JP5673621B2 - 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 - Google Patents
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Description
光源から被検査物に対して、可視光と、不可視光と、を照射する照射工程と、
被検査物で反射するか又は被検査物を透過する可視光及び不可視光を夫々受光し、夫々の受光量に応じた撮像データを夫々生成するデータ生成工程と、
前記撮像データが変動した領域における該撮像データが変動した度合いを、可視光と、不可視光と、で比較した結果が、予め記憶されている欠陥とされる範囲内に属している場合には、欠陥と判定する判定工程と、
を含んで構成される。
前記判定工程において、可視光の前記除算値と、不可視光の前記除算値と、の差を、予め記憶されている欠陥の種類毎の値と比較することで、欠陥の種類を判別してもよい。
側よりも短波長側の可視光とは、可視光領域の中心となる波長よりも短い波長の可視光としてもよく、可視光の中のB成分としてもよい。また、短波長側よりも長波長側の可視光とは、可視光領域の中心となる波長よりも長い波長の可視光としてもよく、可視光の中のR成分としてもよい。
光源から被検査物に対して、可視光と、不可視光と、を照射する照射部と、
被検査物で反射するか又は被検査物を透過する可視光及び不可視光を夫々受光し、夫々の受光量に応じた撮像データを夫々生成するデータ生成部と、
前記撮像データが変動した領域における該撮像データが変動した度合いを、可視光と、不可視光と、で比較した結果が、予め記憶されている欠陥とされる範囲内に属している場合には、欠陥と判定する判定部と、
を備える。
図1は、本実施例に係る欠陥検査装置1のブロック図である。欠陥検査装置1は、被検査物2に可視光を照射する可視光源31と、被検査物2に紫外光または赤外光の少なくとも一方を照射するIR/UV光源32と、被検査物2に反射した可視光を受光する可視光カメラ41と、被検査物2に反射した紫外光または赤外光を受光するIR/UV光カメラ42と、可視光カメラ41及びIR/UV光カメラ42が受光した光を処理して欠陥の検出及び欠陥の種類を判別する処理装置5と、を備えて構成されている。
量が小さくなる。なお、本実施例では、可視光カメラ41は、R,G,Bの各成分用の3つのCCDイメージセンサを備えている。また、IR/UV光カメラ42は、赤外光または紫外光の少なくとも一方を検出するCCDイメージセンサを備えている。各受光素子から出力される電荷は、撮像データとして処理装置5に入力される。そして、本実施例においては、可視光カメラ41、IR/UV光カメラ42が、本発明におけるデータ生成部に相当する。また、本実施例においては、可視光カメラ41、IR/UV光カメラ42により撮像データを生成することが、本発明におけるデータ生成工程に相当する。
きる。この閾値は、予め実験等により求めることができる。また、金属の種類によって反射比が変わるため、反射比に基づいて金属の種類を判別することができる。例えば、被検査物2が電気を絶縁するシートの場合には、汚れがあっても電気の導通を遮断できれば問題はないが、シートに金属が混入していると電気が導通するので問題となる。したがって、欠陥が金属であるか否かを判定することができれば、汚れを許容することができ、金属のみを欠陥として検出することができる。
出部56は、欠陥の大きさが、検出閾値記憶部56Aにより記憶されている閾値以上のときに、欠陥として検出する。また、例えば、何れかの反射比が検出閾値記憶部56Aにより記憶されている閾値以下のときに、欠陥として検出してもよい。
図7は、本実施例に係る欠陥検査装置1のブロック図である。本実施例は、光源3が、カメラ4に対して被検査物2の反対側に備わる点で、実施例1と相違する。その他の装置等は実施例1と同じため、説明を省略する。
は1に近い値となる。透過比は、R信号、G信号、B信号、IR/UV光信号の夫々について算出される。なお、本実施例においては透過比が、本発明における除算値に相当する。
図8は、本実施例に係る欠陥検査装置1のブロック図である。本実施例では、カメラ4が1台のみ備わる。この1台のカメラ4で、実施例1に係る可視光カメラ41と、IR/UV光カメラ42とを兼ねている。すなわち、本実施例に係るカメラ4は、R,G,Bの少なくとも1成分を計測する受光素子及び赤外光または紫外光の少なくとも一方を計測する受光素子を備えている。そして、可視光源31と、IR/UV光源32とは、同じ個所に光を照射する。その他の装置等は実施例1と同じため、説明を省略する。
図10は、本実施例に係る欠陥検査装置1のブロック図である。また、図11は、カメラ4の内部構造を示した図である。Rは、可視光の中のR成分を検出し、Gは、可視光の中のG成分を検出し、Bは、可視光の中のB成分を検出し、IR/UVは、赤外光または紫外光を検出するセンサである。本実施例は、カメラ4が1台備わる点で実施例3と同じであるが、分光素子43を用いて可視光及びIR/UV光を分光した後に、夫々の受光素子で計測する点で実施例3と相違する。
簡略化が可能となる。また、位置合わせの精度の影響を受けることがない。
2 被検査物
5 処理装置
31 可視光源
32 IR/UV光源
41 可視光カメラ
42 IR/UV光カメラ
43 分光素子
51 R信号処理部
52 G信号処理部
53 B信号処理部
54 IR/UV信号処理部
55 位置合わせ処理部
56 欠陥検出部
56A 検出閾値記憶部
57 判定部
57A 判定閾値記憶部
58 出力部
Claims (12)
- 搬送されるシート状物品を被検査物とし、被検査物の欠陥を検査する欠陥検査方法であって、
光源から被検査物に対して、可視光と、赤外光と、を照射する照射工程と、
被検査物で反射する可視光及び赤外光を夫々受光し、夫々の受光量に応じた撮像データを夫々生成するデータ生成工程と、
可視光の前記撮像データと赤外光の前記撮像データの少なくとも何れかが欠陥のない状態に比べて変動している領域を欠陥として検出する欠陥検出工程と、
前記欠陥検出工程で検出された欠陥において、可視光の前記撮像データが変動した度合いと赤外光の前記撮像データが変動した度合いとが同じである場合に、当該欠陥の種類を、金属が付着又は混入した欠陥であると判定する判定工程と、
を含む欠陥検査方法。 - 前記判定工程において、可視光の前記撮像データが変動した度合いと赤外光の前記撮像データが変動した度合いとの差が判定閾値以下である場合に、可視光の前記撮像データが変動した度合いと赤外光の前記撮像データが変動した度合いとが同じであると判定する請求項1に記載の欠陥検査方法。
- 前記欠陥検出工程において、前記撮像データが変動した度合いの大きさが所定値以上である場合に、前記撮像データが欠陥のない状態に比べて変動したと判定する請求項1または2に記載の欠陥検査方法。
- 前記判定工程において、前記撮像データが変動した度合いの大きさに基づいて、付着又は混入した金属の種類を判別する請求項1から3の何れか1項に記載の欠陥検査方法。
- 前記撮像データが変動した度合いとして、前記データ生成工程において生成された撮像データを、予め撮像した欠陥のない被検査物の撮像データで除算した値である除算値を用いる請求項1から4の何れか1項に記載の欠陥検査方法。
- 前記被検査物は、紙、フィルム、樹脂、セルロース、二次電池に使用するセパレータ、
または、光学シートである請求項1から5の何れか1項に記載の欠陥検査方法。 - Si系の半導体受光素子で可視光及び赤外光を夫々受光する請求項1から6の何れか1項に記載の欠陥検査方法。
- 一台のカメラに、可視光及び赤外光を受光する素子を夫々備える請求項1から7の何れか1項に記載の欠陥検査方法。
- 可視光と赤外光とを分光素子で分光して、可視光及び赤外光を夫々受光する請求項1から8の何れか1項に記載の欠陥検査方法。
- 前記光源が、波長領域に制限のある光源である請求項1から9の何れか1項に記載の欠陥検査方法。
- 前記光源から照射する光を波長フィルタに通して、波長領域を制限する請求項1から10の何れか1項に記載の欠陥検査方法。
- 搬送されるシート状物品を被検査物とし、被検査物の欠陥を検査する欠陥検査装置であって、
光源から被検査物に対して、可視光と、赤外光と、を照射する照射部と、
被検査物で反射する可視光及び赤外光を夫々受光し、夫々の受光量に応じた撮像データを夫々生成するデータ生成部と、
可視光の前記撮像データと赤外光の前記撮像データの少なくとも何れかが欠陥のない状態に比べて変動している領域を欠陥として検出する欠陥検出部と、
前記欠陥検出部で検出された欠陥において、可視光の前記撮像データが変動した度合いと赤外光の前記撮像データが変動した度合いとが同じである場合に、当該欠陥の種類を、金属が付着又は混入した欠陥であると判定する判定部と、
を備える欠陥検査装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012159613A JP5673621B2 (ja) | 2012-07-18 | 2012-07-18 | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 |
KR1020130068212A KR20140011258A (ko) | 2012-07-18 | 2013-06-14 | 결함 검사 방법 및 결함 검사 장치 |
TW102125479A TWI498544B (zh) | 2012-07-18 | 2013-07-17 | Defect inspection method and defect inspection device |
CN201310303081.8A CN103575737B (zh) | 2012-07-18 | 2013-07-18 | 缺陷检查方法及缺陷检查装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012159613A JP5673621B2 (ja) | 2012-07-18 | 2012-07-18 | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014020910A JP2014020910A (ja) | 2014-02-03 |
JP5673621B2 true JP5673621B2 (ja) | 2015-02-18 |
Family
ID=50047973
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012159613A Active JP5673621B2 (ja) | 2012-07-18 | 2012-07-18 | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5673621B2 (ja) |
KR (1) | KR20140011258A (ja) |
CN (1) | CN103575737B (ja) |
TW (1) | TWI498544B (ja) |
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KR20180062374A (ko) | 2016-11-30 | 2018-06-08 | 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤 | 결함 검사 장치, 결함 검사 방법 및 세퍼레이터 권회체의 제조 방법 |
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KR20180111605A (ko) | 2017-03-31 | 2018-10-11 | 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤 | 반송 시스템 및 반송 방법 |
WO2019176903A1 (ja) | 2018-03-15 | 2019-09-19 | 東レ株式会社 | 異物の検査方法、検査装置、フィルムロール及びフィルムロールの製造方法 |
US10811652B2 (en) | 2016-11-30 | 2020-10-20 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Defect inspection device |
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- 2013-07-17 TW TW102125479A patent/TWI498544B/zh active
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---|---|
TW201411120A (zh) | 2014-03-16 |
JP2014020910A (ja) | 2014-02-03 |
CN103575737A (zh) | 2014-02-12 |
KR20140011258A (ko) | 2014-01-28 |
CN103575737B (zh) | 2016-04-13 |
TWI498544B (zh) | 2015-09-01 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
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A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20140515 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140722 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141029 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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