KR20150091920A - 기판의 에지 검사장치 및 이를 이용한 검사방법 - Google Patents

기판의 에지 검사장치 및 이를 이용한 검사방법 Download PDF

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KR20150091920A
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Abstract

본 발명은 기판의 상부와 하부에서 광학적으로 기판의 에지부분의 결함을 검사하는 기판의 에지 검사장치 및 이를 이용한 검사방법이 개시된다.
본 발명은 글래스 기판의 상부에 설치되어 상기 글래스 기판이 상면의 에지(edge)에 빛을 조사하는 제1 조명수단과, 상기 글래스 기판의 상부에 설치되어 상기 글래스 기판의 상면의 에지의 이미지를 획득하는 제1 촬영수단과, 상기 글래스 기판의 하부에 설치되어 상기 글래스 기판의 하면의 에지에 빛을 조사하는 제2 조명수단과, 상기 글래스 기판의 하부에 설치되어 상기 글래스 기판의 하면의 에지의 이미지를 획득하는 제2 촬영수단을 포함하는 글래스 기판의 에지 검사장치 및 이를 이용한 검사방법에 관한 것이다.

Description

기판의 에지 검사장치 및 이를 이용한 검사방법{apparatus for inspecting glass edge and method for inspecting glass edge using thereof}
본 발명은 기판의 에지 검사장치 및 이를 이용한 검사방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판의 상부와 하부에서 광학적으로 기판의 에지부분의 결함을 검사하는 기판의 에지 검사장치 및 이를 이용한 검사방법에 관한 것이다.
주지하고 있는 바와 같이, 평판디스플레이(Flat display)의 제조 분야에서 사용되는 유리기판은 유리용해로(Glass melting furnace)에서 용해된 용해유리를 평판으로 성형하는 성형공정과 일차 규격에 맞도록 절단하는 절단공정을 통하여 제조한 후 가공라인으로 운반하여 가공하고 있다. 유리기판의 가공라인에서는 유리기판을 평판디스플레이의 규격에 맞는 크기로 재차 절단하고, 절단에 의하여 날카로워진 유리기판의 에지(Edge)를 연마하며, 모서리에는 모따기와 방위표시(Orientation Mark)를 각각 가공하고 있다.
이와 같은 유리기판의 절단공정과 연마공정에서 유리기판의 에지에는 여러 가지 요인에 의하여 많은 결함이 발생되고 있다. 절단공정에서는 크기 오차, 직선성 오차, 칩(Chip), 크랙(Crack) 등이 발생되며, 연마공정에서는 언베벨(Unbevel), 오버베벨(Over-bevel), 베벨칩(Bevel chip) 등이 발생되고, 취급과정에서는 방위표시의 위치변경, 깨짐 등이 발생되고 있다. 따라서, 고품질의 평판디스플레이를 제조하기 위하여 유리기판의 에지에 존재하는 결함에 대한 검사를 실시한 후, 유리기판의 양품과 불량품을 선별하며, 제조공정에서의 불량요인을 찾고 그 원인을 규명하여 시정하고 있다.
일반적으로, 유리기판의 에지에 존재하는 결함은 검사자가 육안으로 검사하고 있다. 그러나 검사자의 판단에 전적으로 의존하는 육안검사는 상당한 숙련과 경험이 요구되고 있으며, 검사자마다 가지고 있는 측정오차에 의하여 검사결과의 신뢰성이 매우 낮은 문제가 있다. 즉, 검사자가 주관적인 판정기준에 의하여 양품과 불량품을 판정하고 있으므로, 양품과 불량품을 오판할 우려가 높아 검사의 정확성과 신뢰성을 확보하기 어려운 실정이다.
그리고 검사자의 피로, 작업환경 등 내외적 요인에 의해서도 검사의 정확도에 매우 큰 차이가 나타나고 있다. 특히, 유리기판의 정밀한 검사를 위하여 마이크로미터 이하의 현미경검사가 요구되고 있으며, 유리기판의 대형화와 박형화에 기인하여 유리기판의 취급이 상당히 곤란해져 검사에 많은 시간과 인력이 소요되는 매우 비효율적인 문제가 있다.
종래의 다른 방법으로는 센서를 이용하여 에지의 결함을 검사하는 방법이 있다. 하지만 센서에 의한 방법은 공정상에서 이송중인 유리기판을 정지시켜야 할 뿐만 아니라 유리기판의 에지 전 구간을 검사할 수 없고 미세한 불량은 검출하지 못하는 단점이 있다. 이에, 센서를 이용하지 않고 카메라를 이용하여 유리기판의 에지 결함을 검사할 수 있도록 한 기술이 국내 공개특허 제2004-0005103호에 개시되어 있다.
하지만, 개시된 기술을 통해 유리기판의 검사 이미지를 획득한 경우, 조명수단에으로부터 조사된 빛의 산란 등의 이유로 에지의 경계가 확실하게 나타나지 않아 에지의 검사가 정확히 이루어질 수 없는 문제가 있었다.
한국공개특허 제2004-0005103호
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 기판의 에지를 보다 신속하고 정확하게 검사할 수 있는 기판의 에지 검사장치 및 이를 이용한 검사방법을 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 수단으로서, 글래스 기판의 상부에 설치되어 상기 글래스 기판이 상면의 에지(edge)에 빛을 조사하는 제1 조명수단과, 상기 글래스 기판의 상부에 설치되어 상기 글래스 기판의 상면의 에지의 이미지를 획득하는 제1 촬영수단과, 상기 글래스 기판의 하부에 설치되어 상기 글래스 기판의 하면의 에지에 빛을 조사하는 제2 조명수단과, 상기 글래스 기판의 하부에 설치되어 상기 글래스 기판의 하면의 에지의 이미지를 획득하는 제2 촬영수단을 포함하는 글래스 기판의 에지 검사장치를 제공한다.
전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 다른 수단으로서, 상기 제1 촬영수단으로 상기 제1 조명수단에 의한 상기 글래스 기판의 반사이미지를 획득하고, 상기 제2 촬영수단으로 상기 제1 조명수단에 의한 상기 글래스 기판의 투과이미지를 획득하는 1차 이미지 획득단계와, 상기 제2 촬영수단으로 상기 제2 조명수단에 의한 상기 글래스 기판의 반사이미지를 획득하고, 상기 제1 촬영수단으로 상기 제2 조명수단에 의한 글래스 기판의 투과이미지를 획득하는 2차 이미지 획득단계를 포함하는 글래스 기판의 에지 검사방법을 제공한다.
상기한 바와 같은 본 발명에 따르면, 기판의 상부와 하부에서 빛이 기판을 통과하면서 생성된 이미지와 빛이 기판의 표면에서 반사된 이미지를 통해 기판의 에지의 결함을 광학적으로 검사함에 따라, 기판의 에지의 결함을 보다 신속하고 정확하게 검출할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판의 에지 검사장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면,
도 2는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판의 에지 검사장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면,
도 3은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 기판의 에지 검사장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
본 발명에 따른 기판의 에지 검사장치는 기판의 상부와 하부에서 광학적으로 기판의 에지부분의 결함을 검사하는 것으로, 그 실시예를 도 1 내지 도 3에 나타내 보였다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판의 에지 검사장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 기판의 에지 검사장치는 글래스 기판(10)의 상부에 설치되어 상기 글래스 기판(10)이 상면의 에지(11)에 빛을 조사하는 제1 조명수단(110)과, 상기 글래스 기판(10)의 상부에 설치되어 상기 글래스 기판(10)의 상면의 에지(11)의 이미지를 획득하는 제1 촬영수단(120)과, 상기 글래스 기판(10)의 하부에 설치되어 상기 글래스 기판(10)의 하면의 에지(11)에 빛을 조사하는 제2 조명수단(210)과, 상기 글래스 기판(10)의 하부에 설치되어 상기 글래스 기판(10)의 하면의 에지의 이미지를 획득하는 제2 촬영수단(220)을 포함한다.
상기 제1 촬영수단(120)은 이미지 센서를 포함하여, 상기 제1 조명수단(110)에서 출력된 조명이 상기 글래스 기판(10)의 상면의 에지(11)에서 반사되면서 생성된 이미지를 획득할 수 있고, 상기 제2 조명수단(210)에서 출력된 조명이 상기 글래스 기판(10)의 에지(11)를 하부에서 상부로 통과하면서 생성된 이미지를 획득할 수 있다. 한편, 상기 제2 촬영수단(220)은 제1 촬영수단(120)과 마찬가지로 이미지 센서를 포함하며, 상기 제2 조명수단(210)에서 출력된 조명이 상기 글래스 기판(10)의 하면의 에지(11)에서 반사되면서 생성된 이미지를 획득할 수 있고, 상기 제1 조명수단(110)에서 출력된 조명이 상기 글래스 기판(10)의 에지(11)를 상부에서 하부로 통과하면서 생성된 이미지를 획득할 수 있다.
일반적으로 글래스 기판(10)은 절단에 의하여 날카로워진 에지(Edge)를 연마한다. 상기와 같이 연마가 이루어진 글래스 기판(10)의 에지(11)는 표면이 가공된 상태이기 때문에 연마가 이루어지지 않은 글래스 기판(10)과 빛의 반사율이나 투과율이 다르다. 따라서, 글래스 기판(10)의 에지(11)에 빛을 투과하거나 빛을 반사시켜 검사용 이미지를 생성하면 에지(11)부분의 밝기가 어둡게 표시된다. 이러한 현상을 이용하여 글래스 기판(10)의 에지(11)에서 빛을 투과시킨 이미지 또는 빛을 반사시킨 이미지를 조합하면 에지(11)의 가공이 정상적으로 이루어졌는지 여부를 검사할 수 있다.
여기서 에지(11)의 가공이 정상적으로 이루어졌는지 여부를 판단하는 기준은 이미지 상에 표시된 에지(11)의 가공된 두께일 수 있으며, 에지(11)의 가공 시 작업자가 의도한 두께만큼 실제로 에지(11)의 연마가 이루어졌는지를 비교하는 방식으로 글래스 기판(10)의 에지(11)를 검사할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 제1 촬영수단(120)과 제2 촬영수단(220)은 상기 글래스 기판(10)과 수직하도록 배치되고, 상기 제1 조명수단(110)과 제2 조명수단(210)은 각각 상기 제1 촬영수단(120) 및 제2 촬영수단(220)과 동축이 되게 상기 글래스 기판(10)으로 빛을 조사한다.
상기와 같이 제1 촬영수단(120)과 제2 촬영수단(220)이 상기 글래스 기판(10)과 수직하도록 배치되고, 상기 제1 조명수단(110)과 제2 조명수단(210)이 상기 제1 촬영수단(120) 및 제2 촬영수단(220)과 동축으로 배치된 경우 제1 조명수단(110) 및 제2 조명수단(210)에서 출력되어 글래스 기판(10)을 향한 빛은 글래스 기판(10)의 표면에서 정반사되거나 글래스 기판(10)을 투과할 수 있다.
이때, 에지(11)가 형성되지 않은 글래스 기판(10)에서는 상기한 바와 같이 정반사가 이루어지지만, 표면이 가공된 에지(11)에서는 정반사가 이루어지지 않기 때문에, 제1 촬영수단(120) 및 제2 촬영수단(220)에서 획득한 이미지 상에서 에지(11)는 어둡게 보이고 에지(11)가 아닌 나머지 부분의 글래스 기판(10)은 밝게 보인다.
또한, 제1 조명수단(110) 및 제2 조명수단(210)에서 출력되어 글래스 기판(10)을 향한 빛 중 일부는 에지(11)가 형성되지 않은 글래스 기판(10)에서 투과되지만, 에지(11)에서는 투과가 원활하게 이루어지지 않기 때문에, 제1 촬영수단(120) 및 제2 촬영수단(220)에서 획득한 이미지 상에서 에지(11)는 더욱 어둡게 보이고 에지(11)가 아닌 나머지 부분의 글래스 기판(10)은 더욱 밝게 보일 수 있다.
따라서, 상기와 같은 방법으로 제1 촬영수단(120) 및 제2 촬영수단(220)에서 획득한 반사된 이미지 또는 투과된 이미지 상에 표시된 에지의 두께를 측정하거나 비교하는 방식으로 글래스 기판(10)에 에지(11)의 가공이 제대로 이루어졌는지 여부를 검사할 수 있다.
상기의 경우, 제1 조명수단(110) 및 제2 조명수단(210)은 각각 제1 촬영수단(120) 및 제2 촬영수단(220)과 동축상에 배치될 수 있으나, 제1 조명수단(110) 및 제2 조명수단(210)이 각각 제1 촬영수단(120) 및 제2 촬영수단(220)과 수직하게 배치되고, 별도의 반사수단(300)을 통해 광경로를 변환하여 상기 제1 촬영수단(120) 및 제2 촬영수단(220)과 동축이 되게 상기 글래스 기판(10)으로 빛을 조사할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 글래스 기판(10)의 에지(11)가 상기 제1 촬영수단(120)과 제2 촬영수단(220) 사이를 통과하도록 상기 글래스 기판(10)을 이송시키는 이송수단(400)을 더 포함한다. 상기 이송수단(400)은 상기 글래스 기판(10)을 탑재시킨 상태로 이송시킬 수 있고, 상기 글래스 기판(10)을 흡착시켜 이송시킬 수 있다.
도 2는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판의 에지 검사장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 제1 촬영수단(120)과 제2 촬영수단(220)이 상기 글래스 기판(10)과 수직하도록 배치되고, 상기 제1 조명수단(110)과 제2 조명수단(210)이 상기 제1 촬영수단(120) 및 제2 촬영수단(220)과 동축으로 배치된 경우, 상기 글래스 기판(10)의 상부와 하부에는 각각 상기 글래스 기판(10)의 에지(11)에 경사조명을 출력하는 제3 조명수단(130)과 제4 조명수단(230)이 추가로 배치될 수 있다.
상기 제3 조명수단(130)과 제4 조명수단(140)은 각각 제1 촬영수단(120)과 제2 촬영수단(220)의 보조광원으로 작용한다. 상기한 바와 같이 제1 촬영수단(120)과 제2 촬영수단(220)의 일측에 각각 상기 글래스 기판(10)의 에지(11)에 경사조명을 출력하는 제3 조명수단(130)과 제4 조명수단(230)이 배치된 경우, 검사 신뢰도가 향상될 수 있다.
상기 제1 조명수단(110) 및 제2 조명수단(210)만 이용해서 글래스 기판(10)의 에지(11)의 검사 이미지를 획득한 경우, 이미지 상에서 에지(11)의 경계부분이제대로 나타나지 않을 수 있다. 따라서, 상기 글래스 기판(10)의 에지(11)에 경사조명을 출력하는 제3 조명수단(130)과 제4 조명수단(230)을 배치하여 글래스 기판(10)의 에지(11)의 경계가 명확히 나타난 검사이미지를 추가적으로 획득하고, 이러한 조명조건이 다른 이미지들을 토대로 검사가 이루어지도록 하여 검사 신뢰도를 높일 수 있다.
도 3은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 기판의 에지 검사장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 제1 촬영수단(120)과 제1 조명수단(110), 제2 촬영수단(220)과 제2 조명수단(210)은 상기 에지(11)의 경계를 중심으로 양측으로 대칭되게 배치된다.
일례로, 제1 조명수단(110)은 상기 글래스 기판(10)의 일측 상부에 소정의 각도만큼 경사지게 배치되고, 상기 제2 조명수단(210)은 상기 글래스 기판(10)의 일측 하부에 소정의 각도만큼 경사지게 배치된다. 상기 제1 촬영수단(120)과 제2 촬영수단(220)은 각각 제1 조명수단(110) 및 제2 조명수단(210)에서 출력된 빛이 글래스 기판(10)의 표면에서 전반사되면서 생성된 이미지가 입사될 수 있도록 상기 글래스 기판(10)의 타측 상부와 하부에 소정의 각도만큼 경사지게 배치된다.
이때, 상기 제1 촬영수단(120)과 제1 조명수단(110), 제2 촬영수단(220)과 제2 조명수단(210)이 경사진 각도에 따라 글래스 기판(10) 표면에서의 반사도 및 투과도가 달라질 수 있다.
상기의 경우에도 에지(11)에서는 제1 조명수단(110) 및 제2 조명수단(210)에서 출력된 빛의 정반사가 이루어지지 않기 때문에 제1 촬영수단(120)과 제2 촬영수단(220)에서 획득한 검사이미지 상에 어둡게 나타나고, 에지(11)가 형성되지 않은 글래스 기판(10)에서는 제1 조명수단(110) 및 제2 조명수단(210)에서 출력된 빛의 정반사가 이루어지기 때문에, 제1 촬영수단(120)과 제2 촬영수단(220)에서 획득한 검사이미지 상에 밝게 나타난다.
또한, 상기 제1 촬영수단(120)과 제2 촬영수단(220)은 각각 제2 조명수단(210)과 제1조명수단(110)에서 출력된 빛이 글래스 기판(10)을 투과하면서 생성된 이미지를 촬영할 수 있다.
따라서, 제1 촬영수단(120) 및 제2 촬영수단(220)에서 획득한 반사 또는 투과된 이미지 상에 표시된 에지의 두께를 측정하거나 비교하는 방식으로 글래스 기판(10)에 에지(11)의 가공이 제대로 이루어졌는지 여부를 검사할 수 있다.
본 발명에 따른 기판의 에지 검사방법은 전술한 검사장치를 이용한 것으로, 상기 제1 촬영수단으로 상기 제1 조명수단에 의한 상기 글래스 기판의 반사이미지를 획득하고, 상기 제2 촬영수단으로 상기 제1 조명수단에 의한 상기 글래스 기판의 투과이미지를 획득하는 1차 이미지 획득단계와, 상기 제2 촬영수단으로 상기 제2 조명수단에 의한 상기 글래스 기판의 반사이미지를 획득하고, 상기 제1 촬영수단으로 상기 제2 조명수단에 의한 글래스 기판의 투과이미지를 획득하는 2차 이미지 획득단계를 포함한다.
보다 상세하게는, 제1 조명수단(110)에서만 빛을 조사할 수 있도록 상기 제1 조명수단(110)은 켜고, 제2 조명수단(210)은 전원을 끈다. 상기 제1 조명수단(110)이 켜져 글래스 기판(10)의 상면으로 빛이 조사되면, 상기 제1 촬영수단(120)은 제1 조명수단(110)에서 출력된 빛이 글래스 기판(10)의 표면에서 반사되면서 생성된 반사이미지를 획득하고, 제2 촬영수단(220)은 제1 조명수단(110)에서 출력된 빛이 글래스 기판(10)을 투과하면서 생성된 투과이미지를 획득한다.
이후, 상기 제1 조명수단(110)은 꺼지고, 제2 조명수단(210)은 켜지게 된다. 제2 조명수단(210)에서 글래스 기판(10)의 하면으로 빛이 조사되면, 상기 제2 촬영수단(220)은 제2 조명수단(210)에서 출력된 빛이 글래스 기판(10)의 표면에서 반사되면서 생성된 반사이미지를 획득하고, 제1 촬영수단(120)은 제1 조명수단(210)에서 출력된 빛이 글래스 기판(10)을 투과하면서 생성된 투과이미지를 획득한다.
상기와 같은 방법으로 글래스 기판(10)의 에지(11)에 빛을 투과하거나 빛을 반사시켜 검사용 이미지를 생성하면 에지(11)부분의 밝기가 어둡게 표시된다. 이러한 현상을 이용하여 글래스 기판(10)의 에지(11)에서 빛을 투과시킨 이미지 또는 빛을 반사시킨 이미지를 조합하면 에지(11)의 가공이 정상적으로 이루어졌는지 여부를 검사할 수 있다.
전술한 예에 따르면, 제1 조명수단(110)을 켜고 제1 촬영수단(120)과 제2 촬영수단(220)을 작동시켜 1차적으로 글래스 기판(10)의 이미지를 획득하고, 제2 조명수단(120)을 켜고 제1 촬영수단(120)과 제2 촬영수단(220)을 작동시켜 2차적으로 글래스 기판(10)의 이미지를 획득한다고 명시하였지만, 본 발명의 범위가 이에 한정되는 것은 아니다. 경우에 따라서는 제1 조명수단(110)과 제2 조명수단(210)을 순차적으로 점등시키고 제1 촬영수단(120)을 작동시켜 검사 이미지를 획득한 후, 제1 조명수단(110)과 제2 조명수단(210)을 순차적으로 점등시키고 제2 촬영수단(220)을 작동시켜 검사 이미지를 획득할 수도 있다.
상기한 바와 같은 본 발명에 따르면, 글래스 기판(10)의 상부와 하부에서 빛이 글래스 기판(10)을 통과하면서 생성된 이미지와 빛이 글래스 기판(10)의 표면에서 반사되면서 생성된 이미지를 통해 글래스 기판(10)의 에지(11)의 결함을 광학적으로 검사함에 따라, 글래스 기판(10)의 에지(11)의 결함을 보다 신속하고 정확하게 검출할 수 있는 장점이 있다.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
따라서 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.
10 : 글래스 기판
11 : 에지
110 : 제1 조명수단
120 : 제1 촬영수단
130 : 제3 조명수단
140 : 제4 조명수단
210 : 제2 조명수단
220 : 제2 촬영수단
300 : 반사수단

Claims (5)

  1. 글래스 기판의 상부에 설치되어 상기 글래스 기판이 상면의 에지(edge)에 빛을 조사하는 제1 조명수단;
    상기 글래스 기판의 상부에 설치되어 상기 글래스 기판의 상면의 에지의 이미지를 획득하는 제1 촬영수단;
    상기 글래스 기판의 하부에 설치되어 상기 글래스 기판의 하면의 에지에 빛을 조사하는 제2 조명수단;
    상기 글래스 기판의 하부에 설치되어 상기 글래스 기판의 하면의 에지의 이미지를 획득하는 제2 촬영수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 글래스 기판의 에지 검사장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제1 촬영수단과 제2 촬영수단은 상기 글래스 기판과 수직하도록 배치되고, 상기 제1 조명수단과 제2 조명수단은 각각 상기 제1 촬영수단 및 제2 촬영수단과 동축이 되게 상기 글래스 기판으로 빛을 조사하는 것을 특징으로 하는 글래스 기판의 에지 검사장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 제1 촬영수단과 제1 조명수단, 제2 촬영수단과 제2 조명수단은 상기 에지의 경계를 중심으로 양측으로 대칭되게 배치된 것을 특징으로 하는 글래스 기판의 에지 검사장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 글래스 기판의 에지가 상기 제1 촬영수단과 제2 촬영수단 사이를 통과하도록 상기 글래스 기판을 이송시키는 이송수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 글래스 기판의 에지 검사장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 따른 장치를 이용한 글래스 기판의 에지를 검사하는 방법에 있어서,
    상기 제1 촬영수단으로 상기 제1 조명수단에 의한 상기 글래스 기판의 반사이미지를 획득하고, 상기 제2 촬영수단으로 상기 제1 조명수단에 의한 상기 글래스 기판의 투과이미지를 획득하는 1차 이미지 획득단계;
    상기 제2 촬영수단으로 상기 제2 조명수단에 의한 상기 글래스 기판의 반사이미지를 획득하고, 상기 제1 촬영수단으로 상기 제2 조명수단에 의한 글래스 기판의 투과이미지를 획득하는 2차 이미지 획득단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 글래스 기판의 에지 검사방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109540911A (zh) * 2018-12-29 2019-03-29 天津市协力自动化工程有限公司 一种木板边缘崩边检测装置
US11806969B2 (en) 2020-08-18 2023-11-07 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing display device

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