CN111656504B - 裸片拾取方法及装置 - Google Patents

Abstract

一种裸片拾取方法，其是通过头而依次拾取被切割后的晶圆的多个裸片的方法，其包括以下步骤：参照预先制作的表示所述晶圆中的所述多个裸片各自的良与否的晶圆图，将所述多个裸片中的一部分裸片的区域指定为被检裸片区域，以用于确认所述晶圆图上的裸片位置与实际的晶圆上的裸片位置之间的位置偏移亦即图偏移的步骤；进行所述晶圆图上的裸片位置与实际的晶圆上的裸片位置之间的对位的步骤；通过所述头，在参照所述被检裸片区域的位置信息的情况下依次拾取所述被检裸片区域以外的拾取对象裸片的步骤。

Description

裸片拾取方法及装置

技术领域

本发明涉及一种从被切割后的晶圆(wafer)中拾取裸片(die)的裸片拾取方法以及应用该方法的裸片拾取装置。

背景技术

已知从被切割后的晶圆拾取裸片(裸芯片)并将其安装到基板的元件安装装置。该元件安装装置具备能够将裸片个别地吸附的头和控制该头的动作的控制部。所述控制部基于针对作为吸附对象的晶圆预先制作的、表示各裸片的良与否的晶圆图(wafer map)来使所述头移动，使其依次吸附作为目标的裸片。在该吸附动作时，进行所述晶圆图上的裸片位置(裸片地址)与实际的晶圆上的裸片位置之间的对位。然后，通过所述头从晶圆将所述晶圆图中被指定为“合格品裸片”的裸片吸附，而被指定为“不合格品裸片”的裸片则不被吸附而残留于晶圆。

在此，由于种种原因而有时会发生晶圆图上的裸片位置与实际的晶圆上的裸片位置之间的位置偏移(在本说明书中称为“图偏移”)。此情况下，元件安装装置根据晶圆图而识别到的“合格品裸片”的裸片位置与实际的晶圆上的“合格品裸片”的裸片位置之间发生不一致。因此，会产生如下不良状况：“合格品裸片”不被拾取，而“不合格品裸片”被拾取。另外，在进行所述拾取时，有时为了扩大裸片间隔而对晶圆基材施加扩张力。这样的外在因素也有可能产生图偏移。

在发生了上述图偏移的情况下，需要尽快使元件安装装置进行出错停止。为此，关键是探测图偏移的产生，但是由于“合格品裸片”和“不合格品裸片”在外观上相同，因此通过裸片的个体识别无法获知图偏移。专利文献1中公开了如下方法：获取拾取对象裸片及其周边区域的图像，根据所述拾取对象裸片与残留于所述周边区域的裸片的位置关系检测图偏移。在该方法中，利用“不合格品裸片”不被拾取而残留于晶圆这一情况，根据它们与拾取对象裸片的位置关系是否为按晶圆图那样的位置关系，来判定有无发生图偏移。

但是，“不合格品裸片”并不是在晶圆上的定点处产生，其分布也因晶圆而各式各样。在采用专利文献1的方法的情况下，由于其是依赖于这样的“不合格品裸片”的方法，因此会发生因拾取对象裸片的裸片位置而导致无法进行图偏移的检测的情况。例如，在拾取对象裸片和不被拾取而留下来的“不合格品裸片”不能同时映入到获取所述图像的摄像机的拍摄区内的情况下，便无法进行图偏移的检测。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第6073654号公报

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够可靠地检测图偏移的裸片拾取方法以及应用该方法的裸片拾取装置。

本发明的一个方面涉及的裸片拾取方法是利用具备用于拾取的头的拾取装置由所述头依次拾取被切割后的晶圆的多个裸片的方法，其中，参照预先制作的表示所述晶圆中的所述多个裸片各自的良与否的晶圆图，将所述多个裸片中的一部分裸片的区域指定为被检裸片区域，以用于确认所述晶圆图上的裸片位置与实际的晶圆上的裸片位置之间的位置偏移亦即图偏移；进行所述晶圆图上的裸片位置与实际的晶圆上的裸片位置之间的对位；通过所述头，在参照所述被检裸片区域的位置信息的情况下依次拾取所述被检裸片区域以外的拾取对象裸片，在拾取所述拾取对象裸片时，由具备指定的拍摄区的摄像装置拍摄所述晶圆上包括所述拾取对象裸片的区域，并且根据所拍摄的图像进行该拾取对象裸片的裸片位置的识别，在所述拍摄时，使所述被检裸片区域的至少一部分和所述拾取对象裸片包括在所述拍摄区中，并且根据所获得的拍摄图像中的两者的位置关系确认所述图偏移。

本发明的另一个方面涉及的裸片拾取装置包括：头，依次拾取被切割后的晶圆的多个裸片；存储部，存储预先制作的表示所述晶圆中的所述多个裸片各自的良与否的晶圆图；以及控制器，控制所述头的动作；其中，所述控制器包括：区域指定部，参照晶圆图，将所述多个裸片中的一部分裸片的区域指定为被检裸片区域，以用于确认所述晶圆图上的裸片位置与实际的晶圆上的裸片位置之间的位置偏移亦即图偏移；对位部，进行所述晶圆图上的裸片位置与实际的晶圆上的裸片位置之间的对位；拾取控制部，以使所述头在参照所述被检裸片区域的位置信息的情况下依次拾取所述被检裸片区域以外的拾取对象裸片的方式进行控制；以及判定部，根据所述被检裸片区域的位置信息的参照结果判定是否发生了图偏移，所述裸片拾取装置还包括：摄像装置，具备指定的拍摄区，在拾取所述拾取对象裸片时，拍摄所述晶圆上的包括所述拾取对象裸片的区域；以及识别部，根据所述摄像装置的拍摄图像确定所述拾取对象裸片的裸片位置；其中，所述控制器在由所述摄像装置进行所述拍摄时，使所述被检裸片区域的至少一部分和所述拾取对象裸片包括在所述拍摄区中，所述判定部根据所获得的拍摄图像中的两者的位置关系进行所述判定。

附图说明

图1是表示应用本发明所涉及的裸片拾取装置的元件安装装置的整体结构的俯视平面图。

图2是表示所述元件安装装置中的裸片拾取装置的机械结构部分的分解立体图。

图3是表示从晶圆拾取裸片时的状态的示意图。

图4是表示所述元件安装装置的控制系统的框图。

图5的(A)是晶圆的平面图，图5的(B)是表示晶圆图的一例的图。

图6的(A)至(C)是表示未发生晶圆图偏移的情况下的裸片的拾取状态的图，图6的(D)、(E)是表示发生了晶圆图偏移的情况下的裸片的拾取状态的图。

图7是实施方式所涉及的裸片拾取方法的步骤的说明图，是表示被检裸片区域的指定例的图。

图8的(A)至(F)是表示被检裸片区域的各种指定例的图。

图9的(A)至(D)是表示以能够与不合格品裸片群相区分的方式指定被检裸片区域的例子的图。

图10是实施方式所涉及的裸片拾取方法的步骤的说明图，是表示在识别裸片位置时获取的图像的拍摄区的图。

图11是实施方式所涉及的裸片拾取方法的步骤的说明图，是表示合格品裸片的拾取状态的图。

图12的(A)、(B)是图偏移的确认方式的说明图。

图13的(A)、(B)是用于说明被检裸片区域中所存在的合格品裸片的拾取方法的图。

图14是表示所述元件安装装置的动作的流程图。

图15是表示所述元件安装装置的动作的流程图。

具体实施方式

[元件安装装置的说明]

以下，基于附图详细地说明本发明的实施方式。本发明所涉及的裸片拾取装置例如能够应用于粘片机(die bonder)、将被切割后的裸片收容到料带的编带装置、或将所述裸片安装到基板的元件安装装置等各种装置。在此，说明该裸片拾取装置应用于元件安装装置的例子。

图1是表示应用了本发明的实施方式所涉及的裸片拾取装置M的元件安装装置100的整体结构的俯视平面图。图2是主要表示元件安装装置100中的裸片拾取装置M的机械结构部分的分解立体图。元件安装装置100是能够从被切割的晶圆W取出裸片D并将其安装到印刷基板20上、并且将由带式送料器31供给的芯片元件安装到印刷基板20上的复合型的元件安装装置。

元件安装装置100包括基座1、输送机2、2个芯片元件供给部3、安装部4、晶圆保持台5、顶起部6(仅在图2中示出)、取出部7、元件识别摄像机8(摄像装置)、固定摄像机9、晶圆收纳部10以及控制部12。

输送机2将印刷基板20搬入到指定的安装作业位置，在安装作业后将印刷基板20从所述作业位置搬出。输送机2包括沿搬送印刷基板20的X方向延伸的输送机主体以及在该输送机主体上将印刷基板20举起来进行定位的未图示的定位机构。输送机2将印刷基板20从X2方向侧向X1方向侧以几乎水平姿势沿X方向搬送，将印刷基板20定位固定到指定的安装作业位置(图1所示的2个印刷基板20的位置)。

2个芯片元件供给部3分别设置于元件安装装置100的近前侧(Y1方向侧)的两端。芯片元件供给部3供给晶体管、电阻、电容器等芯片元件。在芯片元件供给部3中配备有具有将所述芯片元件按指定间隔保持的载带的多个带式送料器31。各带式送料器31间歇性地送出所述载带，将所述芯片元件送出到指定的元件供给位置。

安装部4将裸片D或芯片元件安装到印刷基板20上。安装部4包括2个头单元(第一头单元41和第二头单元42)和它们的支承构件(第一支承构件43和第二支承构件44)。第一、第二头单元41、42各自能够通过省略图的XY移动机构在输送机2的上方(Z2方向)位置处在水平方向(XY方向)上移动。第一头单元41主要将基座1上的上游侧(X2方向侧)的区域设为可动区域，第二头单元42主要将下游侧(X1方向侧)的区域设为可动区域。

在图2中示出了第一头单元41。第一头单元41具有沿着X方向配置的2个元件安装用头411、412和一个基板识别摄像机45。第二头单元42也同样。元件安装用头411、412能够利用由负压产生机(未图示)产生的负压，将从带式送料器31供给的芯片元件或从后述的取出部7供给的裸片D吸附并保持在其顶端部。安装部4使所述芯片元件或裸片D吸附到元件安装用头411、412的顶端部，使它们安装到印刷基板20上。

基板识别摄像机45是拍摄印刷基板20的摄像机。在第一头单元41将元件安装到印刷基板20之前，基于基板识别摄像机45对印刷基板20的摄影图像，识别被附加在该印刷基板20的基准标记(fiducial mark)。由此识别出印刷基板20的位置偏移，在安装元件时进行位置偏移校正。

晶圆收纳部10用于收容被切割的多片晶圆W，配置于元件安装装置100的近前侧(Y1方向侧)的中央部。晶圆W被保持于环状的支架11。晶圆收纳部10包括将保持晶圆W的支架11以上下多层的方式收容的架子以及对该架子进行升降驱动的驱动单元。收容于晶圆收纳部10的各晶圆W处于裸片D被贴在薄膜状的晶圆片(wafer sheet)Ws(参照图3)上的状态，经由该晶圆片Ws被保持在支架11。晶圆收纳部10通过所述架子的升降，使期望的晶圆W配置于能够对于晶圆保持台5取出和放入的指定的取放高度位置。

晶圆保持台5支承从晶圆收纳部10拉出的晶圆W。元件安装装置100具备取放机构(未图示)，该取放机构进行将晶圆W从晶圆收纳部10拉出并搭载到晶圆保持台5、相反地将晶圆W从晶圆保持台5返回到晶圆收纳部10的动作。晶圆保持台5在中央部具有圆形状的开口部，以使环状的支架11的开口部与晶圆保持台5的开口部重叠的方式保持支架11。

晶圆保持台5能够在基座1上沿Y方向在元件取出作业位置与晶圆接收位置之间移动。具体地说，晶圆保持台5以能够移动的方式被支承于在基座1上以沿Y方向延伸的方式设置的一对固定轨道51，通过指定的驱动单元沿着固定轨道51移动。驱动单元包括与固定轨道51平行地延伸且被拧接插入于晶圆保持台5的螺母部分的滚珠螺杆52以及用于对滚珠螺杆52进行旋转驱动的驱动马达53。晶圆保持台5经过输送机2的下方位置，在指定的元件取出作业位置与晶圆收纳部10附近的晶圆接收位置之间移动。

顶起部6将配置于元件取出作业位置的晶圆保持台5上的晶圆W的裸芯片群中的作为取出对象的裸片D从其下侧顶起，由此将该裸片D在从晶圆片剥离的同时举起。顶起部6包括顶起头61和固定轨道62。顶起头61具有内置顶起销的第一顶起杆611和第二顶起杆612。第一、第二顶起杆611、612利用由负压产生机(未图示)在其顶端部产生的负压，吸附裸片D。由此，抑制顶起时的裸片D的位置偏移。

固定轨道62固定于基座1上，将顶起头61以能够在X方向上移动的方式支承。顶起部6具备使顶起头61沿着固定轨道62移动的驱动机构。该驱动机构包括顶起头驱动马达63(参照图4)来作为驱动源。通过将顶起头61构成为能够在X方向上移动，对于被支承于只能在Y方向上移动的晶圆保持台5上的晶圆W，顶起头61能够顶起任意的裸片D。

取出部7(拾取用头)依次拾取被切割的晶圆W的多个裸片D。具体地说，取出部7吸附由顶起部6顶起的裸片D并将其交接到第一头单元41或第二头单元42。取出部7通过指定的驱动单元，在元件取出作业位置的上方(Z2方向)位置处在水平方向(XY方向)上移动。取出部7包括4个晶圆头7a至7d、梁架构件7e、2个托架构件7f、2个晶圆头转动马达7h以及晶圆头升降马达7i(参照图4)。

晶圆头7a至7d能够绕X轴旋转，且能够在上下方向(Z方向)上移动。晶圆头7a至7d利用由省略图的负压产生机在其顶端部产生的负压，吸附裸片D。晶圆头7a至7d在指定的交接位置处将裸片D交接到元件安装用头411、412。晶圆头7a、7b通过X2方向侧的托架构件7f以能够绕X轴旋转的方式被支承，晶圆头7c、7d通过X1方向侧的托架构件7f以能够绕X轴旋转的方式被支承。

晶圆头转动马达7h是以使晶圆头7a及7c以及晶圆头7b及7d的上下(Z方向)的位置对调的方式对它们进行旋转驱动的马达。这是为了使吸附于晶圆头7a至7d的裸片D翻转(flip)。2个托架构件7f分别以能够升降的方式被支承于梁架构件7e。晶圆头升降马达7i是使托架构件7f相对于梁架构件7e升降的驱动源，由此晶圆头7a至7d升降。

图3是表示由晶圆头7a从晶圆W拾取裸片D时的状态的示意图。在晶圆W中，被切割的裸片D被保持于晶圆片Ws上。晶圆片Ws是例如由透光性树脂构成的挠性片。晶圆片Ws的周缘部通过上述的环状的支架11被保持，并且支架11通过膨胀环54被保持。另外，支承环55被配置成与晶圆片Ws的周缘部附近的下表面相向。如上所述，顶起杆611将拾取对象的裸片D从下方顶起，晶圆头7a拾取(吸附)该裸片D。

在该拾取时，膨胀环54如图中的箭头那样向Z1方向下降。于是，晶圆片Ws的比支架11靠内径侧的部分被支承环55支承，因此晶圆片Ws沿X方向(或Y方向)拉长。通过晶圆片Ws的延展，相邻的裸片D彼此的裸片间隔Da扩大。因而，能够容易且可靠地进行顶起杆611对拾取对象裸片D的顶起以及晶圆头7a对该裸片D的拾取。

返回到图1，取出部7的所述驱动单元包括一对固定轨道71、梁架构件72、一对滚珠螺杆73以及一对梁架驱动马达74。一对固定轨道71固定于基座1上，在X方向上隔着指定间隔且相互平行地沿Y方向延伸。梁架构件72其两端分别以能够移动的方式被支承于固定轨道71上，沿X方向延伸。一对滚珠螺杆73在接近固定轨道71的位置被配置成沿Y方向延伸，分别被拧接插入于梁架构件72的两端的螺母构件(未图示)。一对梁架驱动马达74对滚珠螺杆73进行旋转驱动。

在梁架构件72上搭载有取出部7和元件识别摄像机8。通过一对梁架驱动马达74的工作，梁架构件72沿着固定轨道71移动，随着该梁架构件72的移动而取出部7和元件识别摄像机8一体地在Y方向上移动。在梁架构件72的X1侧端部，配置有用于使取出部7沿着梁架构件72在X方向上移动的驱动马达75和用于使元件识别摄像机8沿着梁架构件72在X方向上移动的驱动马达76。

在从晶圆W拾取裸片D之前，元件识别摄像机8对搭载于晶圆保持台5的晶圆W(裸片D)的图像进行摄影。摄影得到的图像数据输出到控制部12。在本实施方式中，基于由元件识别摄像机8摄影得到的晶圆W的局部图像执行拾取对象的裸片D的位置识别以及晶圆图与实际的晶圆之间的位置偏移亦即图偏移的确认处理。

固定摄像机9是配置于基座1上的、第一、第二头单元41、42各自的可动区域内的元件识别用的摄像机。固定摄像机9对由第一、第二头单元41、42的元件安装用头411、412吸附的元件从下侧(Z1方向侧)进行拍摄，将其图像信号输出到控制部12。

控制部12(控制器)综合性地控制包括取出部7(头)的动作在内的元件安装装置100的各部的动作。图3是表示元件安装装置100的控制系统的框图。对于控制部12分别电连接有驱动马达53、顶起头驱动马达63、梁架驱动马达74、驱动马达75、驱动马达76、晶圆头转动马达7h、晶圆头升降马达7i、元件识别摄像机8、固定摄像机9以及基板识别摄像机45。另外，对于控制部12电连接有省略图的输入装置，用户的各种信息基于该输入装置的操作被输入到控制部12。并且，来自内置于各驱动马达的编码器(未图示)等位置检测单元的输出信号输入到控制部12。

控制部12具备轴控制部13、图像处理部14、I/O处理部15、通信控制部16、存储部17以及主运算部18。轴控制部13是对各驱动马达进行驱动的驱动器，按照来自主运算部18的指示使各驱动马达进行动作。图像处理部14对从各摄像机(元件识别摄像机8、固定摄像机9、基板识别摄像机45)输入的图像数据实施各种图像处理。I/O处理部15控制来自元件安装装置100所具备的各种传感器(未图示)的信号的输入以及各种控制信号的输出。通信控制部16控制与外部装置之间的通信。存储部17存储安装程序等各种程序、各种数据。并且，存储部17存储预先制作的表示晶圆W中的各个裸片D的良与否的晶圆图WM(稍后基于图5叙述)。主运算部18综合性地控制控制部12，并且执行各种运算处理。关于主运算部18的功能结构，稍后进行详述。

控制部12基于预先决定的程序控制各驱动马达等，由此控制输送机2、晶圆保持台5、顶起部6、取出部7、第一、第二头单元41、42的动作。由此，调整取出部7(晶圆头7a至7d)对裸片D的吸附位置。另外，由控制部12进行对于晶圆收纳部10的晶圆W的取出和放入、从晶圆W进行的裸片D的拾取以及利用第一、第二头单元41、42的元件的安装等一系列动作的控制。

[关于晶圆图和图偏移]

在本实施方式中，针对装入裸片拾取装置M的各个晶圆W预先制作晶圆图，与各晶圆W的管理号等相关联地将该晶圆图的文件数据保存在存储部17中。图5的(A)是晶圆W的俯视平面图，图5的(B)是表示针对该晶圆W的晶圆图WM的一例的图。如图5的(A)所示，在晶圆W中存在通过切割而独立化的多个裸片D。裸片D处于在晶圆片Ws(图3)上在XY方向上进行矩阵排列的状态。针对这些裸片D中的各个裸片D，根据基于XY坐标系的地址管理位置。

晶圆图WM是针对晶圆W所具备的多个裸片D中的各个裸片D基于指定的基准描述了关于是合格品还是不合格品的评价的文件。与裸片D的地址分别相对应地描述有评价值。在图5的(B)中例示的晶圆图WM中，对作为拾取对象的合格品裸片的地址附加有○符号，对除此以外的地址附加有×符号。

×符号实质上具有两个含义。一个是表示不合格品裸片，例如在地址A(d9:bad)处示出的×符号表示与该地址对应的裸片D是不合格品裸片。另一个是表示不存在裸片，例如在地址A(out)处示出的×符号相当于此。它们是与比圆形的晶圆W的外缘部Wa靠径向外侧的区域对应的部分，集中存在于矩形的晶圆图WM的四角。不管是哪一个，在是不进行拾取动作的地址这一点上无差异，因此两者均附加有×符号(非吸附标志)。控制部12在使取出部7从晶圆W拾取裸片D时，参照晶圆图WM来设定拾取的时序，依次在○符号的地址处执行拾取动作。

在此重要的是当前载置于晶圆保持台5的晶圆W上的裸片D的位置与晶圆图WM上的裸片位置之间的对位。在此所说的对位是指，各个裸片D在晶圆W上的地址与在晶圆图WM上的地址之间的XY坐标的对位。如果两个坐标不一致，则产生如下不良状况：不合格品裸片D(例如地址A(d9:bad))被拾取，或者在不存在裸片D的部位执行拾取动作。为了进行上述对位，例如使用预先附加在晶圆W的参考标记。作为所述参考标记，例如使用在特定的地址处以能够与其它裸片D在图像上辨别的方式配置的镜像裸片，以该镜像裸片的地址为基准来进行晶圆W与晶圆图WM之间的坐标对照。此外，还存在将形成于圆形的晶圆W的外缘部Wa的直线部(定向平面)用作所述坐标对照的情况。

通过该对位，最初从晶圆W拾取的合格品裸片D1和与其对应的晶圆图WM的地址A(d1)一致。关于其它合格品裸片也同样。因而，使取出部7依次移动到与晶圆图WM的○符号的地址相当的坐标来执行拾取动作，由此能够仅拾取合格品裸片D。

图6的(A)至(C)是表示按照晶圆图WM从晶圆W正常地(未产生图偏移的状态)拾取了裸片D的状态的图。在图6的(A)中，晶圆W与晶圆图WM重叠地示出，且示出两者的地址一致的状态。图6的(B)示出了拾取完成到地址A(d21)的合格品裸片D、接着执行地址A(d22)的合格品裸片D的拾取的状态。图6的(C)示出了拾取动作正常地执行到最后的晶圆W。合格品裸片D全部被拾取。另一方面，与表示不合格品裸片的地址A(d9:bad)对应的裸片D9(bad)以及其它不合格品裸片不被拾取而残留于晶圆片Ws上。

与此相对，图6的(D)、(E)是表示产生了晶圆图偏移的情况下的裸片的拾取状态的图。在此，设想如下事例：在拾取地址A(d22)的合格品裸片D之后，由于某些原因而产生了图偏移、即晶圆图WM上的裸片位置与实际的晶圆W上的裸片位置之间的位置偏移。在图6的(D)的例子中，示出了在Y方向上产生了与一个裸片相当的图偏移的例子。在该情况下，导致在地址A(d22)以后的拾取动作中进行错误的拾取。

在该情况下，如图6的(E)所示，导致应被拾取的合格品裸片不被拾取，拾取不应被拾取的不合格品裸片、本来未作为拾取对象的外缘部Wa的裸片。例如，导致图中的合格品裸片D31、D32、D37等残留于晶圆片Ws上，而不合格品裸片D36(bad)等被拾取。因而，导致不合格品裸片D安装于印刷基板20。

[本实施方式的裸片拾取方法的概要]

图偏移是在元件安装装置100的运行中介入了人的操作的情况、产生了机器错误的情况等下产生的。另外，也有可能由于如用图3说明的那样为了扩大裸片间隔Da而使晶圆片Ws延展、从而晶圆图WM上的裸片间距与实际的晶圆W上的裸片间距偏离而产生。在本实施方式所涉及的裸片拾取方法中，认为图偏移是不能完全抑制而不可避免地产生，以在产生了图偏移的情况下能够迅速地检测出该图偏移来避免不合格品裸片的安装等不良状况为目的。

本实施方式的裸片拾取方法的步骤大致如下的步骤(1)至(4)那样。

(1)被检裸片区域的指定；参照晶圆图WM，来将晶圆W上的多个裸片中的一部分裸片的区域指定为用于确认图偏移的被检裸片区域。

(2)图对照；进行晶圆图WM上的裸片位置与实际的晶圆W上的裸片位置之间的对位。

(3)拾取对象裸片的拾取；依次拾取除了在上述(1)中指定的被检裸片区域以外的合格品裸片亦即拾取对象裸片。此时，参照不被拾取而留下的被检裸片区域的位置信息来确认图偏移。

(4)被检裸片区域的裸片的拾取；依次拾取不被拾取而留下的被检裸片区域内的裸片中的合格品裸片。

根据这样的裸片拾取方法，晶圆图WM的一部分裸片的区域被指定为用于确认图偏移的被检裸片区域，被检裸片区域以外的拾取对象裸片先被依次拾取。在该先行拾取时，参照所述被检裸片区域的位置信息。这样，在晶圆W上设定特意不拾取而使裸片D残留的被检裸片区域，参照该被检裸片区域的位置信息，例如参照被检裸片区域相对于拾取对象裸片的位置关系等，由此能够尽早且可靠地检测图偏移。

为了执行上述的步骤(1)至(4)，在本实施方式中综合性地控制元件安装装置100的控制部12的主运算部18(图4)在功能上具备区域指定部181、对位部182、拾取控制部183以及判定部184。

区域指定部181执行上述步骤(1)的处理、即在晶圆图WM上将一部分裸片的区域指定为用于确认图偏移的被检裸片区域的处理。对位部182进行上述步骤(2)的处理、即用于晶圆图WM上的裸片位置与实际的晶圆W上的裸片位置之间的对位的处理。该对位处理如前面基于图5说明的那样例如是使最初作为拾取对象的晶圆图WM的地址A(d1)与晶圆W的合格品裸片D1一致的处理，是以往公知的处理，因此以后省略说明。

拾取控制部183执行上述步骤(3)和(4)的处理、即使取出部7参照所述被检裸片区域的位置信息并依次拾取被检裸片区域以外的拾取对象裸片的控制以及使取出部7依次拾取不被拾取而留下的被检裸片区域内的裸片中的合格品裸片(拾取对象裸片)的控制。判定部184基于存储部17中保存的晶圆图WM的文件与在拾取拾取对象裸片时得到的被检裸片区域的位置信息之间的对照结果，判定是否产生了图偏移。

拾取控制部183还控制元件识别摄像机8(摄像装置)，为了进行拾取对象裸片的裸片位置识别而在拾取该拾取对象裸片之前使元件识别摄像机8拍摄所述晶圆上的包括该拾取对象裸片的区域。控制部12所具备的图像处理部14(识别部)基于元件识别摄像机8的拍摄图像执行确定所述拾取对象裸片的裸片位置的处理。也就是说，图像处理部14进行提取作为取出部7的移动目标的XY坐标的处理。

拾取控制部183按照图像处理部14所提取的XY坐标使取出部7移动，并且执行对于所述拾取对象裸片的拾取动作。判定部184基于被映入由元件识别摄像机获取的拍摄图像的被检裸片区域的裸片位置与拾取对象裸片的位置关系是否为按晶圆图WM那样的位置关系，来判定有无产生图偏移。

[裸片拾取方法的详情]

以下，参照图7至图13来详细说明上述的裸片拾取方法的各步骤。

<被检裸片区域的指定>

图7是表示由区域指定部181进行的被检裸片区域的指定例的图。在图7中，示出了在晶圆图WM中的与晶圆W的外缘部Wa内相当的范围中指定了大致均等地分散配置的12个被检裸片区域C1至C12的例子。被检裸片区域C1至C12由多个裸片D的集合群构成。这是为了能够容易地与一般以一个单位分散地产生的不合格品裸片相区分，也就是说为了能够容易地判别是有意图地残留的裸片群。在本实施方式中，示出了被检裸片区域C1、C2、C3、C5、C6、C7、C9、C10、C11以及C12由9个被检裸片△的3×3的矩阵构成、且被检裸片区域C4和C8由4个被检裸片△的2×2的矩阵构成的例子。

关于被检裸片区域，只要是能够与根据晶圆图WM掌握的不合格品裸片的分布相区分的区域形状，则对其区域形状无限制。另外，被检裸片区域能够仅由一个或多个合格品裸片构成，或者能够由合格品裸片与不合格品裸片的组合构成。或者，如果不合格品裸片的群形状是可利用的，则也可以将该不合格品裸片群作为被检裸片区域来处理。

图8的(A)至(F)是表示由区域指定部181进行的被检裸片区域的各种指定例的图。图8的(A)的被检裸片区域Ca表示除了图7的被检裸片区域C1以外采用的、具备由3×3的矩阵构成的正方形的区域形状的被检裸片区域的例子。构成被检裸片区域C1的9个裸片全部由合格品裸片D(good)构成。

另一方面，在图8(B)的被检裸片区域Cb中，区域形状是由3×3的矩阵构成的正方形，但是由合格品裸片D(good)与不合格品裸片D(bad)的组合构成(在此，设合格品裸片＝△、不合格品裸片＝×)。这样，通过容许不合格品裸片D(bad)的混入，区域指定部181能够与晶圆图WM中的合格品裸片D(good)和不合格品裸片D(bad)的分布无关地任意地指定被检裸片区域。因而，能够在便于确认图偏移的部位自由地设定被检裸片区域。此外，在上述步骤(4)中，如果是图8的(A)的被检裸片区域Ca则全部裸片D均被拾取，但是在图8的(B)的被检裸片区域Cb的情况下，不合格品裸片D(bad)不被拾取。

在图8的(C)至(F)中例示了具有除正方形以外的区域形状的被检裸片区域。图8的(C)的被检裸片区域Cc具有H型的区域形状，图8的(D)的被检裸片区域Cd具有X型的区域形状，图8(E)的被检裸片区域Ce具有+型的区域形状。图8(F)的被检裸片区域Cf具有2个2×2的矩阵裸片群在上下方向上错开位置地邻接的区域形状。被检裸片区域Cc仅由合格品裸片D(good)构成，被检裸片区域Cd、Ce、Cf由合格品裸片D(good)与不合格品裸片D(bad)的组合构成。也可以将这样的被检裸片区域Cc至Cf应用于图7的被检裸片区域C1至C12。

关于被检裸片区域，期望的是根据晶圆W的尺寸(8英寸或12英寸等)、裸片的尺寸、种类等预先决定模板，将其与晶圆W的识别码相关联地事先存储到存储部17。由此，当各种晶圆W设置到裸片拾取装置M时，能够自动地指定被检裸片区域。

但是，根据不合格品裸片的分布，有可能发生基于模板指定的被检裸片区域的区域形状与不合格品裸片群的区域形状偶然一致的情况。在该情况下，能够与该不合格品裸片群相区分的区域形状被选定为被检裸片区域的区域形状。

图9的(A)至(D)是表示能够与不合格品裸片群相区分地指定被检裸片区域的例子的图。例如设针对某晶圆W将图7所示的被检裸片区域C1至C12设定为模板。而且，设在该晶圆W的晶圆图WM中存在如图9的(A)所示那样9个不合格品裸片D(bad)排列成3×3的矩阵的不合格品裸片群BG1，或者存在如图9的(B)所示那样4个不合格品裸片D(bad)排列成2×2的矩阵的不合格品裸片群BG2。在这样的情况下，区域指定部181为了与不合格品裸片群BG1相辨别，如图9的(C)所示那样打乱正方形的区域形状来指定例如阶梯状的被检裸片区域Cg，或者如图9的(D)所示那样指定例如T字型的被检裸片区域Ch。由此，设定能够与不合格品裸片群BG1、BG2相区分的被检裸片区域Cg、Ch，因此能够可靠地执行判定部184对图偏移的确认。

<被检裸片区域与拍摄区的关系>

如上所述，在上述步骤(3)的拾取对象裸片的拾取时，拾取控制部183使元件识别摄像机8拍摄所述晶圆上的包括拾取对象裸片的区域。在该拍摄时，以使被检裸片区域的至少一部分和所述拾取对象裸片进入元件识别摄像机8所具备的拍摄区内的方式设定被检裸片区域的配置。

图10是表示在识别拾取对象裸片的裸片位置时获取的图像的拍摄区E1至E3的图。拍摄区E1表示在例如拾取拾取对象裸片D11之前用于进行该裸片D11的位置识别的元件识别摄像机8拍摄晶圆W时的拍摄区。在该拍摄区E1中包括裸片D11是自不用说，但是还包括被检裸片区域C2的一部分被检裸片△。

同样地，拍摄区E2是为了进行拾取对象裸片D12的位置识别而获取图像时的元件识别摄像机8的拍摄区，拍摄区E3是为了进行拾取对象裸片D13的位置识别而获取图像时的元件识别摄像机8的拍摄区。在拍摄区E2中包括裸片D12和被检裸片区域C7和C6的一部分被检裸片△。另外，在拍摄区E3中包括裸片D13和被检裸片区域C11的一部分被检裸片△。

基于在拍摄区E1中得到的拍摄图像，图像处理部14进行裸片D11的位置识别处理，并且进行同时映入的被检裸片区域C2的一部分被检裸片△的位置识别处理。判定部184根据这些裸片D11与被检裸片△的位置关系检测有无产生图偏移，下面详细叙述。此外，在存在于裸片D11的周边的裸片的位置识别中也能够利用在该拍摄区E1中得到的拍摄图像。另外，针对拍摄区E2的裸片D12、拍摄区E3的裸片D13，也进行同样的位置识别。

在图10中仅例示了针对裸片D11至D13的拍摄区E1至E3，但是在本实施方式中，以在获取任意的拾取对象裸片的裸片位置识别用的拍摄图像的拍摄区中，均进入有被检裸片区域的至少一部分和该拾取对象裸片的方式，设定被检裸片区域C1至C12(一个或多个被检裸片区域)的配置。因此，能够在预定由取出部7进行拾取的全部拾取对象裸片(合格品裸片○)的裸片位置处，利用元件识别摄像机8所获取的拍摄图像确认与被检裸片区域C1至C12的位置关系。也就是说，具有如下优点：能够在任意的裸片位置处进行图偏移的确认，能够提高图偏移确认的便利性。

此外，图偏移是在刚进行裸片的拾取行的换行后的裸片的拾取时、在与晶圆片Ws的延展显著的外缘部Wa接近的区域的裸片的拾取时容易产生，除这些情况以外比较难产生。因此，也不需要在全部拾取对象裸片的裸片位置处均进行图偏移的确认。因而，也可以以一部分拾取对象裸片的裸片位置识别时的拍摄区完全不包含被检裸片区域的方式在晶圆图WM上设定一个或多个被检裸片区域。

<拾取裸片时的图偏移的确认>

接着，详细叙述上述步骤(3)的拾取对象裸片的拾取和此时进行的图偏移的确认动作。图11是表示拾取对象裸片(合格品裸片○)的拾取状态的图。如在图11中用箭头F所示，拾取对象裸片被1行1行地拾取下去。

具体地说，拾取控制部183使取出部7将排成1行(X方向)的拾取对象裸片从X1方向向X2方向依次拾取，接着在X2方向的端部向Y1方向换行后将接下来的1行的拾取对象裸片从X2方向向X1方向依次拾取，在X1方向的端部再向Y1方向换行。也就是说，按每1行使拾取推进方向反转，沿锯齿方向推进拾取动作。如已经叙述的那样，被拾取的是被认定为拾取对象裸片的合格品裸片○，拾取控制部183特意不拾取被指定为被检裸片△的裸片而使其与不合格品裸片×一起残留于晶圆片Ws上。

图11的状态示出了拾取完成到拾取对象裸片Dn的近前的状态。也就是说，接下来由取出部7拾取的是裸片Dn。图示的拍摄区En是为了进行该裸片Dn的裸片位置识别而设定的拍摄区。被检裸片区域C1进入拍摄区En内。裸片Dn与该被检裸片区域C1的X1侧邻接。

图12的(A)、(B)是图偏移确认的方式的说明图，示出了进入拍摄区En的裸片群。为了便于说明，对所述裸片群附加了行号m1至6、列号n1至8。图11所示的接下来拾取的拾取对象裸片Dn是晶圆W上的与在晶圆图WM中4行3列的地址对应的裸片，比裸片Dn靠拾取方向上游侧的裸片已完成拾取，已经不存在于晶圆片Ws上。

在图12的(A)中，在晶圆图WM上，用“◎”表示应未完成拾取的合格品裸片的地址，用“○”表示应已完成拾取的合格品裸片的地址。另外，用“△”表示被指定为被检裸片的地址，用“×”表示被认定为不合格品裸片的地址。

在图12的(B)中，将元件识别摄像机8在上述拍摄区En中获取的拍摄图像进行了二值化。图中的灰色部分是存在裸片的区域，白底部分是不存在裸片的区域。白底部分对应于到裸片Dn为止拾取的合格品裸片○的配置区域。另一方面，灰色部分对应于未完成拾取的合格品裸片◎、被检裸片△以及不作为拾取对象的不合格品裸片×的配置区域。

判定部184基于在图12的(A)所示的晶圆图WM上的裸片配置(○、◎、△、×)与根据图12的(B)所示的拍摄区En的拍摄图像掌握的晶圆W上的裸片配置(有无裸片)之间是否存在矛盾，来判定有无产生图偏移。如果未产生图偏移，则应是如图12的(B)所示那样，在拾取裸片Dn的阶段，例如在4行2列、4行1列、3行3列等处不存在裸片(白底部分)，在2行4列、3行4列、4行4列等处存在裸片(被检裸片△)。另一方面，如果产生了图偏移，则在相对于裸片Dn的被检裸片△的位置上产生矛盾。

在如图12的(B)所示那样得到了按晶圆图WM那样的图像的情况下，判定部184判定为“无图偏移”。另一方面，在从图像识别出根据晶圆图WM应为白底部分的部位是灰色或者其相反的情况下，判定部184判定为“有图偏移”。在该情况下，判定部184使裸片Dn以后的拾取动作中止。这样，根据本实施方式，能够利用特意残留的被检裸片△来尽早且可靠地检测图偏移。

<被检裸片区域的裸片的拾取>

拾取控制部183在使所述头拾取被检裸片区域C1至C12以外的全部拾取对象裸片(合格品裸片○)之后，使取出部7拾取被检裸片区域内的裸片(被检裸片△)中的作为拾取对象的合格品裸片。即，如图8的(A)中例示的那样，在是仅由合格品裸片D(good)构成的被检裸片区域Ca的情况下，全部被检裸片均成为拾取对象裸片。另一方面，如图8的(A)中例示的那样，在是合格品裸片D(good)和不合格品裸片D(bad)混合存在的被检裸片区域Cb的情况下，只有该合格品裸片D(good)成为拾取对象裸片。这样，通过将被检裸片区域的裸片群也设为拾取对象，能够无浪费地拾取晶圆W上的合格品裸片。

图13的(A)、(B)是用于说明存在于被检裸片区域C1至C12的合格品裸片的拾取方法的图。图13的(A)中附加的箭头表示被检裸片区域C1至C12的拾取顺序。不是对被检裸片区域C1至C12随机地进行拾取，而是以一个被检裸片区域为单位进行合格品裸片群的拾取，以一个完成就拾取邻接的下一个被检裸片区域的合格品裸片群的方式设定拾取顺序。

在图13的(A)中，示出了如被检裸片区域C12、C11、C10、C9···C1那样设定了拾取顺序的例子。由此，能够高效地拾取被检裸片区域C1至C12的合格品裸片。此外，第一个是被检裸片区域C12，这是因为被检裸片区域C1至C12以外的合格品裸片的拾取是在被检裸片区域C12的附近结束的。

在从被检裸片区域C1至C12拾取合格品裸片时，由元件识别摄像机8拍摄各个被检裸片区域C1至C12。在图13的(A)中，示出了以被检裸片区域C12为目标的拍摄区Em。图13的(B)示出了通过拍摄区Em的拍摄所得到的二值化图像。拾取控制部183基于该二值化图像和晶圆图WM的合格品裸片信息使取出部7执行拾取动作。

在图13的(B)中，映入有构成被检裸片区域C12的9个裸片群。从这些裸片群中拾取在晶圆图WM中被指定为合格品裸片的裸片。但是，合格品裸片的位置坐标不是从晶圆图WM获得，而是从拍摄区Em的拍摄图像重新导出的。这是因为，在拾取了被检裸片区域C1至C12以外的合格品裸片的状况下，因晶圆片Ws的延展引起的裸片间隔Da的伸长变得显著(参照图3)，产生相对于晶圆图WM上的地址的有意义的偏移的可能性高。

具体地说，根据图13的(B)的二值化图像，图像处理部14应用边缘提取处理等图像处理技术，来确定与被检裸片区域C12的形状特征相当的图像区域。被检裸片区域C12具有矩形的区域形状，因此具有容易提取角部、边部等特征部位的优点。以提取出的特征部位为基准，求出包含在被检裸片区域C12中的合格品裸片的坐标。

在上述实施方式中，示出了在使所述头拾取被检裸片区域C1至C12以外的全部合格品裸片之后拾取被检裸片区域C1至C12内的合格品裸片的例子。也可以取而代之地，先拾取实质上使用完的被检裸片区域C1至C12的合格品裸片。如图11所示，在本实施方式中，预先决定了从Y2方向朝向Y1方向沿X方向锯齿状地进行拾取的步骤。通过这样的拾取步骤的推进，还存在确定以后不使用于图偏移的确认的被检裸片区域。

例如，如果被检裸片区域C1至C12以外的合格品裸片的拾取已推进到被检裸片区域C9、C10、C11附近，则被检裸片区域C1、C2、C3不再被用于图偏移的确认。在这样的情况下，也可以在被检裸片区域以外的合格品裸片的拾取全部完成之前拾取被检裸片区域C1、C2、C3内的合格品裸片。根据该方法，不存在必须先进行被检裸片区域C1至C12以外的全部合格品裸片的拾取这样的限制，具有能够灵活地设定拾取步骤的优点。

[元件安装的流程]

接着，基于图14和图15的流程图，说明元件安装装置100使用1片晶圆W生产印刷基板20时的动作。当从省略图的输入装置对控制部12(图3)提供元件安装开始的指示时，控制部12执行晶圆W的搬入处理(步骤S1)。具体地说，控制部12控制轴控制部13来使驱动马达53进行动作，使晶圆保持台5移动到晶圆收纳部10附近的晶圆接收位置。当晶圆收纳部10的指定的晶圆W载置于晶圆保持台5时，控制部12使该晶圆保持台5朝向元件取出作业位置移动。

接着，主运算部18从存储部17获取与被搬入的晶圆W的管理号等相关联地存储的晶圆图WM的文件数据(步骤S2)。该晶圆图WM是例如图5的(B)中例示的那样按每个地址描述了合格品裸片○(拾取对象裸片)或不合格品裸片×(不作为拾取对象的裸片)的文件。

接着，区域指定部181如前面基于图7说明的那样执行在晶圆图WM上将一部分裸片的区域指定为用于确认图偏移的被检裸片区域C1至C12的处理(步骤S3)。之后，由对位部182执行晶圆图WM上的裸片位置与实际的晶圆W上的裸片位置之间的对位处理(步骤S4)。此外，也可以使该步骤S4在步骤S3之前执行。

接着，拾取控制部183在除了被检裸片区域C1至C12以外的区域中执行在晶圆图WM上搜索合格品裸片的处理(步骤S5)。对搜索出的合格品裸片附加编号N。该编号N表示合格品裸片的拾取顺序，按照预先设定的拾取时序(例如图11所示的箭头F的拾取方向)对各个合格品裸片附加编号。

以后，按编号N的顺序执行合格品裸片的裸片位置识别以及该合格品裸片的拾取(参照图11)。此时，进行图偏移确认(参照图12)。具体地说，控制部12控制元件识别摄像机8来使其拍摄晶圆W上的包括第N个合格品裸片的区域的图像(步骤S6)。然后，由图像处理部14对获取到的图像实施指定的图像处理，由此确定作为拾取对象的合格品裸片的拾取位置(步骤S7)。该确定处理是将由裸片拾取装置M从晶圆图WM等识别出的第N个合格品裸片的拾取位置校正为基于在步骤S6中获取的实际的图像信息的第N个合格品裸片的位置的处理。

接着，判定部184判定该第N个合格品裸片的裸片位置是否为预先设定的进行图偏移的确认处理的位置(步骤S8)。此外，在全部合格品裸片的拾取时均进行图偏移的确认处理这样的设定的情况下，省略该步骤S8的判定。一般来说，图偏移不是频繁产生，因此在一部分合格品裸片的裸片位置处进行图偏移的确认。在是进行图偏移的确认处理的裸片位置的情况下(在步骤S8中“是”)，由判定部184执行图偏移的确认处理(步骤S9)。该确认处理内容如前面基于图12详述的那样。

在上述确认处理之后，判定部184判定有无产生图偏移(步骤S10)。在判定为“有图偏移”的情况下(在步骤S10中“是”)，判定部184为了中止拾取控制部183对第N个合格品裸片以后的拾取动作而生成用于出错停止的控制信号。控制部12接收该信号来使裸片拾取装置M进行出错停止(步骤S11)。由此，防止不合格品裸片安装到印刷基板20的不良状况于未然。此外，出错停止的状态信息显示在元件安装装置100所具备的省略图的显示面板等上。

另一方面，在判定部184判定为“无图偏移”的情况下(在步骤S10中“否”)，拾取控制部183使取出部7拾取第N个合格品裸片(步骤S12)。在步骤S8中不是进行图偏移的确认处理的裸片位置的情况下(在步骤S8中“否”)，跳过步骤S9、S10而执行该步骤S12。

接着，确认是否剩有被编号的合格品裸片、即是否残留有被检裸片区域C1至C12以外的拾取对象裸片(步骤S13)。在剩有合格品裸片的情况下(在步骤S13中“是”)，编号N递增一个(步骤S14)，返回到步骤S6来对下一个合格品裸片重复同样的处理。与此相对，在无剩下的合格品裸片的情况下(在步骤S13中“否”)，转移到拾取被检裸片区域C1至C12的合格品裸片的处理。

参照图15，首先，拾取控制部183执行在晶圆图WM上搜索被检裸片区域C1至C12的处理(步骤S14)。对搜索出的被检裸片区域C1至C12附加编号M。该编号N相当于以被检裸片区域为单位执行合格品裸片的拾取的顺序。

接着，拾取控制部183指定第M个被检裸片区域(步骤S15)。在图13的(A)所示的例子中，被检裸片区域C12是最初执行合格品裸片的拾取的被检裸片区域。接着，拾取控制部183进行存在于该第M个被检裸片区域内的裸片的地址对照(步骤S16)。为了进行该地址对照，由元件识别摄像机8拍摄第M个被检裸片区域。例如在被检裸片区域C12中存在9个裸片，确认这9个裸片是否排列成3×3的矩阵。在确认出排列的情况下，进行晶圆图WM上的被检裸片区域C12与实际拍摄到的被检裸片区域C12的图像之间的地址对照。

接着，拾取控制部183执行在晶圆图WM上搜索第M个被检裸片区域内的合格品裸片的处理(步骤S17)。接着，由元件识别摄像机8拍摄包括在所述搜索中找出的第一个合格品裸片的图像(步骤S18)，根据该拍摄图像确定(校正)作为拾取对象的合格品裸片的拾取位置(步骤S19)。然后，拾取控制部183使取出部7拾取该合格品裸片(步骤S20)。

之后，确认在第M个被检裸片区域内是否残留有未完成拾取的合格品裸片(步骤S21)。在存在未完成拾取的合格品裸片的情况下(在步骤S21中“是”)，返回到步骤S17来重复处理。另一方面，在不存在未完成拾取的合格品裸片的情况下，也就是说第M个被检裸片区域内的合格品裸片的拾取完成的情况下(在步骤S21中“否”)，确认是否存在未执行合格品裸片的拾取处理的被检裸片区域(步骤S22)。

在存在未完成拾取的被检裸片区域的情况下(在步骤S22中“是”)，编号M递增一个(步骤S23)，返回到步骤S15来对下一个被检裸片区域重复同样的处理。与此相对，在不存在未完成拾取的被检裸片区域的情况下(在步骤S22中“否”)，晶圆W上的合格品裸片全部被拾取，因此控制部12执行晶圆W的搬出处理(步骤S24)。由此，使用1片晶圆W进行的生产完成。

另外，上述的具体实施方式主要包含具有以下技术方案的发明。

本发明的一个方面涉及的裸片拾取方法是利用具备用于拾取的头的拾取装置由所述头依次拾取被切割后的晶圆的多个裸片的方法，其中，参照预先制作的表示所述晶圆中的所述多个裸片各自的良与否的晶圆图，将所述多个裸片中的一部分裸片的区域指定为被检裸片区域，以用于确认所述晶圆图上的裸片位置与实际的晶圆上的裸片位置之间的位置偏移亦即图偏移；进行所述晶圆图上的裸片位置与实际的晶圆上的裸片位置之间的对位；通过所述头，在参照所述被检裸片区域的位置信息的情况下依次拾取所述被检裸片区域以外的拾取对象裸片。

根据该裸片拾取方法，晶圆图的一部分的裸片区域被指定为用于确认图偏移的被检裸片区域。而且，被检裸片区域以外的拾取对象裸片在先被拾取。在进行该先拾取时，参照所述被检裸片区域的位置信息。如此，通过在晶圆上设定特意不拾取而使裸片残留的被检裸片区域，参照该被检裸片区域的位置信息，例如参照被检裸片区域相对于拾取对象裸片的位置关系，能够尽早且可靠地检测图偏移。

在所述的裸片拾取方法，优选，在拾取所述拾取对象裸片时，由具备指定的拍摄区的摄像装置拍摄所述晶圆上包括所述拾取对象裸片的区域，并且根据所拍摄的图像进行该拾取对象裸片的裸片位置的识别，在所述拍摄时，使所述被检裸片区域的至少一部分和所述拾取对象裸片包括在所述拍摄区中，并且根据所获得的拍摄图像中的两者的位置关系确认所述图偏移。

根据该裸片拾取方法，通过利用摄像装置来获取包含所述被检裸片区域的至少一部分和所述拾取对象裸片的图像这样简单的方法，能够尽早且可靠地检测图偏移。

在这种情况下，优选，以在获取任意的拾取对象裸片的裸片位置识别用的拍摄图像的所述拍摄区中均进入有所述被检裸片区域的至少一部分和该拾取对象裸片的方式，设定一个或多个所述被检裸片区域的配置。

根据该裸片拾取方法，能够在预定由头进行拾取的全部拾取对象裸片的裸片位置处，利用拍摄图像确认与被检裸片区域的位置关系。也就是说，能够在任意的裸片位置处进行图偏移的确认，能够提高图偏移确认的便利性。

在所述的裸片拾取方法，优选，所述晶圆图中被指定有合格品裸片和不合格品裸片，所述被检裸片区域由一个或多个所述合格品裸片构成，或者由所述合格品裸片与不合格品裸片的组合构成。

根据该裸片拾取方法，能够与晶圆图中的合格品裸片和不合格品裸片的分布无关地任意地指定被检裸片区域。因此，能够在便于确认图偏移的部位自由地设定被检裸片区域。

在所述的裸片拾取方法，优选，通过所述头仅拾取所述合格品裸片，使所述不合格品裸片残留在所述晶圆上，所述被检裸片区域的区域形状被选定为能够与根据所述晶圆图而掌握的所述不合格品裸片的分布相区分的区域形状。

在所述被检裸片区域与残留在晶圆上的不合格品裸片形成的裸片区域具有相同的形状的情况下，无法识别是特意不拾取而残留在晶圆上的裸片还是因为是不合格品而不被拾取的裸片。根据上述的裸片拾取方法，由于被检裸片区域被设定成能够与不合格品裸片的区域相区分，因此能够可靠地执行图偏移的确认。

在所述的裸片拾取方法，优选，在由所述头拾取所述被检裸片区域以外的拾取对象裸片的全部或一部分之后，通过所述头拾取所述被检裸片区域内的拾取对象裸片。

根据该裸片拾取方法，特意不拾取而残留于晶圆的被检裸片区域内的拾取对象裸片也被拾取。因此，能够无浪费地拾取晶圆上的合格品裸片。

在这种情况下，也可以，预先决定由所述头拾取所述拾取对象裸片的拾取步骤，在所述被检裸片区域以外的拾取对象裸片的拾取完成之前，通过所述头对基于所述拾取步骤的推进而确定了以后不被用于所述图偏移的确认的所述被检裸片区域内的拾取对象裸片进行拾取。

根据该裸片拾取方法，不存在必须在所述被检裸片区域以外的拾取对象裸片全部被拾取之后再拾取所述被检裸片区域内的拾取对象裸片这样的限制，能够灵活地设定拾取步骤。

本发明的另一个方面涉及的裸片拾取装置包括：头，依次拾取被切割后的晶圆的多个裸片；存储部，存储预先制作的表示所述晶圆中的所述多个裸片各自的良与否的晶圆图；以及控制器，控制所述头的动作；其中，所述控制器包括：区域指定部，参照晶圆图，将所述多个裸片中的一部分裸片的区域指定为被检裸片区域，以用于确认所述晶圆图上的裸片位置与实际的晶圆上的裸片位置之间的位置偏移亦即图偏移；对位部，进行所述晶圆图上的裸片位置与实际的晶圆上的裸片位置之间的对位；拾取控制部，以使所述头在参照所述被检裸片区域的位置信息的情况下依次拾取所述被检裸片区域以外的拾取对象裸片的方式进行控制；以及判定部，根据所述被检裸片区域的位置信息的参照结果判定是否发生了图偏移。

根据该裸片拾取装置，存储部存储的晶圆图的一部分裸片的区域被区域指定部指定为用于确认图偏移的被检裸片区域。而且，拾取控制部使头先拾取被检裸片区域以外的拾取对象裸片。在进行该先拾取时，判定部，参照所述被检裸片区域的位置信息，并基于该参照结果判定是否发生了图偏移。如此，通过在晶圆上设定特意不拾取而使裸片残留的被检裸片区域，参照该被检裸片区域的位置信息，例如参照被检裸片区域相对于拾取对象裸片的位置关系，能够尽早且可靠地检测图偏移。

在所述的裸片拾取装置，优选，还包括：摄像装置，具备指定的拍摄区，在拾取所述拾取对象裸片时，拍摄所述晶圆上的包括所述拾取对象裸片的区域；以及识别部，根据所述摄像装置的拍摄图像确定所述拾取对象裸片的裸片位置；其中，所述控制器在由所述摄像装置进行所述拍摄时，使所述被检裸片区域的至少一部分和所述拾取对象裸片包括在所述拍摄区中，所述判定部根据所获得的拍摄图像中的两者的位置关系进行所述判定。

根据该裸片拾取装置，通过利用摄像装置获取包括所述被检裸片区域的至少一部分和所述拾取对象裸片的图像这样简单的方法，能够尽早且可靠地检测图偏移。

如以上说明所述，根据本发明涉及的裸片拾取方法以及装置，能够不像以往技术那样依赖于残留在晶圆上的不合格品裸片，而是利用被检裸片区域可靠地检测图偏移。

Claims (7)

1.一种裸片拾取方法，其是利用具备用于拾取的头的拾取装置由所述头依次拾取被切割后的晶圆的多个裸片的方法，其特征在于：

参照预先制作的表示所述晶圆中的所述多个裸片各自的良与否的晶圆图，将所述多个裸片中的一部分裸片的区域指定为被检裸片区域，以用于确认所述晶圆图上的裸片位置与实际的晶圆上的裸片位置之间的位置偏移亦即图偏移；

进行所述晶圆图上的裸片位置与实际的晶圆上的裸片位置之间的对位；

通过所述头，在参照所述被检裸片区域的位置信息的情况下依次拾取所述被检裸片区域以外的拾取对象裸片，

在拾取所述拾取对象裸片时，由具备指定的拍摄区的摄像装置拍摄所述晶圆上包括所述拾取对象裸片的区域，并且根据所拍摄的图像进行该拾取对象裸片的裸片位置的识别，

在所述拍摄时，使所述被检裸片区域的至少一部分和所述拾取对象裸片包括在所述拍摄区中，并且根据所获得的拍摄图像中的两者的位置关系确认所述图偏移。

2.根据权利要求1所述的裸片拾取方法，其特征在于：

以在获取任意的拾取对象裸片的裸片位置识别用的拍摄图像的所述拍摄区中均进入有所述被检裸片区域的至少一部分和该拾取对象裸片的方式，设定一个或多个所述被检裸片区域的配置。

3.根据权利要求1所述的裸片拾取方法，其特征在于：

所述晶圆图中被指定有合格品裸片和不合格品裸片，

所述被检裸片区域由一个或多个所述合格品裸片构成，或者由所述合格品裸片与不合格品裸片的组合构成。

4.根据权利要求3所述的裸片拾取方法，其特征在于：

通过所述头仅拾取所述合格品裸片，使所述不合格品裸片残留在所述晶圆上，

所述被检裸片区域的区域形状被选定为能够与根据所述晶圆图而掌握的所述不合格品裸片的分布相区分的区域形状。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的裸片拾取方法，其特征在于：

在由所述头拾取所述被检裸片区域以外的拾取对象裸片的全部或一部分之后，通过所述头拾取所述被检裸片区域内的拾取对象裸片。

6.根据权利要求5所述的裸片拾取方法，其特征在于：

预先决定由所述头拾取所述拾取对象裸片的拾取步骤，

在所述被检裸片区域以外的拾取对象裸片的拾取完成之前，通过所述头对基于所述拾取步骤的推进而确定了以后不被用于所述图偏移的确认的所述被检裸片区域内的拾取对象裸片进行拾取。

7.一种裸片拾取装置，其特征在于包括：

头，依次拾取被切割后的晶圆的多个裸片；

存储部，存储预先制作的表示所述晶圆中的所述多个裸片各自的良与否的晶圆图；以及

控制器，控制所述头的动作；其中，

所述控制器包括：

区域指定部，参照晶圆图，将所述多个裸片中的一部分裸片的区域指定为被检裸片区域，以用于确认所述晶圆图上的裸片位置与实际的晶圆上的裸片位置之间的位置偏移亦即图偏移；

对位部，进行所述晶圆图上的裸片位置与实际的晶圆上的裸片位置之间的对位；

拾取控制部，以使所述头在参照所述被检裸片区域的位置信息的情况下依次拾取所述被检裸片区域以外的拾取对象裸片的方式进行控制；以及

判定部，根据所述被检裸片区域的位置信息的参照结果判定是否发生了图偏移，

所述裸片拾取装置还包括：

摄像装置，具备指定的拍摄区，在拾取所述拾取对象裸片时，拍摄所述晶圆上的包括所述拾取对象裸片的区域；以及

识别部，根据所述摄像装置的拍摄图像确定所述拾取对象裸片的裸片位置；其中，

所述控制器在由所述摄像装置进行所述拍摄时，使所述被检裸片区域的至少一部分和所述拾取对象裸片包括在所述拍摄区中，

所述判定部根据所获得的拍摄图像中的两者的位置关系进行所述判定。