KR101496993B1 - 디스플레이 패널 검사방법 - Google Patents

디스플레이 패널 검사방법 Download PDF

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Abstract

본 발명에서는 디스플레이 패널의 비전 검사에서 검출된 결함에 대해서 글래스층 표면의 부유성 이물질 또는 글래스층 표면의 흠집인지 여부와 함께 층간에 혼입된 이물질인지 여부를 분류할 수 있도록 하는 디스플레이 패널 검사방법이 개시된다. 본 발명은 동축 조명으로 디스플레이 패널의 동축 이미지를 촬영하고, 상기 동축 조명으로부터 5°내지 15°기울어진 준동축 조명으로 디스플레이 패널의 준동축 이미지를 촬영하는 이미지 획득단계와, 상기 동축 이미지에 촬영된 결함과 준동축 이미지에 촬영된 결함(defect)의 강도(intensity) 차이를 비교하는 비교단계와, 상기 동축 이미지와 준동축 이미지 모두에서 고강도(high intensity)로 검출된 결함에 대해서는 글래스층과 편광필름 사이에 혼입된 이물질로 분류하는 분류단계를 포함한다.

Description

디스플레이 패널 검사방법{inspection method for display panel}
본 발명은 디스플레이 패널 검사방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 디스플레이 패널의 비전 검사에서 검출된 결함에 대해서 글래스층 표면의 부유성 이물질 또는 글래스층 표면의 흠집인지 여부와 함께 층간에 혼입된 이물질인지 여부를 분류할 수 있도록 하는 디스플레이 패널 검사방법에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이(LCD, OLED, PDP 등)의 생산 현장에서는 생산된 디스플레이 패널을 작업자가 육안으로 검사하는 공정이 있는데, 디스플레이 분야의 기술발전으로 인하여 검사해야 할 패널의 사이즈가 점점 증대되고, 고 해상도로 변해 감에 따라 작업자에 의한 육안검사가 어려운 실정에 있다. 즉, 생산된 디스플레이 패널의 오류를 검출하는 과정에서 점등이 된 디스플레이 패널의 화면을 계속 보고 있으면 작업자의 눈이 피로하게 되어 생산성이 저하되고, 검사자의 개인차로 인해 불량 검출의 신뢰성이 떨어지는 문제점이 있다. 따라서 규격화된 수치를 이용하여 불량 검출에 대한 신뢰성을 높이는 동시에 생산 라인에서의 디스플레이 패널의 생산성을 증대하기 위해서는 비전(Vision)을 이용한 디스플레이 패널 검사가 필수적으로 요구된다.
이와 같은 디스플레이 패널의 검사는 광학계를 이용한 비전(Vision) 검사방법으로 진행하고 있으며, 검사 결과에 따라 불량품 또는 양품으로 분류된다.
보다 상세하게는 상기 검사 과정에서는 글래스층의 표면에 스크래치 및 흠집 등을 검사하고, 층간에 혼입된 이물질 등을 검사하여 불량으로 판단한다.
그러나, 종래의 검사 방법은 글래스층 표면에 먼지와 같은 부유성 이물질까지 검출하여 불량으로 처리하기 때문에 불량이 아닌 제품도 불량품으로 분류되어 신뢰성 있는 검사결과를 제공할 수 없다는 단점이 있다. 또한, 상기와 같이 글래스 표면에 먼지와 같은 부유성 이물질에 의해 불량으로 검출된 경우, 재검사를 통해 별도로 분류한 뒤 양품으로 처리해야 하는 번거로움의 문제가 있었다.
상기와 같은 종래 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 디스플레이 패널의 비전 검사에서 검출된 결함에 대해서 글래스층 표면의 부유성 이물질 또는 글래스층 표면의 흠집인지 여부와 함께 층간에 혼입된 이물질인지 여부를 분류할 수 있도록 하는 디스플레이 패널 검사방법을 제공한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 표면에 형성된 글래스층과, 상기 글래스층의 하부에 배치된 편광필름을 비롯한 복수의 층이 적층된 구조의 디스플레이 패널을 검사하기 위한 것으로, 동축 조명으로 디스플레이 패널의 동축 이미지를 촬영하고, 상기 동축 조명으로부터 5°내지 15°기울어진 준동축 조명으로 디스플레이 패널의 준동축 이미지를 촬영하는 이미지 획득단계와, 상기 동축 이미지에 촬영된 결함과 준동축 이미지에 촬영된 결함(defect)의 강도(intensity) 차이를 비교하는 비교단계와, 상기 동축 이미지와 준동축 이미지 모두에서 고강도(high intensity)로 검출된 결함에 대해서는 글래스층과 편광필름 사이에 혼입된 이물질로 분류하는 분류단계를 포함한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 디스플레이 패널의 비전 검사에서 검출된 결함에 대해서 글래스층 표면의 부유성 이물질 또는 글래스층 표면의 흠집인지 여부와 함께 층간에 혼입된 이물질인지 여부를 분류할 수 있어, 검사 신뢰도를 향상시킬 수 있다.
또한, 검사 후 글래스층 표면의 부유성 이물질에 의한 결함이 검출된 제품을 양품으로 분류하기 위한 추가 작업이 불필요하고, 서로 다른 색상의 복수 조명에서 반사된 이미지를 한번에 촬영하여 이미지 판독이 이루어져 검사시간을 현저히 감축시킬 수 있는 효과도 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 디스플레이 패널 검사방법의 순서도,
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 디스플레이 패널 검사방법을 구현하기 위한 검사장치의 개념도,
도 3은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 디스플레이 패널 검사방법의 순서도,
도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 디스플레이 패널 검사방법을 구현하기 위한 검사장치의 개념도,
도 5는 글래스층 하부의 층간 이물질에 대한 동축 이미지와 준동축 이미지를 비교한 사진,
도 6은 편광필름 하부의 층간 이물질에 대한 동축 이미지와 준동축 이미지를 비교한 사진,
도 7은 부유성 이물질과 표면 흠집에 대한 동축 이미지와 준동축 이미지와 낙사 이미지를 비교한 사진,
도 8은 부유성 이물질과 표면 흠집에 대한 동축 이미지와 낙사 이미지를 비교한 사진이다.
본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사방법은 디스플레이 패널의 비전 검사에서 검출된 결함에 대해서 글래스층 표면의 부유성 이물질 또는 글래스층 표면의 흠집인지 여부와 함께 층간에 혼입된 이물질인지 여부를 분류할 수 있는 것으로, 그 일 실시 예를 도 1 내지 도 2에 나타내 보였다.
본 발명은 표면에 형성된 글래스층(11)과, 상기 글래스층(11)의 하부에 배치된 편광필름(12)을 비롯한 복수의 층이 적층된 구조의 디스플레이 패널(10)을 검사하기 위한 것으로, 이미지획득단계(S100), 비교단계(S200), 분류단계(S300)를 포함한다.
이미지 획득단계(S100)에서는 동축 조명(110)으로 디스플레이 패널(10)의 동축 이미지(P1)를 촬영하고, 상기 동축 조명(110)으로부터 5°내지 15°기울어진 준동축 조명(120)으로 디스플레이 패널(10)의 준동축 이미지(P2)를 촬영한다.
상기 동축 조명(110)은 이미지 센서를 포함하는 이미지 획득 수단(200)과 동축상에 배치된 것으로, 상기 비전 검사가 이루어지는 디스플레이 패널(10)의 수직 상방에 배치될 수 있다. 준동축 조명(120)이 동축 조명(110)으로부터 5°이내로 기울어지거나 15°이상으로 기울어지게 배치되면, 동축 이미지(P1)와 준동축 이미지(P2)의 구분이 어렵고, 결함의 식별이 용이하지 않게 되기 때문에 준동축 조명(120)은 상기 동축 조명(110)으로부터 5°내지 15°기울어지게 배치된다.
상기 이미지 획득 수단(200)은 상기 동축 조명(110)에서 조사되고 디스플레이 패널(10)에서 반사된 동축 이미지(P1)과, 준동축 조명(120)에서 조사되고 디스플레이 패널(10)에서 반사된 준동축 이미지(P2)을 획득한다. 상기 이미지 획득 수단(200)은 하나로 구비될 수 있고, 동축 이미지(P1)와 준동축 이미지(P2)를 별도로 획득하도록 복수로 구비될 수 있다.
이미지 획득수단(200)이 하나로 구비될 경우, 상기 동축 조명(110)과 준동축 조명(120)은 각각 적색(RED), 녹색(GREEN), 청색(BLUE) 중 선택된 어느 하나의 색상의 조명을 조사하되, 서로 다른 색상을 조사하고, 이미지 획득수단(200)은 상기 동축 조명(110)과 준동축 조명(120)에서 조사되고 디스플레이 패널(10)에서 반사된 영상을 구분하여 촬영하는 RGB카메라로 구비될 수 있다.
상기와 같은 방식으로 동축 이미지(P1)와 준동축 이미지(P2)를 획득하면, 아래 표 1과 같은 결과가 나온다.
동축 이미지(P1) 준동축 이미지(P2)
층간 이물질(D1) High Intensity High Intensity
층간 이물질(D2) 미검출 High Intensity
부유성 이물질(D3) Low Intensity High Intensity
표면 흠집(D4) Low Intensity High Intensity

비교단계(S200)에서는 상기 동축 이미지(P1)에 촬영된 결함과 준동축 이미지에 촬영된 결함(defect)의 강도(intensity) 차이를 비교한다.
분류단계(S300)에서는 상기 동축 이미지(P1)와 준동축 이미지(P2) 모두에서 고강도(high intensity)로 검출된 결함에 대해서는 글래스층(11)과 편광필름(12) 사이에 혼입된 이물질(D1)로 분류한다. 도 5를 참조하면, 글래스층(11)과 편광필름(12) 사이에 혼입된 이물질(D1)이 동축 이미지(P1)와 준동축 이미지(P2)에서 모두 고강도(high intensity)로 검출됨을 확인할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 분류단계(S300)는, 상기 동축 이미지(P1)에서 검출되지 않고 준동축 이미지(P2)에서 고강도(high intensity)로 검출된 결함에 대해서는 편광필름(12) 하방의 층간에 혼입된 이물질(D2)로 분류한다. 도 6을 참조하면, 편광필름(12) 하방의 층간에 혼입된 이물질(D2)이 동축 이미지(P1)에서 검출되지 않고 준동축 이미지(P2)에서 고강도(high intensity)로 검출됨을 확인할 수 있다.
상기와 같은 결과에 따르면, 동축 이미지(P1)와 준동축 이미지(P2)에 의해 검출된 결함이 글래스층(11)과 편광필름(12) 사이에 혼입된 이물질(D1)과, 편광필름(12)의 하부에 혼입된 이물질(D2)인지에 대해 분류가 가능하다. 하지만, 글래스층 표면의 부유성 이물질(D3)과 흠집(D4)에 대해서는 구분이 어려워 정확한 검출이 이루어질 수 없는 문제가 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 디스플레이 패널 검사방법의 순서도이고, 도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 디스플레이 패널 검사방법을 구현하기 위한 검사장치의 개념도이다.
본 발명의 다른 실시 예에 따르면, 상기 이미지 획득단계(S100)는 상기 동축 조명(110)으로부터 75°내지 85°기울어진 낙사 조명(130)으로 디스플레이 패널(10)의 낙사 이미지(P3)를 촬영한다.
낙사 조명(130)이 동축 조명(110)으로부터 75°이내로 기울어지거나 85°이상으로 기울어지게 배치되면, 준동축 이미지(P2)와 낙사 이미지(P3)의 구분이 어렵고, 결함의 식별이 용이하지 않게 되기 때문에 낙사 조명(130)은 상기 동축 조명(110)으로부터 75°내지 85°기울어지게 배치된다.
이때, 상기 이미지 획득 수단(200)은 상기 동축 조명(110)에서 조사되고 디스플레이 패널(10)에서 반사된 동축 이미지(P1)과, 준동축 조명(120)에서 조사되고 디스플레이 패널(10)에서 반사된 준동축 이미지(P2)와 더불어 낙사 조명(130)에서 조사되고 디스플레이 패널(10)에서 반사된 낙사 이미지(P3)를 획득한다. 상기 이미지 획득 수단(200)은 하나로 구비될 수 있고, 동축 이미지(P1)와 준동축 이미지(P2)와 낙사 이미지(P3)를 별도로 획득하도록 복수로 구비될 수 있다.
이미지 획득수단(200)이 하나로 구비될 경우, 상기 동축 조명(110)과 준동축 조명(120)과 낙사조명(130)은 각각 적색(RED), 녹색(GREEN), 청색(BLUE) 중 선택된 어느 하나의 색상의 조명을 조사하되, 서로 다른 색상을 조사하고, 이미지 획득수단(200)은 상기 동축 조명(110)과 준동축 조명(120)과 낙사조명(130)에서 조사되고 디스플레이 패널(10)에서 반사된 영상을 구분하여 촬영하는 RGB카메라로 구비될 수 있다.
상기와 같은 방식으로 동축 이미지(P1)와 준동축 이미지(P2)와 낙사 이미지(P3)를 획득하면, 아래 표 2와 같은 결과가 나온다.
동축 이미지(P1) 준동축 이미지(P2) 낙사 이미지(P3)
부유성 이물질(D3) Low Intensity High Intensity High Intensity
표면 흠집(D4) Low Intensity High Intensity Low Intensity

본 발명의 다른 실시 예에 따르면, 상기 분류단계(S300)는, 상기 동축 이미지(P1)에서 저강도(low intensity)로 검출되고, 준동축 이미지(P2)와 낙사 이미지(P3)에서 고강도(high intensity)로 검출된 결함에 대해서는 부유성 이물질(D3)로 분류한다.
본 발명의 다른 실시 예에 따르면, 상기 분류단계(S300)는, 상기 동축 이미지(P1)와 낙사 이미지(P3) 모두에서 저강도(low intensity)로 검출되고, 준동축 이미지(P2)에서 고강도(high intensity)로 검출된 결함에 대해서는 표면 스크래치(D4)로 분류한다.
도 7 내지 도 8을 참조하면, 부유성 이물질(D3)은 동축 이미지(P1)에서 저강도(low intensity)로 검출되고, 준동축 이미지(P2)와 낙사 이미지(P3)에서 고강도(high intensity)로 검출되고, 표면 스크래치(D4)은 동축 이미지(P1)와 낙사 이미지(P3) 모두에서 저강도(low intensity)로 검출되고, 준동축 이미지(P2)에서 고강도(high intensity)로 검출됨을 확인할 수 있다.
상술한 바와 같이 구성된 디스플레이 패널 디스플레이 패널의 비전 검사에서 검출된 결함에 대해서 글래스층 표면의 부유성 이물질 또는 글래스층 표면의 흠집인지 여부와 함께 층간에 혼입된 이물질인지 여부를 분류할 수 있어, 검사 신뢰도를 향상될 수 있다. 아울러, 검사 후 글래스층 표면의 부유성 이물질에 의한 결함이 검출된 제품을 양품으로 분류하기 위한 추가 작업이 불필요하고, 서로 다른 색상의 복수 조명에서 반사된 이미지를 한번에 촬영하여 이미지 판독이 이루어져 검사시간을 현저히 감축시킬 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.
10 : 디스플레이 패널
110 : 동축 조명
120 : 준동축 조명
130 : 낙사조명

Claims (5)

  1. 표면에 형성된 글래스층과, 상기 글래스층의 하부에 배치된 편광필름을 비롯한 복수의 층이 적층된 구조의 디스플레이 패널을 검사하는 방법에 있어서,
    동축 조명으로 디스플레이 패널의 동축 이미지를 촬영하고, 상기 동축 조명으로부터 5°내지 15°기울어진 준동축 조명으로 디스플레이 패널의 준동축 이미지를 촬영하며, 상기 동축 조명으로부터 75°내지 85°기울어진 낙사 조명으로 디스플레이 패널의 낙사 이미지를 촬영하는 이미지 획득단계;
    상기 동축 이미지에 촬영된 결함과 준동축 이미지에 촬영된 결함과 낙사 이미지에 촬영된 결함의 강도(intensity) 차이를 비교하는 비교단계;
    상기 비교단계에서 동축 이미지와 준동축 이미지 모두에서 고강도(high intensity)로 검출된 결함에 대해서는 글래스층과 편광필름 사이에 혼입된 이물질로 분류하고, 상기 동축 이미지에서 검출되지 않고 준동축 이미지에서 고강도(high intensity)로 검출된 결함에 대해서는 편광필름 하방의 층간에 혼입된 이물질로 분류하며, 상기 동축 이미지에서 저강도(low intensity)로 검출되고, 준동축 이미지와 낙사 이미지에서 고강도(high intensity)로 검출된 결함에 대해서는 부유성 이물질로 분류하고, 상기 동축 이미지와 낙사 이미지 모두에서 저강도(low intensity)로 검출되고, 준동축 이미지에서 고강도(high intensity)로 검출된 결함에 대해서는 표면 스크래치로 분류하는 분류단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사방법.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190114072A (ko) * 2018-03-28 2019-10-10 삼성디스플레이 주식회사 광학식 검사 장치 및 광학식 검사 방법
KR20200076950A (ko) 2018-12-20 2020-06-30 (주)소닉스 디스플레이패널 검사장치 및 그 검사 방법
KR20200076947A (ko) 2018-12-20 2020-06-30 (주)소닉스 디스플레이패널 검사장치 및 그 검사 방법
KR20200089416A (ko) 2019-01-17 2020-07-27 주식회사 오디아이 디스플레이 패널의 커버 글래스 검사 시스템
KR20240013515A (ko) 2022-07-22 2024-01-30 주식회사 치우 요소수 주유기용 디스플레이 패널의 커버 글래스 검사 시스템

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09257642A (ja) * 1996-03-18 1997-10-03 Hitachi Electron Eng Co Ltd ガラス基板の欠陥種別判定方法
JP2000162141A (ja) * 1998-11-27 2000-06-16 Hitachi Ltd 欠陥検査装置および方法
KR20080106491A (ko) * 2007-06-03 2008-12-08 캠텍 리미티드 다중 조명 경로 시스템 및 결함 검출 방법
JP2012167975A (ja) * 2011-02-14 2012-09-06 Toray Advanced Film Co Ltd 欠陥検査方法および欠陥検査装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09257642A (ja) * 1996-03-18 1997-10-03 Hitachi Electron Eng Co Ltd ガラス基板の欠陥種別判定方法
JP2000162141A (ja) * 1998-11-27 2000-06-16 Hitachi Ltd 欠陥検査装置および方法
KR20080106491A (ko) * 2007-06-03 2008-12-08 캠텍 리미티드 다중 조명 경로 시스템 및 결함 검출 방법
JP2012167975A (ja) * 2011-02-14 2012-09-06 Toray Advanced Film Co Ltd 欠陥検査方法および欠陥検査装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190114072A (ko) * 2018-03-28 2019-10-10 삼성디스플레이 주식회사 광학식 검사 장치 및 광학식 검사 방법
KR102678467B1 (ko) * 2018-03-28 2024-06-27 삼성디스플레이 주식회사 광학식 검사 장치 및 광학식 검사 방법
KR20200076950A (ko) 2018-12-20 2020-06-30 (주)소닉스 디스플레이패널 검사장치 및 그 검사 방법
KR20200076947A (ko) 2018-12-20 2020-06-30 (주)소닉스 디스플레이패널 검사장치 및 그 검사 방법
KR20200089416A (ko) 2019-01-17 2020-07-27 주식회사 오디아이 디스플레이 패널의 커버 글래스 검사 시스템
KR20240013515A (ko) 2022-07-22 2024-01-30 주식회사 치우 요소수 주유기용 디스플레이 패널의 커버 글래스 검사 시스템

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