JP5316198B2 - 外観検査装置 - Google Patents
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Description
また、透明導電膜の形成は、着色画素及びブラックマトリックスが形成されたガラス基板上に、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)を用いスパッタ法によって透明導電膜を形成するといった方法がとられている。
陥には透過検査が行われる。また、反射検査による方が欠陥を検出し、良否を識別することが正確、容易な欠陥には反射検査が行われる。すなわち、各欠陥の性状により透過検査又は/及び反射検査が行われる。
尚、上記検査においては、検査する欠陥項目、良否を識別する水準などは、品目によって適宜に設定して行われる。
検査ステージ(12)に載置されたカラーフィルタ(被検査体)(10)は、図1中、白太矢印で示すように、X軸方向に搬送されながら検査を受ける。
また、透過光源(13B)は、射出された検査光を搬送されてきたカラーフィルタ(被検査体)(10)の裏面に下方から垂直に照射する。カラーフィルタ(10)を透過した透過光を透過撮像カメラ(14B)で受光させ、その撮像データを撮像データ処理部(15)へと伝送する。撮像データ処理部(15)では伝送された撮像データを処理し欠陥を判定する。制御ユニット(16)の演算部は、撮像カメラ、光源などを制御する。記憶部は撮像データ及び欠陥の座標データなど欠陥情報を保存する。
また、反射光源(13A)は、反射光源(1)(13A(1))〜反射光源(8)(13A(8))の8個の反射光源で構成されており、上記反射撮像カメラ(1)(14A(1))〜反射撮像カメラ(8)(14A(8))の配列に対応し、Y軸方向に一列に順次に配列されている。
この反射光源及び透過光源の光源としては、可視領域にて略等しい相対強度をもつ白色光源が広く用いられている。
反射撮像カメラ(14A)及び透過撮像カメラ(14B)の撮像素子としては、例えば、ラインセンサーが用いられることが多い。
この検査装置は、欠陥がランダムに発生することを前提にして、隣接する同色の着色画素(22)を比較して欠陥を検出する比較方式(比較処理)を採用したものである。図4中、左端の赤色の着色画素(P1)の特定箇所(Ki)の明るさ(撮像カメラへ入射する光の強さ)と、隣接する赤色の着色画素(P2)の特定箇所(Ki)の明るさの差によって欠陥を判定する。
図5は、作業員が欠陥を確認する際に使用するレビュー装置の一例の概略を示す側面図である。図5に示すように、このレビュー装置は、定盤(11)、検査ステージ(12)、顕微鏡(14C)、モニター(17)で構成されている。
作業員は、レビュー装置のモニター(17)上に表示される映像を観視して、自動外観検査装置が検出した欠陥を確認する。
また、上記欠陥の検出能力を向上させて検査することのできる外観検査装置を提供することを課題とする。
前記カラーフィルタを照射する透過検査光源として、赤色、緑色、青色の光を選択的に照射する光源部と、
搬送部の上方に設けられており、カラーフィルタを透過した透過光を撮像する撮像部と、前記カラーフィルタを前記光源部と前記撮像部間で保持、搬送させる搬送部と、
前記撮像部から伝送された撮像データを処理する撮像データ処理部と、
を備える制御ユニットと、を少なくとも具備し、
前記カラーフィルタを
1)前記赤色の着色画素を検査する際には、緑色及び青色の光を前記カラーフィルタに照射し、前記カラーフィルタの透過光を前記撮像部で撮像し、
2)前記緑色の着色画素を検査する際には、青色及び赤色の光を前記カラーフィルタに照射し、前記カラーフィルタの透過光を前記撮像部で撮像し、
3)前記青色の着色画素を検査する際には、赤色及び緑色の光を前記カラーフィルタに照射し、前記カラーフィルタの透過光を前記撮像部で撮像し、
1)から3)より得られた前記赤色、緑色、青色の着色画素の撮像データからXY方向に複数の領域に分割された検査画素を、前記撮像データ処理部で隣接する同じ色の着色画素の検査画素との差分を取る比較処理を行い、所定の閾値を超える明るさを有する前記検査画素を前記着色画素上の欠陥部と判定して、さらに前記欠陥部の検査画素から前記欠陥部の検出サイズを得ることを特徴とする外観検査装置。
である。
に照射し、得られた撮像データを比較処理することにより欠陥の有無を判定し、3)緑色の着色画素を検査する際には、青色及び赤色の光をカラーフィルタに照射し、得られた撮像データを比較処理することにより欠陥の有無を判定し、4)青色の着色画素を検査する際には、赤色及び緑色の光をカラーフィルタに照射し、得られた撮像データを比較処理することにより欠陥の有無を判定するので、赤色、緑色、青色の着色画素で構成されるカラーフィルタの製造工程で発生する欠陥、特に、白抜け(ピンホール)を外観検査する際に、その欠陥の検出能力を向上させて検査するすることのできるカラーフィルタの外観検査方法となる。
搬送部(30)上のカラーフィルタ(被検査体)(10)は、図6中、白太矢印で示すように、X軸方向に搬送されながら検査を受ける。
被検査体としてのカラーフィルタは、赤色、緑色、青色の着色画素で構成されるものであり、その赤色の着色画素に人工的に白抜け(欠陥部)を設けたものを用いている。
して備えられている。
表1に示すように、赤色の着色画素(22R)、緑色の着色画素(22G)、青色の着色画素(22B)の正常部は、78〜88の略等しい明るさとなっている。一方、欠陥部(D1−Ra)は、216であり、その明るさは遙に大きい明るさである。
表2は、2値化処理後に検出した欠陥部の検出サイズを表したものである。上段(c)の欠陥部(D1−Rc)の検出サイズは、前述した検査画素に換算し、6検査画素のサイズである。
これは、本発明においては、赤色の着色画素(22R)上にある欠陥部を検査する際には、カラーフィルタを照射する光として、赤色以外の緑色及び青色の光を照射するためである。
一方、赤色の着色画素(22R)の正常部は、16であり、緑色の着色画素(22G)及び青色の着色画素(22B)の正常部の明るさと比較し、著しく暗い状態である。
陥部(D2−Ra)の明るさ(214)と、赤色の着色画素(22R)の明るさ(16)の差の方が、大きなものとなっている。
被検査体としてのカラーフィルタは、赤色、緑色、青色の着色画素で構成されるものであり、その赤色、緑色、青色の着色画素の各々に人工的に白抜け(欠陥部)を設けたものを用いている。また、外観検査装置としては、赤色、緑色、青色の発光ダイオードが備えられた、上記に例示した外観検査装置を用いている。
また、中段(a)〜(c)は、赤色、緑色、青色の着色画素(22R、22G、22B)が、隣接して設けられたカラーフィルタ上の3色の着色画素の内、緑色の着色画素(22G)のみに白抜け(欠陥部)(D3−Ga)を設けた部分の検査を説明するものである。
上段、中段、下段共に、(a)列は、カラーフィルタの着色画素を撮像カメラで撮像した撮像画像、(b)列は、隣接する同色着色画素の明るさを比較処理した画像、(c)列は、2値化処理をした画像を表している。
その結果、図10(c)列に示すように、上段、すなわち、赤色の着色画素(22R)上の欠陥部(D3−Rc)のみが欠陥として検出された。尚、この閾値は、予め条件を確認して設定することができ、実際の運用に際しては自動処理を行うことができる。
被検査体としてのカラーフィルタは、第2例におけるカラーフィルタと同一のものである。すなわち、赤色、緑色、青色の着色画素で構成されるものであり、その赤色、緑色、青色の着色画素の各々に人工的に白抜け(欠陥部)を設けたものを用いている。また、外観検査装置としては、赤色、緑色、青色の発光ダイオードが備えられた、上記に例示した外観検査装置を用いている。
、青色の着色画素(22B)が、隣接して設けられたカラーフィルタ上の3色の着色画素の内、赤色の着色画素(22R)のみに白抜け(欠陥部)(D4−Ra)を設けた部分の検査を説明するものである。
また、中段(a)〜(c)は、赤色、緑色、青色の着色画素(22R、22G、22B)が、隣接して設けられたカラーフィルタ上の3色の着色画素の内、緑色の着色画素(22G)のみに白抜け(欠陥部)(D4−Ga)を設けた部分の検査を説明するものである。
上段、中段、下段共に、(a)列は、カラーフィルタの着色画素を撮像カメラで撮像した撮像画像、(b)列は、隣接する同色着色画素の明るさを比較処理した画像、(c)列は、2値化処理をした画像を表している。
表5は、比較処理後の各欠陥部の明るさを表したものである。表5に示すように、欠陥部の明るさが約150であることからして、閾値を128として2値化処理を行った。その結果、図11(c)列に示すように、各欠陥部共に検出することができた。
カメラ(8)(50A(8))の8個の撮像カメラで構成されており、これらは、カラーフィルタ(10)の搬送方向(X軸方向)と直角に、すなわち、カラーフィルタ(10)の幅方向(Y軸方向)に一列に順次に配列されているものである。
各制御は、演算部でのソフトウエア制御ではなく、別途専用ハードウエア制御でもよい。
1)搬送部(30)の受渡し機構(図示せず)は、カラーフィルタ(被検査体)(10)を受取る。アライメント機構(図示せず)は、カラーフィルタ(被検査体)の位置合わせを行う。
2)搬送部(30)は、カラーフィルタ(被検査体)(10)を保持し、光源部(40)と撮像部(50)の間を搬送する。
3)撮像部(50)は、搬送中のカラーフィルタ(被検査体)(10)を撮像し、撮像データを取得する。
4)撮像データ処理部(62)の比較処理部は撮像データを比較処理し、2値化処理部は2値化処理し、欠陥検出部は欠陥を検出し、判定部は欠陥を判定する。
5)表示部(65)は欠陥及び判定結果を表示する。
6)搬送部(30)の受渡し機構は、カラーフィルタ(被検査体)(10)を接続されている搬送機構に搬出する。
尚、外観検査装置へのカラーフィルタの搬入は、接続されている搬送機構により行われる。
対象色の製造工程での状況を把握する対象色検査の場合には、通常検査の場合と異なり、全ての欠陥の確認を行うことはできない。
11・・・定盤
12・・・検査ステージ
13A・・・反射光源
13B・・・透過光源
14A・・・反射撮像カメラ
14B・・・透過撮像カメラ
14C・・・顕微鏡
15・・・撮像データ処理部
16・・・制御ユニット
17・・・モニター
22・・・着色画素
22R・・・赤色の着色画素
22G・・・緑色の着色画素
22B・・・青色の着色画素
30・・・搬送部
40・・・光源部
50・・・撮像部
60・・・本発明の制御ユニット
61・・・記憶部
62・・・本発明の撮像データ処理部
63・・・演算部
64・・・操作部
65・・・表示部
D・・・欠陥
K・・・検査画素
Ki・・・着色画素の特定箇所(検査画素)
K1〜Kn・・・複数の検査画素
L×W・・・カラーフィルタの長さ、幅
a×b・・・着色画素の大きさ
Claims (5)
- 赤色、緑色、青色の着色画素で構成されるカラーフィルタの外観検査装置であって、
前記カラーフィルタを照射する透過検査光源として、赤色、緑色、青色の光を選択的に照射する光源部と、
搬送部の上方に設けられており、カラーフィルタを透過した透過光を撮像する撮像部と、前記カラーフィルタを前記光源部と前記撮像部間で保持、搬送させる搬送部と、
前記撮像部から伝送された撮像データを処理する撮像データ処理部と、
を備える制御ユニットと、を少なくとも具備し、
前記カラーフィルタを
1)前記赤色の着色画素を検査する際には、緑色及び青色の光を前記カラーフィルタに照射し、前記カラーフィルタの透過光を前記撮像部で撮像し、
2)前記緑色の着色画素を検査する際には、青色及び赤色の光を前記カラーフィルタに照射し、前記カラーフィルタの透過光を前記撮像部で撮像し、
3)前記青色の着色画素を検査する際には、赤色及び緑色の光を前記カラーフィルタに照射し、前記カラーフィルタの透過光を前記撮像部で撮像し、
1)から3)より得られた前記赤色、緑色、青色の着色画素の撮像データからXY方向に複数の領域に分割された検査画素を、前記撮像データ処理部で隣接する同じ色の着色画素の検査画素との差分を取る比較処理を行い、所定の閾値を超える明るさを有する前記検査画素を前記着色画素上の欠陥部と判定して、さらに前記欠陥部の検査画素から前記欠陥部の検出サイズを得ることを特徴とする外観検査装置。 - 前記赤色、緑色、青色の着色画素内の、対象色の着色画素の検査(対象色検査)と、赤色、緑色、青色の着色画素の検査(通常検査)を行う機能を備えていることを特徴とする請求項1記載のカラーフィルタの外観検査装置。
- 前記赤色、緑色、青色の光を選択的に照射できる光源として、ピーク波長630nmの赤色発光ダイオード、ピーク波長520nmの緑色発光ダイオード、ピーク波長460nmの青色発光ダイオードの3種の発光ダイオードを用いることを特徴とする請求項1および2記載のカラーフィルタの外観検査装置。
- 前記対象色検査と通常検査を、定期的に切り換えて行う機能を備えていることを特徴と
する請求項1、請求項2、又は請求項3記載のカラーフィルタの外観検査装置。 - 前記対象色検査と通常検査を、同一のカラーフィルタに対し複数回行う機構を備えていることを特徴とする請求項1、請求項2、請求項3、又は請求項4記載のカラーフィルタの外観検査装置。
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