JP5773490B2 - ダイ突き上げ動作管理システム - Google Patents
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Description
図1に示すように、本実施例の部品供給装置11(ダイ供給装置)は、マガジン保持部12(トレイタワー)、パレット引き出しテーブル13、パレット引き出し機構14、サブロボット15、シャトル機構16、反転ユニット17、突き上げユニット18(図2参照)、NGコンベア19、ノズルチェンジャー20等を備えた構成となっている。この部品供給装置11は、図3に示すように、部品実装機25のフィーダセット用スロットにパレット引き出しテーブル13を差し込んだ状態にセットされる。
小さいダイ21の場合は、サブロボット15→シャトルノズル26→部品実装機25の吸着ノズル30aへのダイ21のつかみ替えが困難であるので、マガジン保持部12からウエハパレット22を部品実装機用引き出し位置に引き出して、当該ウエハパレット22のダイシングシート36上のダイ21を部品実装機25の吸着ノズル30aで直接ピックアップする。
ダイ21のつかみ替えが可能なサイズのダイ21の場合は、実装時間を短縮することを目的として、マガジン保持部12内のマガジンからウエハパレット22をサブロボット用引き出し位置に引き出して、サブロボット15の吸着ノズル30bで当該ウエハパレット22のダイシングシート36上のダイ21をピックアップし、当該ダイ21をシャトル機構16のシャトルノズル26で受け取って所定のピックアップ位置まで移送し、このピックアップ位置で、シャトル機構16のシャトルノズル26からダイ21を部品実装機25の吸着ノズル30aでピックアップする。
トレイ部品の場合は、マガジン保持部12内のマガジンからトレイパレットを部品実装機用引き出し位置に引き出して、当該トレイパレット上の部品を部品実装機25の吸着ノズル30aで直接ピックアップする。
Claims (5)
- 複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットを上下動させる突き上げ機構とを備え、吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、前記突き上げポットを上昇させて該突き上げポットの上面に前記ダイシングシートを吸着した状態で、該突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から上方に突出させることで、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を該突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置に適用され、
前記突き上げポットの上方に前記ウエハパレットをセットせずに突き上げ動作を行って該突き上げポットを上昇させて前記突き上げピンを突出させた状態で該突き上げピンの側面をX方向とY方向からそれぞれ撮像するカメラと、
前記カメラから出力された前記突き上げピンのX方向の側面画像とY方向の側面画像を画像処理して前記突き上げピンのXY方向の位置を検出する画像処理手段と
を備え、
前記カメラは、前記突き上げピンのX方向の側面画像を撮像するカメラと、前記突き上げピンのY方向の側面画像を撮像するカメラとが別々に設けられていることを特徴とするダイ突き上げ動作管理システム。 - 複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットを上下動させる突き上げ機構とを備え、吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、前記突き上げポットを上昇させて該突き上げポットの上面に前記ダイシングシートを吸着した状態で、該突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から上方に突出させることで、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を該突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置に適用され、
前記突き上げポットの上方に前記ウエハパレットをセットせずに突き上げ動作を行って該突き上げポットを上昇させて前記突き上げピンを突出させた状態で該突き上げピンの側面をX方向とY方向からそれぞれ撮像するカメラと、
前記カメラから出力された前記突き上げピンのX方向の側面画像とY方向の側面画像を画像処理して前記突き上げピンのXY方向の位置を検出する画像処理手段と
を備え、
前記カメラは、前記突き上げピンのX方向の側面画像とY方向の側面画像のいずれか一方を撮像した後、他方を撮像する位置に移動して他方を撮像することを特徴とするダイ突き上げ動作管理システム。 - 請求項1又は2に記載のダイ突き上げ動作管理システムにおいて、
前記画像処理手段は、前記突き上げピンの側面画像の画像処理結果に基づいて該突き上げピンの破損、曲りの少なくとも一方の有無を判定する手段を備えていることを特徴とするダイ突き上げ動作管理システム。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載のダイ突き上げ動作管理システムにおいて、
前記カメラは、前記ダイ供給装置に設けられていることを特徴とするダイ突き上げ動作管理システム。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載のダイ突き上げ動作管理システムにおいて、
前記カメラは、前記ダイ供給装置からダイが供給される部品実装機に設けられたカメラが用いられることを特徴とするダイ突き上げ動作管理システム。
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