KR20180013709A - 조명 유닛, 결함 검사 장치, 및 조명 방법 - Google Patents

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Abstract

(과제) 검사 대상물이 광택에 얼룩이 있는 물품이어도, 색채 결함이나 요철 결함의 검사를 적정하게 행할 수 있는 기술을 제공한다.
(해결 수단) 조명 유닛(3)은, 제1 조명부(32)와 제2 조명부(33)와 제3 조명부(34)를 포함하고 있다. 제1 조명부(32)는, 제1 방향에서 검사 위치에 세트된 검사 대상물에 조사되는 조명광을 발광한다. 제2 조명부(33)는, 제2 방향에서 검사 위치에 세트된 검사 대상물에 조사되는 조명광을 발광한다. 제3 조명부(34)는, 제3 방향에서 검사 위치에 세트된 검사 대상물에 조사되는 조명광을 발광한다. 제1 방향, 제2 방향, 및 제3 방향은, 각각 상이한 방향이다. 제2 조명부(33) 또는 제3 조명부(34) 중 하나는, 제1 조명부(32)와 동일한 색의 조명광을 발광한다. 제1 방향은 제1 조명부(32)에 의해서 조사되어 검사 대상물에서 반사된 정반사광의 광축을 카메라(10)의 광축에 맞춘 방향이다.

Description

조명 유닛, 결함 검사 장치, 및 조명 방법 {LIGHTING UNIT, DEFECTS INSPECTION DEVICE, AND LIGHTING METHOD}
본 발명은, 검사 대상물에 결함이 발생하였는지 어떤지를 검사하는 기술에 관한 것이다.
종래, 검사 대상물에, 색채 결함이나 요철 결함(이하, 이것들을 총칭하는 경우, 단지 결함이라고 한다.)이 발생하였는지 어떤지를 검사하는 결함 검사 장치가 있었다(특허문헌 1 참조). 검사 대상물은, 여러 가지 종류의 성형체로서, 전자부품이나 전자기기 등의 물품이다. 색채 결함은, 검사 대상물의 성형공정시 또는 성형공정 후에, 이물이 부착하는 등 하여 발생한 결함이다. 요철 결함은, 검사 대상물의 성형공정시에 있어서의 성형 불량이나, 성형공정 후에 무언가에 부딪치는 등 하여 발생한 흠집이나 타흔이다.
특허문헌 1의 결함 검사 장치는, 검사 대상물에 결함이 발생하였는지 어떤지를, 검사 대상물을 촬상한 화상을 처리하여 검사하는 구성이다. 구체적으로는, 이 결함 검사 장치는, 검사 대상물에 대해서, 제1 방향에서 제1 조명광을 조사함과 함께, 제1 방향과는 다른 제2 방향에서 제2 조명광을 조사하고 있는 상태에서, 이 검사 대상물의 칼라 화상을 카메라로 촬상한다. 제1 조명광과 제2 조명광은, 다른 색의 조명광이다. 카메라는, 제1 방향에서 검사 대상물에 조사한 조명광의 정반사광을 수광하는 방향으로 설치되어 있다. 결함 검사 장치는, 카메라로 촬상한 검사 대상물의 화상에 대하여, 제1 조명광의 색에 대응하는 제1 색채 화상, 및 제2 조명광의 색에 대응하는 제2 색채 화상을 생성한다. 그리고, 결함 검사 장치는, 제1 색채 화상을 처리하여 검사 대상물에 요철 결함이 발생하였는지 어떤지를 검사함과 함께, 제2 색채 화상을 처리하여 검사 대상물에 색채 결함이 발생하였는지 어떤지를 검사한다.
특허문헌 1의 결함 검사 장치는, 요철 결함이 발생한 장소에서는, 대응하는 화소로 수광되는 제1 조명광의 정반사광의 광량이 감소하는 것, 그리고 색채 결함이 발생한 장소에 대응하는 화소와 색채 결함이 발생하지 않은 장소에 대응하는 화소에 있어서, 수광되는 확산 반사광(제2 조명광의 반사광)의 광량에 차이가 생기는 것을 이용하여, 검사 대상물에 결함이 발생하였는지 어떤지를 검사하는 것이다.
일본 특허공개 특개2006-313146호 공보
그렇지만, 특허문헌 1의 결함 검사 장치는, 검사 대상물의 광택의 얼룩을 결함(색채 결함)으로서 검출하는 것이다. 따라서, 특허문헌 1의 결함 검사 장치로는, 검사 대상물이 광택에 얼룩이 있는 물품이라면, 결함 검사를 적정하게 행할 수 없다.
광택에 얼룩이 있는 검사 대상물이란, 검사면의 반사율이 한결같지 않은 물품으로서, 예를 들면 플렉서블 기판(FPC 기판), 프린트 기판, 표면에 모양이 그려져 있는 물품(모양 위에 코팅층이 형성되고 있는 물품을 포함한다)이다. FPC 기판이나, 프린트 기판은, 회로 패턴(도체 패턴)이 형성되어 있고, 통상은 금속 박막으로 형성되어 있다. 그렇지만, 금속 박막의 표면은, 그 가공상의 문제로 표면에 반사율이 높은 곳(거울면)과 낮은 곳(확산면)이 얼룩지게 존재하여, 광택 얼룩이 발생하고 있다.
본 발명의 목적은, 검사 대상물이 광택에 얼룩이 있는 물품이어도, 색채 결함이나 요철 결함의 검사를 적정하게 행할 수 있는 기술을 제공하는 것에 있다.
본 발명의 조명 유닛은, 상기 목적을 달성하기 위해서, 이하와 같이 구성되어 있다.
이 조명 유닛은, 검사 위치에 세트된 검사 대상물을 카메라로 촬상할 경우에, 이 검사 대상물에 조명광을 조사한다. 조명 유닛은, 제1 조명부와, 제2 조명부와, 제3 조명부를 포함하고 있다.
제1 조명부는, 제1 방향에서, 검사 위치에 세트된 검사 대상물에 조사되는 조명광을 발광한다. 제2 조명부는, 제2 방향에서, 검사 위치에 세트된 검사 대상물에 조사되는 조명광을 발광한다. 제3 조명부는, 제3 방향에서, 검사 위치에 세트된 검사 대상물에 조사되는 조명광을 발광한다. 제1 방향, 제2 방향, 및 제3 방향은, 각각 다른 방향이다.
또, 제2 조명부, 또는 제3 조명부 중 적어도 하나는, 제1 조명부가 조사하는 조명광과 같은 색의 조명광을 발광한다. 여기서 말하는 같은 색의 조명광이란, 파장이 완전하게 일치한다는 한정적인 의미로 해석되는 것이 아니고, 유사색일 수도 있다. 또, 제1 조명부가 조사하는 조명광의 색은, 결함과 배경의 차이가 커지는 색으로 하는 것이 바람직하다. 게다가, 제1 방향은, 제1 조명부에 의해서 검사 대상물에 조사된 조명광으로서, 검사 대상물에서 반사된 정반사광의 광축을, 카메라의 광축에 맞춘 방향이다.
또한, 여기서 말하는, 검사 대상물에서 반사된 정반사광의 광축을 카메라의 광축에 맞춘다는 것은, 이 정반사광의 광축과 카메라의 광축을 일치시킨다고 하는 한정적인 의미로 해석되는 것이 아니고, 이들 광축이 이루는 각도가, 비교적 작다(예를 들면 10도 미만)는 의미로 해석되는 것이다.
카메라는, 제1 조명부에 의해서 조사된 조명광으로서 검사 대상물에서 반사된 정반사광, 그리고 제2 조명부 및 제3 조명부에 의해서 조사된 조명광으로서 검사 대상물에서 반사된 확산 반사광을 각 화소로 수광한다.
제1 조명부에 의해서 조사된 조명광으로서, 카메라의 각 화소로 수광되는 정반사광은, 조사한 조명광의 색의 정반사율이 높은 영역만큼 광량이 커진다. 한편, 제2 조명부 및 제3 조명부에 의해서 조사된 조명광으로서, 카메라의 각 화소로 수광되는 확산 반사광은, 조사한 조명광의 색의 정반사율이 높은 영역만큼 광량이 작아진다. 따라서, 검사 대상물이 광택에 얼룩이 있는 물품이어도, 제1 조명부에 의해서 조사되는 조명광의 광량, 및 제1 조명부와 같은 색의 조명광을 조사하는 제2 조명부 또는 제3 조명부에 의해서 조사되는 조명광의 광량을 조정함으로써, 제1 조명부에 의해서 조사된 색의 조명광에 대하여, 카메라의 각 화소로 수광되는 광량을 대략 균일하게 할 수 있다. 즉, 검사 대상물이 광택에 얼룩이 있는 물품이어도, 검사 대상물의 광택의 얼룩을 지운 화상을 카메라로 촬상할 수 있다. 또, 검사 대상물이 광택에 얼룩이 없는 물품이어도, 검사 대상물의 광택에 따른 화상을 카메라로 촬상할 수 있다.
또, 이물이 부착되어 있는 등의 색채 결함이 발생한 장소나, 흠집이나 타흔이 있는 요철 결함이 발생한 장소에 대해서는, 대응하는 화소로 수광되는 반사광의 광량이 감소한다. 따라서, 카메라로 촬상한 화상에는, 색채 결함 및 요철 결함이 발생한 장소가 적정하게 촬상되고 있다.
이 때문에, 카메라로 촬상한 화상은, 검사 대상물의 광택의 얼룩은 소실되고, 이물이 부착되어 있는 색채 결함이나, 흠집이나 타흔에 의한 요철 결함은 촬상된 화상이 된다. 따라서, 검사 대상물이 광택에 얼룩이 있는 물품인지, 광택에 얼룩이 없는 물품인지에 관계없이, 색채 결함이나 요철 결함의 검사를 적정하게 행할 수 있다.
또, 제2 조명부를 제1 조명부가 조사하는 조명광과 같은 색의 조명광으로 함과 함께, 제3 조명부를 제1 조명부가 조사하는 조명광과 다른 색의 조명광으로 할 수도 있다.
제3 조명부가 조사한 조명광으로서, 요철 결함이 발생한 장소에 대응하는 화소로 수광되는 반사광의 광량과, 요철 결함이 발생하지 않은 장소에 대응하는 화소로 수광되는 반사광의 광량은 다르다. 따라서, 카메라로 촬상한 화상으로서, 제3 조명부가 조사한 색의 색채 화상을 처리함으로써, 검사 대상물의 색채 결함과 요철 결함을 구별하여 검출할 수 있다.
또, 제3 조명부가 조사한 조명광은, 발생한 요철 결함의 경사대로 정반사한다. 이 때문에, 제1 방향과 제2 방향이 이루는 각도를, 제1 방향과 제3 방향이 이루는 각도보다 커지게 함으로써(바꾸어 말하면, 제1 방향과 제3 방향이 이루는 각도를, 제1 방향과 제2 방향이 이루는 각도보다 작아지게 한다.), 제3 조명부가 조사한 조명광으로서, 요철 결함이 발생한 장소에 대응하는 화소로 수광되는 반사광의 광량을, 색채 결함이 발생한 장소에 대응하는 화소로 수광되는 반사광의 광량보다 커지게 할 수 있다.
게다가, 제1 방향은, 카메라의 광축에 맞춘 방향으로 하고, 제1 조명부에 의한 조명광을 소위 동축낙사조명(同軸落射照明)으로 할 수도 있다.
또한, 여기서 말하는, 제1 방향을 카메라의 광축에 맞춘다는 것은, 제1 방향과 카메라의 광축을 일치시킨다고 하는 한정적인 의미로 해석되는 것이 아니고, 제1 방향과 카메라의 광축이 이루는 각도가, 비교적 작다(예를 들면 10도 미만)고 하는 의미로 해석되는 것이다.
또, 본 발명의 결함 검사 장치는, 상기 조명 유닛과, 카메라와, 화상 처리 유닛을 포함한다. 화상 처리 유닛은, 카메라에 의해서 촬상된 화상을 처리하여, 검사 대상물에 발생한 결함을 검출한다.
전술한 바와 같이, 이 결함 검사 장치라면, 카메라로 촬상한 화상은, 검사 대상물의 광택의 얼룩이 소실되어, 이물이 부착된 색채 결함이나, 흠집이나 타흔에 의한 요철 결함이 촬상된 화상으로 된다.
또, 본 발명의 결함 검사 장치는, 상기 조명 유닛으로서, 제2 조명부와 제3 조명부가 조사하는 조명광의 색이 다른 조명 유닛과, 카메라와, 화상 처리 유닛을 포함한다. 화상 처리 유닛은, 카메라에 의해서 촬상된 화상에 대하여, 제1 조명부가 조사하는 조명광의 색에 따른 색채의 제1 색채 화상, 및 제3 조명부가 조사하는 조명광의 색에 따른 색채의 제2 색채 화상을 생성하고, 제1 색채 화상 및 제2 색채 화상에 의해서, 검사 대상물에 발생한 결함을 검출한다.
전술한 바와 같이, 이 결함 검사 장치라면, 검사 대상물의 광택의 얼룩이 소실되어, 이물이 부착된 색채 결함과, 흠집이나 타흔에 의한 요철 결함을 각각 다른 반사광의 색으로 구별하여 검출할 수 있다.
본 발명에 의하면, 검사 대상물이 광택에 얼룩이 있는 물품이어도, 색채 결함이나 요철 결함의 검사를 적정하게 행할 수 있다.
도 1은, 결함 검사 장치의 주요부의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 2의 (A), (B)는, 결함 검사 장치의 외관을 나타내는 개략도이다.
도 3은, 카메라의 광축 방향에 있어서의 조명 유닛의 단면도이다.
도 4는, 도 3에 나타내는 A방향에서 본 조명 유닛의 평면도이다.
도 5는, 본 예의 검사 대상물인 FPC 생(生)기판을 나타내는 평면도이다.
도 6은, 결함 검사 장치의 동작을 나타내는 플로차트이다.
도 7의 (A), (B)는, 필터 처리에 의해 생성되는 화상을 설명하는 도면이다.
도 8의 (A), (B)는, 필터 처리에 의해 생성되는 화상을 설명하는 도면이다.
도 9의 (A), (B)는, 필터 처리에 의해 생성되는 화상을 설명하는 도면이다.
이하, 본 발명의 실시형태인 결함 검사 장치에 대하여 설명한다.
도 1은, 결함 검사 장치의 주요부 구성을 나타내는 블록도이다. 도 2의 (A)는, 결함 검사 장치의 상면 개략도이며, 도 2의 (B)는, 결함 검사 장치의 정면 개략도이다. 결함 검사 장치(1)는, 제어 유닛(2)과, 조명 유닛(3)과, 화상 처리 유닛(4)과, 검사 대상물 반송 유닛(5)과, 표시 유닛(6)과, 조작 유닛(7)을 포함하고 있다. 이 결함 검사 장치(1)가 검사하는 검사 대상물은, 광택에 얼룩이 있는 물품일 수도 있고, 광택에 얼룩이 없는 물품일 수도 있다.
제어 유닛(2)은, 결함 검사 장치(1) 본체를 구성하는 각 유닛을 제어한다.
조명 유닛(3)은, 검사 위치에 세트된 검사 대상물에 대해서 조명광을 조사한다. 조명 유닛(3)은, 제어 유닛(2)의 지시에 따라서, 검사 대상물에 조사하는 조명광의 색이나 광량을 제어한다. 이 조명 유닛(3)의 상세에 대해서는 후술한다.
화상 처리 유닛(4)에는, 카메라(10)가 접속되어 있다. 카메라(10)는, nㅧm개의 수광 소자를 매트릭스 형상으로 배열한 촬상 소자를 가져, 칼라 화상을 촬상할 수 있는 것이다. 촬상 소자의 각 수광 소자가 화소이다. 카메라(10)는, 검사 대상물이 세트되는 검사 위치를 촬상 영역 내에 넣을 수 있도록 부착되어 있다. 화상 처리 유닛(4)은, 카메라(10)로 촬상한 검사 대상물의 화상을 처리하여, 이 검사 대상물에 발생한 결함을 검출한다. 화상 처리 유닛(4)이 검출하는 결함은, 색채 결함 및 요철 결함이다. 색채 결함은, 검사 대상물의 제조 공정시나 제조 공정 후에, 이물이나 더러움이 부착하는 등 하여 발생한 결함이다. 요철 결함은, 검사 대상물의 제조 공정시에 있어서의 성형 불량이나, 제조 공정 후에 무언가에 부딪치는 등 하여 발생한 흠집이나 타흔이다. 결함 검사 장치(1)는, 화상 처리 유닛(4)이 결함을 검출하지 못한 검사 대상물을 우량품으로 하고, 화상 처리 유닛(4)이 결함을 검출한 검사 대상물을 불량품으로 한다.
또한, 카메라(10)는, 대상물을 촬상하는 구성, 및 촬상한 대상물의 칼라 화상을 출력하는 구성을 가지는 것이면 좋다. 예를 들면, 카메라(10)는, 흑백 카메라이며, R, G, B의 성분마다 촬상한 화상을 합성하여 출력하는 것일 수도 있다.
검사 대상물 반송 유닛(5)은, 검사 대상물을 세트하는 테이블(51)을 포함하고 있다. 이 테이블(51)은, 결함 검사 장치(1) 본체의 케이스로부터 돌출된 위치(도 2에 나타내는 위치)와, 결함 검사 장치(1) 본체의 케이스 내부에 수납된 위치 사이에 이동 가능하게 부착되어 있다. 테이블(51)은, 도시하지 않은 서보모터에 의해, 양 위치 사이에서 이동되는 구성이다. 검사 대상물 반송 유닛(5)이, 제어 유닛(2)으로부터의 지시에 따라서, 이 서보모터를 제어한다. 또, 테이블(51)은, 재치된 검사 대상물을 진공 흡착에 의해 유지하는 구성(도시생략)을 포함하고 있다. 검사 대상물 반송 유닛(5)은, 제어 유닛(2)으로부터의 지시에 따라서, 테이블(51)에 재치된 검사 대상물의 진공 흡착을 행한다. 테이블(51)이 결함 검사 장치(1) 본체의 케이스 내부에 수납된 위치일 때, 이 테이블(51)에 재치되어 있는 검사 대상물은 검사 위치에 위치한다.
표시 유닛(6)은, 결함 검사 장치(1) 본체 정면에 설치한 2개의 표시기(61, 62)에 있어서의 화면 표시를 제어한다. 표시기(61)은, 검사 대상물의 검사에 관련한 조작순서 등의 안내 화면을 표시한다. 표시기(62)는, 검사 대상물의 검사결과 등의 확인 화면을 표시한다. 2개의 표시기(61, 62)는, 1개의 표시기(61)로 구성할 수도 있다.
조작 유닛(7)은, 결함 검사 장치(1) 본체에 대한 오퍼레이터의 조작을 받아들인다. 조작 유닛(7)은, 표시기(61, 62)의 화면에 부착된 터치 패널(71, 72) 등의 입력 디바이스를 가진다.
다음에, 조명 유닛(3)에 대해 상세하게 설명한다. 조명 유닛(3)은, 검사 위치를 덮는 형상이다. 도 3은, 카메라의 광축 방향에 있어서의 조명 유닛의 단면도이다. 도 4는, 도 3에 나타내는 A방향에서 본 조명 유닛의 평면도이다. 조명 유닛(3)에는, 카메라(10)가 부착되어 있다. 카메라(10)는, 검사 위치에 위치하는 검사 대상물을 위쪽으로부터 촬상하는 방향으로 부착되어 있다. 즉, 카메라(10)는, 촬상 소자가 검사 위치에 위치하는 검사 대상물의 검사면에 대향하도록 부착되어 있다. 카메라(10)에 의해서 촬상되는 면이, 검사 대상물의 검사면이다. 조명 유닛(3)은, 카메라(10)와 검사 위치와의 사이에 배치된 반투명거울(하프미러)(31)을 구비한다. 카메라(10)는, 반투명거울(31)을 통하여, 검사 위치에 위치하는 검사 대상물을 촬상한다.
또, 조명 유닛(3)은, 조명광을 검사 위치에 위치하는 검사 대상물에 조사하는 제1 조명부(32), 제2 조명부(33), 제3 조명부(34), 및 제4 조명부(35)를 포함하고 있다.
제1 조명부(32)는, 반투명거울(31)과 대략 동일한 높이에 설치한 제1 조명실(32A)에 배치되어 있다. 여기서 언급하는 높이 방향은, 카메라(10)의 광축 방향이다. 제1 조명부(32)는, 발광색이 적색인 적색 LED(32R), 발광색이 녹색인 녹색 LED(32G), 및 발광색이 청색인 청색 LED(32B)를 1조의 발광소자군으로 하여, 이 발광소자군을 1조 이상 가지고 있다. 적색 LED(32R), 녹색 LED(32G), 청색 LED(32B)는, 발광면이 반투명거울(31)을 향하도록 부착되어 있다. 적색 LED(32R), 녹색 LED(32G), 청색 LED(32B) 중 적어도 1개를 발광시키는 것에 의해 조사되는 빛이, 제1 조명부(32)의 조명광이다. 제1 조명부(32)의 조명광은, 반투명거울(31)에 의해서, 카메라(10)의 광축에 맞춰진 방향(본 발명에서 언급하는 제1 방향에 상당한다.)으로부터, 검사 위치에 위치하는 검사 대상물에 조사된다. 즉, 제1 조명부(32)의 조명광은, 검사 대상물에서 반사된 정반사광이 카메라(10)의 각 화소로 수광될 수 있는 방향으로 조사되는 동축낙사조명(同軸落射照明)이다.
또한, 본 발명에서 언급하는 제1 방향은, 검사 위치에 위치하는 검사 대상물에 조사되는 조명광의 방향으로서, 제1 조명부(32)의 적색 LED(32R), 녹색 LED(32G), 청색 LED(32B)의 발광면의 방향을 규정하는 것은 아니다. 또, 제1 조명부(32)에 의해서 검사 위치에 위치하는 검사 대상물에 조사되는 조명광의 방향을 카메라(10)의 광축에 맞춘다는 것은, 이 방향과 카메라(10)의 광축이 일치하고 있다고 한정적으로 해석되는 것이 아니고, 이 방향과 카메라(10)의 광축이 이루는 각도가, 검사 대상물의 면적 외, 카메라(10)의 렌즈 특성에 따라 적정하게 되는 비교적 작은 각도(예를 들면 10도 미만)라고 하는 의미로 해석되는 것이다.
조명 유닛(3)은, 제어 유닛(2)으로부터의 지시에 따라서, 제1 조명부(32)가 가지는 적색 LED(32R), 녹색 LED(32G), 및 청색 LED(32B)마다, 발광을 제어함과 함께, 발광 광량을 제어한다.
또, 제2 조명부(33)는 제2 조명실(33A)에 배치되고, 제3 조명부(34)는 제3 조명실(34A)에 배치되고, 제4 조명부(35)는 제4 조명실(35A)에 배치되어 있다. 제2 조명실(33A), 제3 조명실(34A), 및 제4 조명실(35A)은, 카메라(10)의 광축을 중심으로 하는 원의 외주측으로부터 이 순서대로 설치되어 있다. 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 제2 조명실(33A), 제3 조명실(34A) 및 제4 조명실(35A)은, 카메라(10)의 광축을 중심으로 하는 링 형상의 공간이다.
제2 조명부(33)는, 발광색이 적색인 적색 LED(33R), 발광색이 녹색인 녹색 LED(33G), 및 발광색이 청색인 청색 LED(33B)를 1조의 발광소자군으로 하여, 이 발광소자군을 복수조 가지고 있다. 제2 조명부(33)는, 복수조의 발광소자군을 제2 조명실(33A)에 링 형상으로 배치하고 있다. 적색 LED(33R), 녹색 LED(33G), 및 청색 LED(33B)는, 발광면이 아래쪽(검사위치측)을 향하도록 부착되어 있다.
또, 제3 조명부(34)는, 발광색이 적색인 적색 LED(34R), 발광색이 녹색인 녹색 LED(34G), 및 발광색이 청색인 청색 LED(34B)를 1조의 발광소자군으로 하여, 이 발광소자군을 복수조 가지고 있다. 제3 조명부(34)는, 복수조의 발광소자군을 제3 조명실(34A)에 링 형상으로 배치하고 있다. 적색 LED(34R), 녹색 LED(34G), 및 청색 LED(34B)는, 발광면이 아래쪽(검사위치측)을 향하도록 부착되어 있다.
또, 제4 조명부(35)는, 발광색이 적색인 청색 LED(35B), 발광색이 녹색인 녹색 LED(35G), 및 발광색이 청색인 청색 LED(35B)를 1조의 발광소자군으로 하여, 이 발광소자군을 복수조 가지고 있다. 제4 조명부(35)는, 복수조의 발광소자군을 제4 조명실(35A)에 링 형상으로 배치하고 있다. 청색 LED(35B), 녹색 LED(35G), 및 청색 LED(35B)는, 발광면이 아래쪽(검사위치측)을 향하도록 부착되어 있다.
또, 제2 조명실(33A)과 제3 조명실(34A) 사이에는 차광판(36)을 설치하여, 제2 조명부(33)의 조명광이 제3 조명실(34A)에 입사되는 것을 방지함과 함께, 제3 조명부(34)의 조명광이 제2 조명실(33A)에 입사되는 것을 방지하고 있다. 또, 제3 조명실(34A)과 제4 조명실(35A) 사이에는 차광판(37)을 설치하여, 제3 조명부(34)의 조명광이 제4 조명실(35A)에 입사되는 것을 방지함과 함께, 제4 조명부(35)의 조명광이 제3 조명실(34A)에 입사되는 것을 방지하고 있다.
적색 LED(33R), 녹색 LED(33G), 청색 LED(33B) 중 적어도 1개를 발광시키는 것에 의해 조사되는 빛이, 제2 조명부(33)의 조명광이다. 조명 유닛(3)은, 제어 유닛(2)으로부터의 지시에 따라서, 제2 조명부(33)가 가지는 적색 LED(33R), 녹색 LED(33G), 및 청색 LED(33B)마다, 발광을 제어함과 함께, 발광 광량을 제어한다.
또, 적색 LED(34R), 녹색 LED(34G), 청색 LED(34B) 중 적어도 1개를 발광시키는 것에 의해 조사되는 빛이, 제3 조명부(34)의 조명광이다. 조명 유닛(3)은, 제어 유닛(2)으로부터의 지시에 따라서, 제3 조명부(34)가 가지는 적색 LED(34R), 녹색 LED(34G), 및 청색 LED(34B)마다, 발광을 제어함과 함께, 발광 광량을 제어한다.
또, 청색 LED(35B), 녹색 LED(35G), 청색 LED(35B) 중 적어도 1개를 발광시키는 것에 의해 조사되는 빛이, 제4 조명부(35)의 조명광이다. 조명 유닛(3)은, 제어 유닛(2)으로부터의 지시에 따라서, 제4 조명부(35)가 가지는 청색 LED(35B), 녹색 LED(35G), 및 청색 LED(35B)마다, 발광을 제어함과 함께, 발광 광량을 제어한다.
제2 조명실(33A)에는, 적색 LED(33R), 녹색 LED(33G), 및 청색 LED(33B)의 발광면에 대향시켜 배치한 확산판(38)이 부착되어 있다. 제3 조명실(34A)에는, 적색 LED(34R), 녹색 LED(34G), 및 청색 LED(34B)의 발광면에 대향시켜 배치한 확산판(39)이 부착되어 있다. 제4 조명실(35A)에는, 청색 LED(35B), 녹색 LED(35G), 및 청색 LED(35B)의 발광면에 대향시켜 배치한 확산판(40)이 부착되어 있다. 확산판(38)은, 제2 조명부(33)의 조명광을 검사 위치에 조사하는 방향으로 경사시켜 부착되어 있다. 확산판(39)은, 제3 조명부(34)의 조명광을 검사 위치에 조사하는 방향으로 경사시켜 부착되어 있다. 확산판(40)은, 제4 조명부(35)의 조명광을 검사 위치에 조사하는 방향으로 경사시켜 부착되어 있다. 확산판(38, 39, 40)의 경사 방향은 같지만, 카메라(10)의 광축에 대한 확산판(38, 39, 40)의 경사각은, 각각 상이하다.
제2 조명부(33)의 적색 LED(33R), 녹색 LED(33G), 및 청색 LED(33B) 중 적어도 1개의 색의 LED를 발광시킨 빛은, 확산판(38)을 통해 검사 위치에 조사된다. 제2 조명부(33)의 적색 LED(33R), 녹색 LED(33G), 및 청색 LED(33B) 중 2개 이상의 색의 LED를 발광시켰을 경우는, 제2 조명실(33A)에서 혼합되어 확산판(38)을 통해 검사 위치에 조사된다. 제3 조명부(34)의 적색 LED(34R), 녹색 LED(34G), 및 청색 LED(34B) 중 적어도 1개를 발광시킨 빛은, 확산판(39)을 통해 검사 위치에 조사된다. 제3 조명부(34)의 적색 LED(34R), 녹색 LED(34G), 및 청색 LED(34B) 중 2개 이상의 색의 LED를 발광시켰을 경우는, 제3 조명실(34A)에서 혼합되어 확산판(39)을 통해 검사 위치에 조사된다. 제4 조명부(35)의 청색 LED(35B), 녹색 LED(35G), 및 청색 LED(35B) 중 적어도 1개를 발광시킨 빛은, 확산판(40)을 통해 검사 위치에 조사된다. 제4 조명부(35)의 청색 LED(35B), 녹색 LED(35G), 및 청색 LED(35B) 중 2개 이상의 색의 LED를 발광시켰을 경우는, 제4 조명실(35A)에서 혼합되어 확산판(38)을 통해 검사 위치에 조사된다. 전술한 바와 같이, 카메라(10)의 광축에 대한 확산판(38, 39, 40)의 경사각은 각각 상이하므로, 제2 조명부(33), 제3 조명부(34), 및 제4 조명부(35)가 검사 위치에 위치하는 검사 대상물에 조사하는 조명광의 조사 각도는 각각 상이하다.
예를 들면, 제2 조명부(33)의 적색 LED(33R), 녹색 LED(33G), 및 청색 LED(33B) 중 적어도 1개를 발광시킨 것에 의한 조명광은, 카메라(10)의 광축과 이루는 각도가 60도 정도인 방향(본 발명에서 언급하는, 제2 방향에 상당한다.)으로부터 검사 위치에 위치하는 검사 대상물에 조사된다. 제3 조명부(34)의 적색 LED(34R), 녹색 LED(34G), 및 청색 LED(34B) 중 적어도 1개를 발광시킨 것에 의한 조명광은, 카메라(10)의 광축과 이루는 각도가 37도 정도인 방향(본 발명에서 언급하는, 제3 방향에 상당한다.)으로부터 검사 위치에 위치하는 검사 대상물에 조사된다. 제4 조명부(35)의 적색 LED(35R), 녹색 LED(35G), 및 청색 LED(35B) 중 적어도 1개를 발광시킨 것에 의한 조명광은, 카메라(10)의 광축과 이루는 각도가 20도 정도인 방향으로부터 검사 위치에 위치하는 검사 대상물에 조사된다.
본 발명에서 언급하는 제2 방향은, 검사 위치에 위치하는 검사 대상물에 조사되는 조명광의 방향으로서, 제2 조명부(33)의 적색 LED(33R), 녹색 LED(33G), 청색 LED(33B)의 발광면의 방향을 규정하는 것은 아니다. 또, 본 발명에서 언급하는 제3 방향은, 검사 위치에 위치하는 검사 대상물에 조사되는 조명광의 방향으로서, 제3 조명부(34)의 적색 LED(34R), 녹색 LED(34G), 청색 LED(34B)의 발광면의 방향을 규정하는 것은 아니다.
또, 상기의 설명으로부터 명백한 바와 같이, 제2 조명부(33)가 조명광을 조사하는 방향과 제1 조명부(32)가 조명광을 조사하는 방향(카메라(10)의 광축)이 이루는 각도는, 제3 조명부(34)가 조명광을 조사하는 방향과 제1 조명부(32)가 조명광을 조사하는 방향(카메라(10)의 광축)이 이루는 각도보다 크다. 또, 제3 조명부(34)가 조명광을 조사하는 방향과 제1 조명부(32)가 조명광을 조사하는 방향(카메라(10)의 광축)이 이루는 각도는, 제4 조명부(35)가 조명광을 조사하는 방향과 제1 조명부(32)가 조명광을 조사하는 방향(카메라(10)의 광축)이 이루는 각도보다 크다.
또, 본 예에서는, 검사 위치에 위치하는 검사 대상물에 대해서 경사 방향으로 조명광을 조사하는 조명부를 제2 조명부(33), 제3 조명부(34), 및 제4 조명부(35)의 3개로 하고 있지만, 검사 대상물에 대해서 경사 방향으로 조명광을 조사하는 조명부는 2개 이상이라면, 몇 개라도 괜찮다.
다음에, 본 예의 결함 검사 장치(1)가, 결함이 발생하였는지 어떤지 검사를 행하는 검사 대상물에 대해 설명한다. 도 5는, 본 예의 검사 대상물인 FPC 생(生)기판을 나타내는 평면도이다. 도 5에 도시된 바와 같이, FPC 생기판(100)에는, FPC 기판(101)이 복수(도 5에 도시된 예에서는 10개) 형성되어 있다. FPC 생기판(100)으로부터 절단된 FPC 기판(101)은, 전자기기 등의 부품으로서 사용된다. FPC 생기판(100)은, 회로 패턴(도 5에 있어서 해칭으로 나타내 보이는 부분)이 형성되어 있는 금속 박막의 반사율이, 제조 공정상의 이유로 국소적으로 광택 얼룩이발생하는 경우가 있다. 즉, FPC 생기판(100) 상의 회로 패턴 표면은, 광택에 얼룩이 있는 검사 대상물인 경우가 있다.
다음에, 결함 검사 장치(1)에 있어서, FPC 생기판(100)에 형성되어 있는 각 FPC 기판(101)에 결함이 생기지 않았는지 어떤지를 검사하는 처리에 대하여 설명한다. 도 6은, 결함 검사 장치의 동작을 나타내는 플로차트이다.
오퍼레이터는, 표시기(61)에 표시되어 있는 조작 안내 화면에 따라서, 검사 대상물인 FPC 생기판(100)을 본체 외측에 위치하고 있는 테이블(51)에 재치한다. 테이블(51)에는, FPC 생기판(100)의 재치 위치를 맞추기 위한 돌기 등이 형성되어 있다. 결함 검사 장치(1)는, 조작 유닛(7)에 있어서, 결함 검사 개시에 관한 오퍼레이터의 조작을 받아들이면, FPC 생기판(100)을 테이블(51)에 진공 흡착한다. 또, 결함 검사 장치(1)는, 테이블(51)을 본체 내부로 이동시켜, 진공 흡착하고 있는 FPC 생기판(100)을 검사 위치에 세트한다(s1).
결함 검사 장치(1)는, 조명 유닛(3)에 의한, 검사 위치에 세트된 FPC 생기판(100)에 대한 조명 제어를 행한다(s2). s2에서는, 조명 유닛(3)은, 제1 조명부(32) 및 제2 조명부(33)에 대해서는, 1 또는 2개의 색의 LED를 발광시키고, 나머지 LED를 발광시키지 않는다. 또, 조명 유닛(3)은, 제3 조명부(34) 및 제4 조명부(35)에 대해서는, 제1 조명부(32) 및 제2 조명부(33)에 있어서 발광시키지 않은 1개 또는 2개의 색의 LED를 발광시키고, 나머지 LED를 발광시키지 않는다.
제1 조명부(32) 및 제2 조명부(33)에 있어서 발광시키는 LED의 색은, 검사 대상물에 따라 결정할 수 있다. 구체적으로는, 제1 조명부(32) 및 제2 조명부(33)에 있어서 발광시키는 LED는, 검사 대상물(본 예에서는, FPC 생기판(100) 상의 회로 패턴 표면)의 색에 대해서 반사 특성이 좋은 색으로 할 수 있다. 제3 조명부(34) 및 제4 조명부(35)에 있어서 발광시키는 LED는, 제1 조명부(32) 및 제2 조명부(33)에 있어서 발광시키지 않은 발광소자, 혹은, 검사 대상물로부터 확산 반사 하기 어려운 색으로 선택할 수 있다.
본 예에서는, 조명 유닛(3)은, 제1 조명부(32) 및 제2 조명부(33)에 대해서는, 적색 LED(32R, 33R) 및 청색 LED(32B, 33B)를 발광시키고, 녹색 LED(32G, 33G)를 발광시키지 않는다. 또, 조명 유닛(3)은, 제3 조명부(34) 및 제4 조명부(35)에 대해서는, 적색 LED(34R, 35R) 및 청색 LED(34B, 35B)를 발광시키지 않고, 녹색 LED(34G, 35G)를 발광시킨다. 또, 조명 유닛(3)은, 이 때, 제1 조명부(32), 제2 조명부(33), 제3 조명부(34), 및 제4 조명부(35)마다, 발광시키는 LED의 발광 광량을 제어한다.
또, 완만한 경사의 요철 결함에 대해서는, 회로 패턴의 색의 반대색을 이용하면, S/N비를 향상시킬 수 있다.
또한, 조명 유닛(3)은, 제어 유닛(2)으로부터의 지시에 따라서, s2에 관련한 조명 제어를 행한다.
결함 검사 장치(1)는, 검사 위치에 세트되어 조명 유닛(3)에 의해서 조명광이 조사되고 있는 FPC 생기판(100)을 카메라(10)로 촬상하는 촬상 처리를 행한다(s3).
결함 검사 장치(1)는, 카메라(10)로 촬상한 촬상 화상을 처리하여, 제1 조명부(32) 및 제2 조명부(33)에 의해 조사한 조명광에 따른 색(본 예에서는, 마젠타색)의 색채 화상(본 발명에서 언급하는, 제1 색채 화상에 상당한다.)과, 제3 조명부(34) 및 제4 조명부(35)에 의해 조사한 조명광에 따른 색(본 예에서는, 초록색)의 색채 화상(본 발명에서 언급하는, 제2 색채 화상에 상당한다.)을 이용하여 화상 필터 처리를 행한다(s4).
s3의 촬상 처리에서는, 제1 조명부(32)가 FPC 생기판(100)에 조사한 조명광에 대해서는, FPC 생기판(100)으로부터의 정반사광이 카메라(10)의 각 화소로 수광된다. 제2 조명부(33)가 FPC 생기판(100)에 조사한 조명광에 대해서는, FPC 생기판(100)으로부터의 확산 반사광이 카메라(10)의 각 화소로 수광된다. 카메라(10)의 각 화소로 수광되는 정반사광은, 조사한 색의 반사율이 높은 영역(광택이 높은 영역)만큼 광량이 커진다. 한편, 카메라(10)의 각 화소로 수광되는 확산 반사광은, 조사한 색의 반사율이 높은 영역만큼 광량이 작아진다. 따라서, 제1 조명부(32) 및 제2 조명부(33)가 검사 대상물에 조사하는 조명광의 광량을 제어함으로써, 카메라(10)의 각 화소로 수광되는 제1 조명부(32) 및 제2 조명부(33)가 조사한 색의 반사광의 광량을, 검사 대상물의 광택의 얼룩에 영향받는 일 없이, 대략 균일하게 할 수 있다.
또한, 색채 결함이나 요철 결함이 발생한 장소에 대응하는 화소에 대해서는, 제1 조명부(32)가 조사한 조명광의 정반사광의 수광량이 감소한다.
또, s3의 촬상 처리에서는, 제3 조명부(34) 및 제4 조명부(35)가 FPC 생기판(100)에 조사한 조명광에 대해서는, 요철 결함의 경사대로 반사한다. 이 때문에, 제3 조명부(34) 및 제4 조명부(35)가 FPC 생기판(100)에 조사한 색의 조명광에 대해서는, 요철 결함이 발생한 장소에 대응하는 화소와, 요철 결함이 발생하지 않은 장소에 대응하는 화소와의 사이에 수광되는 반사광의 광량에 차이가 생긴다.
따라서, s4에 관련한 화상 필터 처리로 생성한, 제1 조명부(32) 및 제2 조명부(33)에 의해 조사한 조명광에 따른 색의 색채 화상(마젠타색의 색채 화상)은, 검사 대상물의 광택의 얼룩을 지운 화상이고, 또한, 결함이 발생한 장소에 대응하는 화소는, 결함이 발생하지 않은 장소에 대응하는 화소보다 수광량이 작은 화상이다. 또, s4에 관련한 필터 처리로 생성한, 제3 조명부(34) 및 제4 조명부(35)에 의해 조사한 조명광에 따른 색의 색채 화상(초록색의 색채 화상)은, 요철 결함이 발생한 장소에 대응하는 화소는, 요철 결함이 발생하지 않은 장소에 대응하는 화소보다 수광량이 작은 화상이다.
예를 들면, 도 7의 (A)에 도시된 바와 같이, 제1 조명부(32)가 FPC 생기판(100) 상의 회로 패턴에 조사한 조명광의 색과, 제2 조명부(33), 제3 조명부(34), 및 제4 조명부(35)가 FPC 생기판(100) 상의 회로 패턴에 조사한 조명광의 색이 상이한 경우, 제1 조명부(32)가 조사한 조명광의 색의 색채 화상은, 도 7의 (B)에 도시된 바와 같이, 광택의 얼룩(X), 색채 결함(Y), 및 요철 결함(Z)이 촬상된 화상이 된다. 또, 이 색채 화상에 있어서, 광택의 얼룩(X), 색채 결함(Y), 및 요철 결함(Z)을 구별할 수는 없다. 도 7의 (B)는, FPC 생기판(100)의 촬상 화상으로부터 추출한 1개의 FPC 기판(101)을 나타내고 있다.
그렇지만, 본 예의 결함 검사 장치(1)는, 제1 조명부(32) 및 제2 조명부(33)가 동일한 색(마젠타색)의 조명광을 FPC 생기판(100)에 조사하고, 제3 조명부(34) 및 제4 조명부(35)가, 제1 조명부(32) 및 제2 조명부(33)와는 상이한 색(초록색)의 조명광을 FPC 생기판(100)에 조사하므로(도 8의 (A) 참조), 제1 조명부(32) 및 제2 조명부(33)가 조사한 조명광의 색의 색채 화상은, 도 8의 (B)에 도시된 바와 같이, 색채 결함(Y) 및 요철 결함(Z)이 촬상된 화상으로 된다. 즉, 이 마젠타색의 색채 화상은, 광택의 얼룩(X)이 촬상되어 있지 않은 화상(광택의 얼룩을 지운 화상)이다. 도 8의 (A)에서는, 제1 조명부(32) 및 제2 조명부(33)가 조사하고 있는 조명광을 알기 쉽게 하기 위해서, 제3 조명부(34) 및 제4 조명부(35)가 조사하고 있는 조명광의 도시를 생략하고 있다. 도 8의 (B)는, FPC 생기판(100)의 촬상 화상으로부터 추출한 1개의 FPC 기판(101)을 나타내고 있다.
또한, 이 마젠타색의 색채 화상에 있어서는, 색채 결함(Y)과 요철 결함(Z)을 구별할 수 없다.
또, 본 예의 결함 검사 장치(1)는, 전술한 바와 같이, 제1 조명부(32) 및 제2 조명부(33)가 동일한 색(마젠타색)의 조명광을 FPC 생기판(100)에 조사하고, 제3 조명부(34) 및 제4 조명부(35)가, 제1 조명부(32) 및 제2 조명부(33)와는 상이한 색(초록색)의 조명광을 FPC 생기판(100)에 조사하므로(도 9의 (A) 참조), 제3 조명부(34) 및 제4 조명부(35)가 조사한 조명광의 색의 색채 화상(초록의 색채 화상)은, 도 9의 (B)에 도시된 바와 같이, 요철 결함(Z)이 촬상된 화상으로 된다. 즉, 이 초록색의 색채 화상은, 광택의 얼룩(X) 및 색채 결함(Y)이 촬상되어 있지 않은 화상이다. 도 9의 (A)에서는, 제3 조명부(34) 및 제4 조명부(35)가 조사하고 있는 조명광을 알기 쉽게 하기 위해서, 제1 조명부(32) 및 제2 조명부(33)가 조사하고 있는 조명광의 도시를 생략하고 있다. 도 9의 (B)는, FPC 생기판(100)의 촬상 화상으로부터 추출한 1개의 FPC 기판(101)을 나타내고 있다.
결함 검사 장치(1)는, 화상 처리 유닛(4)에 있어서, FPC 생기판(100)에 대한 결함 검출 처리를 행한다(s5). 결함 검사 장치(1)는, 화상 처리 유닛(4)에 있어서, 제3 조명부(34) 및 제4 조명부(35)가 FPC 생기판(100)에 조사한 조명광의 색에 따른 초록색의 촬상 개소를 화상 처리(예를 들면, 색에 의한 2값화)하여, FPC 생기판(100) 상의 회로 패턴에 요철 결함이 발생하였는지 어떤지를 검출한다. 또, 결함 검사 장치(1)는, 화상 처리 유닛(4)에 있어서, 제1 조명부(32) 및 제2 조명부(33)가 FPC 생기판(100)에 조사한 조명광의 색에 따른 마젠타색의 색채 화상(도 8의 (B)에 나타낸 색채 화상)을 화상 처리(예를 들면, 농도에 의한 2값화)하여, FPC 생기판(100) 상의 회로 패턴에 결함이 발생하였는지 어떤지를 검출한다.
제1 조명부(32) 및 제2 조명부(33)가 FPC 생기판(100)에 조사한 조명광의 색의 색채 화상으로는, 전술한 바와 같이 색채 결함과 요철 결함을 구별하여 검출할 수 없지만, 제3 조명부(34) 및 제4 조명부(35)가 FPC 생기판(100)에 조사한 조명광의 색의 색채 화상에 의해서, 요철 결함을 검출할 수 있다. 따라서, 결함 검사 장치(1)는, 색채 결함과 요철 결함을 구별하여 검출할 수 있다.
결함 검사 장치(1)는, 화상 처리 유닛(4)에 있어서의 FPC 생기판(100)의 검사 결과를 출력하고(s6), 본 처리를 종료한다.
또한, 결함 검사 장치(1)는, 조작 유닛(7)에 있어서, 검사 대상물 취출에 관련한 오퍼레이터의 조작을 받아들이면, 테이블(51)을 본체 외측으로 이동시키고, FPC 생기판(100)의 진공 흡착을 정지시킨다.
또, 상기의 예에서는, 제2 조명부(33)가, 제1 조명부(32)와 동일한 색의 조명광을 조사한다고 했지만, 제3 조명부(34)나 제4 조명부(35)가, 제1 조명부(32)와 동일한 색의 조명광을 조사하는 구성으로 할 수도 있다.
또, 제1 조명부(32), 제2 조명부(33), 제3 조명부(34), 및 제4 조명부(35) 모두가, 동일한 색의 조명광을 조사하는 구성으로 할 수도 있다. 다만, 이 경우에는, 전술한 바와 같이, FPC 생기판(100)의 광택의 얼룩을 지운 화상을 촬상할 수 있지만, 요철 결함과 색채 결함을 구별하여 검출할 수 없다.
또, 이 결함 검사 장치(1)는, 검사 대상물이 광택에 얼룩이 있는, 예를 들면 프린트 기판, 표면에 모양이 그려져 있는 물품(모양 위에 코팅층이 형성되어 있는 물품을 포함한다)이어도, 결함의 검사를 적정하게 행할 수 있다. 또, 결함 검사 장치(1)는, 검사 대상물이 광택에 얼룩이 없는 물품이어도, 결함의 검사를 적정하게 행할 수 있다.
1: 결함 검사 장치
2: 제어 유닛
3: 조명 유닛
4: 화상 처리 유닛
5: 검사 대상물 반송 유닛
6: 표시 유닛
7: 조작 유닛
10: 카메라
31: 반투명거울
32: 제1 조명부
33: 제2 조명부
34: 제3 조명부
35: 제4 조명부
32A: 제1 조명실
33A: 제2 조명실
34A: 제3 조명실
35A: 제4 조명실
32R, 33R, 34R, 35R: 적색 LED
32G, 33G, 34G, 35G: 녹색 LED
32B, 33B, 34B, 35B: 청색 LED
36, 37: 차광판
38, 39, 40: 확산판
51: 테이블
61, 62: 표시기
71, 72: 터치 패널
100: FPC 생(生)기판
101: FPC 기판

Claims (7)

  1. 검사 위치에 세트된 검사 대상물을 카메라로 촬상할 때, 상기 검사 대상물에 조명광을 조사하는 조명 유닛으로서,
    제1 방향에서, 상기 검사 위치에 세트된 상기 검사 대상물에 조사되는 조명광을 발광하는 제1 조명부와,
    상기 제1 방향과는 상이한 제2 방향에서, 상기 검사 위치에 세트된 상기 검사 대상물에 조사되는 조명광을 발광하는 제2 조명부와,
    상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과는 상이한 제3 방향에서, 상기 검사 위치에 세트된 상기 검사 대상물에 조사되는 조명광을 발광하는 제3 조명부
    를 포함하며,
    상기 제2 조명부 및 상기 제3 조명부 중 적어도 하나는, 상기 제1 조명부가 조사하는 조명광과 동일한 색의 조명광을 발광하며,
    상기 제1 방향은, 상기 제1 조명부에 의해서 상기 검사 대상물에 조사된 조명광으로서, 상기 검사 대상물에서 반사된 정반사광의 광축을, 상기 카메라의 광축에 맞춘 방향인, 조명 유닛.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제2 조명부는, 상기 제1 조명부가 조사하는 조명광과 동일한 색의 조명광을 발광하며,
    상기 제3 조명부는, 상기 제1 조명부가 조사하는 조명광과 상이한 색의 조명광을 발광하는, 조명 유닛.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제1 방향과 상기 제2 방향이 이루는 각도는, 상기 제1 방향과 상기 제3 방향이 이루는 각도보다 큰, 조명 유닛.
  4. 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 방향은, 상기 카메라의 광축에 맞춰진 방향인, 조명 유닛.
  5. 카메라와,
    청구항 1 내지 4 중 어느 한 항에 기재된 조명 유닛과,
    상기 카메라에 의해서 촬상된 화상을 처리하여, 상기 검사 대상물에 발생한 결함을 검출하는 화상 처리 유닛
    을 포함하는, 결함 검사 장치.
  6. 카메라와,
    청구항 2 내지 4 중 어느 한 항에 기재된 조명 유닛과,
    상기 카메라에 의해서 촬상된 화상을 처리하여, 상기 검사 대상물에 발생한 결함을 검출하는 화상 처리 유닛
    을 포함하며,
    상기 화상 처리 유닛은, 상기 카메라에 의해서 촬상된 화상에 대해서, 상기 제1 조명부가 조사하는 조명광의 색에 따른 색채의 제1 색채 화상, 및 상기 제3 조명부가 조사하는 조명광의 색에 따른 색채의 제2 색채 화상을 생성하고, 상기 제1 색채 화상 및 상기 제2 색채 화상에 의해서, 상기 검사 대상물에 발생한 결함을 검출하는, 결함 검사 장치.
  7. 검사 위치에 세트된 검사 대상물을 카메라로 촬상할 때, 상기 검사 대상물에 조명광을 조사하는 조명 방법으로서,
    제1 조명부를 발광시켜, 제1 방향에서, 상기 검사 위치에 세트된 상기 검사 대상물에 조명광을 조사하고,
    제2 조명부를 발광시켜, 상기 제1 방향과는 상이한 제2 방향에서, 상기 검사 위치에 세트된 상기 검사 대상물에 조명광을 조사하고,
    제3 조명부를 발광시켜, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과는 상이한 제3 방향에서, 상기 검사 위치에 세트된 상기 검사 대상물에 조명광을 조사하고,
    또, 상기 제2 조명부 및 상기 제3 조명부 중 적어도 하나는 상기 제1 조명부가 조사하는 조명광과 동일한 색의 조명광으로 발광시키고,
    또한, 상기 제1 방향은, 상기 제1 조명부에 의해서 상기 검사 대상물에 조사된 조명광으로서, 상기 검사 대상물에서 반사된 정반사광의 광축을, 상기 카메라의 광축에 맞춘 방향으로 한, 조명 방법.
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