JP6086671B2 - ダイ部品供給装置 - Google Patents
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Description
しかも、請求項1に係る発明によれば、テンプレートマップには、ウエハ種毎のIDと、ウエハよりピックアップすべき最初のダイ部品の機械座標情報が登録されているので、ダイ部品を補給した後のピックアップ開始位置の位置合わせ作業が不要、あるいは容易となり、作業者の負担を軽減することができる。
Claims (3)
- 多数のダイ部品をダイシングした状態で規則的に配列したウエハ上の前記ダイ部品を吸着する吸着ノズルと、該吸着ノズルによって吸着する前記ダイ部品を撮像する撮像装置を備えたダイ部品供給装置にして、
前記ウエハよりピックアップする前記ダイ部品の配置位置の情報をマップ化したテンプレートマップを前記ウエハの種類毎に記憶するテンプレートマップ記憶手段と、
前記テンプレートマップの情報に基づいて、前記吸着ノズルによって吸着する吸着位置を決定する吸着位置決定手段と、
前記吸着位置における前記ダイ部品を前記撮像装置によって撮像し、画像処理により前記ダイ部品が良品か不良品かを判別する判別手段と、
該判別手段による判別結果に基づいて、良品の前記ダイ部品を前記吸着ノズルによって吸着させる吸着実行手段と、
を備え、
前記テンプレートマップには、前記ウエハ種毎のIDと、前記ウエハよりピックアップすべき最初のダイ部品の機械座標情報が登録されているダイ部品供給装置。 - 請求項1において、前記ダイ部品に良品か不良品かを識別するマークが付与され、前記画像処理により前記マークの有無を認識して前記ダイ部品が良品か不良品かを判別するようにしたダイ部品供給装置。
- 請求項1または請求項2において、前記テンプレートマップ記憶手段には、前記ウエハ種毎のテンプレートマップとは別に、使いかけのウエハにおける吸着済みの前記ダイ部品の位置情報を登録したウエハ個別のテンプレートマップが記憶されているダイ部品供給装置。
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