CN111477558B - 一种产品的视觉检测设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种产品的视觉检测设备，包括设备柜体(10)；设备柜体的顶面中心位置，设置有真空平台(3)；真空平台的前方，设置有可水平旋转移动的第二四轴机械手(2)；真空平台的左边后侧，设置有可水平旋转移动的第一四轴机械手(1)；真空平台的右边前后两侧，分别设置有产品供料装置(4)和产品回收装置(5)；第一四轴机械手上，安装有视觉相机(6)和记号笔；视觉相机与产品外观检测模块相连接，产品外观检测模块用于检测产品的外观是否存在不良部位。本发明能够自动进行晶圆等产品外观质量的检测，及时发现存在不良的产品并标记，显著提高对产品外观质量检测的工作效率以及工作质量，避免误操作，保证产品的出厂质量。

Description

一种产品的视觉检测设备

技术领域

本发明涉及产品的质量检测技术领域，特别是涉及一种产品的视觉检测设备。

背景技术

晶圆是指制造半导体晶体管或集成电路的衬底(也叫基片)。由于是晶体材料，其形状为圆形，所以称为晶圆。在晶圆(例如硅晶圆)上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。

鉴于晶圆的质量，直接关系到集成电路产品的质量。因此，晶圆对于品质要求极为严格，晶圆在出厂前，需要对晶圆进行外观质量进行检测。

但是，现有的晶圆等产品的检测方式为人工检测方式，由人眼通过显微镜来进行检测观察，每台显微镜需要配备一名工作人员来对每片晶圆等产品进行手动检测，因此，在晶圆等产品大批量生产的时候，对晶圆等产品的外观检测工作，不仅工作效率低下，而且人眼长时间工作后，容易导致误操作，使得不良的晶圆等产品没有被正确的检测出来，影响了晶圆等产品的出厂质量合格率。

发明内容

本发明的目的是针对现有技术存在的技术缺陷，提供一种产品的视觉检测设备。

为此，本发明提供了一种产品的视觉检测设备，包括垂直设置的设备柜体；

设备柜体的顶面中心位置，设置有真空平台；

真空平台的前方，设置有可水平旋转移动的第二四轴机械手；

真空平台的左边后侧，设置有可水平旋转移动的第一四轴机械手；

真空平台的右边前后两侧，分别设置有产品供料装置和产品回收装置；

第一四轴机械手上，安装有视觉相机和记号笔；

其中，产品供料装置，用于叠加放置多个产品，并将产品抬升后，由第二四轴机械手逐个吸取；

第二四轴机械手，用于在吸取产品供料装置抬升的多个产品中最上面的产品后，实时旋转移动到真空平台上方，先吸取真空平台顶部已放置的产品，然后将从产品供料装置吸取的产品放置在真空平台顶部，接着通过旋转移动，将从真空平台顶部吸取的产品放入产品回收装置中以及同时吸取此时产品供料装置抬升的多个产品中最上面的产品；

产品回收装置，用于存放第二四轴机械手从真空平台顶部吸取的产品；

第一四轴机械手，用于在真空平台将其顶部放置的产品吸附后，实时旋转移动到真空平台正上方；

视觉相机，用于在第一四轴机械手移动到真空平台正上方时，实时对真空平台顶部放置的产品外观进行拍摄；

视觉相机，与产品外观检测模块相连接；

产品外观检测模块，用于预先存储多种产品外观不良部位的图像，以及实时读取视觉相机拍摄的产品外观图像，并将视觉相机拍摄的产品外观图像与预先存储的多种产品外观不良部位的图像进行比较，当视觉相机拍摄的产品外观图像中的某个部位，与其中任意一种产品外观不良部位的图像的相似度达到预设值时，判断视觉相机拍摄的产品外观图像中的该部位为不良部位，视觉相机拍摄的产品存在不良部位。

其中，产品供料装置，具体包括底板；

底板，固定设置在设备柜体的顶面；

底板的前后两端，分别开有一个圆形的产品检测豁口和一个导轨安装豁口；

产品检测豁口和导轨安装豁口相连通；

导轨安装豁口中，安装有一个垂直分布的直线导轨；

垂直分布的直线导轨下端，贯穿导轨安装豁口后，伸入到中空的设备柜体上部；

直线导轨的中部前侧与底板固定连接；

直线导轨前侧具有的滑块上，安装有一个托板；

托板的垂直投影，位于产品检测豁口和导轨安装豁口中，因此，托板随着滑块上下移动时，不会受到底板的阻挡和干涉；

托板的顶面，用于叠加放置多个产品；

托板的宽度，小于产品的直径；

产品的底面，没有完全被托板遮挡；

产品检测豁口的四周，沿着周向等间隔分布有四个导向柱；

产品检测豁口的左侧或右侧上方，设置有第一接近开关传感器；

产品检测豁口的下方，安装有第二接近开关传感器。

其中，产品检测豁口的直径小于产品的直径；

直线导轨上连接有一条拖链。

其中，对于产品供料装置，其包括以下的工作模式：

第一步，作业人员将多个产品叠加放置在托板上；

第二步，控制直线导轨的滑块上升，带动托板的产品一起上升，当第一接近开关传感器检测到前方具有产品时，发送触发停止信号给直线导轨，直线导轨停止上升，等待第二四轴机械手对最上面放置的产品的吸取操作；

第三步，当托板上最上面放置的产品被第二四轴机械手吸走后，直线导轨继续上升，返回执行第二步的动作，直到通过第二接近开关传感器检测到托板上的全部产品已被吸走，第二接近开关传感器发送复位控制信号给直线导轨，直线导轨上的滑块恢复到原位，原位即托板与底板平齐的位置。

其中，产品回收装置，位于产品供料装置的正后方；

产品回收装置与产品供料装置的形状构造基本相同，只是产品回收装置不包括第二接近开关传感器；

产品回收装置与产品供料装置，两者为中心对称结构。

其中，第二四轴机械手通过第二底座，安装在设备柜体的顶面；

第二四轴机械手的上部转臂底面具有的气动控制端，与移栽吸附平台相连接；

移栽吸附平台底面前后两端，分别安装有第一组非接触式真空吸嘴和第二组非接触式真空吸嘴；

第一组非接触式真空吸嘴和第二组非接触式真空吸嘴，用于吸起和放下产品。

其中，对于产品供料装置，其包括以下的工作模式：

第一步，当第一组非接触式真空吸嘴将产品供料装置的托板上最上面的产品吸起后，第二四轴机械手移动到真空平台的上方；

第二步，然后第二组非接触式真空吸嘴将真空平台顶部的产品吸起，移栽吸附平台水平旋转180°后，将第一组非接触式真空吸嘴从产品供料装置吸起的产品放置到真空平台顶部，从而可以等待产品外观检测模块和视觉相机进行检测；

第三步，接着第二四轴机械手移动到产品回收装置的上方，将第二组非接触式真空吸嘴从真空平台吸起的产品放置到产品回收装置中，然后，重复执行第一步和第二步，直到产品供料装置的托板上的全部产品全部被吸走，结束产品的外观不良检测。

其中，第一组非接触式真空吸嘴和第二组非接触式真空吸嘴，分别具有四个真空吸嘴；

四个真空吸嘴呈十字形分布。

其中，第一四轴机械手，通过第一底座，安装在设备柜体的顶面；

记号笔安装在第一四轴机械手的上部转臂底面；

视觉相机安装在第一四轴机械手的上部转臂的上方；

视觉相机垂直向下拍摄，并且视觉相机的拍摄角度和记号笔的轴线，不在同一条直线上。

其中，产品外观检测模块，还用于在判断视觉相机拍摄的产品外观图像中的该部位为不良部位后，实时发送控制信号给第一四轴机械手，由第一四轴机械手带动其上安装的记号笔移动到真空平台顶部的产品的正上方，然后由第一四轴机械手驱动记号笔对产品上的不良部位进行标记。

由以上本发明提供的技术方案可见，与现有技术相比较，本发明提供了一种产品的视觉检测设备，其能够将多个码好的晶圆等产品，逐个传递、放置到真空平台上进行产品外观质量的自动检测，及时发现存在不良的产品并实时标记，从而能够显著提高对产品外观质量检测的工作效率以及工作质量，有效避免误操作，保证产品的出厂质量合格率，具有重大的生产实践意义。

附图说明

图1为本发明提供的一种产品的视觉检测设备，从前往后看时的立体结构示意图；

图2为本发明提供的一种产品的视觉检测设备，从后往前看时的立体结构示意图一；

图3为本发明提供的一种产品的视觉检测设备，从后往前看时的立体结构示意图二；

图4为本发明提供的一种产品的视觉检测设备的俯视结构示意图；

图5为本发明提供的一种产品的视觉检测设备中，产品供料装置从后观察时的立体结构示意图一；

图6为本发明提供的一种产品的视觉检测设备中，产品供料装置从后观察时的立体结构示意图二；

图7为本发明提供的一种产品的视觉检测设备中，产品供料装置、产品回收装置、真空平台以及第二四轴机械手之间的位置关系示意图；

图8为本发明提供的一种产品的视觉检测设备中，产品回收装置的立体结构示意图；

图9为本发明提供的一种产品的视觉检测设备中，第二四轴机械手的立体结构示意图；

图10为本发明提供的一种产品的视觉检测设备，一种实施例中，安装有上框架时的立体结构示意图一；

图11为本发明提供的一种产品的视觉检测设备中，第一四轴机械手的立体结构示意图；

图12为本发明提供的一种产品的视觉检测设备，安装有上框架时的立体结构示意图二；

图中：1为第一四轴机械手，2为第二四轴机械手，3为真空平台，4为产品供料装置，5为产品回收装置；

6为视觉相机，10为设备柜体，11为上框架，12为控制面板，13为按钮，14为记号笔；

40为底板，41为托板，42为直线导轨，43为第一接近开关传感器，44为第二接近开关传感器，45为导向柱，46为拖链；

401为产品检测豁口，402为导轨安装豁口402；

61为第一底座，62为第二底座；

221为第一组非接触式真空吸嘴，222为第二组非接触式真空吸嘴。

具体实施方式

为使本发明实现的技术手段更容易理解，下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关申请，而非对该申请的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本申请相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

需要说明的是，在本申请的描述中，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方向或位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系，这仅仅是为了便于描述，而不是指示或暗示所述装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，还需要说明的是，在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”等应做广义理解，例如，可以是固定安装，也可以是可拆卸安装。

对于本领域技术人员而言，可根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

参见图1至图12，本发明提供了一种产品的视觉检测设备，包括垂直设置的设备柜体10；

设备柜体10的顶面中心位置，设置有真空平台3；

真空平台3的前方，设置有可水平旋转移动的第二四轴机械手2；

真空平台3的左边后侧，设置有可水平旋转移动的第一四轴机械手1；

真空平台3的右边前后两侧，分别设置有产品供料装置4和产品回收装置5；

第一四轴机械手1上，安装有视觉相机6和记号笔14；

其中，供料装置4，用于叠加放置多个产品20，并将产品20抬升后，由第二四轴机械手2逐个吸取；

需要说明的是，产品20可以是晶圆或者其他物品。

第二四轴机械手2，用于在吸取产品供料装置4抬升的多个产品中最上面的产品后，实时旋转移动到真空平台3上方，先吸取真空平台3顶部已放置的产品，然后将从产品供料装置4吸取的产品放置在真空平台3顶部，接着通过旋转移动，将从真空平台3顶部吸取的产品放入产品回收装置5中以及同时吸取此时产品供料装置4抬升的多个产品中最上面的产品；

产品回收装置5，用于存放第二四轴机械手2从真空平台3顶部吸取的产品(即已由视觉相机6进行外观拍摄的产品)；

第一四轴机械手1，用于在真空平台3将其顶部放置的产品吸附后，实时旋转移动到真空平台3正上方；

视觉相机6，用于在第一四轴机械手1移动到真空平台3正上方时，实时对真空平台3顶部放置的产品外观进行拍摄；

视觉相机6，与产品外观检测模块相连接；

产品外观检测模块，用于预先存储多种产品外观不良部位的图像，以及实时读取视觉相机6拍摄的产品外观图像，并将视觉相机6拍摄的产品外观图像与预先存储的多种产品外观不良部位的图像进行比较，当视觉相机6拍摄的产品外观图像中的某个部位，与其中任意一种产品外观不良部位的图像的相似度达到预设值(例如相似度达到85％或者用户预先设定的其他比例)时，判断视觉相机6拍摄的产品外观图像中的该部位为不良部位，视觉相机6拍摄的产品存在不良部位。

在本发明中，具体实现上，产品供料装置4，具体包括底板40；

底板40，固定设置在设备柜体10的顶面；

底板40的前后两端，分别开有一个圆形的产品检测豁口401和一个导轨安装豁口402；

产品检测豁口401和导轨安装豁口402相连通；

导轨安装豁口402中，安装有一个垂直分布的直线导轨42(即Z轴直线导轨)；

垂直分布的直线导轨42下端，贯穿导轨安装豁口402后，伸入到中空的设备柜体10上部；

直线导轨42的中部前侧与底板40固定连接；

直线导轨42前侧具有的滑块421上，安装有一个托板41；

托板41的垂直投影，位于产品检测豁口401和导轨安装豁口402中，因此，托板41随着滑块421上下移动时，不会受到底板40的阻挡和干涉；

托板41的顶面，用于叠加放置多个产品20；

托板41的宽度，小于产品20的直径；

产品20的底面，没有完全被托板41遮挡；

产品检测豁口401的四周，沿着周向等间隔分布有四个导向柱45；

产品检测豁口401的左侧或右侧上方，设置有第一接近开关传感器43；

产品检测豁口401的下方，安装有第二接近开关传感器44。

具体实现上，产品检测豁口401的直径小于产品20的直径。

具体实现上，直线导轨42上连接有一条拖链46，用于保护内部放置的线缆。

需要说明的是，对于产品供料装置4，其包括以下的工作模式：

第一步，作业人员将多个产品20叠加放置在托板41上；

第二步，控制直线导轨42的滑块421上升，带动托板41的产品20一起上升，当第一接近开关传感器43检测到前方具有产品时，发送触发停止信号给直线导轨42(具体为直线导轨42的控制器)，直线导轨42停止上升，等待第二四轴机械手2对最上面放置的产品(即一个产品)的吸取操作；

第三步，当托板41上最上面放置的产品被第二四轴机械手2吸走后，直线导轨42继续上升(根据预设的上升速度，是慢速度)，返回执行第二步的动作，直到通过第二接近开关传感器44检测到托板41上的全部产品已被吸走，第二接近开关传感器44发送复位控制信号给直线导轨42，直线导轨42上的滑块421恢复到原位，原位即托板41与底板40平齐的位置。

需要说明的是，第二接近开关传感器44，用于通过产品检测豁口401，垂直向上发出检测光束，该检测光束与托板41不在垂直直线上，与产品20的底面未被托板41遮挡的部位对应设置；当检测光束被遮挡时，判断托板41上仍有产品，而当检测光束不再被遮挡时，判断托板41上的产品已被第二四轴机械手2全部吸走，这时候，不仅可以触发直线导轨42复位，还可以发出报警提示，提示工作人员补充产品(例如向声光报警器发出触发信号，触发声光报警)。

需要说明的是，对于本发明的产品供料装置4，其整个工作过程由传感器来保证同步的精确度，同时保证具有较高的工作效率。

在本发明中，具体实现上，参见图7、图8，产品回收装置5，位于产品供料装置4的正后方；

产品回收装置5与产品供料装置4的形状构造基本相同，只是产品回收装置5不包括第二接近开关传感器44；

产品回收装置5与产品供料装置4，两者为中心对称结构。即将产品供料装置4的结构顺时针水平转动180°后(除了第二接近开关传感器44)，即可获得产品回收装置5。

在本发明中，具体实现上，第二四轴机械手2通过第二底座62，安装在设备柜体10的顶面；

第二四轴机械手2的上部转臂底面具有的气动控制端201，与移栽吸附平台21相连接；

移栽吸附平台21底面前后两端，分别安装有第一组非接触式真空吸嘴221和第二组非接触式真空吸嘴22；

第一组非接触式真空吸嘴221和第二组非接触式真空吸嘴22，用于吸起和放下产品20。

需要说明的是，对于产品供料装置4，其包括以下的工作模式：

第一步，当第一组非接触式真空吸嘴221将产品供料装置4的托板41上最上面的产品吸起后，第二四轴机械手2移动到真空平台3的上方；

第二步，然后第二组非接触式真空吸嘴222将真空平台3顶部的产品(即已被产品外观检测模块和视觉相机完成外观检测的产品)吸起，移栽吸附平台21水平旋转180°后，将第一组非接触式真空吸嘴221从产品供料装置4吸起的产品放置到真空平台3顶部，从而可以等待产品外观检测模块和视觉相机进行检测；

第三步，接着第二四轴机械手2移动到产品回收装置5的上方，将第二组非接触式真空吸嘴222从真空平台3吸起的产品放置到产品回收装置5中(具体是放置到产品回收装置5的托板上)，然后，重复执行第一步和第二步，直到产品供料装置4的托板41上的全部产品全部被吸走，结束产品的外观不良检测。

需要说明的是，具体实现上，移栽吸附平台21上设置的第一组非接触式真空吸嘴221和第二组非接触式真空吸嘴22，分别具有四个真空吸嘴；

四个真空吸嘴呈十字形分布。

在本发明中，具体实现上，第一四轴机械手1，通过第一底座61，安装在设备柜体10的顶面；

记号笔14安装在第一四轴机械手1的上部转臂底面；

视觉相机6安装在第一四轴机械手1的上部转臂的上方；

视觉相机6垂直向下拍摄，并且视觉相机6的拍摄角度和记号笔14的轴线，不在同一条直线上，从而记号笔14不会对视觉相机6的拍摄造成影响。

需要说明的是，对于本发明，真空平台3将产品20吸附后，通过视觉相机6来垂直向下拍摄产品20的外观，如果通过产品外观检测模块的检测判断，认为产品的外观存在不良，那么，驱动第一四轴机械手1，由第一四轴机械手1带动其上安装的记号笔14(即标定笔)移动到真空平台3顶部的产品的正上方，然后由第一四轴机械手1驱动记号笔14对产品上的不良部位进行标记。

在本发明中，具体实现上，产品外观检测模块，还用于在判断视觉相机6拍摄的产品外观图像中的该部位为不良部位后，实时发送控制信号给第一四轴机械手1，由第一四轴机械手1带动其上安装的记号笔14(即标定笔)移动到真空平台3顶部的产品的正上方，然后由第一四轴机械手1驱动记号笔14对产品上的不良部位进行标记。因此，本发明可以代替人工，快速检测识别并标记产品上的不良部位，提升标记的准确率和速度，减少人为因素带来的误差。

需要说明的是，在本发明中，真空平台3为现有的真空吸附平台，为现有成熟的技术设备。

在本发明中，产品外观检测模块可以采用工业计算机来执行相关的操作。

在本发明中，具体实现上，设备柜体10的顶部，还具有一个上框架11；

真空平台3、、第二四轴机械手2、第一四轴机械手1、产品供料装置4和产品回收装置5，位于上框架1里面；

上框架1上安装有控制面板12，控制面板12上具有多个用于控制的按钮13。

具体实现上，控制面板12可以为现有的触摸控制屏。

在本发明中，具体实现上，第一四轴机械手1(即用于标记的四轴机械手)、第二四轴机械手(即用于移栽的四轴机械手，可以为现有的四轴机械手，是现有的能够进行高速取放作业的机械手，为现有成熟的技术设备。

具体实现上，第一四轴机械手1和第二四轴机械手，可以使用的四轴机器人为日本爱普生公司生产的LS系列的四轴机器人，LS系列是直角坐标机器人的理想代替，具有可实现简单操作的专用控制器，型号为LS3-401S，有效载重为3KG，行程范围为400mm，第三关节(Z轴行程为100mm)占地面积小，通过多轴手臂配合，可在有限空间内实现上下，前后，及旋转移动。

对于本发明提供的产品的视觉检测设备，基于以上的结构设计，其主要工作步骤如下：

第一步、作业人员将晶圆等产品放置在产品供料装置上；

第二步、第二四轴机械手将要检测的位于产品供料装置的托板最上面的产品吸走；

第三步、第二四周机械手继续将真空平台顶部放置的已检测完的产品吸走，并同时将要检测的产品放置在真空平台上；

第四步、通过视觉相机对真空平台上的产品外观进行拍摄，并识别不良部位然后进行标记；

第五步、第二四周机械手将真空平台已检测完的产品吸走放到产品回收装置中，然后返回执行第二步至第五步。

综上所述，与现有技术相比较，本发明提供的一种产品的视觉检测设备，其能够将多个码好的晶圆等产品，逐个传递、放置到真空平台上进行产品外观质量的自动检测，及时发现存在不良的产品并实时标记，从而能够显著提高对产品外观质量检测的工作效率以及工作质量，有效避免误操作，保证产品的出厂质量合格率，具有重大的生产实践意义。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种产品的视觉检测设备，其特征在于，包括垂直设置的设备柜体(10)；

设备柜体(10)的顶面中心位置，设置有真空平台(3)；

真空平台(3)的前方，设置有可水平旋转移动的第二四轴机械手(2)；

真空平台(3)的左边后侧，设置有可水平旋转移动的第一四轴机械手(1)；

真空平台(3)的右边前后两侧，分别设置有产品供料装置(4)和产品回收装置(5)；

第一四轴机械手(1)上，安装有视觉相机(6)和记号笔(14)；

其中，产品供料装置(4)，用于叠加放置多个产品(20)，并将产品(20)抬升后，由第二四轴机械手(2)逐个吸取；

第二四轴机械手(2)，用于在吸取产品供料装置(4)抬升的多个产品中最上面的产品后，实时旋转移动到真空平台(3)上方，先吸取真空平台(3)顶部已放置的产品，然后将从产品供料装置(4)吸取的产品放置在真空平台(3)顶部，接着通过旋转移动，将从真空平台(3)顶部吸取的产品放入产品回收装置(5)中以及同时吸取此时产品供料装置(4)抬升的多个产品中最上面的产品；

产品回收装置(5)，用于存放第二四轴机械手(2)从真空平台(3)顶部吸取的产品；

第一四轴机械手(1)，用于在真空平台(3)将其顶部放置的产品吸附后，实时旋转移动到真空平台(3)正上方；

视觉相机(6)，用于在第一四轴机械手(1)移动到真空平台(3)正上方时，实时对真空平台(3)顶部放置的产品外观进行拍摄；

视觉相机(6)，与产品外观检测模块相连接；

产品外观检测模块，用于预先存储多种产品外观不良部位的图像，以及实时读取视觉相机(6)拍摄的产品外观图像，并将视觉相机(6)拍摄的产品外观图像与预先存储的多种产品外观不良部位的图像进行比较，当视觉相机(6)拍摄的产品外观图像中的某个部位，与其中任意一种产品外观不良部位的图像的相似度达到预设值时，判断视觉相机(6)拍摄的产品外观图像中的该部位为不良部位，视觉相机(6)拍摄的产品存在不良部位。

2.如权利要求1所述的产品的视觉检测设备，其特征在于，产品供料装置(4)，具体包括底板(40)；

底板(40)，固定设置在设备柜体(10)的顶面；

底板(40)的前后两端，分别开有一个圆形的产品检测豁口(401)和一个导轨安装豁口(402)；

产品检测豁口(401)和导轨安装豁口(402)相连通；

导轨安装豁口(402)中，安装有一个垂直分布的直线导轨(42)；

垂直分布的直线导轨(42)下端，贯穿导轨安装豁口(402)后，伸入到中空的设备柜体(10)上部；

直线导轨(42)的中部前侧与底板(40)固定连接；

直线导轨(42)前侧具有的滑块(421)上，安装有一个托板(41)；

托板(41)的垂直投影，位于产品检测豁口(401)和导轨安装豁口(402)中，因此，托板(41)随着滑块(421)上下移动时，不会受到底板(40)的阻挡和干涉；

托板(41)的顶面，用于叠加放置多个产品(20)；

托板(41)的宽度，小于产品(20)的直径；

产品(20)的底面，没有完全被托板(41)遮挡；

产品检测豁口(401)的四周，沿着周向等间隔分布有四个导向柱(45)；

产品检测豁口(401)的左侧或右侧上方，设置有第一接近开关传感器(43)；

产品检测豁口(401)的下方，安装有第二接近开关传感器(44)。

3.如权利要求2所述的产品的视觉检测设备，其特征在于，产品检测豁口(401)的直径小于产品(20)的直径；

直线导轨(42)上连接有一条拖链(46)。

4.如权利要求2所述的产品的视觉检测设备，其特征在于，对于产品供料装置(4)，其包括以下的工作模式：

第一步，作业人员将多个产品(20)叠加放置在托板(41)上；

第二步，控制直线导轨(42)的滑块(421)上升，带动托板(41)的产品(20)一起上升，当第一接近开关传感器(43)检测到前方具有产品时，发送触发停止信号给直线导轨(42)，直线导轨(42)停止上升，等待第二四轴机械手(2)对最上面放置的产品的吸取操作；

第三步，当托板(41)上最上面放置的产品被第二四轴机械手(2)吸走后，直线导轨(42)继续上升，返回执行第二步的动作，直到通过第二接近开关传感器(44)检测到托板(41)上的全部产品已被吸走，第二接近开关传感器(44)发送复位控制信号给直线导轨(42)，直线导轨(42)上的滑块(421)恢复到原位，原位即托板(41)与底板(40)平齐的位置。

5.如权利要求2所述的产品的视觉检测设备，其特征在于，产品回收装置(5)，位于产品供料装置(4)的正后方；

产品回收装置(5)与产品供料装置(4)的形状构造基本相同，只是产品回收装置(5)不包括第二接近开关传感器(44)；

产品回收装置(5)与产品供料装置(4)，两者为中心对称结构。

6.如权利要求2至4中任一项所述的产品的视觉检测设备，其特征在于，第二四轴机械手(2)通过第二底座(62)，安装在设备柜体(10)的顶面；

第二四轴机械手(2)的上部转臂底面具有的气动控制端(201)，与移栽吸附平台(21)相连接；

移栽吸附平台(21)底面前后两端，分别安装有第一组非接触式真空吸嘴(221)和第二组非接触式真空吸嘴(22)；

第一组非接触式真空吸嘴(221)和第二组非接触式真空吸嘴(22)，用于吸起和放下产品(20)。

7.如权利要求6所述的产品的视觉检测设备，其特征在于，对于产品供料装置(4)，其包括以下的工作模式：

第一步，当第一组非接触式真空吸嘴(221)将产品供料装置(4)的托板(41)上最上面的产品吸起后，第二四轴机械手(2)移动到真空平台(3)的上方；

第二步，然后第二组非接触式真空吸嘴(222)将真空平台(3)顶部的产品吸起，移栽吸附平台(21)水平旋转180°后，将第一组非接触式真空吸嘴(221)从产品供料装置(4)吸起的产品放置到真空平台(3)顶部，从而可以等待产品外观检测模块和视觉相机进行检测；

第三步，接着第二四轴机械手(2)移动到产品回收装置(5)的上方，将第二组非接触式真空吸嘴(222)从真空平台(3)吸起的产品放置到产品回收装置(5)中，然后，重复执行第一步和第二步，直到产品供料装置(4)的托板(41)上的全部产品全部被吸走，结束产品的外观不良检测。

8.如权利要求6所述的产品的视觉检测设备，其特征在于，第一组非接触式真空吸嘴(221)和第二组非接触式真空吸嘴(22)，分别具有四个真空吸嘴；

四个真空吸嘴呈十字形分布。

9.如权利要求1所述的产品的视觉检测设备，其特征在于，第一四轴机械手(1)，通过第一底座(61)，安装在设备柜体(10)的顶面；

记号笔(14)安装在第一四轴机械手(1)的上部转臂底面；

视觉相机(6)安装在第一四轴机械手(1)的上部转臂的上方；

视觉相机(6)垂直向下拍摄，并且视觉相机(6)的拍摄角度和记号笔(14)的轴线，不在同一条直线上。

10.如权利要求9所述的产品的视觉检测设备，其特征在于，产品外观检测模块，还用于在判断视觉相机(6)拍摄的产品外观图像中的该部位为不良部位后，实时发送控制信号给第一四轴机械手(1)，由第一四轴机械手(1)带动其上安装的记号笔(14)移动到真空平台(3)顶部的产品的正上方，然后由第一四轴机械手(1)驱动记号笔(14)对产品上的不良部位进行标记。

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