JP5825706B2

JP5825706B2 - ダイ供給装置

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Publication number: JP5825706B2
Application number: JP2011026790A
Authority: JP
Inventors: 貴幸水野; 朋治吉野; 水谷　大輔; 大輔水谷; 正樹村井
Original assignee: Fuji Machine Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Fuji Corp
Priority date: 2011-02-10
Filing date: 2011-02-10
Publication date: 2015-12-02
Anticipated expiration: 2031-02-10
Also published as: JP2012169321A; CN202564198U

Description

本発明は、碁盤目状にダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートをその下方から突き上げポットで突き上げて、該ダイシングシート上のウエハから分割されたダイを吸着ノズルで吸着するダイ供給装置に関する発明である。

従来のダイ供給装置は、特許文献１（特開２０１０−１２９９４９号公報）に記載されているように、碁盤目状にダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシート上のウエハから分割したダイを吸着ノズルで吸着してピックアップする際に、ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分をその真下から突き上げポットで突き上げて該ダイの貼着部分をダイシングシートから部分的に剥離させながら、吸着ノズルで該ダイを吸着してダイシングシートからピックアップするようにしている。

更に、特許文献１では、ダイシングシート上のダイのサイズ等に応じて突き上げポットを選択できるようにするために、突き上げ機構に４種類の突き上げポットを９０度ピッチで放射状に取り付け、４種類の突き上げポットのうち、ダイシングシート上のダイのサイズ等に合った突き上げポットが上向きとなる位置まで回転させて、当該突き上げポットでダイシングシートを突き上げるようにしている。

特開２０１０−１２９９４９号公報

しかし、上記特許文献１の構成では、突き上げ機構の４箇所のポット取付部に取り付けた４種類の突き上げポットの中から、ダイシングシート上のダイのサイズ等に合った突き上げポットを選択して使用するようにしているが、４種類の突き上げポットの中にダイのサイズ等に合った突き上げポットが無い場合は、突き上げ機構の４箇所のポット取付部に取り付けたいずれかの突き上げポットを取り外してダイのサイズ等に合った突き上げポットに交換する必要がある。

しかし、上記特許文献１の構成では、突き上げ機構のポット取付部に突き上げポットがボルトで取り付けられていたため、突き上げポットの交換作業が手間のかかる面倒な作業となっていた。

そこで、本発明が解決しようとする課題は、突き上げ機構のポット取付部に取り付けた突き上げポットの交換作業を簡単化できるダイ供給装置を提供することである。

上記課題を解決するために、請求項１に係る発明は、碁盤目状にダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットを上下動させる突き上げ機構と、前記ダイシングシート上のウエハから分割されたダイを吸着する吸着ノズルとを備え、前記吸着ノズルで前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、前記ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分をその真下から前記突き上げポットで突き上げて該ダイの貼着部分をダイシングシートから部分的に剥離させながら、前記吸着ノズルで該ダイを吸着して前記ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置において、前記突き上げポットを、ベース部材と、該ベース部材上に複数本のスライド軸を介して上下動可能に組み付けられたポット本体とから構成すると共に、該ポット本体を上方に付勢する第１の付勢手段を設け、前記突き上げ機構のポット取付部に、前記突き上げポットを、少なくとも、前記ポット本体の径又は該ポット本体内に設けられた突き上げピンの径が異なる複数種類の他の突き上げポットと交換可能に係合保持するクランプ機構を備え、前記ベース部材には、前記クランプ機構のクランプ軸が上下方向に貫通されて回動可能且つ上下動可能に支持され、前記クランプ軸の上端部には、該クランプ軸の回動位置を前記クランプ機構により前記突き上げポットを係合する係合位置とその係合を解除する係合解除位置との間で切り換える着脱操作部を設けると共に、該クランプ軸のうちの前記着脱操作部と前記ベース部材との間には、該クランプ軸を上方に付勢して前記クランプ機構による前記突き上げポットの係合状態を保持する第２の付勢手段を設け、前記突き上げポットの下部には、突き上げ動作時に前記突き上げポットの上端面に前記ダイシングシートを吸い付けるバキューム圧を導入するバキューム圧導入管の接続口部を下向きに設けると共に、前記突き上げ機構のポット取付部には、前記突き上げポットのバキューム圧導入管の接続口部と接続されるバキューム圧供給口部を設け、該ポット取付部に前記突き上げポットを係合保持させる際に該突き上げポットのバキューム圧導入管の接続口部を前記バキューム圧供給口部に接続することで該突き上げポットの係合位置を位置決めするようにしたものである。

本発明では、突き上げ機構のポット取付部に突き上げポットをクランプ機構により係合保持するようにしているため、突き上げ機構のポット取付部から突き上げポットを簡単に取り外すことができると共に、突き上げ機構のポット取付部に、少なくとも、ポット本体の径又は突き上げピンの径が異なる他の突き上げポットを係合保持させる際に、該突き上げポットのバキューム圧導入管の接続口部をポット取付部のバキューム圧供給口部に接続することで該突き上げポットの係合位置を簡単に位置決めして、該突き上げポットをポット取付部に簡単に係合保持させることができ、突き上げポットの交換作業を簡単に行うことができる。

この場合、請求項２のように、前記ポット本体には、前記突き上げポットの突き上げ動作時に該ポット本体の上端面が前記ダイシングシートに接触する位置で該ポット本体の上昇を停止させるためのストッパを設け、前記突き上げ機構は、前記突き上げポットの突き上げ動作時に前記ポット本体のストッパが固定壁に当接して該ポット本体の上昇を停止した後も前記ポット取付部を所定量上昇させることで、該ポット本体内に設けられた突き上げピンを該ポット本体の上端面の孔から上方に突出させて前記ダイシングシートを突き上げるようにすると良い。

この構成では、突き上げポットの突き上げ動作時に、ポット本体の上端面がダイシングシートに接触する位置で該ポット本体の上昇が停止した後も、ポット取付部が上昇することで、ポット本体内の突き上げピンが該ポット本体の上端面の孔から上方に突出してダイシングシートを突き上げるという突き上げピンの突き上げ動作が可能となる。

本発明は、前記クランプ機構を突き上げポットに複数箇所に設けても良いが、請求項３のように、前記クランプ機構を突き上げポットに１箇所のみに設けた構成とすることが好ましい。このようにすれば、作業者が突き上げポットをワンタッチ操作で交換できる。

以上説明した請求項１〜３に係る発明は、突き上げ機構に設けるポット取付部の数を１個のみとしても良いし、或は、請求項４のように、突き上げ機構に複数のポット取付部を設け、前記複数のポット取付部に係合保持された複数の突き上げポットの中からダイシングシート上のダイのサイズ又は種類に応じた突き上げポットを突き上げ動作位置に位置させるように前記複数のポット取付部の位置を移動させるポット移動機構を備えた構成としても良い。このようにすれば、突き上げ機構の複数のポット取付部に係合保持された複数の突き上げポットの中に、ダイのサイズ等に応じた突き上げポットが存在すれば、突き上げポットを交換する必要がないため、突き上げポットの交換作業の回数を少なくすることができる。

図１は本発明の一実施例におけるダイ供給装置の斜視図である。図２はダイ供給装置をセットした部品実装機の斜視図である。図３は突き上げ機構部分の斜視図である。図４（ａ），（ｂ）は径の異なる２種類の突き上げポットの拡大斜視図である。図５は突き上げ機構のポット取付部から突き上げポットを取り外して示す拡大斜視図である。図６（ａ）は突き上げ機構のポット取付部に突き上げポットがセットされてクランプレバーがアンクランプ位置にある状態の拡大斜視図であり、（ｂ）は同正面図である。図７（ａ）は突き上げ機構のポット取付部に突き上げポットがセットされてクランプレバーがクランプ位置にある状態の拡大斜視図であり、（ｂ）は同正面図である。図８はクランプ機構の分解図である。

以下、本発明を実施するための形態を具体化した一実施例を説明する。
図１に示すように、本実施例のダイ供給装置１１は、マガジン保持部１２（トレイタワー）、パレット引き出しテーブル１３、パレット引き出し機構１４、サブロボット１５、シャトル機構１６、反転機構１７、突き上げ機構１８（図３参照）、ＮＧコンベア１９、ノズルチェンジャー２０等を備えた構成となっている。このダイ供給装置１１は、図２に示すように、部品実装機２５のフィーダセット用スロットにパレット引き出しテーブル１３を差し込んだ状態にセットされる。

ダイ供給装置１１のマガジン保持部１２内に上下動可能に収納されたマガジンには、ダイ２１を載せたウエハパレット２２と、トレイ部品を載せたトレイパレット（図示せず）とを多段に混載できるようになっている。ウエハパレット２２は、碁盤目状にダイシングされたウエハ（多数のダイ２１）を貼着した伸縮可能なダイシングシート（図示せず）を、円形の開口部を有するウエハ装着板２３にエキスパンドした状態で装着し、該ウエハ装着板２３をパレット本体２８にねじ止め等により取り付けた構成となっている。尚、ダイシングシートのエキスパンドは、どのような方法で行っても良く、例えば、ダイシングシートを下方から円形リングで押し上げた状態でウエハ装着板２３に装着すれば良い。

パレット引き出し機構１４は、ウエハパレット２２、トレイパレットのいずれかのパレットをマガジン保持部１２内のマガジンからパレット引き出しテーブル１３上に引き出すものであり、パレット上の部品やダイを部品実装機２５（図２参照）の吸着ノズル（図示せず）でピックアップする位置（以下「部品実装機用引き出し位置」という）と、マガジンに近い引き出し位置（以下「サブロボット用引き出し位置」という）とのいずれの位置にもパレットを引き出し可能に構成されている。部品実装機用引き出し位置は、パレット引き出しテーブル１３の前端の位置（マガジンから最も離れた位置）であり、サブロボット用引き出し位置は、サブロボット１５の吸着ノズル（図示せず）でウエハパレット２２のダイシングシート上のダイ２１を吸着可能な位置である。

サブロボット１５は、マガジン保持部１２の背面部（サブロボット用引き出し位置側の面）のうちのパレット引き出しテーブル１３の上方に位置して設けられ、ＸＺ方向（パレット引き出しテーブル１３の幅方向及び垂直方向）に移動するように構成されている。尚、サブロボット１５の移動方向をＸ方向のみとし、ウエハパレット２２に対するサブロボット１５のＹ方向（パレット引き出し方向）の相対的位置は、パレット引き出し機構１４によってウエハパレット２２をＹ方向に徐々に引き出すことで制御している。このサブロボット１５には、１本又は複数本の吸着ノズル（図示せず）が下向きに設けられ、ピックアップするダイ２１のサイズや種類等に応じてノズルチェンジャー２０で吸着ノズルを交換できるようになっている。サブロボット１５には、カメラ２４が設けられ、このカメラ２４の撮像画像に基づいて、ピックアップ対象となるダイ２１の位置又はダイ２１の吸着姿勢を確認できるようになっている。

シャトル機構１６は、サブロボット１５の吸着ノズルでピックアップされた部品をシャトルノズル２６で受け取って部品実装機２５の吸着ノズルでピックアップ可能な位置まで移送する。

反転機構１７は、サブロボット１５から受け取るダイ２１を必要に応じて上下反転させるものである。ダイ２１の種類によっては、ウエハパレット２２のダイシングシートに上下反対に貼着されたダイ（例えばフリップチップ等）が存在するためである。

突き上げ機構１８（図３参照）は、パレット引き出しテーブル１３に設けられて、ウエハパレット２２のダイシングシート下方の空間領域をＸＹ方向（パレット引き出しテーブル１３の幅方向及びその直角方向）に移動可能に構成されている。そして、部品実装機用引き出し位置とサブロボット用引き出し位置のいずれの位置にウエハパレット２２を引き出した場合でも、ダイシングシートのうちのピックアップしようとするダイ２１の貼着部分をその下方から突き上げポット２７で局所的に突き上げることで、当該ダイ２１の貼着部分をダイシングシートから部分的に剥離させてダイ２１をピックアップしやすい状態に浮き上がらせるようにしている。突き上げ機構１８は、ダイ２１のサイズや種類に応じて突き上げポット２７を選択できるようにするために、複数種類（例えば４種類）の突き上げポット２７が所定角度ピッチ（本実施例では９０°ピッチ）で放射状に設けられ、突き上げ動作させる突き上げポット２７が上向きとなる位置まで回転させるように構成されている。突き上げポット２７の構成と取付方法については、後で詳しく説明する。

突き上げ機構１８は、サーボモータ（図示せず）を駆動源として突き上げ機構１８全体が上下動するように構成されている。ダイピックアップ動作時には、突き上げ機構１８が上昇して突き上げポット２７の上端がウエハパレット２２のダイシングシートに接触すると、その位置で該突き上げポット２７に設けられたストッパ４５が固定壁３７（図３参照）に当接して突き上げポット２７の上昇が止まり、更に上昇動作を続けると、突き上げポット２７の上端面の孔から突き上げピン（図示せず）が上方に突出して、ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイ２１の貼着部分（吸着ノズルの吸着点）を突き上げるようになっている。この場合、駆動源となるサーボモータの回転量を調整することで、突き上げピンの突き上げ高さを調整できるようになっている。

尚、ＮＧコンベア１９は、不良部品や吸着不良のダイ２１を排出するコンベアである。以上のように構成したダイ供給装置１１の制御装置３２は、キーボード、マウス等の入力装置３３と、液晶ディスプレイ等の表示装置３４等の周辺装置を備えたコンピュータにより構成され、部品実装機２５に供給する部品の種類に応じてパレットの引き出し位置と部品のピックアップ方法を選択すると共に、その選択結果に応じてパレット引き出し機構１４、サブロボット１５及びシャトル機構１６、反転機構１７、突き上げ機構１８等の動作を次のように制御する。

（１）小さいダイ２１の場合
小さいダイ２１の場合は、サブロボット１５→シャトルノズル２６→部品実装機２５の吸着ノズルへのダイ２１のつかみ替えが困難であるので、マガジン保持部１２からウエハパレット２２を部品実装機用引き出し位置に引き出して、当該ウエハパレット２２のダイシングシート上のダイ２１を部品実装機２５の吸着ノズルで直接ピックアップする。

（２）上記以外のサイズのダイ２１の場合
ダイ２１のつかみ替えが可能なサイズのダイ２１の場合は、実装時間を短縮することを目的として、マガジン保持部１２内のマガジンからウエハパレット２２をサブロボット用引き出し位置に引き出して、サブロボット１５の吸着ノズルで当該ウエハパレット２２のダイシングシート上のダイ２１をピックアップし、当該ダイ２１をシャトル機構１６のシャトルノズル２６で受け取って所定のピックアップ位置まで移送し、このピックアップ位置で、シャトル機構１６のシャトルノズル２６からダイ２１を部品実装機２５の吸着ノズルでピックアップする。

（３）トレイ部品の場合
トレイ部品の場合は、マガジン保持部１２内のマガジンからトレイパレットを部品実装機用引き出し位置に引き出して、当該トレイパレット上のトレイ部品を部品実装機２５の吸着ノズルで直接ピックアップする。

次に、突き上げポット２７の構成と取付方法を図３乃至図８を用いて説明する。
突き上げポット２７は、ベース部材４１と、該ベース部材４１に複数本（例えば２本）のスライド軸４２を介して上下動可能に組み付けられたポット本体４３とから構成され、各スライド軸４２の上端部にポット本体４３が固定され、各スライド軸４２がベース部材４１に設けられたスプリングケース４４内のスプリング等の第１の付勢手段で上方に付勢されることで、ポット本体４３が上方に付勢されている。

ポット本体４３には、突き上げポット２７の突き上げ動作時に該ポット本体４３の上端面がダイシングシートに接触する位置で該ポット本体４３の上昇を停止させるためのストッパ４５が設けられ、突き上げポット２７の突き上げ動作時にポット本体４３のストッパ４５が固定壁３７（図３参照）に当接して該ポット本体４３の上昇を停止した後もベース部材４１を所定量上昇させることで、該ポット本体４３内に設けられた突き上げピン（図示せず）を該ポット本体４３の上端面の孔から上方に所定量突出させてダイシングシートを突き上げるようになっている。

また、ポット本体４３には、突き上げ動作時にポット本体４３の上端面にダイシングシートを吸い付けるバキューム圧を導入するバキューム圧導入管４７［図６（ｂ）、図７（ｂ）参照］が下方に突出するように設けられ、該バキューム圧導入管４７の接続口部がベース部材４１を貫通して下方に突出している。

一方、ベース部材４１には、係合手段であるクランプ機構４９のクランプ軸５０が上下方向に貫通されて回動可能且つ上下動可能に支持され、該クランプ軸５０の下端部に係合ピン５１（図８参照）が貫通固定され、該係合ピン５１の両端部がクランプ軸５０の両側に突出している。このクランプ軸５０の上端部には、クランプレバー５２（着脱操作部）が固定され、該クランプ軸５０のうちのクランプレバー５２とベース部材４１との間に複数枚の皿ばね座金５３（第２の付勢手段）が嵌め込まれ、該皿ばね座金５３のばね力によりクランプ軸５０が上方に付勢されている。このクランプ機構４９は、ベース部材４１の１箇所のみに設けられている。

以上のように構成した突き上げポット２７は、図４に示すように、突き上げるダイ２１のサイズや種類に応じて選択できるように複数種類の突き上げポット２７が用意されている。各突き上げポット２７は、ポット本体４３の径やその内部の突き上げピンの径・本数等が異なるだけであり、それ以外の部分（ベース部材４１、クランプ機構４９、バキューム圧導入管４７の接続口部、ポット本体４３の支持構造等）は共通化されている。

一方、突き上げ機構１８には、複数（例えば４個）の突き上げポット２７を取り付けるための複数（例えば４個）のポット取付部５５が所定角度ピッチ（例えば９０°ピッチ）で設けられ、各ポット取付部５５の位置がポット回転機構５６（ポット移動機構）によって回転方向に所定角度ピッチで移動するようになっている。

各ポット取付部５５には、突き上げポット２７のバキューム圧導入管４７の接続口部と接続されるバキューム圧供給口部５７と位置決めピン５８が所定の位置関係で設けられている。ポット取付部５５に突き上げポット２７を係合保持させる際に、該突き上げポット２７のバキューム圧導入管４７の接続口部をバキューム圧供給口部５７に接続し、且つベース部材４１の下面部に形成した位置決め穴（図示せず）を位置決めピン５８に嵌合することで、該突き上げポット２７の係合位置を位置決めするようにしている。

また、ポット取付部５５には、クランプ軸５０を上方から挿通するクランプ孔６０が形成され、該クランプ孔６０の内周面部には、これに挿通するクランプ軸５０の下端部の係合ピン５１を逃げるための逃げ溝６１が上下方向に形成されている。図６（ｂ）、図７（ｂ）に示すように、ポット取付部５５の下面のうちのクランプ孔６０の下端開口縁の周囲部分には、逃げ溝６１から下方に抜け出た係合ピン５１が回転方向の移動に伴って徐々に下降するようにガイドする傾斜面６２が形成されている。

クランプレバー５２を図６に示すアンクランプ位置（係合解除位置）に回動操作した状態では、クランプ軸５０の下端部の係合ピン５１が逃げ溝６１の真下に位置し、クランプ軸５０をクランプ孔６０から抜き出し可能な状態となっている。

クランプレバー５２を図６に示すアンクランプ位置から図７に示すクランプ位置（係合位置）に回動操作した状態では、クランプ軸５０の下端部の係合ピン５１が逃げ溝６１の真下位置から傾斜面６２を乗り上げる方向に移動してポット取付部５５の下面に係合した状態となり、この状態が皿ばね座金５３のばね力により保持される。

次に、ポット取付部５５に取り付けた突き上げポット２７を他の突き上げポット２７に交換する作業手順を説明する。
ポット取付部５５に取り付けた突き上げポット２７を取り外す場合は、まず、作業者の指先でクランプレバー５２を図７に示すクランプ位置から図６に示すアンクランプ位置に回動させる。これにより、クランプ軸５０の下端部の係合ピン５１が逃げ溝６１の真下に位置し、クランプ軸５０をクランプ孔６０から抜き出し可能な状態になるため、突き上げポット２７をそのまま真上に引き上げれば、クランプ軸５０がクランプ孔６０から抜き出されて突き上げポット２７がポット取付部５５から取り外される。

この後、交換する突き上げポット２７を次のようにしてポット取付部５５に取り付ける。まず、交換する突き上げポット２７のクランプレバー５２を図６に示すアンクランプ位置に回動させた状態で、突き上げポット２７のバキューム圧導入管４７の接続口部をバキューム圧供給口部５７に接続し、且つベース部材４１の下面部に形成した位置決め穴（図示せず）を位置決めピン５８に嵌合することで、該突き上げポット２７の係合位置を位置決めしながら、クランプ軸５０の下端部の係合ピン５１を、ポット取付部５５のクランプ孔６０の逃げ溝６１に差し込んで、該クランプ軸５０をクランプ孔６０に挿通し、該係合ピン５１を逃げ溝６１から下方に抜き出した状態（図６に示す状態）とする。この状態で、作業者の指先でクランプレバー５２を図６に示すアンクランプ位置から図７に示すクランプ位置に回動させる。これにより、クランプ軸５０の下端部の係合ピン５１が逃げ溝６１の真下位置から傾斜面６２を乗り上げる方向に移動してポット取付部５５の下面に係合した状態となり、この状態が皿ばね座金５３のばね力により保持されることで、突き上げポット２７がポット取付部５５に係合保持された状態となる。

以上説明した本実施例によれば、突き上げ機構１８のポット取付部５５に突き上げポット２７をクランプ機構４９により係合保持するようにしているため、突き上げ機構１８のポット取付部５５から突き上げポット２７を簡単に取り外すことができると共に、突き上げ機構１８のポット取付部５５に他の突き上げポット２７を係合保持させる際に、該突き上げポット２７のバキューム圧導入管４７の接続口部をポット取付部５５のバキューム圧供給口部５７に接続することで該突き上げポット２７の係合位置を簡単に位置決めして、該突き上げポット２７をポット取付部５５に簡単に係合保持させることができ、突き上げポット２７の交換作業を簡単に行うことができる。

しかも、本実施例では、クランプ機構４９を突き上げポット２７のベース部材４１の１箇所のみに設けたので、作業者が突き上げポット２７をワンタッチ操作で交換できる利点がある。但し、本発明は、クランプ機構４９を突き上げポット２７のベース部材４１の複数箇所に設けた構成としても良い。また、クランプ機構４９（係合手段）の構成を適宜変更しても良い。

更に、本実施例では、突き上げ機構１８に複数のポット取付部５５を設け、複数のポット取付部５５に係合保持された複数の突き上げポット２７の中からダイシングシート上のダイ２１のサイズ又は種類に応じた突き上げポット２７を突き上げ動作位置に位置させるように複数のポット取付部５５の位置をポット回転機構５６により移動させるようにしたので、突き上げ機構１８の複数のポット取付部５５に係合保持された複数の突き上げポット２７の中に、ダイ２１のサイズ等に応じた突き上げポット２７が存在すれば、突き上げポット２７を交換する必要がなく、突き上げポット２７の交換作業の回数を少なくすることができる利点がある。

但し、本発明は、突き上げ機構１８に設けるポット取付部５５の数を１個のみとしても良い。
その他、本発明は、ダイ供給装置１１の構成を適宜変更しても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できることは言うまでもない。

１１…ダイ供給装置、１２…マガジン保持部、１３…パレット引き出しテーブル、１４…パレット引き出し機構、１５…サブロボット、１５ａ…吸着ノズル、１６…シャトル機構、１７…反転機構、１８…突き上げ機構、１９…ＮＧコンベア、２０…ノズルチェンジャー、２１…ダイ、２２…ウエハパレット、２３…ウエハ装着板、２４…カメラ、２５…部品実装機、２６…シャトルノズル、２７…突き上げポット、２８…パレット本体、３２…制御装置、３７…固定壁、４１…ベース部材、４２…スライド軸、４３…ポット本体、４５…ストッパ、４７…バキューム圧導入管、４９…クランプ機構（係合手段）、５０…クランプ軸、５１…係合ピン、５２…クランプレバー（着脱操作部）、５３…皿ばね座金（第２の付勢手段）、５５…ポット取付部、５６…ポット回転機構（ポット移動機構）、５７…バキューム圧供給口部、５８…位置決めピン、６０…クランプ孔、６１…逃げ溝

Claims

碁盤目状にダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットを上下動させる突き上げ機構と、前記ダイシングシート上のウエハから分割されたダイを吸着する吸着ノズルとを備え、前記吸着ノズルで前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、前記ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分をその真下から前記突き上げポットで突き上げて該ダイの貼着部分をダイシングシートから部分的に剥離させながら、前記吸着ノズルで該ダイを吸着して前記ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置において、
前記突き上げポットは、ベース部材と、該ベース部材上に複数本のスライド軸を介して上下動可能に組み付けられたポット本体とから構成されていると共に、該ポット本体を上方に付勢する第１の付勢手段が設けられ、
前記突き上げ機構のポット取付部に、前記突き上げポットを、少なくとも、前記ポット本体の径又は該ポット本体内に設けられた突き上げピンの径が異なる複数種類の他の突き上げポットと交換可能に係合保持するクランプ機構を備え、
前記ベース部材には、前記クランプ機構のクランプ軸が上下方向に貫通されて回動可能且つ上下動可能に支持され、
前記クランプ軸の上端部には、該クランプ軸の回動位置を前記クランプ機構により前記突き上げポットを係合する係合位置とその係合を解除する係合解除位置との間で切り換える着脱操作部が設けられていると共に、該クランプ軸のうちの前記着脱操作部と前記ベース部材との間には、該クランプ軸を上方に付勢して前記クランプ機構による前記突き上げポットの係合状態を保持する第２の付勢手段が設けられ、
前記突き上げポットの下部には、突き上げ動作時に前記突き上げポットの上端面に前記ダイシングシートを吸い付けるバキューム圧を導入するバキューム圧導入管の接続口部が設けられ、
前記突き上げ機構のポット取付部には、前記突き上げポットのバキューム圧導入管の接続口部と接続されるバキューム圧供給口部が設けられ、該ポット取付部に前記突き上げポットを係合保持させる際に該突き上げポットのバキューム圧導入管の接続口部を前記バキューム圧供給口部に接続することで該突き上げポットの係合位置を位置決めすることを特徴とするダイ供給装置。
前記ポット本体には、前記突き上げポットの突き上げ動作時に該ポット本体の上端面が前記ダイシングシートに接触する位置で該ポット本体の上昇を停止させるためのストッパが設けられ、
前記突き上げ機構は、前記突き上げポットの突き上げ動作時に前記ポット本体のストッパが固定壁に当接して該ポット本体の上昇を停止した後も前記ポット取付部を所定量上昇させることで、該ポット本体内に設けられた前記突き上げピンを該ポット本体の上端面の孔から上方に突出させて前記ダイシングシートを突き上げることを特徴とする請求項１に記載のダイ供給装置。
前記クランプ機構は、前記突き上げポットに１箇所のみに設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載のダイ供給装置。
前記突き上げ機構には、複数のポット取付部が設けられ、
前記複数のポット取付部に係合保持された複数の突き上げポットの中から前記ダイシングシート上のダイのサイズ又は種類に応じた突き上げポットを突き上げ動作位置に位置させるように前記複数のポット取付部の位置を移動させるポット移動機構を備えていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のダイ供給装置。