JP2014096523A - ピックアップ方法およびピックアップ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のピックアップ方法では、ウエハ10の位置決めのための基準領域Rを検出した後に、ジグザグ状にチップ2をピックアップする。その後、チップEbと基準領域Rとの間に設けられたストリートチップSを、位置を確認しながら、チップEbの側から基準領域Rの側に向かって順次ピックアップする。次に、基準領域Rを検出することによって、ジグザグ状のピックアップでチップ2がずれたか否かを判定する。
【選択図】図1
Description
10 ウエハ
Ea チップ
Eb チップ
L 横方向チップ列
R 基準領域
S ストリートチップ
S2 ジグザグ状ピックアップ工程
Claims (8)
- 横方向に沿って配列されたチップから構成される横方向チップ列が縦方向に配置されたウエハに対して良品チップをピックアップする方法であって、縦方向上流の横方向チップ列の何れか一方の端部側のチップから縦方向下流の横方向チップ列の何れか一方の端部側のチップに向かって横方向に沿ってジグザグ状にピックアップしていくジグザク状ピックアップ工程を有するピックアップ方法において、
ウエハを位置決めするための基準領域が設けられ、
基準領域が検出された後に、ジグザグ状ピックアップ工程が行なわれ、
基準領域は、ジグザグ状ピックアップ工程でピックアップされずに残され、
ジグザグ状ピックアップ工程で良品チップであれば最後にピックアップされるチップと基準領域との間に、ジグザグ状ピックアップ工程でピックアップされずに残されるチップが設けられ、このチップがストリートチップとされ、
ジグザグ状ピックアップ工程の後に、ストリートチップが、位置を確認されながら、ジグザグ状ピックアップ工程の最後のチップ側から基準領域側に向かって順次ピックアップされ、
ストリートチップのピックアップの後に、基準領域を検出することによって、ジグザグ状ピックアップ工程でチップがずれたか否かが判定されることを特徴とするピックアップ方法。 - ストリートチップのピックアップ中に、ストリートチップの位置の補正が行なわれる請求項1に記載のピックアップ方法。
- ストリートチップが一筆書き状に連続して設けられた請求項1又は2に記載のピックアップ方法。
- ジグザグ状ピックアップ工程で、基準領域を介して横方向の反対側がピックアップされない請求項1〜3の何れか1項に記載のピックアップ方法。
- ジグザグ状ピックアップ工程で、ストリートチップを介して横方向の反対側がピックアップされない請求項1〜4の何れか1項に記載のピックアップ方法。
- チップがずれたか否かの判定の後に、基準領域に対してピックアップが行なわれる請求項1〜5の何れか1項に記載のピックアップ方法。
- 基準領域が複数のチップで構成された請求項1〜6の何れか1項に記載のピックアップ方法。
- 請求項1〜7の何れか1項のピックアップ方法が使用されるピックアップ装置。
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