JP2018017638A - 照明ユニット、欠陥検査装置、および照明方法 - Google Patents
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Abstract
Description
2…制御ユニット
3…照明ユニット
4…画像処理ユニット
5…検査対象物搬送ユニット
6…表示ユニット
7…操作ユニット
10…カメラ
31…ハーフミラー
32…第1の照明部
33…第2の照明部
34…第3の照明部
35…第4の照明部
32A…第1の照明室
33A…第2の照明室
34A…第3の照明室
35A…第4の照明室
32R、33R、34R、35R…赤色LED
32G、33G、34G、35G…緑色LED
32B、33B、34B、35B…青色LED
36、37…遮光板
38、39、40…拡散板
51…テーブル
61、62…表示器
71、72…タッチパネル
100…FPC生基板
101…FPC基板
Claims (7)
- 検査位置にセットされた検査対象物をカメラで撮像するときに、前記検査対象物に照明光を照射する照明ユニットであって、
第1の方向から、前記検査位置にセットされた前記検査対象物に照射される照明光を発光する第1の照明部と、
前記第1の方向とは異なる第2の方向から、前記検査位置にセットされた前記検査対象物に照射される照明光を発光する第2の照明部と、
前記第1の方向、および前記第2の方向とは異なる第3の方向から、前記検査位置にセットされた前記検査対象物に照射される照明光を発光する第3の照明部と、を備え、
前記第2の照明部、または前記第3の照明部の少なくとも一方は、前記第1の照明部が照射する照明光と同じ色の照明光を発光し、
前記第1の方向は、前記第1の照明部によって前記検査対象物に照射された照明光であって、前記検査対象物で反射された正反射光の光軸を、前記カメラの光軸に合わせた方向である、照明ユニット。 - 前記第2の照明部は、前記第1の照明部が照射する照明光と同じ色の照明光を発光し、
前記第3の照明部は、前記第1の照明部が照射する照明光と異なる色の照明光を発光する、請求項1に記載の照明ユニット。 - 前記第1の方向と前記第2の方向とがなす角度は、前記第1の方向と前記第3の方向とがなす角度よりも大きい、請求項2に記載の照明ユニット。
- 前記第1の方向は、前記カメラの光軸に合わせた方向である、請求項1〜3のいずれかに記載の照明ユニット。
- 前記カメラと、
請求項1〜4のいずれかに記載の照明ユニットと、
前記カメラによって撮像された画像を処理し、前記検査対象物に生じている欠陥を検出する画像処理ユニットと、を備えた欠陥検査装置。 - 前記カメラと、
請求項2〜4のいずれかに記載の照明ユニットと、
前記カメラによって撮像された画像を処理し、前記検査対象物に生じている欠陥を検出する画像処理ユニットと、を備え、
前記画像処理ユニットは、前記撮像部によって撮像された画像について、前記第1の照明部が照射する照明光の色に応じた色彩の第1の色彩画像、および前記第3の照明部が照射する照明光の色に応じた色彩の第2の色彩画像を生成し、前記第1の色彩画像、および前記第2の色彩画像によって、前記検査対象物に生じている欠陥を検出する、欠陥検査装置。 - 検査位置にセットされた検査対象物をカメラで撮像するときに、前記検査対象物に照明光を照射する照明方法であって、
第1の照明部を発光させ、第1の方向から、前記検査位置にセットされた前記検査対象物に照明光を照射し、
第2の照明部を発光させ、前記第1の方向とは異なる第2の方向から、前記検査位置にセットされた前記検査対象物に照明光を照射し、
第3の照明部を発光させ、前記第1の方向、および前記第2の方向とは異なる第3の方向から、前記検査位置にセットされた前記検査対象物に照明光を照射し、
また、前記第2の照明部、または前記第3の照明部の少なくとも一方は、前記第1の照明部が照射する照明光と同じ色の照明光で発光させ、
さらに、前記第1の方向は、前記第1の照明部によって前記検査対象物に照射された照明光であって、前記検査対象物で反射された正反射光の光軸を、前記カメラの光軸に合わせた方向にした、照明方法。
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