JP6073654B2 - ピックアップ方法およびピックアップ装置 - Google Patents
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Description
10 ウエハ
G 良品チップ
Gp ピックアップ位置に配置された良品チップ
× 不良品チップ
○ 良品チップがピックアップされた領域
P1 配置工程
P2 画像取込工程
P3 情報取得工程
P4 情報照合工程
P5 判定工程
Claims (3)
- ウエハにおけるチップの位置情報を有するマップデータを取得し、このマップデータに基づいてウエハから順次チップをピックアップする方法において、
1枚のウエハのピックアップ工程中に、少なくとも1つのチップがピックアップ位置に配置される配置工程と、
この配置工程にてピックアップ位置に配置されたチップとその周辺領域の画像が取り込まれる画像取込工程と、
この画像取込工程にて取り込まれた画像に基づいて周辺領域におけるチップの有無情報が取得される情報取得工程と、
この情報取得工程にて取得されたチップ有無情報と前記マップデータに基づく情報とが照合される情報照合工程と、
この情報照合工程の照合結果に基づいてチップがずれたか否かが判定される判定工程とを備え、
前記情報取得工程から前記判定工程までが、良品チップの位置決めからピックアップまでの工程に対して同時進行部分を有し、
前記ピックアップ位置のチップが、良品チップであって、前記画像取込工程で取り込まれた画像に基づいて位置決めされた後にピックアップされることを特徴とするピックアップ方法。 - 判定工程でずれたと判定された場合に、ピックアップが停止される請求項1に記載のピックアップ方法。
- 請求項1又は請求項2に記載のピックアップ方法が使用されるピックアップ装置。
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