JPH1164233A - カラーフィルタ検査装置 - Google Patents
カラーフィルタ検査装置Info
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- JPH1164233A JPH1164233A JP23897997A JP23897997A JPH1164233A JP H1164233 A JPH1164233 A JP H1164233A JP 23897997 A JP23897997 A JP 23897997A JP 23897997 A JP23897997 A JP 23897997A JP H1164233 A JPH1164233 A JP H1164233A
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- light
- color filter
- light transmitting
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ピンホール等の欠陥に対する検出感度を向上
させ、微小な欠陥であっても確実に検出することが可能
なカラーフィルタ検査装置を提供する。 【解決手段】 カラーフィルタ１は赤色光透過部６、緑
色光透過部７、青色光透過部８をガラス基板９上に形成
して成る。検査光として、赤色、緑色、青色のうち検査
しようとする光透過部８と異なる色の光を用いる。ガラ
ス基板９上に既に形成された光透過部６、７があるとき
は、検査光は、これらと同色のすべての色を混合した光
を用いる。
させ、微小な欠陥であっても確実に検出することが可能
なカラーフィルタ検査装置を提供する。 【解決手段】 カラーフィルタ１は赤色光透過部６、緑
色光透過部７、青色光透過部８をガラス基板９上に形成
して成る。検査光として、赤色、緑色、青色のうち検査
しようとする光透過部８と異なる色の光を用いる。ガラ
ス基板９上に既に形成された光透過部６、７があるとき
は、検査光は、これらと同色のすべての色を混合した光
を用いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ＬＣＤ等に用い
られるカラーフィルタの検査を行うカラーフィルタ検査
装置に関するものである。
られるカラーフィルタの検査を行うカラーフィルタ検査
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】上記のようなカラーフィルタは、ガラス
基板上に微小な赤色、緑色、青色の各光透過部を多数形
成して成り、ＬＣＤをカラー化する等のために用いられ
るものである。図３は、上記カラーフィルタの製造工程
を説明するための図である。同図に示すカラーフィルタ
はブラックマトリクスを備えたものであり、まずガラス
基板９上にブラックマトリクス１０を形成した後、赤色
のカラーレジスト１１を塗布する（同図（ａ））。次に
カラーレジスト１１を塗布したガラス基板９上にフォト
マスク１２を載置し、このフォトマスク１２を介して紫
外線を照射する（同図（ｂ））。上記カラーレジスト１
１は感光性のある着色樹脂であって、紫外線が照射され
ると硬化する性質を有している。そこで次に上記ガラス
基板９を現像して未硬化のカラーレジスト１１を除去す
る。するとガラス基板９上には、赤色光透過部６が形成
される（同図（ｃ））。そして同図（ａ）〜（ｃ）で示
す工程を、さらに緑色のカラーレジスト１１及び青色の
カラーレジスト１１を用いて繰り返し、ガラス基板９上
に緑色光透過部７と青色光透過部８とを順次に形成する
（同図（ｄ））。
基板上に微小な赤色、緑色、青色の各光透過部を多数形
成して成り、ＬＣＤをカラー化する等のために用いられ
るものである。図３は、上記カラーフィルタの製造工程
を説明するための図である。同図に示すカラーフィルタ
はブラックマトリクスを備えたものであり、まずガラス
基板９上にブラックマトリクス１０を形成した後、赤色
のカラーレジスト１１を塗布する（同図（ａ））。次に
カラーレジスト１１を塗布したガラス基板９上にフォト
マスク１２を載置し、このフォトマスク１２を介して紫
外線を照射する（同図（ｂ））。上記カラーレジスト１
１は感光性のある着色樹脂であって、紫外線が照射され
ると硬化する性質を有している。そこで次に上記ガラス
基板９を現像して未硬化のカラーレジスト１１を除去す
る。するとガラス基板９上には、赤色光透過部６が形成
される（同図（ｃ））。そして同図（ａ）〜（ｃ）で示
す工程を、さらに緑色のカラーレジスト１１及び青色の
カラーレジスト１１を用いて繰り返し、ガラス基板９上
に緑色光透過部７と青色光透過部８とを順次に形成する
（同図（ｄ））。
【０００３】ところが上記製造工程においてフォトマス
ク１２上にゴミ等が落下すると、紫外線を照射して露光
すべき場所であるにもかかわらず、上記ゴミ等によって
紫外線が遮られて露光されない部分が生じてしまうこと
がある。そして紫外線で露光されないカラーレジスト１
１は硬化せず現像工程で除去されるので、上記ゴミ等に
よって光透過部６、７、８にはピンホール等の欠陥が生
じることとなる。このような欠陥部分では、着色樹脂が
存しないために光透過部６、７、８の他の部分よりも光
の透過率が高くなっている。そこで従来のカラーフィル
タ検査装置では、ガラス基板９上に各色の光透過部６、
７、８を形成した後（図２（ｄ）の状態）、一方から白
色光を照射してその透過光を光センサで受光し、この光
センサの出力に基づいて上記欠陥を検出するようになっ
ていた。
ク１２上にゴミ等が落下すると、紫外線を照射して露光
すべき場所であるにもかかわらず、上記ゴミ等によって
紫外線が遮られて露光されない部分が生じてしまうこと
がある。そして紫外線で露光されないカラーレジスト１
１は硬化せず現像工程で除去されるので、上記ゴミ等に
よって光透過部６、７、８にはピンホール等の欠陥が生
じることとなる。このような欠陥部分では、着色樹脂が
存しないために光透過部６、７、８の他の部分よりも光
の透過率が高くなっている。そこで従来のカラーフィル
タ検査装置では、ガラス基板９上に各色の光透過部６、
７、８を形成した後（図２（ｄ）の状態）、一方から白
色光を照射してその透過光を光センサで受光し、この光
センサの出力に基づいて上記欠陥を検出するようになっ
ていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のように光透過部
６、７、８のうち欠陥を生じた部分は、それ以外の部分
よりも光の透過率が高くなっている。しかしながら上記
欠陥以外の部分であっても、例えば赤色光透過部６であ
れば、照射した白色光のうち赤色成分に対する透過率は
高い。そのため上記カラーフィルタ検査装置による欠陥
の検出感度は低くなり、直径約３０μｍ以下の欠陥を検
出するのは困難であるという問題があった。
６、７、８のうち欠陥を生じた部分は、それ以外の部分
よりも光の透過率が高くなっている。しかしながら上記
欠陥以外の部分であっても、例えば赤色光透過部６であ
れば、照射した白色光のうち赤色成分に対する透過率は
高い。そのため上記カラーフィルタ検査装置による欠陥
の検出感度は低くなり、直径約３０μｍ以下の欠陥を検
出するのは困難であるという問題があった。
【０００５】この発明は上記従来の欠点を解決するため
になされたものであって、その目的は、ピンホール等の
欠陥に対する検出感度を向上させ、微小な欠陥であって
も確実に検出することが可能なカラーフィルタ検査装置
を提供することにある。
になされたものであって、その目的は、ピンホール等の
欠陥に対する検出感度を向上させ、微小な欠陥であって
も確実に検出することが可能なカラーフィルタ検査装置
を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】そこで請求項１のカラー
フィルタ検査装置は、それぞれ複数の赤色光透過部６、
緑色光透過部７、青色光透過部８を、各色毎に順次に基
板９上に形成して成るカラーフィルタ１に対し、所定の
検査光を照射するとともに透過光又は反射光を光センサ
５で受光し、その出力に基づいて上記各光透過部６、
７、８に存するピンホール等の欠陥を検出するカラーフ
ィルタ検査装置において、上記検査光は、赤色、緑色、
青色のうち検査しようとする光透過部６と同色の成分比
が、白色光における同色の成分比よりも小さいことを特
徴としている。
フィルタ検査装置は、それぞれ複数の赤色光透過部６、
緑色光透過部７、青色光透過部８を、各色毎に順次に基
板９上に形成して成るカラーフィルタ１に対し、所定の
検査光を照射するとともに透過光又は反射光を光センサ
５で受光し、その出力に基づいて上記各光透過部６、
７、８に存するピンホール等の欠陥を検出するカラーフ
ィルタ検査装置において、上記検査光は、赤色、緑色、
青色のうち検査しようとする光透過部６と同色の成分比
が、白色光における同色の成分比よりも小さいことを特
徴としている。
【０００７】上記請求項１のカラーフィルタ検査装置で
は、その検査光に含まれる色成分のうち、検査しようと
する光透過部６を高い透過率をもって透過し得る色成分
の比が、白色光における同色の成分比よりも小さい。従
って検査しようとする光透過部６においては、上記欠陥
の生じた部分とそれ以外の部分とで、検査光の透過率を
従来よりも大きく変化させることが可能となる。
は、その検査光に含まれる色成分のうち、検査しようと
する光透過部６を高い透過率をもって透過し得る色成分
の比が、白色光における同色の成分比よりも小さい。従
って検査しようとする光透過部６においては、上記欠陥
の生じた部分とそれ以外の部分とで、検査光の透過率を
従来よりも大きく変化させることが可能となる。
【０００８】また請求項２のカラーフィルタ検査装置
は、上記検査光は、基板９上に形成されている光透過部
６、７、８のうち、検査しようとする光透過部８と異な
る色の光透過部６、７と同色の成分を有していることを
特徴としている。
は、上記検査光は、基板９上に形成されている光透過部
６、７、８のうち、検査しようとする光透過部８と異な
る色の光透過部６、７と同色の成分を有していることを
特徴としている。
【０００９】さらに請求項３のカラーフィルタ検査装置
は、上記検査光は、基板９上に形成されている光透過部
６、７、８のうち、検査しようとする光透過部８と異な
る色の光透過部６、７と同色の成分をすべて有している
ことを特徴としている。
は、上記検査光は、基板９上に形成されている光透過部
６、７、８のうち、検査しようとする光透過部８と異な
る色の光透過部６、７と同色の成分をすべて有している
ことを特徴としている。
【００１０】上記請求項２又は請求項３のカラーフィル
タ検査装置では、検査しない光透過部６、７において仮
に凹凸等があっても、その部分と他の部分とで検査光の
透過率が大きく異ならないので、光センサ５の出力信号
に混入するノイズを低減することが可能となる。
タ検査装置では、検査しない光透過部６、７において仮
に凹凸等があっても、その部分と他の部分とで検査光の
透過率が大きく異ならないので、光センサ５の出力信号
に混入するノイズを低減することが可能となる。
【００１１】請求項４のカラーフィルタ検査装置は、各
色の光透過部６、７、８をそれぞれ形成する毎に、形成
した光透過部６、７、８の検査を行うことを特徴として
いる。
色の光透過部６、７、８をそれぞれ形成する毎に、形成
した光透過部６、７、８の検査を行うことを特徴として
いる。
【００１２】上記請求項４のカラーフィルタ検査装置で
は、光透過部６、７、８を形成する毎に、発生した欠陥
があればこれを直ちに検出することが可能となる。
は、光透過部６、７、８を形成する毎に、発生した欠陥
があればこれを直ちに検出することが可能となる。
【００１３】請求項５のカラーフィルタ検査装置は、赤
色光透過部６を検査する際には、上記検査光として青色
光を用いることを特徴としている。
色光透過部６を検査する際には、上記検査光として青色
光を用いることを特徴としている。
【００１４】青色光と赤色光とは光の周波数が大きく離
れているので、上記請求項５のカラーフィルタ検査装置
では、赤色光透過部６を検査する検査光として、赤色の
成分比が極めて小さい光を用いることが可能となる。
れているので、上記請求項５のカラーフィルタ検査装置
では、赤色光透過部６を検査する検査光として、赤色の
成分比が極めて小さい光を用いることが可能となる。
【００１５】請求項６のカラーフィルタ検査装置は、青
色光透過部８を検査する際には、上記検査光として赤色
光を用いることを特徴としている。
色光透過部８を検査する際には、上記検査光として赤色
光を用いることを特徴としている。
【００１６】赤色光と青色光とは光の周波数が大きく離
れているので、上記請求項６のカラーフィルタ検査装置
では、青色光透過部８を検査する検査光として、青色の
成分比が極めて小さい光を用いることが可能となる。
れているので、上記請求項６のカラーフィルタ検査装置
では、青色光透過部８を検査する検査光として、青色の
成分比が極めて小さい光を用いることが可能となる。
【００１７】請求項７のカラーフィルタ検査装置は、上
記検査光は、白色光を有色フィルタ３に透過又は反射さ
せて形成していることを特徴としている。
記検査光は、白色光を有色フィルタ３に透過又は反射さ
せて形成していることを特徴としている。
【００１８】上記請求項７のカラーフィルタ検査装置で
は、その構成を簡素なものとすることが可能となる。
は、その構成を簡素なものとすることが可能となる。
【００１９】
【発明の実施の形態】次に、この発明のカラーフィルタ
検査装置の具体的な実施の形態について、図面を参照し
つつ詳細に説明する。
検査装置の具体的な実施の形態について、図面を参照し
つつ詳細に説明する。
【００２０】図１は、上記カラーフィルタ検査装置の光
学系を示す概略構成図である。被検査物であるカラーフ
ィルタ１は、図３を用いて説明した製造工程を経て得ら
れるものであり、そのガラス基板９上に赤色光透過部
６、緑色光透過部７、青色光透過部８が多数形成されて
いる。また光源はキセノンランプ２である。このキセノ
ンランプ２から発せられた白色光は、次に有色フィルタ
３を通過し、赤色光、緑色光、青色光、またはこれらの
うち２色が混合した光となって上記カラーフィルタ１に
照射される。そしてカラーフィルタ１を透過した光はレ
ンズ４によって集光され、ＣＣＤ等を用いて構成された
リニア光センサ５によって受光されるようになってい
る。
学系を示す概略構成図である。被検査物であるカラーフ
ィルタ１は、図３を用いて説明した製造工程を経て得ら
れるものであり、そのガラス基板９上に赤色光透過部
６、緑色光透過部７、青色光透過部８が多数形成されて
いる。また光源はキセノンランプ２である。このキセノ
ンランプ２から発せられた白色光は、次に有色フィルタ
３を通過し、赤色光、緑色光、青色光、またはこれらの
うち２色が混合した光となって上記カラーフィルタ１に
照射される。そしてカラーフィルタ１を透過した光はレ
ンズ４によって集光され、ＣＣＤ等を用いて構成された
リニア光センサ５によって受光されるようになってい
る。
【００２１】上記カラーフィルタ１は、図３を用いて説
明したように、ガラス基板９上に赤色光透過部６、緑色
光透過部７、青色光透過部８の各光透過部６、７、８を
順次に形成して成るものであるが、上記カラーフィルタ
１の検査は、上記光透過部６を各色について形成する毎
に行われる。図２は、このカラーフィルタ１の各検査に
おいてリニア光センサ５から出力される出力信号を示し
ている。同図（ａ）は、赤色光透過部６がガラス基板９
上に形成された後に行う検査で出力された出力信号であ
る。この検査においては、上記有色フィルタ３として青
色のものを用い、カラーフィルタ１に青色光を照射して
行う。赤色光透過部６では青色光に対する透過率が極め
て低いから、赤色光透過部６を透過した光によって生じ
るリニア光センサ５の出力信号も極めて小さいものとな
る。一方、光透過部６、７、８に生じるピンホール等の
欠陥部分は、上述のようにカラーレジスト１１が未硬化
のままで除去されてしまうことによって形成されるもの
であるため、各色の光に対する透過率は高い。従って上
記検査において赤色光透過部６にピンホール等の欠陥部
分があると、低い出力値のベースライン１５中に高いピ
ーク１４が現れることになる。
明したように、ガラス基板９上に赤色光透過部６、緑色
光透過部７、青色光透過部８の各光透過部６、７、８を
順次に形成して成るものであるが、上記カラーフィルタ
１の検査は、上記光透過部６を各色について形成する毎
に行われる。図２は、このカラーフィルタ１の各検査に
おいてリニア光センサ５から出力される出力信号を示し
ている。同図（ａ）は、赤色光透過部６がガラス基板９
上に形成された後に行う検査で出力された出力信号であ
る。この検査においては、上記有色フィルタ３として青
色のものを用い、カラーフィルタ１に青色光を照射して
行う。赤色光透過部６では青色光に対する透過率が極め
て低いから、赤色光透過部６を透過した光によって生じ
るリニア光センサ５の出力信号も極めて小さいものとな
る。一方、光透過部６、７、８に生じるピンホール等の
欠陥部分は、上述のようにカラーレジスト１１が未硬化
のままで除去されてしまうことによって形成されるもの
であるため、各色の光に対する透過率は高い。従って上
記検査において赤色光透過部６にピンホール等の欠陥部
分があると、低い出力値のベースライン１５中に高いピ
ーク１４が現れることになる。
【００２２】また同図（ｂ）は、緑色光透過部７が形成
された後に行う検査で出力された出力信号を示してい
る。この検査においては、上記有色フィルタ３として赤
色のものを用い、カラーフィルタ１に赤色光を照射して
行う。この検査を行う際には既に赤色光透過部６がガラ
ス基板９上に形成されているが、もし仮にこの赤色光透
過部６に凹凸等が生じていたとしても、赤色光透過部６
では赤色光に対する透過率が高いため、凹凸部分とそれ
以外の部分とでリニア光センサ５の出力信号には大きな
変化は生じない。従って赤色光透過部６では全体として
変化に乏しい出力値の大きな信号が出力されることにな
る。一方、緑色光透過部６では赤色光に対する透過率が
極めて低いため、ピンホール等の欠陥があると、これを
通過した光によってリニア光センサ５の出力信号には低
いベースライン１５中に鋭いピーク１４が生じる。
された後に行う検査で出力された出力信号を示してい
る。この検査においては、上記有色フィルタ３として赤
色のものを用い、カラーフィルタ１に赤色光を照射して
行う。この検査を行う際には既に赤色光透過部６がガラ
ス基板９上に形成されているが、もし仮にこの赤色光透
過部６に凹凸等が生じていたとしても、赤色光透過部６
では赤色光に対する透過率が高いため、凹凸部分とそれ
以外の部分とでリニア光センサ５の出力信号には大きな
変化は生じない。従って赤色光透過部６では全体として
変化に乏しい出力値の大きな信号が出力されることにな
る。一方、緑色光透過部６では赤色光に対する透過率が
極めて低いため、ピンホール等の欠陥があると、これを
通過した光によってリニア光センサ５の出力信号には低
いベースライン１５中に鋭いピーク１４が生じる。
【００２３】さらに同図（ｃ）は、青色光透過部８が形
成された後に行う検査で出力された出力信号を示してい
る。この検査においては、上記有色フィルタ３として赤
色と緑色とが混合した光を透過させるものを用い、カラ
ーフィルタ１に赤色と緑色とが混合した光を照射して行
う。この検査を行う際には既に赤色光透過部６と緑色光
透過部７とがガラス基板９上に形成されているが、これ
らの赤色光透過部６と緑色光透過部７とは上記混合色の
検査光に対する透過率が高いため、上記と同様、これら
の部分では全体として変化に乏しい出力値の大きな信号
が出力されることになる。一方、青色光透過部６では、
赤色光及び緑色光に対する透過率が極めて低いため、ピ
ンホール等の欠陥があると、これを通過した光によって
リニア光センサ５の出力信号には低いベースライン１５
中に鋭いピーク１４が生じる。
成された後に行う検査で出力された出力信号を示してい
る。この検査においては、上記有色フィルタ３として赤
色と緑色とが混合した光を透過させるものを用い、カラ
ーフィルタ１に赤色と緑色とが混合した光を照射して行
う。この検査を行う際には既に赤色光透過部６と緑色光
透過部７とがガラス基板９上に形成されているが、これ
らの赤色光透過部６と緑色光透過部７とは上記混合色の
検査光に対する透過率が高いため、上記と同様、これら
の部分では全体として変化に乏しい出力値の大きな信号
が出力されることになる。一方、青色光透過部６では、
赤色光及び緑色光に対する透過率が極めて低いため、ピ
ンホール等の欠陥があると、これを通過した光によって
リニア光センサ５の出力信号には低いベースライン１５
中に鋭いピーク１４が生じる。
【００２４】なおリニア光センサ５から出力された図２
に示す信号は、次に信号処理回路（図示せず）に入力さ
れる。この信号処理回路では、入力した信号の周期性を
把握したうえで前の一周期分の信号と比較し、その差分
を把握する。そしてこの差分に対して所定のしきい値を
設定しておき、このしきい値を超える変化が上記信号に
あったか否かによってピンホール等の欠陥の有無を検出
するようになっている。
に示す信号は、次に信号処理回路（図示せず）に入力さ
れる。この信号処理回路では、入力した信号の周期性を
把握したうえで前の一周期分の信号と比較し、その差分
を把握する。そしてこの差分に対して所定のしきい値を
設定しておき、このしきい値を超える変化が上記信号に
あったか否かによってピンホール等の欠陥の有無を検出
するようになっている。
【００２５】上記カラーフィルタ検査装置では、赤色光
透過部６の検査を行う際には、青色光をカラーフィルタ
１に照射するようにしている。従って赤色光透過部６に
ピンホール等の欠陥があったときには、リニア光センサ
５の出力信号には低いベースライン１５中に鋭いピーク
１４が出現することとなり、そのため検出感度が高くな
って上記欠陥を確実に検出することができる。そのため
従来は直径約３０μｍの欠陥を検出するのが限界であっ
たのに対し、上記検査装置では、直径約１０μｍの欠陥
まで検出することができる。またこのときに用いる検査
光は緑色光でもよい。しかしながら上記では赤色光から
周波数の離隔が大きい青色光を用いることにより、検査
光中に含まれる赤色光透過部６を透過し得る成分を極め
て少なくして上記検出感度を確実に向上させている。
透過部６の検査を行う際には、青色光をカラーフィルタ
１に照射するようにしている。従って赤色光透過部６に
ピンホール等の欠陥があったときには、リニア光センサ
５の出力信号には低いベースライン１５中に鋭いピーク
１４が出現することとなり、そのため検出感度が高くな
って上記欠陥を確実に検出することができる。そのため
従来は直径約３０μｍの欠陥を検出するのが限界であっ
たのに対し、上記検査装置では、直径約１０μｍの欠陥
まで検出することができる。またこのときに用いる検査
光は緑色光でもよい。しかしながら上記では赤色光から
周波数の離隔が大きい青色光を用いることにより、検査
光中に含まれる赤色光透過部６を透過し得る成分を極め
て少なくして上記検出感度を確実に向上させている。
【００２６】また緑色光透過部７の検査を行う際には、
赤色光をカラーフィルタ１に照射するようにしている。
従って上記と同様に緑色光透過部７にピンホール等の欠
陥があったときには、リニア光センサ５の出力信号には
低いベースライン１５中に鋭いピーク１４が出現し、そ
のため検出感度が高くなって上記欠陥を確実に検出する
ことができる。このときに用いる検査光は青色光でもよ
い。しかしながら上記では赤色光を用いることにより、
既にガラス基板９上に形成され検査が終了している赤色
光透過部６からその膜厚の変化等によって生じるノイズ
が検出信号に混入するのを防止して、緑色光透過部７に
おけるピンホール等の欠陥を確実に検出することができ
るようになっている。
赤色光をカラーフィルタ１に照射するようにしている。
従って上記と同様に緑色光透過部７にピンホール等の欠
陥があったときには、リニア光センサ５の出力信号には
低いベースライン１５中に鋭いピーク１４が出現し、そ
のため検出感度が高くなって上記欠陥を確実に検出する
ことができる。このときに用いる検査光は青色光でもよ
い。しかしながら上記では赤色光を用いることにより、
既にガラス基板９上に形成され検査が終了している赤色
光透過部６からその膜厚の変化等によって生じるノイズ
が検出信号に混入するのを防止して、緑色光透過部７に
おけるピンホール等の欠陥を確実に検出することができ
るようになっている。
【００２７】さらに青色光透過部８の検査を行う際に
は、赤色と緑色とが混合した光をカラーフィルタ１に照
射するようにしている。従ってこの場合にも上記と同様
に青色光透過部８にピンホール等の欠陥があったときに
は、リニア光センサ５の出力信号には低いベースライン
１５中に鋭いピーク１４が出現し、そのため検出感度が
高くなって上記欠陥を確実に検出することができる。こ
のときに用いる検査光は、赤色光のみでもよいし、また
緑色光のみでもよい。しかしながら上記では赤色と緑色
とが混合した光を用いることにより、上記と同様に赤色
光透過部６及び緑色光透過部７からその膜厚の変化等に
よって生じるノイズが検出信号に混入するのを防止し
て、青色光透過部７におけるピンホール等の欠陥を確実
に検出することができるようになっている。
は、赤色と緑色とが混合した光をカラーフィルタ１に照
射するようにしている。従ってこの場合にも上記と同様
に青色光透過部８にピンホール等の欠陥があったときに
は、リニア光センサ５の出力信号には低いベースライン
１５中に鋭いピーク１４が出現し、そのため検出感度が
高くなって上記欠陥を確実に検出することができる。こ
のときに用いる検査光は、赤色光のみでもよいし、また
緑色光のみでもよい。しかしながら上記では赤色と緑色
とが混合した光を用いることにより、上記と同様に赤色
光透過部６及び緑色光透過部７からその膜厚の変化等に
よって生じるノイズが検出信号に混入するのを防止し
て、青色光透過部７におけるピンホール等の欠陥を確実
に検出することができるようになっている。
【００２８】また上記では各色の光透過部６、７、８を
形成する毎に形成した光透過部６、７、８の検査を行っ
ているので、光透過部６、７、８に欠陥が生じたときに
は直ちにこれを検出し、工程を中断することができる。
従って欠陥が生じているにもかかわらずに工程を続行す
るという無駄を排することができるとともに、どの工程
で欠陥が生じたかを容易に判別することができる。さら
に上記では、有色フィルタ３に白色光を透過させて検査
光を形成しているので、検査装置の構成を簡素なものと
することができる。
形成する毎に形成した光透過部６、７、８の検査を行っ
ているので、光透過部６、７、８に欠陥が生じたときに
は直ちにこれを検出し、工程を中断することができる。
従って欠陥が生じているにもかかわらずに工程を続行す
るという無駄を排することができるとともに、どの工程
で欠陥が生じたかを容易に判別することができる。さら
に上記では、有色フィルタ３に白色光を透過させて検査
光を形成しているので、検査装置の構成を簡素なものと
することができる。
【００２９】以上にこの発明の具体的な実施の形態につ
いて説明したが、この発明は上記形態に限定されるもの
ではなく、この発明の範囲内で種々変更して実施するこ
とができる。上記カラーフィルタ１は、赤色光透過部
６、緑色光透過部７、青色光透過部８の順にガラス基板
９上に光透過部６、７、８を形成するものであるが、こ
れと異なる順序で光透過部６、７、８を形成するもので
あっても、赤色、緑色、青色のうち、検査しようとする
光透過部６、７、８と異なる色の光を検査光として用い
ることにより、本発明の優れた効果を得ることができ
る。そしてこの場合にも、既にガラス基板９上に形成さ
れている光透過部６、７、８があれば、それと同色の光
を検査光として用いるのが望ましい。一方、例えば青色
光透過部８が最初に形成される場合にこの青色光透過部
８の検査を行うには、検査光として赤色光を用いるのが
望ましい。上述のように赤色光は青色光から周波数の離
隔が大きいので、検査光中に含まれる青色光透過部８を
透過し得る成分が極めて少なくなり、検出感度を確実に
向上させることができるからである。
いて説明したが、この発明は上記形態に限定されるもの
ではなく、この発明の範囲内で種々変更して実施するこ
とができる。上記カラーフィルタ１は、赤色光透過部
６、緑色光透過部７、青色光透過部８の順にガラス基板
９上に光透過部６、７、８を形成するものであるが、こ
れと異なる順序で光透過部６、７、８を形成するもので
あっても、赤色、緑色、青色のうち、検査しようとする
光透過部６、７、８と異なる色の光を検査光として用い
ることにより、本発明の優れた効果を得ることができ
る。そしてこの場合にも、既にガラス基板９上に形成さ
れている光透過部６、７、８があれば、それと同色の光
を検査光として用いるのが望ましい。一方、例えば青色
光透過部８が最初に形成される場合にこの青色光透過部
８の検査を行うには、検査光として赤色光を用いるのが
望ましい。上述のように赤色光は青色光から周波数の離
隔が大きいので、検査光中に含まれる青色光透過部８を
透過し得る成分が極めて少なくなり、検出感度を確実に
向上させることができるからである。
【００３０】また上記では各色の光透過部６、７、８を
形成する毎にその検査を行ったが、すべの光透過部６、
７、８を形成した後に検査を行うようにすることも勿論
可能である。この場合には、検査しようとする光透過部
と異なる２色を混合した光、例えば赤色光透過部６を検
査しようとする場合には、緑色光と青色光とを混合した
光を検査光として用いることにより、検査しようとする
光透過部６、７、８に欠陥があるか否かを各色毎に個別
に知ることができる。
形成する毎にその検査を行ったが、すべの光透過部６、
７、８を形成した後に検査を行うようにすることも勿論
可能である。この場合には、検査しようとする光透過部
と異なる２色を混合した光、例えば赤色光透過部６を検
査しようとする場合には、緑色光と青色光とを混合した
光を検査光として用いることにより、検査しようとする
光透過部６、７、８に欠陥があるか否かを各色毎に個別
に知ることができる。
【００３１】さらに上記では、カラーフィルタ１に検査
光を透過させてリニア光センサ５で受光したが、カラー
フィルタ１に検査光を反射させてリニア光センサ５で受
光するようにしてもよい。また白色光を有色フィルタ３
に透過させて検査光を形成したが、これについても白色
光を有色フィルタ３で反射させて検査光を形成してもよ
い。
光を透過させてリニア光センサ５で受光したが、カラー
フィルタ１に検査光を反射させてリニア光センサ５で受
光するようにしてもよい。また白色光を有色フィルタ３
に透過させて検査光を形成したが、これについても白色
光を有色フィルタ３で反射させて検査光を形成してもよ
い。
【００３２】
【発明の効果】上記請求項１のカラーフィルタ検査装置
では、検査しようとする光透過部において、欠陥の生じ
た部分とそれ以外の部分とで検査光の透過率が大きく異
なるので、欠陥の検出精度を大幅に向上させることが可
能となる。
では、検査しようとする光透過部において、欠陥の生じ
た部分とそれ以外の部分とで検査光の透過率が大きく異
なるので、欠陥の検出精度を大幅に向上させることが可
能となる。
【００３３】また請求項２又は請求項３のカラーフィル
タ検査装置では、検査しようとする光透過部以外の光透
過部から生じる検出信号のノイズを低減できるので、欠
陥の検出精度を一段と向上させることが可能となる。
タ検査装置では、検査しようとする光透過部以外の光透
過部から生じる検出信号のノイズを低減できるので、欠
陥の検出精度を一段と向上させることが可能となる。
【００３４】さらに請求項４のカラーフィルタ検査装置
では、欠陥を検出した際にはただちに工程を中断し、製
造コストの低減を図ることが可能となる。
では、欠陥を検出した際にはただちに工程を中断し、製
造コストの低減を図ることが可能となる。
【００３５】請求項５のカラーフィルタ検査装置では、
赤色光透過部の検査に際し、より一段と検出感度を向上
させることが可能となる。
赤色光透過部の検査に際し、より一段と検出感度を向上
させることが可能となる。
【００３６】請求項６のカラーフィルタ検査装置では、
青色光透過部の検査に際し、より一段と検出感度を向上
させることが可能となる。
青色光透過部の検査に際し、より一段と検出感度を向上
させることが可能となる。
【００３７】請求項７のカラーフィルタ検査装置では、
その構成を簡素なものとすることが可能となる。
その構成を簡素なものとすることが可能となる。
【図１】この発明のカラーフィルタ検査装置の光学系を
示す概略構成図である。
示す概略構成図である。
【図２】上記カラーフィルタ検査装置のリニア光センサ
から出力される出力信号を各工程について示す図であ
り、（ａ）は赤色光透過部を形成した後、（ｂ）は緑色
光透過部を形成した後、（ｃ）は青色光透過部を形成し
た後のそれぞれにおける出力信号を示している。
から出力される出力信号を各工程について示す図であ
り、（ａ）は赤色光透過部を形成した後、（ｂ）は緑色
光透過部を形成した後、（ｃ）は青色光透過部を形成し
た後のそれぞれにおける出力信号を示している。
【図３】カラーフィルタの製造工程を示す図である。
１ カラーフィルタ ３ 有色フィルタ ５ リニア光センサ ６ 赤色光透過部 ７ 緑色光透過部 ８ 青色光透過部 ９ ガラス基板
Claims (7)
- 【請求項１】 それぞれ複数の赤色光透過部（６）、緑
色光透過部（７）、青色光透過部（８）を、各色毎に順
次に基板（９）上に形成して成るカラーフィルタ（１）
に対し、所定の検査光を照射するとともに透過光又は反
射光を光センサ（５）で受光し、その出力に基づいて上
記各光透過部（６）（７）（８）に存するピンホール等
の欠陥を検出するカラーフィルタ検査装置において、上
記検査光は、赤色、緑色、青色のうち検査しようとする
光透過部（６）と同色の成分比が、白色光における同色
の成分比よりも小さいことを特徴とするカラーフィルタ
検査装置。 - 【請求項２】 上記検査光は、基板（９）上に形成され
ている光透過部（６）（７）（８）のうち、検査しよう
とする光透過部（８）と異なる色の光透過部（６）
（７）と同色の成分を有していることを特徴とする請求
項１のカラーフィルタ検査装置。 - 【請求項３】 上記検査光は、基板（９）上に形成され
ている光透過部（６）（７）（８）のうち、検査しよう
とする光透過部（８）と異なる色の光透過部（６）
（７）と同色の成分をすべて有していることを特徴とす
る請求項１のカラーフィルタ検査装置。 - 【請求項４】 各色の光透過部（６）（７）（８）をそ
れぞれ形成する毎に、形成した光透過部（６）（７）
（８）の検査を行うことを特徴とする請求項１〜請求項
３のいずれかのカラーフィルタ検査装置。 - 【請求項５】 赤色光透過部（６）を検査する際には、
上記検査光として青色光を用いることを特徴とする請求
項１のカラーフィルタ検査装置。 - 【請求項６】 青色光透過部（８）を検査する際には、
上記検査光として赤色光を用いることを特徴とする請求
項１のカラーフィルタ検査装置。 - 【請求項７】 上記検査光は、白色光を有色フィルタ
（３）に透過又は反射させて形成していることを特徴と
する請求項１〜請求項６のいずれかのカラーフィルタ検
査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23897997A JPH1164233A (ja) | 1997-08-19 | 1997-08-19 | カラーフィルタ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23897997A JPH1164233A (ja) | 1997-08-19 | 1997-08-19 | カラーフィルタ検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1164233A true JPH1164233A (ja) | 1999-03-05 |
Family
ID=17038141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23897997A Pending JPH1164233A (ja) | 1997-08-19 | 1997-08-19 | カラーフィルタ検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1164233A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004223437A (ja) * | 2003-01-24 | 2004-08-12 | Toppan Printing Co Ltd | カラーレジスト塗布ムラ検査装置 |
| US6842240B2 (en) * | 2002-03-29 | 2005-01-11 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Color filter inspection apparatus |
| JP2010256113A (ja) * | 2009-04-23 | 2010-11-11 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの外観検査方法及び外観検査装置 |
-
1997
- 1997-08-19 JP JP23897997A patent/JPH1164233A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6842240B2 (en) * | 2002-03-29 | 2005-01-11 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Color filter inspection apparatus |
| JP2004223437A (ja) * | 2003-01-24 | 2004-08-12 | Toppan Printing Co Ltd | カラーレジスト塗布ムラ検査装置 |
| JP2010256113A (ja) * | 2009-04-23 | 2010-11-11 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの外観検査方法及び外観検査装置 |
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|---|---|---|---|
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| A521 | Written amendment |
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|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051226 |
|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060110 |
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| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20060523 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |