JP2013110182A - ウエハ関連データ管理方法及びウエハ関連データ作成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハパレットをセットするセット台と、該セット台にセットしたウエハパレットのダイシングシート34上のダイ31を吸着するテスト用吸着ノズル51と、ダイシングシート34のうちのテスト用吸着ノズル51で吸着しようとするダイ31の貼着部分を突き上げるテスト用突き上げピン53と、ダイシングシート34上のダイ31を撮像するテスト用カメラ54とを備えたウエハ関連データ作成装置47を使用し、ウエハ関連データの作成対象となるウエハパレットをウエハ関連データ作成装置47のセット台にセットし、テスト用カメラ54で撮像した画像の処理、テスト用突き上げピン53の突き上げ動作及びテスト用吸着ノズル51のダイ吸着動作を実行してウエハ関連データを作成する。
【選択図】図8
Description
従って、効率の良い段取り替えを行うためには、生産をしている最中に次の段取り替えの準備(ウエハ関連データのセットアップ)を実行できる機能が必要となる。
まず、図1を用いて実施例1のウエハ関連データ管理システムの構成を説明する。
図1には、3本の部品実装ラインLine#1,Line#2,Line#3が図示されている。
各部品実装ラインLine#1,Line#2,Line#3には、それぞれダイ供給装置11をセットした装着機12や、テープフィーダ13をセットした装着機14が1台又は複数台配置されている。各部品実装ラインLine#1,Line#2,Line#3には、装着機の他に、半田印刷機、検査機、リフロー炉等が配置されていても良い。
ダイ供給装置11は、マガジン保持部22(トレイタワー)、パレット引き出しテーブル23、XY移動機構25、突き上げユニット28(図3参照)等を備え、パレット引き出しテーブル23を装着機12(図1参照)に差し込んだ状態にセットされる。
まず、ウエハ関連データ作成装置47を動作させるのに必要なウエハ関連データの初期値(チューニング前の暫定値)をウエハ関連データ作成装置47の制御装置(図示せず)に入力する。
また、ダイシングシート34上のダイ31の吸着開始位置を次のようにして設定する。まず、図10(a)に示すように、ウエハパレット32のダイシングシート34上の基準位置となるリファレンスダイRをその上方からテスト用カメラ54で撮像し、画像処理によりリファレンスダイRの位置を検出して、2本の位置決めピン61,62の位置を基準にしてウエハの中心位置を求める。
尚、本発明は、上記各実施例1,2に限定されず、ウエハ関連データ作成装置47で作成するウエハ関連データの内容を適宜変更しても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できることは言うまでもない。
Claims (6)
- 複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットをセットし、前記ダイシングシート上のダイをカメラで撮像して該ダイの位置を画像認識し、吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルで該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置で使用するウエハ関連データを管理するウエハ関連データ管理方法において、
前記ウエハ関連データの作成対象となるウエハパレットをセットするセット台と、前記セット台にセットしたウエハパレットのダイシングシート上のダイを吸着するテスト用吸着ノズルと、前記ダイシングシートのうちの前記テスト用吸着ノズルで吸着しようとするダイの貼着部分を突き上げるテスト用突き上げピンと、前記ダイシングシート上のダイを撮像するテスト用カメラとを備えたウエハ関連データ作成装置を使用し、前記ウエハ関連データの作成対象となるウエハパレットを前記ウエハ関連データ作成装置のセット台にセットし、前記テスト用カメラで撮像した画像の処理、前記テスト用突き上げピンの突き上げ動作及び前記テスト用吸着ノズルのダイ吸着動作を実行して前記ウエハ関連データを作成することを特徴とするウエハ関連データ管理方法。 - 前記ウエハ関連データは、画像処理に関するデータ、前記突き上げピンの突き上げ動作に関するデータ、前記吸着ノズルのダイ吸着動作に関するデータのうちの少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1に記載のウエハ関連データ管理方法。
- 前記ウエハパレットには、該ウエハパレットの識別情報(以下「パレットID」という)を記録又は記憶したパレットID記録部を設け、
前記ダイ供給装置を配置した部品実装ラインには、前記ウエハ関連データ作成装置で作成した前記ウエハ関連データを前記パレットIDと関連付けて記憶する情報管理サーバをネットワーク接続し、
前記部品実装ライン又は前記ダイ供給装置には、前記ウエハパレットのパレットID記録部から前記パレットIDを読み取るパレットID読取り手段を設け、
前記パレットID読取り手段で読み取った前記パレットIDに対応する前記ウエハ関連データを前記情報管理サーバの記憶データから検索して前記ダイ供給装置に送信して該ダイ供給装置を制御することを特徴とする請求項1又は2に記載のウエハ関連データ管理方法。 - 前記情報管理サーバは、複数の部品実装ラインにネットワーク接続されていることを特徴とする請求項3に記載のウエハ関連データ管理方法。
- 前記ウエハパレットには、前記ウエハ関連データ作成装置で作成した前記ウエハ関連データを記憶するデータ記憶手段を設け、
前記部品実装ライン又は前記ダイ供給装置には、前記ウエハパレットのデータ記憶手段から前記ウエハ関連データを読み出すデータ読出し手段を設け、
前記データ読出し手段で読み出した前記ウエハ関連データを用いて前記ダイ供給装置を制御することを特徴とする請求項1又は2に記載のウエハ関連データ管理方法。 - 複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットをセットし、前記ダイシングシート上のダイをカメラで撮像して該ダイの位置を画像認識し、吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルで該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置で使用するウエハ関連データを作成するウエハ関連データ作成装置において、
前記ウエハ関連データの作成対象となるウエハパレットをセットするセット台と、
前記セット台にセットしたウエハパレットのダイシングシート上のダイを吸着するテスト用吸着ノズルと、
前記ダイシングシートのうちの前記テスト用吸着ノズルで吸着しようとするダイの貼着部分を突き上げるテスト用突き上げピンと、
前記ダイシングシート上のダイを撮像するテスト用カメラとを備え、
前記ウエハ関連データの作成対象となるウエハパレットを前記セット台にセットし、前記テスト用カメラで撮像した画像の処理、前記テスト用突き上げピンの突き上げ動作及び前記テスト用吸着ノズルのダイ吸着動作を実行して前記ウエハ関連データを作成することを特徴とするウエハ関連データ作成装置。
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