查圖像處理部中具備亮度CV算出部63，於判定基準登錄部中具備CV臨限值登錄部73，於良否判定部8中具備CV檢查部83，並基於CV檢查部83中之良否判定結果，進行檢查對象部位之良否判定。

若使用此種形態之自動外觀檢查裝置，只要設定適當之CV臨限值，即可無關發光不良或由異物引起之發光不良，而以一次處理進行良否判定。即，即使攝像亮度因每個檢查對象部位而異之情形時，亦可不受檢查對象部位之攝像亮度不同之影響，對多種異常模式進行正確之良否判定。

[其他形態]

另，於上述說明中，說明使用攝像部5之攝像相機45，拍攝於1視野內排列成6×7之陣列狀之42個(即複數個)晶片D(1，1)~D(6，7)，且對各晶片進行檢查之形態。如此，於1視野拍攝複數個檢查對象物之形態係因於單片基板耗費之檢查時間縮短，故可以說是較逐個拍攝各晶片進行檢查之形態更佳之形態。

圖8A係顯示使本發明具體化之形態之另一例之主要部分之概念圖，係顯示使用於檢查圖像取得部5與遮罩處理部5A間進行圖像產生之圖像產生部9A之情形的處理區塊之構成者。圖像產生部9A係分割處理檢查圖像取得部5所取得之圖像中所含之複數個檢查對象圖像，且作為個別之檢查對象圖像輸出者。檢查圖像處理部6係對圖像產生部9A所分割產生之各個晶片之圖像(即，分割處理後之檢查對象圖像)進行特定之圖像處理。

另，1個檢查對象部位為大面積，晶片個數較少之情形時，亦可採用於1視野拍攝1個晶片之形態。另一方面，1個晶片較1視野要廣之情形時，亦可將該晶片之檢查對象部位分割為複數個視野進行拍攝，採用對該分割圖像進行檢查之形態，或合成該分割圖像產生整體圖像並對該整體圖像進行檢查之形態。

[其他形態]

另，雖於本申請案之自動外觀檢查裝置之形態中，顯示具備遮罩處理部5A與檢查除外區域登錄部5B之構成，但並未限定於此形態。即，若攝像區域V中不存在成為良否判定之障礙或雜訊成分之非發光部位或過量發光之部位，則亦可採用如下之構成：不具備遮罩處理部5A或檢查除外區域登錄部5B，且如圖8A之虛線箭頭所示，直接或以圖像產生部9A處理檢查圖像取得部5所取得之攝像圖像，並以檢查處理圖像處理部6進行圖像處理。

然而，於攝像區域V包含有非發光部位之情形時，平均亮度值降低，分散值變大，CV值亦變大。再者，若檢查對象區域內之非發光部之面積比例以每個檢查部位或品種變動，則無法設定相同臨限值進行檢查等，難以對多種異常模式進行正確之良否判定。

另一方面，於攝像區域V包含有過量發光之部位之情形時，平均亮度值增大，且分散值變大等，成為正確之良否判定之障礙。

因此，此種情形時，以檢查圖像取得部5取得之攝像圖像係使用遮罩處理部5A對檢查區域之一部分進行遮罩處理，且轉換處理成僅選擇性取得良否判定所必要之部位之圖像後，進行良否判定之情形可以說是較佳之形態。

[其他形態]

於上述之自動外觀檢查裝置之形態中，顯示基於以良否判定部8之各檢查部81、82、83直接進行良否判定之結果，進行檢查對象部位之良否判定之形態。圖9A係適於使本發明具體化之形態之進而其他一例之檢查對象部位之影像圖，係例示複數個檢查對象晶片排列於1片基板W內之狀態者。於圖9中包含有良品晶片、附著有污垢之不良晶片、及附著有污垢之不良晶片所包圍之晶片。再者，附著有污垢之不良晶片係分別鄰接。且，若欲使用上述之自動外觀檢查裝置對此種晶片進行良否判定，則各晶片成為如圖9B所示之判定結果。

圖9B係使用使本發明具體化之一例進行良否判定之結果之對應圖，係令使用上述之自動外觀檢查裝置之情形之良否判定結果與圖9A之排列對應而顯示於矩陣上者。且，於圖9B中，顯示為「OK」之部位係判定為良品之晶片，顯示為「NG」之部分表示係判定為不良品之晶片。

然而，被鄰接之不良品包圍之範圍內側之晶片係存在即使外觀上被認為是良品，實際因成膜之影響或其他主要原因而為不良品之情形。因此，使本申請案發明具體化之自動外觀檢查裝置不限定於如上述之形態，亦可採用如下述之構成之自動外觀檢查裝置1B。即，自動外觀檢查裝置1B係採用於上述之自動外觀檢查裝置進而具備判定結果記憶部9D、鄰接不良部位擷取部9E、及判定變更處理部9F，且於對良否判定部8之判定結果滿足特定條件之情形時變更該判定結果之構成。

圖8B係顯示使本發明具體化之形態之其他一例之主要部分之概念圖，係顯示良否判定部8以後之處理區塊之構成者。

判定結果記憶部9D係記憶複數個檢查對象部位之判定結果者。判定結果記憶部9D係關於複數個檢查對象部位之各晶片，預先記憶良否判定部8所獲得之良否判定結果。

鄰接不良部位擷取部9E係擷取以判定結果記憶部9D記憶之各檢查對象部位中，判定為不良品之檢查對象部位鄰接而存在之部位者。

判定變更處理部9F係將以判定結果記憶部9D記憶之各檢查對象部位中，判定為良品之檢查對象部位，且被鄰接之不良品包圍之範圍之內側之檢查對象部位變更為不良判定者。

圖9C係使用使本發明具體化之形態之進而其他一例對圖9A進行良否判定之結果之對應圖，係顯示使用具備上述之判定結果記憶部9D、鄰接不良部位擷取部9E及判定變更處理部9F之自動外觀檢查裝置，進行良否判定之結果者。圖中之「OK」「NG」之表現係與圖9B相同，記述為「“NG”」之部位係表示雖於良否判定部8中判定為良品，但以判定變更處理部9F變更為不良判定之晶片。

因此，具備此種判定結果記憶部9D、鄰接不良部位擷取部9E、及判定變更處理部9F之自動外觀檢查裝置1B係可在判定為良品之晶片之周圍被判定為不良品之晶片包圍之情形時，如圖9C所示將已判定該良否之晶片變更判定為不良品，且作為不良品處理。因此，即使因成膜之影響或其他主要原因等，將不良品部位與良品部位作為同樣之攝像圖像取得之情形時，亦可變更判定，正確判定為不良。

[其他形態]

於上述說明中，作為自動外觀檢查裝置之具體形態，顯示具備激發光照明部3，且自激發光照明部3向檢查對象部位照射用以使該檢查對象部位螢光發光之激發光32，並具備拍攝自該檢查部位螢光發光之波長之光之攝像部4之、適用於所謂之螢光檢查之形態。若為此種形態，則關於具有螢光發光特性之檢查對象部位，即使攝像亮度因每個檢查對象部位而異之情形時，亦不受檢查對象部位之攝像亮度不同之影響，可對多種異常模式進行正確之良否判定。

然而，使本申請案發明具體化之自動外觀檢查裝置係未限定於此種形態，亦可應用於螢光檢查以外之形態。即，使本申請案發明具體化之自動外觀檢查裝置亦可採用如下之形態：取代激發光照明部3，具備具有LED或螢光燈、鹵素燈等之白色光源之照明部，且具備於攝像部不包含螢光過濾器而觀察自該照明光發出且自檢查對象物反射之相同波長區域之光之攝像部。

具體而言，照明部亦可為藉由單色LED、或具備帶通濾波器之白色光源構成照明部，拍攝與自該照明部照射之光相同波長之光，且基於與該等光之強弱(即，亮度變化)對應之圖像進行檢查之形態。

藉此，於半導體晶片等之製造步驟中，可於形成於基板上之電路圖案檢查等應用本發明。

[其他形態]

於上文中，使本申請案發明具體化之自動外觀檢查裝置係採用於良否判定部8中，分別具備各檢查部81、82、83之構成。再者，採用於檢查圖像處理部6中，具備平均亮度算出部61、亮度分散算出部62，於判定基準登錄部7中，具備亮度臨限值登錄部71、分散臨限值登錄部72、CV臨限值登錄部73之構成。且，顯示可設定使用何者之檢查部81、82、83進行檢查、或使用何種組合之構成。

然而，預先明確異常模式之情形時，存在不使用任一檢查部，而使用特定之檢查部之情形。作為使用於此種情形之自動外觀檢查裝置，可採用如下之構成：僅具備該檢查部81、82、83中所使用者，且於檢查圖像處理部6及判定基準登錄部7中，亦僅具備與該檢查部81、 82、83對應之各算出部61、62、63中所使用者及各臨限值登錄部71、72、73中所使用者。

1‧‧‧自動外觀檢查裝置

2‧‧‧移動載台部

3‧‧‧激發光照明部

4‧‧‧攝像部

5‧‧‧檢查圖像取得部

5A‧‧‧遮罩處理部

5B‧‧‧檢查除外區域登錄部

6‧‧‧檢查圖像處理部

7‧‧‧判定基準登錄部

8‧‧‧良否判定部

10‧‧‧裝置框架

20‧‧‧載置台

21‧‧‧X軸滑動器

22‧‧‧Y軸滑動器

23‧‧‧θ軸台

31‧‧‧光源部

32‧‧‧激發光

33‧‧‧斜光照明

35‧‧‧透射照明

40‧‧‧鏡筒

41‧‧‧半反射鏡

42‧‧‧反射光

44a‧‧‧物鏡

45‧‧‧攝像相機

46‧‧‧受光元件

V‧‧‧攝像區域(視野)

W‧‧‧作為檢查對象之基板

X‧‧‧軸

Y‧‧‧軸

Z‧‧‧軸

Claims

一種自動外觀檢查裝置，其包含：攝像部，其拍攝設定成檢查對象物之檢查對象部位；檢查圖像取得部，其取得上述攝像部所拍攝之圖像作為檢查對象圖像；檢查圖像處理部，其對上述檢查對象圖像進行圖像處理；判定基準登錄部，其登錄對於上述檢查對象部位之判定基準；及良否判定部，其對上述檢查對象部位進行良否判定；且檢查圖像處理部係包含：平均亮度算出部，其基於上述檢查對象圖像算出檢查對象部位之平均亮度值；亮度分散算出部，其基於上述檢查對象圖像算出檢查對象部位之亮度分散值；亮度CV算出部，其基於上述檢查對象圖像算出檢查對象部位之亮度CV值；亮度差分算出部，其算出上述檢查對象部位之平均亮度值與預先設定之基準亮度值之差分；及亮度修正部，其算出為使上述檢查對象部位之平均亮度值成為與上述基準亮度值相同而修正之修正平均亮度值；上述判定基準登錄部係包含：亮度臨限值登錄部，其將對上述修正平均亮度值進行良否判定之臨限值，作為亮度臨限值登錄；分散臨限值登錄部，其將對上述亮度分散值進行良否判定之臨限值，作為分散臨限值登錄； CV臨限值登錄部，其將對上述亮度CV值進行良否判定之臨限值，作為CV臨限值登錄；及檢查項目設定部；上述良否判定部係包含：亮度檢查部，其比較上述修正平均亮度值與上述亮度臨限值而進行良否判定；分散檢查部，其比較上述亮度分散值與上述分散臨限值而進行良否判定；及CV檢查部，其比較上述亮度CV值與上述CV臨限值而進行良否判定；上述檢查項目設定部係如下者：選擇設定使用上述亮度檢查部、上述分散檢查部及上述CV檢查部內之哪個檢查部進行檢查；且基於上述檢查項目設定部所選擇設定之檢查部中之良否判定結果，進行上述檢查對象部位之良否判定。
如請求項1之自動外觀檢查裝置，其中於上述檢查項目設定部中包含：組合判定邏輯登錄部，其設定是否使用上述亮度檢查部、上述分散檢查部及上述CV檢查部內任意2個以上之檢查部進行良否判定；且設定是否對所設定之該複數個檢查部中之判定結果，採用邏輯積或邏輯和之檢查結果。
一種自動外觀檢查裝置，其包含：攝像部，其拍攝設定成檢查對象物之檢查對象部位；檢查圖像取得部，其取得上述攝像部所拍攝之圖像作為檢查對象圖像；平均亮度算出部，其基於上述檢查對象圖像算出檢查對象部位之平均亮度值；亮度分散算出部，其基於上述檢查對象圖像算出檢查對象部位之亮度分散值；亮度差分算出部，其算出上述檢查對象部位之平均亮度值與預先設定之基準亮度值之差分；亮度修正部，其算出為使上述檢查對象部位之平均亮度值成為與上述基準亮度值相同而修正之修正平均亮度值；亮度臨限值登錄部，其將對上述修正平均亮度值進行良否判定之臨限值，作為亮度臨限值登錄；分散臨限值登錄部，其將對上述亮度分散值進行良否判定之臨限值，作為分散臨限值登錄；亮度檢查部，其比較上述修正平均亮度值與上述亮度臨限值進行良否判定；及分散檢查部，其比較上述亮度分散值與上述分散臨限值而進行良否判定；且基於上述亮度檢查部及上述分散檢查部中之良否判定結果，進行檢查對象部位之良否判定。
一種自動外觀檢查裝置，其包含：攝像部，其拍攝設定成檢查對象物之檢查對象部位；檢查圖像取得部，其取得上述攝像部所拍攝之圖像作為檢查對象圖像；平均亮度算出部，其基於上述檢查對象圖像算出檢查對象部位之平均亮度值；亮度CV算出部，其基於上述檢查對象圖像算出檢查對象部位之亮度CV值；亮度差分算出部，其算出檢查對象部位之平均亮度值與預先設定之基準亮度值之差分；亮度修正部，其算出為使上述檢查對象部位之平均亮度值成為與上述基準亮度值相同而修正之修正平均亮度值；亮度臨限值登錄部，其將對上述修正平均亮度值進行良否判定之臨限值，作為亮度臨限值登錄；CV臨限值登錄部，其將對上述亮度CV值之良否判定進行臨限值，作為CV臨限值登錄；亮度檢查部，其比較上述修正平均亮度值與上述亮度臨限值進行良否判定；及CV檢查部，其比較上述亮度CV值與上述CV臨限值進行良否判定；且基於上述亮度檢查部及上述CV檢查部中之良否判定結果，進行檢查對象部位之良否判定。
一種自動外觀檢查裝置，其包含：攝像部，其拍攝設定於檢查對象物之檢查對象部位；檢查圖像取得部，其取得上述攝像部所拍攝之圖像作為檢查對象圖像；亮度CV算出部，其基於上述檢查對象圖像算出檢查對象部位之亮度CV值；及CV臨限值登錄部，其將對上述亮度CV值進行良否判定之臨限值，作為CV臨限值登錄；且比較上述亮度CV值與上述CV臨限值，進行檢查對象部位之良否判定。
如請求項1至5中任一項之自動外觀檢查裝置，其中於上述攝像部中，一次拍攝複數個檢查對象部位；且於上述檢查圖像取得部所取得之檢查對象圖像中包含有複數個檢查對象部位，包含切出圖像產生部，其切出並加工包含有該複數個檢查對象部位之檢查對象圖像，並產生與各個檢查對象部位對應之切出檢查對象圖像；並對切出之各個檢查對象部位進行良否判定。
如請求項6之自動外觀檢查裝置，其中包含：判定結果記憶部，其記憶上述複數個檢查對象部位之判定結果；鄰接不良部位擷取部，其擷取上述判定結果記憶部所記憶之各檢查對象部位中，與判定為不良品之檢查對象部位鄰接而存在之部位；及判定變更處理部，其將上述判定結果記憶部所記憶之各檢查對象部位中判定為良品之檢查對象部位，且為被鄰接之不良品所包圍之範圍之內側之檢查對象部位變更為不良判定。
如請求項1至5中任一項之自動外觀檢查裝置，其中包含：檢查除外區域登錄部，其將上述檢查對象部位中自檢查對象除外之區域，設定為檢查除外區域；及遮罩處理部，其實施自上述檢查圖像取得部所取得之檢查對象圖像將檢查除外區域除外之遮罩處理，且作為遮罩處理之圖像資料而輸出；且基於上述遮罩處理之圖像資料，進行上述檢查對象部位之良否判定。
如請求項1至5中任一項之自動外觀檢查裝置，其中包含：激發光照明部，其對上述檢查對象部位照射用以使該檢查對象部位螢光發光之激發光；且上述攝像部係拍攝自上述檢查對象部位螢光發光之波長之光者；上述檢查圖像取得部，係取得自上述檢查對象部位螢光發光之波長之檢查對象圖像者；上述良否判定部係基於自上述檢查對象部位螢光發光之波長之檢查對象圖像，進行良否判定者。
如請求項6之自動外觀檢查裝置，其中包含：檢查除外區域登錄部，其將上述檢查對象部位中自檢查對象除外之區域，設定為檢查除外區域；及遮罩處理部，其實施自上述檢查圖像取得部所取得之檢查對象圖像將檢查除外區域除外之遮罩處理，且作為遮罩處理之圖像資料輸出；且基於上述遮罩處理之圖像資料，進行上述檢查對象部位之良否判定。
如請求項7之自動外觀檢查裝置，其中包含：檢查除外區域登錄部，其將上述檢查對象部位中自檢查對象除外之區域，設定為檢查除外區域；及遮罩處理部，其實施自上述檢查圖像取得部所取得之檢查對象圖像將檢查除外區域除外之遮罩處理，且作為遮罩處理之圖像資料輸出；且基於上述遮罩處理之圖像資料，進行上述檢查對象部位之良否判定。
如請求項6之自動外觀檢查裝置，其中包含：激發光照明部，其對上述檢查對象部位照射用以使該檢查對象部位螢光發光之激發光；且上述攝像部係拍攝自上述檢查對象部位螢光發光之波長之光者；上述檢查圖像取得部，係取得自上述檢查對象部位螢光發光之波長之檢查對象圖像者；上述良否判定部係基於自上述檢查對象部位螢光發光之波長之檢查對象圖像，進行良否判定者。
如請求項7之自動外觀檢查裝置，其中包含：激發光照明部，其對上述檢查對象部位照射用以使該檢查對象部位螢光發光之激發光；且上述攝像部係拍攝自上述檢查對象部位螢光發光之波長之光者；上述檢查圖像取得部，係取得自上述檢查對象部位螢光發光之波長之檢查對象圖像者；上述良否判定部係基於自上述檢查對象部位螢光發光之波長之檢查對象圖像，進行良否判定者。
如請求項6之自動外觀檢查裝置，其中包含：激發光照明部，其對上述檢查對象部位照射用以使該檢查對象部位螢光發光之激發光；且上述攝像部係拍攝自上述檢查對象部位螢光發光之波長之光者；上述檢查圖像取得部，係取得自上述檢查對象部位螢光發光之波長之檢查對象圖像者；上述良否判定部係基於自上述檢查對象部位螢光發光之波長之檢查對象圖像，進行良否判定者；且包含：檢查除外區域登錄部，其將上述檢查對象部位中自檢查對象除外之區域，設定為檢查除外區域；及遮罩處理部，其實施自上述檢查圖像取得部所取得之檢查對象圖像將檢查除外區域除外之遮罩處理，且作為遮罩處理之圖像資料輸出；且基於上述遮罩處理之圖像資料，進行上述檢查對象部位之良否判定。
如請求項7之自動外觀檢查裝置，其中包含：激發光照明部，其對上述檢查對象部位照射用以使該檢查對象部位螢光發光之激發光；且上述攝像部係拍攝自上述檢查對象部位螢光發光之波長之光者；上述檢查圖像取得部，係取得自上述檢查對象部位螢光發光之波長之檢查對象圖像者；上述良否判定部係基於自上述檢查對象部位螢光發光之波長之檢查對象圖像，進行良否判定者；且包含：檢查除外區域登錄部，其將上述檢查對象部位中自檢查對象除外之區域，設定為檢查除外區域；及遮罩處理部，其實施自上述檢查圖像取得部所取得之檢查對象圖像將檢查除外區域除外之遮罩處理，且作為遮罩處理之圖像資料輸出；且基於上述遮罩處理之圖像資料，進行上述檢查對象部位之良否判定。