JP2012182330A - ダイピックアップ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】吸着ノズル30のパッド30aでダイシングシート29上のダイ21を吸着保持しながら、該ダイ21の貼着部分の手前側から剥離ステージ18を該ダイ21の貼着部分の真下へスライドさせることで該ダイ21の貼着部分を徐々にシート剥離した後、吸着ノズル30を上昇させてダイ21をピックアップする。吸着ノズル30のパッド30aの吸着面部を多孔質部材又は多孔状部材で形成し、シート剥離開始側の吸着面に対する孔の面積比(気孔率)がシート剥離終了側の吸着面に対する孔の面積比より大きくなるように構成する。これにより、吸着ノズル30のパッド30aのシート剥離開始側の吸着力を相対的に大きくして、安定したシート剥離性能を確保できるようにする。
【選択図】図8
Description
図1に示すように、本実施例1のダイピックアップ装置11は、マガジン保持部12(トレイタワー)、パレット引き出しテーブル13、パレット引き出し機構14、サブロボット15、シャトル機構16、反転機構17、剥離ステージ18(図3〜図6参照)、NGコンベア19、ノズルチェンジャー20等を備えた構成となっている。このダイピックアップ装置11は、図2に示すように、部品実装機25のフィーダセット用スロットにパレット引き出しテーブル13を差し込んだ状態にセットされる。
シート剥離したダイ21を吸着ノズル30でピックアップする毎に、剥離ステージ18を駆動するXYロボットは、図8(a)に示すように、剥離ステージ18を次にピックアップするダイ21の貼着部分の手前側へ移動させて、該剥離ステージ18のシート吸引孔40のスライド側の縁部を次にピックアップするダイ21の縁部に合わせるように位置決めする(図3参照)。この後、図8(b)に示すように、吸着ノズル30を下降させると共に、該吸着ノズル30のバキュームをオンして該吸着ノズル30のパッド30aでダイ21のほぼ全面を吸着保持すると共に、剥離ステージ18のバキュームをオンしてシート吸引孔40でダイシングシート29を吸引する。
Claims (6)
- ウエハをダイシングして形成した多数のダイが貼着されたダイシングシート上のダイをピックアップする吸着ノズルと、前記吸着ノズルでピックアップするダイの貼着部分をシート剥離する剥離ステージとを備え、前記吸着ノズルのパッドで前記ダイシングシート上のダイを吸着保持しながら、該ダイの貼着部分の手前側から前記剥離ステージを該ダイの貼着部分の真下へスライドさせることで該ダイの貼着部分をシート剥離するダイピックアップ装置において、
前記吸着ノズルのパッドは、シート剥離開始側の吸着力がシート剥離終了側の吸着力より大きくなるように形成されていることを特徴とするダイピックアップ装置。 - 前記吸着ノズルのパッドは、多孔質部材又は多孔状部材により形成され、シート剥離開始側の吸着面に対する孔の面積比がシート剥離終了側の吸着面に対する孔の面積比より大きくなっていることを特徴とする請求項1に記載のダイピックアップ装置。
- 前記吸着ノズルのパッドは、シート剥離開始側からシート剥離終了側に向けて吸着力が徐々に又は段階的に小さくなるように形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のダイピックアップ装置。
- 前記吸着ノズルのパッドには、シート剥離開始側の吸着面の端部に沿ってスリット状の吸着孔が形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のダイピックアップ装置。
- 前記剥離ステージには、前記ダイシングシートをその下面側から吸引して該ダイの貼着部分をシート剥離するためのシート吸引孔が形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のダイピックアップ装置。
- 前記シート吸引孔は、シート剥離しようとするダイの貼着部分に対応する大きさに形成され、該シート吸引孔のスライド方向側の縁部に、該ダイの貼着部分を浮かせながらシート剥離するための凸部が形成されていることを特徴とする請求項5に記載のダイピックアップ装置。
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