KR102678467B1 - 광학식 검사 장치 및 광학식 검사 방법 - Google Patents

광학식 검사 장치 및 광학식 검사 방법 Download PDF

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Abstract

광학식 검사 장치 및 검사 방법이 제공된다. 광학식 검사 장치는 제1 파장영역을 가지는 제1 광을 디스플레이 모듈에 조사하는 제1 광원부와, 제1 파장영역과 다른 제2 파장영역을 가지는 제2 광을 디스플레이 모듈에 조사하는 제2 광원부와, 제1 및 제2 파장영역과 다른 제3 파장영역을 가지는 제3 광을 디스플레이 모듈에 조사하는 제3 광원부와, 디스플레이 모듈에서 반사된 제1 광 내지 제3 광을 수광하여 검사용 영상을 반복하여 생성하는 카메라와, 카메라의 반복되는 각각의 촬영시 제1 광 내지 제3 광중 일부만 디스플레이 모듈에 조사되도록 제1 내지 제3 광원부를 제어하는 광원 제어부를 포함한다.

Description

광학식 검사 장치 및 광학식 검사 방법{OPTICAL INSPECTION DEVICE AND METHOD OF OPTICAL INSPECTION}
본 발명은 광학식 검사 장치 및 광학식 검사 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 전자 또는 기계 부품의 가공과 불량 유무를 판단하기 위하여 고도의 정밀성을 가진 측정 및 이상 유무 검사가 이루어져야 한다.
OLED 또는 LCD 등의 디스플레이 모듈에는 다양한 종류의 결함, 예를 들어 유리 표면의 입자 또는 유리의 스크래치 등이 존재하며, 이러한 다양한 종류의 결함에 대한 추가적 처리 공정에 있어서 다양한 방식이 존재하기 때문에, 결함을 검출하는 것과 더불어 결함을 분류하는 것 또한 중요한 가치가 있다.
디스플레이 모듈 검사 방법으로 널리 사용되는 것 중 하나가 광학을 이용한 방법이며, 이러한 광학을 이용한 검사 방법은 빛의 산란과 빛이 반사되어 나타나는 문양 등의 영상을 컴퓨터를 이용하여 분석함으로써, 디스플레이 모듈의 이상 유무를 판단하게 된다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 검사광들의 간섭으로 인한 과검 없이 디스플레이 모듈의 불량 여부를 검사하는 광학식 검사 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 검사광들의 간섭으로 인한 과검 없이 디스플레이 모듈의 불량 여부를 검사하는 광학식 검사 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 광학식 검사 장치는, 제1 파장영역을 가지는 제1 광을 디스플레이 모듈에 조사하는 제1 광원부와, 상기 제1파장영역과 다른 제2 파장영역을 가지는 제2 광을 상기 디스플레이 모듈에 조사하는 제2 광원부와, 상기 제1 및 제2 파장영역과 다른 제3 파장영역을 가지는 제3 광을 상기 디스플레이 모듈에 조사하는 제3 광원부와, 상기 디스플레이 모듈에서 반사된 상기 제1광 내지 제3 광을 수광하여 검사용 영상을 반복하여 생성하는 카메라와, 상기 카메라의 반복되는 각각의 촬영시 상기 제1 광 내지 제3 광 중 일부만 상기 디스플레이 모듈에 조사되도록 상기 제1 내지 제3 광원부를 제어하는 광원 제어부를 포함한다.
여기서, 상기 제1 내지 제3 광원부는, 상기 디스플레이 모듈에 수직한 기준축과 상기 제1 광경로간의 제1 각도와, 상기 기준축과 상기 제2 광경로간의 제2 각도와, 상기 기준축과 상기 제3 광경로간의 제3 각도는 서로 다르도록 배치된 상기 제1 내지 제3 광원부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 각도는 상기 제1 광원부가 동축 광원부가 되도록, 상기 제2 각도는 상기 제2 광원부가 준동축 광원부가 되도록, 상기 제3 각도는 상기 제3 광원부가 낙사 광원부가 되도록 할 수 있다.
또한, 상기 제1 파장영역은 적색의 파장영역에 해당하고, 상기 제2 파장영역은 녹색의 파장영역에 해당하고, 상기 제3 파장영역은 청색의 파장영역에 해당할 수 있다.
또한, 상기 광원 제어부는, 상기 카메라의 어느 한 시점의 촬영에서 상기 제1 광만 상기 디스플레이 모듈에 조사되도록, 다음 시점의 촬영에서 상기 제2 광만 상기 디스플레이 모듈에 조사되도록, 그 다음 시점의 촬영에서 상기 제3 광만 상기 디스플레이 모듈에 조사되도록 하며, 이러한 제1 내지 제3 광의 조사가 반복되도록 제1 내지 제3 광원부를 제어할 수 있다.
또한, 상기 제1 내지 제3 파장영역과 다른 제4 파장영역을 가지는 제4 광을 상기 디스플레이 모듈에 조사하는 제4 광원부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 카메라에 의해 생성된 상기 검사용 영상을 정합하고 상기 디스플레이 모듈의 불량 여부를 판단하는 영상처리부를 더 포함할 수 있다.
상기 다른 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 광학식 검사 방법은 카메라의 검사용 영상 촬영시 서로 다른 파장영역을 가진 제1 내지 제3 광중 일부가 상기 디스플레이 모듈에 조사되도록 제1 내지 제3 광원부를 제어하는 단계, 상기 디스플레이 모듈에 조사된 상기 제1 내지 제3 광을 이용하여, 상기 카메라에 의해 상기 검사용 영상을 반복적으로 획득하는 단계, 상기 검사용 영상에 기초하여 상기 디스플레이 모듈의 불량 여부를 판단하는 단계, 판단 결과를 출력하는 단계를 포함한다.
또한, 상기 제1 내지 제3 광원부의 제어시, 상기 카메라의 어느 한 시점의 촬영에서 상기 제1 광만 상기 디스플레이 모듈에 조사되도록, 다음 시점의 촬영에서 상기 제2 광만 상기 디스플레이 모듈에 조사되도록, 그 다음 시점의 촬영에서 상기 제3 광만 상기 디스플레이 모듈에 조사되도록 하며, 이러한 상기 제1 내지 제3 광의 조사가 반복되도록 제1 내지 제3 광원부가 제어되는 디스플레이 모듈의 광학식 검사 방법을 제공하는 것이다.
나아가, 상기 디스플레이 모듈의 불량 여부 판단시, 복수 개의 상기 검사용 영상을 정합하여 불량 여부를 판단할 수 있다.
또한, 정합되는 상기 검사용 영상은 상기 제1 광의 조사 중 촬영된 영상과, 상기 제2 광의 조사 중 촬영된 영상과, 상기 제3 광의 조사 중 촬영된 영상을 각각 적어도 하나 이상을 포함할 수 있다.
또한, 상기 디스플레이 모듈의 불량 여부 판단시, 정합된 상기 검사용 영상으로부터 불량의 종류를 판별할 수 있다.
또한, 상기 불량의 종류로부터 가성불량 및 진성불량 여부를 판별할 수 있다.
기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.
다양한 각도 및 파장을 가진 조사광을 이용하면서도 각각의 조사광 간의 간섭에 의한 과검 없이 디스플레이 모듈의 불량 여부를 판단할 수 있다.
또한, 불량의 종류 및 진성 또는 가성 불량 여부를 판별해 냄으로써, 이를 개선하는 데 구체적 자료로서 활용 가능하며, 디스플레이 모듈의 제조 수율을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학식 검사 장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 디스플레이 모듈 부분을 확대하여 도시한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 광원부 배치를 도시한 평면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 광원부 배치를 도시한 평면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 광원 제어부의 제어 방식의 타이밍도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 광원 제어부의 제어 방식의 타이밍도이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 광원 제어부의 제어 방식의 타이밍도이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 광원 제어부의 제어 방식의 타이밍도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 파장별 카메라의 인식 정도를 도시한 그래프이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학식 검사 방법에 대한 흐름도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 정보 처리부의 불량원인 및 진성 또는 가성 불량여부 판단에 대한 정리표이다.
도 12는 표면 이물이 발생한 디스플레이 모듈의 단면도이다.
도 13은 표면 눌림이 발생한 디스플레이 모듈의 단면도이다.
도 14는 접착층 기포가 발생한 디스플레이 모듈의 단면도이다.
도 15는 폴 이물이 발생한 디스플레이 모듈의 단면도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)"로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.
이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대해 설명한다.
본 발명의 실시예들에 따른 광학식 검사 장치의 검사 대상의 예로는 디스플레이 모듈을 들 수 있다. 디스플레이 모듈은 디스플레이 패널 및 디스플레이 패널을 수납하는 수납 부재를 포함한다. 광학식 검사 장치는 디스플레이 패널 뿐만 아니라 수납 부재의 불량 여부를 검사하는 데에 사용될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학식 검사 장치(100)의 사시도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 광학식 검사 장치(100)는 제1 광원부(111), 제2 광원부(112), 제3 광원부(113), 광원 제어부(130), 및 카메라(140)를 포함한다.
제1 광원부(111), 제2 광원부(112), 및 제3 광원부(113)는 디스플레이 모듈(160)에 검사광을 조사한다. 제1 내지 제3 광원부(111, 112, 113)는 각각 광원을 포함한다. 상기 광원으로, 백색광 또는 특정 파장영역대가 강조된 광을 조사할수 있는 광원이 적용 가능하다. 예를 들어, 엘이디(LED) 램프, 메탈 할라이드 램프, 레이저, 또는 공지의 기타 광원 등이 사용될 수 있다.
제1 광원부(111)의 검사광은 제1 파장영역을 갖는 제1 광(421)이고, 제2 광원부(112)의 검사광은 제2 파장영역을 갖는 제2 광(422)이고, 제3 광원부(113)의 검사광은 제3 파장영역을 갖는 제3 광(423)이다. 상기 제1 파장영역, 상기 제2 파장영역, 상기 제3 파장영역은 서로 상이한 중심 파장을 갖는다. 상기 제1 내지 제3 파장영역은 모두 가시광 범위 내의 파장을 가질 수 있다. 구체적으로, 상기 제1 파장영역은 적색 파장영역이고, 상기 제2 파장영역은 녹색 파장영역이고, 상기 제3 파장영역은 청색 파장영역일 수 있다. 상기 제1 내지 제3 파장영역의 중심 파장은 각각 약 656nm, 약 555nm, 약 454nm일 수 있지만, 이에 제한되지 않는다.
제1 내지 제3 광원부(111, 112, 113)는 검사 대상이 되는 디스플레이 모듈(160)과 이격되어 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 내지 제3 광원부(111, 112, 113)는 모두 디스플레이 모듈(160)의 일측, 예컨대 상부나 하부에 배치될 수 있다. 다른 예로, 제1 내지 제3 광원부(111, 112, 113) 중 적어도 하나는 디스플레이 모듈(160)의 상부에 배치되고, 적어도 다른 하나는 디스플레이 모듈(160)의 하부에 배치될 수도 있다.
제1 내지 제3 광원부(111, 112, 113)는 디스플레이 모듈(160)에 대하여 각각 상이한 각도 및 위치에 배치될 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 후술하기로 한다.
본 실시예에서는 광학식 검사 장치(100)가 3개의 광원부를 포함하는 경우를 예시하지만, 제4 광원부를 더 포함할 수 있고, 더 많은 광원부를 추가로 포함할 수도 있음은 물론이다.
광원 제어부(130)는 제1 내지 제3 광원부(111, 112, 113)의 조사 타이밍을 제어한다. 예를 들어, 광원 제어부(130)는 제1 시점에서는 제1 광원부(111)만 제1 광(421)을 조사하도록 하고, 그에 연속하는 제2 시점에서는 제2 광원부(112)만 제2 광(422)을 조사하도록 하고, 그에 연속하는 제3 시점에서는 제3 광원부(113)만 제3 광(423)을 조사하도록 할 수 있다. 이처럼, 순차적으로 서로 다른 광들을 선택적으로 조사하면, 서로 다른 빛의 간섭에 따른 영상 왜곡 현상을 감소시킬 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 후술하기로 한다.
카메라(140)는 디스플레이 모듈(160)의 일측에 배치되고, 제1 내지 제3 광원부(111, 112, 113)로부터 조사되어 디스플레이 모듈(160)에 반사된 빛을 수광하여, 검사용 영상을 반복적으로 생성한다.
몇몇 실시예에서, 카메라(140)에서 생성된 검사용 영상은 정보 처리부(150)로 전달될 수 있다. 정보 처리부(150)는 카메라(140)로부터 입력받은 검사용 영상을 저장되어 있는 기준 영상과 비교 분석하여 디스플레이 모듈(160)의 결함 여부를 분석한다.
다른 몇몇 실시예에서, 카메라(140)로 촬영된 검사용 영상은 디스플레이부(미도시)에 전달될 수 있다. 상기 디스플레이부(미도시)는 촬영된 영상을 디스플레이하고, 검사자가 디스플레이된 검사용 영상을 관찰하여 디스플레이 모듈(160)의 결함 여부를 판정할 수 있다.
상술한, 정보 처리부(150) 및/또는 상기 디스플레이부(미도시)는 광학식 검사 장치(100)에 포함될 수도 있지만, 별도의 장치로 제공될 수도 있다.
카메라(140)는 공지의 이미지 촬영 수단이 사용될 수 있다. 예를 들어, 있어서 라인(Line)카메라, 티-디-아이(TDI: Time Delay Integration) 카메라, 씨모스(CMOS) 카메라를 사용할 수 있다.
한편, 카메라(140)는 특정한 파장 영역대의 광을 인식하고, 그 이외의 파장 영역대의 광은 인식하지 않도록 제어될 수 있다. 이러한 제어는 광원 제어부(130)에서 수행할 수 있으나, 별도의 독립된 제어 모듈에 의하여 제어될 수도 있다.
광학식 검사 장치(100)는 디스플레이 모듈(160)이 탑재되어 이동하는 컨베이어 벨트(180)를 더 포함할 수 있다. 컨베이어 벨트(180)는 디스플레이 모듈(160)을 그 상부에 탑재하고 이동시키며, 검사가 진행되는 동안 디스플레이 모듈(160)을 수평상태로 유지시킬 수 있다. 이를 위하여 컨베이어 벨트(180)는 디스플레이 모듈(160)을 수평상태로 유지시키고 정렬시키는 정렬수단을 더 포함할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학식 검사 장치의 디스플레이 모듈(160) 부분을 확대하여 도시한 단면도이다.
도 2를 참조하면, 제1 내지 제3 광원부(111, 112, 113)는 각각 디스플레이 모듈(160)에 대하여 상이한 각도로 배치될 수 있다.
구체적으로, 검사 대상물인 디스플레이 모듈(160)의 표면에 수평한 직선인 기준축(171)과 제1 내지 제3 광경로(121, 122, 123)간의 각도인 제1 내지 제3 각도(191, 192, 193)는 서로 상이한 값을 가질 수 있다. 여기서, 제1 내지 제3 광경로(121, 122, 123)는 제1 내지 제3 광원부(111, 112, 113)로부터 발광된 빛의 주된 광경로를 의미하며, 도면에서 제1 내지 제3 광원부(111, 112, 113)와 디스플레이 모듈(160)간의 최단 거리를 연결하는 직선으로 표시된다. 다만, 광원의 종류에 따라 제1 내지 제3 광원부(111, 112, 113)로부터 나온 빛들 중 적어도 일부는 제1 내지 제3 광경로(121, 122, 123) 이외의 경로상으로 조사될 수도 있음은 물론이다.
제1 내지 제3 각도(191, 192, 193)가 서로 다른 값을 가질 수 있도록 제1 내지 제3 광원부(111, 112, 113)가 배치되는 경우, 다양한 조건에서 불량을 검사할 수 있게 되어 검사할 수 있는 불량의 종류가 다양해지고 불량 종류의 판별이 용이해진다.
더욱 구체적으로 설명하면, 제1 각도(191)는 제1 광원부(111)가 동축 광원부가 되도록 하는 값을 갖고, 제2 각도(192)는 제2 광원부(112)가 준동축 광원부가 되도록 하는 값을 갖고, 제3 각도(193)는 제3 광원부(113)가 낙사 광원부가 되도록 하는 값을 가질 수 있다. 설명의 편의를 위해 수직축(172)이라 명명되는 임의의 축을 도입하기로 한다. 수직축(172)은 디스플레이 모듈(160) 표면의 중심점을 지나며, 기준축(171)에 수직하도록 위치한 축으로 정의된다. 여기서 상기 동축 광원부는 수직축(172)과 광원부로부터 조사되는 광의 광경로가 동일 축상에 위치하도록 배치되는 광원부를 의미하고, 상기 준동축 광원부는 광경로가 기준축(171)과 수직축(172) 사이에서 수직축(172)에 가깝도록 하는 광원부를 의미하며, 상기 낙사 광원부는 광경로가 기준축(171)과 수직축(172) 사이에서 기준축(171)에 가깝도록 하는 광원부를 의미한다.
예를 들어, 제1 광원부(111)가 상기 동축 광원부인 경우 제1 각도(191)는 90°의 값을 갖도록 제1 광원부(111)를 배치할 수 있고, 제2 광원부(112)가 준동축 광원부인 경우 제2 각도(192)는 45°이상 90°미만의 값을 갖도록 제2 광원부(112)를 배치할 수 있으며, 제3 광원부(113)가 낙사 광원부인 경우 제3 각도(193)는 0°이상 45° 미만의 값을 갖도록 제3 광원부(113)를 배치할 수 있다.
더욱 구체적으로, 제1 각도(191)는 90°이고, 제2 각도(192)는 60°이상 85°이하의 값을 갖도록, 제3 각도(193)는 10°의 값을 갖도록 제1 내지 제3 광원부(111, 112, 113)를 배치함이 바람직할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 광원부 배치를 도시한 평면도이고, 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 광원부 배치를 도시한 평면도이다.
도 3 및 도 4는 제1 내지 제3 광원부(111, 112, 113)가 광학식 검사 장치(100)를 상부에서 하부 방향으로 내려다보았을 때, 다양하게 배치될 수 있음을 예시적으로 보여준다.
예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 광원부(111)는 제1 광원부(111)의 중심과 디스플레이 모듈(160)의 중심이 일치하도록 배치되며, 제2 광원부(112) 및 제3 광원부(113)는 제1 내지 제3 광원부(111, 112, 113)의 중심이 하나의 직선상에 위치하도록 배치될 수 있다.
다른 예로, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 광원부(111)는 제1 광원부(111)의 중심과 디스플레이 모듈(160)의 중심이 일치하도록 배치되며, 제2 광원부(112) 및 제3 광원부(113)는 제1 내지 제3 광원부(111, 112, 113)의 중심이 하나의 직선상에 위치할 수 없도록 배치될 수 있다.
또한, 도 3 및 도 4에 도시된 배치 이외의 다양한 방법으로 제1 내지 제3 광원부(111, 112, 113)가 배치될 수 있음은 물론이다.
제1 내지 제3 광원부(111, 112, 113)으로부터 방출되는 빛들의 조사 타이밍 및 카메라(140)의 촬영 타이밍은 광원 제어부에 제어될 수 있다. 광원 제어부(130)는 제1 내지 제3 광원부(111, 112, 113)와 연결되어 있으며, 카메라(140)와 연결되어 카메라(140)를 제어할 수도 있다. 광원 제어부의 제어 방식에 관한 더욱 구체적인 설명을 위해 도 5가 참조된다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 광원 제어부의 제어 방식의 타이밍도이다.
도 5내지 도 8에서, 카메라 노출여부에 대한 하이 레벨 상태는 광에 노출되는 상태를, 로우 레벨 상태는 광에 노출되지 않는 상태를 의미하고, 제 1내지 제3 광원부(111, 112, 113)의 하이 레벨 상태는 작동하는 상태를, 로우 레벨 상태는 비작동 상태를 의미한다.
도 5를 참조하면, 광원 제어부(130) 내에는 일정한 주기를 가지는 제어 신호가 발생된다. 상기 제어 신호는 로우 레벨에서 하이 레벨로 변하고 다시 하이 레벨에서 로우 레벨로 변하는 과정을 반복한다. 상기 제어 신호가 로우 레벨에서 하이 레벨로 변하는 시점에 카메라(140)는 상기 제1 파장영역을 인식할 수 있도록 조정되며, 일정 시간동안 광에 노출된다. 이 때, 제1 광원부(111)만 작동하여 상기 제1 파장영역을 가진 제1 광(421)을 디스플레이 모듈(160)로 조사하며, 제2 및 제3 광원부(112, 113)는 비작동 상태로 머물러 있는다. 카메라(140)의 광 노출이 끝나면, 카메라(140)는 검사용 영상을 생성하여 이를 정보 처리부(150)로 전송한다. 하이 레벨로 변경된 제어 신호가 다시 로우 레벨로 변경되고 두번째로 로우 레벨에서 하이 레벨로 변경되는 시점에 카메라(140)는 상기 제2 파장영역을 인식할 수 있도록 조정되며, 다시 일정 시간동안 광에 노출된다. 이 때, 제2 광원부(112)만 작동하여 상기 제2 파장영역을 가진 제2 광(422)을 디스플레이 모듈(160)로 조사하며, 제1 및 제3 광원부(113)는 비작동 상태로 머물러 있는다. 카메라(140)의 광 노출이 끝나면, 카메라(140)는 검사용 영상을 생성하여 이를 정보 처리부(150)로 전송한다. 다시 하이 레벨로 변경된 제어 신호가 로우 레벨로 변경되고 세번째로 로우 레벨에서 하이 레벨로 변경되는 시점에 카메라(140)는 상기 제3 파장영역을 인식할 수 있도록 조정되며, 다시 일정 시간동안 광에 노출된다. 이 때, 제3 광원부(113)만 작동하여 상기 제3 파장영역을 가진 제3 광(423)을 디스플레이 모듈(160)로 조사하며, 제1 및 제2 광원부(112)는 비작동 상태로 머물러 있는다. 카메라(140)의 광 노출이 끝나면 검사용, 카메라(140)는 검사용 영상을 생성하여 이를 정보 처리부(150)로 전송한다. 이러한 과정이 하나의 싸이클(210)이 되어 여러 번의 싸이클(210)이 반복되며 복수의 검사용 영상이 생성된다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 광원 제어부(130)의 제어 방식의 타이밍도이다. 광원 제어부(130) 내에는 일정한 주기를 가지는 제어 신호가 발생된다. 상기 제어 신호는 로우 레벨에서 하이 레벨로 변하고 다시 하이 레벨에서 로우 레벨로 변하는 과정을 반복한다. 다만 상술한 실시예와는 달리, 본 실시예에서는 제어 신호가 로우 레벨에서 하이 레벨로 변할 때 뿐만 아니라 제어 신호가 하이 레벨에서 로우 레벨로 변할 때도 제1 내지 제3 광원부(111, 112, 113) 및 카메라(140)가 제어될 수 있다.
구체적으로, 상기 제어 신호가 로우에서 하이 레벨로 변하는 시점에 카메라(140)는 상기 제1 파장영역을 인식 할 수 있도록 조정되며, 일정 시간동안 광에 노출된다. 이 때, 제1 광원부(111)만 작동하여 상기 제1 파장영역을 가진 제1 광(421)을 디스플레이 모듈(160)로 조사하며, 제2 및 제3 광원부(113)는 비작동 상태로 머물러 있는다. 카메라(140)의 광 노출이 끝나면, 카메라(140)는 검사용 영상을 생성하여 이를 정보 처리부(150)로 전송한다. 이후 하이 레벨에 머룰러 있던 제어 신호가 하이 레벨에서 로우 레벨로 변경되는 시점에 카메라(140)는 상기 제2 파장영역을 인식할 수 있도록 조정되며, 다시 일정 시간동안 광에 노출된다. 이 때, 제2 광원부(112)만 작동하여 상기 제2 파장영역을 가진 제2 광(422)을 디스플레이 모듈(160)로 조사하며, 제1 및 제3 광원부(113)는 비작동 상태로 머물러 있는다. 카메라(140)의 광 노출이 끝나면, 카메라(140)는 검사용 영상을 생성하여 이를 정보 처리부(150)로 전송한다. 이후 로우 레벨에 머물러 있던 제어 신호가 다시 로우 레벨에서 하이 레벨로 변경되는 시점에 카메라(140)는 상기 제3 파장영역을 인식할 수 있도록 조정되며, 다시 일정 시간동안 광에 노출된다. 이 때, 제3 광원부(113)만 작동하여 상기 제3 파장영역을 가진 제3 광(423)을 디스플레이 모듈(160)로 조사하며, 제1 및 제2 광원부(112)는 비작동 상태로 머물러 있는다. 카메라(140)의 광 노출이 끝나면 검사용, 카메라(140)는 검사용 영상을 생성하여 이를 정보 처리부(150)로 전송한다. 이러한 과정이 하나의 싸이클(210)이 되어 여러 번의 싸이클(210)이 반복되며 복수의 검사용 영상이 생성된다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 광원 제어부(130)의 제어 방식의 타이밍도이다. 광원 제어부(130) 내에는 일정한 주기를 가지는 제어 신호가 발생된다. 상기 제어 신호는 로우 레벨에서 하이 레벨로 변하고 다시 하이 레벨에서 로우 레벨로 변하는 과정을 반복한다. 다만 상술한 실시예들과는 달리, 본 실시예에서는 카메라(140)의 노출 시간이 조정될 수 있다.
구체적으로, 상기 제어 신호가 로우에서 하이 레벨로 변하는 시점에 제1 광원부(111)만 작동하여 상기 제1 파장영역을 가진 제1 광(421)을 디스플레이 모듈(160)로 조사하며, 제2 및 제3 광원부(113)는 비작동 상태로 머물러 있는다. 이후 상기 제어 신호가 하이에서 로우 레벨로 변하는 시점에 카메라(140)는 상기 제1 파장영역을 인식할 수 있도록 조정되며, 일정 시간동안 광에 노출된다. 카메라(140)의 광 노출이 끝나면, 카메라(140)는 검사용 영상을 생성하여 이를 정보 처리부(150)로 전송한다. 이후 다시 제어 신호가 로우 레벨에서 하이 레벨로 변경되는 시점에 제2 광원부(112)만 작동하여 상기 제2 파장영역을 가진 제2 광(422)을 디스플레이 모듈(160)로 조사하며, 제1 및 제3 광원부(113)는 비작동 상태로 머물러 있는다. 이후 상기 제어 신호가 하이에서 로우 레벨로 변하는 시점에 카메라(140)는 상기 제2 파장영역을 인식할 수 있도록 조정되며, 일정 시간동안 광에 노출된다. 카메라(140)의 광 노출이 끝나면, 카메라(140)는 검사용 영상을 생성하여 이를 정보 처리부(150)로 전송한다. 이후 다시 제어 신호가 로우 레벨에서 하이 레벨로 변경되는 시점에 제3 광원부(113)만 작동하여 상기 제3 파장영역을 가진 제3 광(423)을 디스플레이 모듈(160)로 조사하며, 제1 및 제2 광원부(112)는 비작동 상태로 머물러 있는다. 이후 상기 제어 신호가 하이에서 로우 레벨로 변하는 시점에 카메라(140)는 상기 제3 파장영역을 인식할 수 있도록 조정되며, 일정 시간동안 광에 노출된다. 카메라(140)의 광 노출이 끝나면, 카메라(140)는 검사용 영상을 생성하여 이를 정보 처리부(150)로 전송한다. 이러한 과정이 하나의 싸이클(210)이 되어 여러 번의 싸이클(210)이 반복되며 복수의 검사용 영상이 생성된다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 광원 제어부(130)의 제어 방식의 타이밍도이다. 광원 제어부(130) 내에는 일정한 주기를 가지는 제어 신호가 발생된다. 상기 제어 신호는 로우 레벨에서 하이 레벨로 변하고 다시 하이 레벨에서 로우 레벨로 변하는 과정을 반복한다. 다만 상술한 실시예들과는 달리, 본 실시예에서는 하나 이상의 광원부가 동시에 디스플레이 모듈(160)에 광을 조사할 수 있다.
구체적으로, 상기 제어 신호가 로우에서 하이 레벨로 변하는 시점에 카메라(140)는 제1 및 제3 파장영역을 인식할 수 있도록 조정되며, 일정 시간동안 광에 노출된다. 이 때, 제1 광원부(111) 및 제3 광원부(113)가 작동하여 상기 제1 파장영역을 가진 제1 광(421) 및 상기 제3 파장영역을 가진 제3 광(423)을 디스플레이 모듈(160)로 조사하며, 제2 광원부(112)는 비작동 상태로 머물러 있는다. 카메라(140)의 광 노출이 끝나면, 카메라(140)는 검사용 영상을 생성하여 이를 정보 처리부(150)로 전송한다. 하이 레벨로 변경된 제어 신호가 다시 로우 레벨로 변경되고, 두번째로 로우 레벨에서 하이 레벨로 변경되는 시점에 카메라(140)는 상기 제1 및 제2 파장영역을 인식할 수 있도록 조정되며, 다시 일정 시간동안 광에 노출된다. 이 때, 제1 및 제2 광원부(112)가 작동하여 상기 제1 파장영역을 가진 제1 광(421) 및 상기 제2 파장영역을 가진 제2 광(422)을 디스플레이 모듈(160)로 조사하며, 제3 광원부(113)는 비작동 상태로 머물러 있는다. 카메라(140)의 광 노출이 끝나면, 카메라(140)는 검사용 영상을 생성하여 이를 정보 처리부(150)로 전송한다. 다시 하이 레벨로 변경된 제어 신호가 로우 레벨로 변경되고, 세번째로 로우 레벨에서 하이 레벨로 변경되는 시점에, 카메라(140)는 상기 제2 및 제3 파장영역을 인식할 수 있도록 조정되며, 다시 일정 시간동안 광에 노출된다. 이 때, 제2 및 제 광원부가 작동하여 상기 제2 파장영역을 가진 제2 광(422) 및 제3 파장영역을 가진 제3 광(423)을 디스플레이 모듈(160)로 조사하며, 제1 광원부(111)는 비작동 상태로 머물러 있는다. 카메라(140)의 광 노출이 끝나면, 카메라(140)는 검사용 영상을 생성하여 이를 정보 처리부(150)로 전송한다. 이러한 과정이 하나의 싸이클(210)이 되어 여러 번의 싸이클(210)이 반복되며 복수의 검사용 영상이 생성된다.
위와 같이 본 발명의 광원 제어부(130)의 제어 방식의 실시예들에 대하여 설명하였으나, 위의 실시예들로 한정하지 않는다. 구체적으로, 예를들면 제1 내지 제3 광원부(111, 112, 113)의 점등 순서는 제3 광원부(113)로부터 제1 광원부(111)로 변경될 수 있고, 검사용 영상의 생성 및 이의 정보 처리부(150)로의 전송 시점도 변경될 수 있다. 또한 하나의 싸이클(210)에 필요한 검사용 영상의 생성 수는 상기의 실시예들의 경우 3개로 설정되었으나, 다른 설정값에 따라 변경될 수 있다.
상기의 제어 방식에 의하여 카메라(140)의 검사용 영상 촬영시, 불필요한 파장영역의 광이 과검되는 현상을 방지할 수 있다. 이는 도 9을 참조하여 구체적으로 서술한다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 파장별 카메라(140)의 인식 정도를 도시한 그래프이다. 도 9를 참조하면, 복수의 파장영역을 가지는 광을 동시에 조사하여 검사용 영상을 생성하는 경우, 상기 제1 파장영역의 광을 인식하기 위하여 제1 인식 영역(411)의 파장을 인식할 수 있도록 조정된 카메라(140)의 검사용 영상 촬영시, 인접한 파장영역인 상기 제2 파장영역을 가지는 제2 광(422)에 의한 과검 영역(430)이 발생함을 알 수 있다. 마찬가지로, 상기 제2 파장영역의 광을 인식하기 위하여 제2 인식 영역(412)의 파장을 인식할 수 있도록 조정된 카메라(140)의 검사용 영상 촬영시, 인접한 파장영역인 상기 제1 파장영역을 가지는 제1 광(421) 및 상기 제3 파장영역을 가지는 제3 광(423)에 의한 과검 영역(430)이 발생함을 알 수 있다. 또한, 상기 제3 파장영역의 광을 인식하기 위하여 제3 인식 영역(413)의 파장을 인식할 수 있도록 조정된 카메라(140)의 검사용 영상 촬영시, 인접한 파장영역인 상기 제2 파장영역을 가지는 제2 광(422)에 의한 과검 영역(430)이 발생함을 알 수 있다. 그러나, 본 발명의 일 실시예의 광원 제어부(130)에 의한 제1 내지 제3 광원부(111, 112, 113)의 제어 하에 검사용 영상 생성시, 이와 같은 과검 영역(430)의 발생을 방지할 수 있다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학식 검사 방법에 대한 흐름도이다. 도 10을 참조하면, 첫번째로 광원 제어부(130)가 제1 내지 제3 광원부(111, 112, 113)를 제어하고 카메라(140)에서 검사용 영상을 획득한다. 이후, 검사용 영상을 획득할 때 마다 불량을 판단하는 데 필요한 단위인 하나의 싸이클(210)의 과정에 해당하는 복수의 검사용 영상의 생성 여부를 확인하여, 생성된 검사용 영상의 수가 부족한 경우 다시 제1 내지 제3 광원부(111, 112, 113)를 제어하여 카메라(140)에서 검사용 영상을 획득한다. 카메라(140)에서 생성된 검사용 영상의 수가 충분한 경우, 검사용 영상에 기초하여 디스플레이 모듈(160)의 불량 여부를 판단한다.
본 발명에 따른 광학식 검사 방법의 일 실시예에 따른 디스플레이 모듈(160)의 불량 여부의 판단에 대해 설명한다. 디스플레이 모듈(160)의 불량 여부 판정은 별도의 모듈 또는 정보 처리부(150)에서 판정될 수 있다. 상기 별도의 모듈 또는 정보 처리부(150)는 저장되어 있는 기준 영상과 비교 분석하여 디스플레이 모듈(160)의 결함 여부를 분석할 수 있다. 여기서 기준 영상이라 함은, 불량사항이 없는 디스플레이 모듈(160)의 영상 또는 불량사항이 일부 존재하더라도 검사 대상물인 디스플레이 모듈(160)의 불량 여부를 판별하는 데 충분하게 비교될 수 있는 영상을 의미한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 광학식 검사 방법에 따르면, 생성된 검사용 영상의 수가 충분한 경우 생성된 하나의 싸이클(210)에 해당하는 복수의 검사용 영상을 정합할 수 있다. 구체적으로, 하나의 싸이클(210)에 해당하는 복수의 검사용 영상을 정합한 후, 정합된 영상을 분석하여 디스플레이 모듈(160)의 불량 여부를 판별할 수 있다.
더욱 구체적으로, 검사용 영상의 정합은 정합 과정을 행하는 별도의 모듈 또는 정보 처리부(150)에서 하나의 싸이클(210)에 해당하는 복수의 검사용 영상을, 각 검사용 영상마다 나타난 디스플레이 모듈(160)에서 동일한 지점이 일치하도록 정렬 및/또는 위치시켜 합성하는 작업이다. 각 검사용 영상의 촬영 시마다 시간 차가 있을 수 있어 디스플레이 모듈(160)이 컨베이어 벨트(180) 또는 기타의 이동수단에 의하여 이동 중 촬영된 검사용 영상의 경우, 이러한 정합 과정이 요구될 수 있다.
또한, 정합되어지는 복수의 검사용 영상은, 제1 내지 제3 광(421, 422, 423)에 의해 생성된 검사용 영상이 각각 적어도 하나 이상이 포함되도록 지정할 수 있다. 이 경우 상기 제1 내지 제3 파장영역 및 제1 내지 제3 각도별 영상이 얻어지므로, 각 조건별 디스플레이 모듈(160)의 상태를 알 수 있어, 불량의 종류를 정확히 구분해 낼 수 있다. 또한, 정합되어지는 복수의 검사용 영상은 다른 방식으로 지정할 수 있음은 물론이다.
제1 내지 제3 광원부(111, 112, 113) 및 카메라(140)를 제어하여 검사용 영상을 획득하는 과정은 광원 제어부(130)에서 이루어 질 수 있으며, 하나의 싸이클(210)의 검사용 영상이 확보되었는지 판단하는 단계 및 불량 여부를 판별하는 단계는 별도의 다른 모듈 또는 정보 처리부(150) 내에서 행하여 질 수 있다.
또한, 광원 제어부(130)에서 제1 내지 제3 광원부(111, 112, 113) 및 카메라(140)를 제어하는 과정은, 상술한 본 발명의 일 실시예에서 광원 제어부(130)의 제어 방식과 동일할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예의 광학식 검사 방법에 의하면, 디스플레이 모듈(160)의 불량 여부를 판별하는 뿐만 아니라, 불량종류에 따른 불량원인 및 진성 또는 가성 불량 여부 판단도 할 수 있다.
구체적으로, 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 정보 처리부(150)의 불량원인 및 진성 또는 가성 불량여부 판단의 기준을 정리한 표이다. 도 11을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에서 디스플레이 모듈(160)의 불량 종류 및 가성 또는 진성 불량여부를 판단하는 데에는 복수의 검사용 영상의 분석에 기초하여 이루어 질 수 있다. 또한, 복수의 검사용 영상이 정합된 영상을 사용할 수도 있다.
더욱 구체적으로, 도 12는 표면 이물(551)이 발생한 디스플레이 모듈(160)의 단면도이다. 도 12를 참조하면, 표면 이물(551)은 디스플레이 모듈(160)의 상부층인 윈도우(510) 표면에 이물질이 묻어 있는 것에 해당하며, 이는 세척 또는 별도의 처리 공정을 통하여 제거될 수 있다. 따라서 이는 정상 디스플레이 모듈(160)로 변경될 수 있는 가성 불량에 해당한다.
이러한 표면 이물(551)에 대하여, 하나의 싸이클(210)에 해당하는 복수의 검사용 영상들을 정합시킨 경우, 복수의 검사용 영상의 디스플레이 모듈(160) 상 동일한 위치에 해당하는 지점에 대하여, 제1 광원부(111)에 의한 검사용 영상에서는 어둡게 나타날 수 있고, 제2 광원부(112)에 의한 검사용 영상에서는 밝게 나타날 수 있으며, 제3 광원부(113)에 의한 검사용 영상에서는 밝게 나타날 수 있다. 이러한 불량의 경우 표면 이물(551)로 판정할 수 있으며, 가성 불량에 해당한다.
또한, 도 13은 표면 눌림(552)이 발생한 디스플레이 모듈(160)의 단면도이다. 도 13을 참조하면, 표면 눌림(552)은 디스플레이 모듈(160)의 상부층인 윈도우(510) 표면이 일부 눌리거나 파인 모양을 형성되어 있는 것에 해당하며, 이는 별도의 공정을 통하여 제거될 수 없는 불량으로서 진성 불량에 해당한다.
이러한 표면 눌림(552)에 대하여, 하나의 싸이클(210)에 해당하는 복수의 검사용 영상들을 정합시킨 경우, 복수의 검사용 영상의 디스플레이 모듈(160) 상 동일한 위치에 해당하는 지점에 대하여, 제1 광원부(111)에 의한 검사용 영상에서는 어둡게 나타날 수 있고, 제2 광원부(112)에 의한 검사용 영상에서는 정상적으로 나타날 수 있으며, 제3 광원부(113)에 의한 검사용 영상에서는 밝게 나타날 수 있다. 이러한 불량의 경우 표면 눌림(552)으로 판정할 수 있으며, 진성 불량에 해당한다.
또한, 도 14는 접착층 기포(553)가 발생한 디스플레이 모듈(160)의 단면도이다. 도 13을 참조하면, 접착층 기포(553)는 디스플레이 모듈(160)의 접착층(520) 내부에 기포가 발생한 것에 해당하며, 이는 별도의 공정을 통하여 제거될 수 없는 불량으로서, 진성 불량에 해당한다.
이러한 접착층 기포(553)에 대하여, 하나의 싸이클(210)에 해당하는 복수의 검사용 영상들을 정합시킨 경우, 복수의 검사용 영상의 디스플레이 모듈(160) 상 동일한 위치에 해당하는 지점에 대하여, 제1 광원부(111)에 의한 검사용 영상에서는 밝게 나타날 수 있으며, 제2 광원부(112)에 의한 검사용 영상에서는 정상적으로 나타날 수 있고, 제3 광원부(113)에 의한 검사용 영상에서는 밝게 나타날 수 있다. 이러한 불량의 경우 접착층 기포(553)로 판정할 수 있으며, 진성 불량에 해당한다.
또한, 도 15는 폴 이물(554)이 발생한 디스플레이 모듈(160)의 단면도이다. 도 15를 참조하면, 폴 이물(554)은 디스플레이 모듈(160)의 폴(530) 층에 이물질이 위치한 것에 해당하며, 이는 별도의 공정을 통하여 제거될 수 없으므로, 진성 불량에 해당한다.
이러한 표면 이물(551)에 대하여, 하나의 싸이클(210)에 해당하는 복수의 검사용 영상들을 정합시킨 경우, 복수의 검사용 영상의 디스플레이 모듈(160) 상 동일한 위치에 해당하는 지점에 대하여, 제1 광원부(111)에 의한 검사용 영상에서는 정상적으로 나타날 수 있고, 제2 광원부(112)에 의한 검사용 영상에서는 정상적으로 나타날 수 있으며, 제3 광원부(113)에 의한 검사용 영상에서는 밝거나 어둡게 나타날 수 있다. 이러한 불량의 경우 폴 이물(554)로 판정할 수 있으며, 진성 불량에 해당한다.
또한, 상술한 불량들의 종류 이외에도, 검출 가능한 불량의 종류는 더 다양하게 존재할 수 있다. 예를 들어 패드 변색, 패드 스크래치, 옆면 깨짐, 패드 깨짐, 모서리 깨짐, 물때, 내부 이물, 실 박리, 전면 피트, 버닝, 패드오염, 끝티, 에스 눌림, 크랙 등 다양한 불량의 종류가 있을 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100 : 광학식 검사 장치
111 : 제1 광원부
112 : 제2 광원부
113 : 제3 광원부
121 : 제1 광경로
122 : 제2 광경로
123 : 제3 광경로
130 : 광원 제어부
140 : 카메라
150 : 정보 처리부
160 , 500 : 디스플레이 모듈
171 : 기준축
172 : 수직축
180 : 컨베이어 벨트
191 : 제1 각도
192 : 제2 각도
193 : 제3 각도
210 : 싸이클
411 : 제1 인식영역
412 : 제2 인식영역
413 : 제3 인식영역
421 : 제1 광
422 : 제2 광
423 : 제3 광
430 : 과검 영역
510 : 윈도우
520 : 접착층
530 : 폴
540 : 패널
551 : 표면 이물
552 : 표면 눌림
553 : 접착층 기포
554 : 폴 이물

Claims (13)

  1. 제1 파장영역을 가지는 제1 광을 디스플레이 모듈에 조사하는 제1 광원부;
    상기 제1 파장영역과 다른 제2 파장영역을 가지는 제2 광을 상기 디스플레이 모듈에 조사하는 제2 광원부;
    상기 제1 및 제2 파장영역과 다른 제3 파장영역을 가지는 제3 광을 상기 디스플레이 모듈에 조사하는 제3 광원부;
    상기 디스플레이 모듈에서 반사된 상기 제1 광 내지 제3 광을 수광하여 검사용 영상을 반복하여 생성하는 카메라; 및
    상기 카메라의 반복되는 각각의 촬영시 상기 제1 광 내지 제3 광 중 일부만 상기 디스플레이 모듈에 조사되도록 상기 제1 내지 제3 광원부를 제어하는 광원 제어부를 포함하되,
    상기 광원 제어부는 상기 카메라의 어느 한 시점의 촬영에서 상기 제1 광만 상기 디스플레이 모듈에 조사되도록, 다음 시점의 촬영에서 상기 제2 광만 상기 디스플레이 모듈에 조사되도록, 그 다음 시점의 촬영에서 상기 제3 광만 상기 디스플레이 모듈에 조사되도록 하며, 이러한 상기 제1 내지 제3 광의 조사가 반복되도록 상기 제1 내지 제3 광원부를 제어하도록 구성되고,
    상기 카메라는 상기 각 시점들마다 대응되는 상기 제1 내지 제3 광에 노출되는 상태와 노출되지 않는 상태를 교대로 갖도록 제어되며,
    인접하는 상기 시점들에서 상기 카메라가 상기 제1 내지 제3 광에 노출되는 상태는 연속하지 않고 그 사이에 상기 카메라가 상기 제1 내지 제3 광에 노출되지 않는 상태가 개재되는 광학식 검사 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 디스플레이 모듈에 수직한 기준축과 제1 광경로간의 제1각도와,
    상기 기준축과 제2 광경로간의 제2각도와,
    상기 기준축과 제3 광경로간의 제3각도는 서로 다르도록 배치된 상기 제1 내지 제3 광원부를 포함하는 광학식 검사 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 각도는 상기 제1 광원부가 동축 광원부가 되도록,
    상기 제2 각도는 상기 제2 광원부가 준동축 광원부가 되도록,
    상기 제3 각도는 상기 제3 광원부가 낙사 광원부가 되도록 하는 광학식 검사 장치.
  4. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 파장영역은 적색의 파장영역에 해당하고,
    상기 제2 파장영역은 녹색의 파장영역에 해당하고,
    상기 제3 파장영역은 청색의 파장영역에 해당하는 광학식 검사 장치.
  5. 삭제
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 내지 제3 파장영역과 다른 제4 파장영역을 가지는 제4 광을 상기 디스플레이 모듈에 조사하는 제4 광원부를 더 포함하는 광학식 검사 장치.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 카메라에 의해 생성된 상기 검사용 영상을 정합하고 상기 디스플레이 모듈의 불량 여부를 판단하는 정보 처리부를 더 포함하는 광학식 검사 방법.
  8. 광학식 검사 방법에 있어서, 상기 방법은:
    카메라의 검사용 영상 촬영시 서로 다른 파장영역을 가진 제1 내지 제3 광중 일부가 디스플레이 모듈에 조사되도록 제1 내지 제3 광원부를 제어하는 단계;
    상기 디스플레이 모듈에 조사된 상기 제1 내지 제3 광을 이용하여, 상기 카메라에 의해 상기 검사용 영상을 반복적으로 획득하는 단계; 및
    상기 검사용 영상에 기초하여 상기 디스플레이 모듈의 불량 여부를 판단하는 단계를 포함하되,
    상기 제1 내지 제3 광원부의 제어시,
    상기 카메라의 어느 한 시점의 촬영에서 상기 제1 광만 상기 디스플레이 모듈에 조사되도록, 다음 시점의 촬영에서 상기 제2 광만 상기 디스플레이 모듈에 조사되도록, 그 다음 시점의 촬영에서 상기 제3 광만 상기 디스플레이 모듈에 조사되도록하며, 이러한 상기 제1 내지 제3 광의 조사가 반복되도록 제1 내지 제3 광원부가 제어되고,
    상기 카메라는 상기 각 시점들마다 대응되는 상기 제1 내지 제3 광에 노출되는 상태와 노출되지 않는 상태를 교대로 갖도록 제어되며,
    인접하는 상기 시점들에서 상기 카메라가 상기 제1 내지 제3 광에 노출되는 상태는 연속하지 않고 그 사이에 상기 카메라가 상기 제1 내지 제3 광에 노출되지 않는 상태가 개재되는 광학식 검사 방법.
  9. 삭제
  10. 제8 항에 있어서,
    상기 디스플레이 모듈의 불량 여부 판단시,
    복수 개의 상기 검사용 영상을 정합하여 불량 여부를 판단하는 광학식 검사 방법.
  11. 제10 항에 있어서,
    정합되는 상기 검사용 영상은 상기 제1광의 조사 중 촬영된 영상과, 상기 제2 광의 조사 중 촬영된 영상과, 상기 제3 광의 조사 중 촬영된 영상을 각각 적어도 하나 이상을 포함하는 광학식 검사 방법
  12. 제10 항에 있어서,
    상기 디스플레이 모듈의 불량 여부 판단시,
    정합된 상기 검사용 영상으로부터 불량의 종류를 판별하는 광학식 검사 방법.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 불량의 종류로부터 가성불량 여부 및 진성불량 여부를 판별하는 광학식 검사 방법.
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