JP5892735B2 - 突き上げピンの位置補正方法 - Google Patents
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- ウエハに形成されたダイシングレーンによって互いに隔てられ粘着シート上に貼着された複数のダイ部品を突き上げピンにより突き上げ、突き上げによって粘着シートより剥離されたダイ部品を吸着ノズルにより吸着して回路基板上に実装する電子部品実装装置における突き上げピンの位置補正方法にして、
前記ダイシングレーンおよび前記ダイ部品の少なくとも一方と、前記突き上げピンによる突き上げによって前記粘着シートに形成された突き上げ痕とを撮像装置により撮像して画像処理し、
前記ダイシングレーンおよび前記ダイ部品の少なくとも一方と、前記突き上げ痕の位置関係を画像処理によって認識することにより、前記突き上げピンの中心と前記ダイ部品の中心とのずれ量を算出し、
該ずれ量に基づいて前記ダイ部品に対する前記突き上げピンの突き上げ位置を補正するようにしたことを特徴とする突き上げピンの位置補正方法。 - 請求項1において、前記ダイ部品を前記吸着ノズルによって吸着した後に、前記ダイシングレーンと前記突き上げ痕との位置関係を画像処理によって認識することにより、前記突き上げピンの中心と前記ダイ部品の中心とのずれ量を算出するようにしてなる突き上げピンの位置補正方法。
- 請求項1において、前記ダイ部品を前記吸着ノズルによって吸着する前に、前記ダイ部品の位置と前記ダイシングレーンとの位置関係を画像処理によって認識しておき、前記ダイ部品を前記吸着ノズルによって吸着した後に、前記ダイシングレーンと前記突き上げ痕との位置関係を画像処理によって認識することにより、前記突き上げピンの中心と前記ダイ部品の中心とのずれ量を算出するようにしてなる突き上げピンの位置補正方法。
- 請求項1において、前記ダイ部品を前記吸着ノズルによって吸着する前に、前記ダイ部品の位置を画像処理によって認識しておき、前記ダイ部品を前記吸着ノズルによって吸着した後に、前記ダイ部品の中心に前記撮像装置を位置決めし、その位置で前記突き上げ痕を画像処理によって認識することにより、前記突き上げピンの中心と前記ダイ部品の中心とのずれ量を算出するようにしてなる突き上げピンの位置補正方法。
- 請求項1ないし請求項4のいずれか1項において、所定回数分累積された前記ずれ量の平均値に基づいて、前記突き上げピンの突き上げ位置を補正するようにしてなる突き上げピンの位置補正方法。
- 請求項1ないし請求項5のいずれか1項において、画像処理を、ずれ量の算出を開始した当初は、前記ダイ部品を吸着する毎に実行し、ずれ量が安定した後は、画像処理する間隔を広げるようにしてなる突き上げピンの位置補正方法。
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